JP2000266700A - 粒子線装置による試料の化合物判定方法 - Google Patents
粒子線装置による試料の化合物判定方法Info
- Publication number
- JP2000266700A JP2000266700A JP11073384A JP7338499A JP2000266700A JP 2000266700 A JP2000266700 A JP 2000266700A JP 11073384 A JP11073384 A JP 11073384A JP 7338499 A JP7338499 A JP 7338499A JP 2000266700 A JP2000266700 A JP 2000266700A
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- compound
- sample
- compd
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の未知化合物を自動的に判定することが
できると共に、未登録の化合物として判定されたとき
は、以降の判定において判定データとして用いることが
できるようにした粒子線装置による化合物判定方法を提
供する。 【解決手段】 ＥＰＭＡ等の粒子線装置による試料の定
量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップ
と、該ステップにより得られた化学組成と化合物データ
ベースに収納されている検索データとに基づいて試料の
未知化合物を判定するステップと、該判定ステップで判
定不能の試料の未知化合物を新たな化合物として化合物
データベースに登録するステップとで粒子線装置による
化合物判定方法を構成する。
できると共に、未登録の化合物として判定されたとき
は、以降の判定において判定データとして用いることが
できるようにした粒子線装置による化合物判定方法を提
供する。 【解決手段】 ＥＰＭＡ等の粒子線装置による試料の定
量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップ
と、該ステップにより得られた化学組成と化合物データ
ベースに収納されている検索データとに基づいて試料の
未知化合物を判定するステップと、該判定ステップで判
定不能の試料の未知化合物を新たな化合物として化合物
データベースに登録するステップとで粒子線装置による
化合物判定方法を構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、粒子線を試料に
照射し試料から発生する信号により試料の定量分析を行
い化合物の判定を行う粒子線装置による試料の化合物判
定方法に関する。
照射し試料から発生する信号により試料の定量分析を行
い化合物の判定を行う粒子線装置による試料の化合物判
定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、試料の分析を行う粒子線装置、例
えば波長分散型分光器（ＷＤＳ）又はエネルギー分散型
検出器（ＥＤＳ）を用いた電子プローブマイクロアナラ
イザ（ＥＰＭＡ）では、Ｘ線を検出して元素同定を行
い、標準試料によるＸ線強度との比較により定量分析が
行われている。そして、コンピュータ制御による試料ス
テージ又は電子ビームの自動制御により、連続的に分析
が可能となっており、更に最近では自動的に介在物など
の粒子を反射電子像や二次電子像で検出し、その検出粒
子の重心を算出して電子ビームを重心点に自動的に照射
固定して、定量分析などの分析（オンライン粒子解析と
呼ばれている）が可能になっている。そして、このよう
な分析により得られた分析結果に基づいて、ユーザが化
学組成表などを参照しながら化合物の種類の判定を行う
ようにしている。
えば波長分散型分光器（ＷＤＳ）又はエネルギー分散型
検出器（ＥＤＳ）を用いた電子プローブマイクロアナラ
イザ（ＥＰＭＡ）では、Ｘ線を検出して元素同定を行
い、標準試料によるＸ線強度との比較により定量分析が
行われている。そして、コンピュータ制御による試料ス
テージ又は電子ビームの自動制御により、連続的に分析
が可能となっており、更に最近では自動的に介在物など
の粒子を反射電子像や二次電子像で検出し、その検出粒
子の重心を算出して電子ビームを重心点に自動的に照射
固定して、定量分析などの分析（オンライン粒子解析と
呼ばれている）が可能になっている。そして、このよう
な分析により得られた分析結果に基づいて、ユーザが化
学組成表などを参照しながら化合物の種類の判定を行う
ようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
にオンライン粒子解析などの分析の自動化により、測定
データ数が多くなり、人手による化合物の判定では、か
なりの時間を要するという問題点があった。
にオンライン粒子解析などの分析の自動化により、測定
データ数が多くなり、人手による化合物の判定では、か
なりの時間を要するという問題点があった。
【０００４】本発明は、従来の未知試料の化合物判定方
法における上記問題点を解消するためになされたもの
で、試料の化合物を自動的に判定することができると共
に、未登録の化合物として判定されたときは以降の判定
において判定データとして用いることができるようにし
た粒子線装置による化合物判定方法を提供することを目
的とする。
法における上記問題点を解消するためになされたもの
で、試料の化合物を自動的に判定することができると共
に、未登録の化合物として判定されたときは以降の判定
において判定データとして用いることができるようにし
た粒子線装置による化合物判定方法を提供することを目
的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明は、粒子線を試料に照射し試料から発生する
信号により試料の定量分析を行い化合物の判定を行う粒
子線装置による試料の化合物判定方法において、試料の
定量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップ
と、該ステップにより得られた未知化合物の化学組成と
化合物データベースに収納されている検索データとに基
づいて試料の未知化合物を判定するステップと、該判定
ステップにおいて判定不能の試料未知化合物を新たな化
合物として化合物データベースに登録するステップとを
備えていることを特徴とするものである。
め、本発明は、粒子線を試料に照射し試料から発生する
信号により試料の定量分析を行い化合物の判定を行う粒
子線装置による試料の化合物判定方法において、試料の
定量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップ
と、該ステップにより得られた未知化合物の化学組成と
化合物データベースに収納されている検索データとに基
づいて試料の未知化合物を判定するステップと、該判定
ステップにおいて判定不能の試料未知化合物を新たな化
合物として化合物データベースに登録するステップとを
備えていることを特徴とするものである。
【０００６】このように構成することにより、定量分析
により得られる未知試料の化学組成情報（重量濃度％，
原子濃度％，Ｘ線強度など）と化合物データベースに収
納されている検索データとに基づいて化合物を自動的に
判定できると共に、試料化合物が化合物データベースの
検索データに含まれていない場合には、新たな化合物と
して化合物データベースに登録することにより、以降の
化合物判定において検索データとして利用することが可
能となる。
により得られる未知試料の化学組成情報（重量濃度％，
原子濃度％，Ｘ線強度など）と化合物データベースに収
納されている検索データとに基づいて化合物を自動的に
判定できると共に、試料化合物が化合物データベースの
検索データに含まれていない場合には、新たな化合物と
して化合物データベースに登録することにより、以降の
化合物判定において検索データとして利用することが可
能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】次に実施の形態について説明す
る。図１は、本発明に係る粒子線装置による試料の化合
物判定方法の実施に用いる粒子線装置による試料の化合
物判定装置の構成例の概要を示すブロック構成図で、本
構成例においては、粒子線装置としてＥＰＭＡを用い、
該ＥＰＭＡに試料化合物判定装置を適用したものを示し
ている。図１において、１はＥＰＭＡ本体で、電子線発
生部、光学顕微鏡、光学系、試料ステージ、分光素子、
Ｘ線分光検出器などで構成されている。２は未知試料に
対して得られた各試料における化学組成に関するデータ
を入力する手段、３は化学組成に対応する化合物を示し
ている検索データが収納されている化合物データベー
ス、４は検索を行い化合物の判定を行う手段（ソフトウ
ェアなど）である。
る。図１は、本発明に係る粒子線装置による試料の化合
物判定方法の実施に用いる粒子線装置による試料の化合
物判定装置の構成例の概要を示すブロック構成図で、本
構成例においては、粒子線装置としてＥＰＭＡを用い、
該ＥＰＭＡに試料化合物判定装置を適用したものを示し
ている。図１において、１はＥＰＭＡ本体で、電子線発
生部、光学顕微鏡、光学系、試料ステージ、分光素子、
Ｘ線分光検出器などで構成されている。２は未知試料に
対して得られた各試料における化学組成に関するデータ
を入力する手段、３は化学組成に対応する化合物を示し
ている検索データが収納されている化合物データベー
ス、４は検索を行い化合物の判定を行う手段（ソフトウ
ェアなど）である。
【０００８】次に、このような構成の化合物判定装置を
用いた本発明に係る化合物判定方法の実施の形態を、図
２に示すフローチャートに基づいて説明する。まず、Ｅ
ＰＭＡによる試料の定量分析に基づいて得られた試料の
化学組成データ（化学式と重量濃度％，原子濃度％，Ｘ
線強度）を化学組成データ入力手段２に書き込んで試料
の未知化合物の化学組成ファイルを作成する（ステップ
11）。次に、化合物判定手段４に、未知化合物化学組成
データ入力手段２からの未知化合物の化学組成データ
と、化合物データベース３からの既知化合物検索データ
とを読み出して、化合物の判定を行う（ステップ12）。
用いた本発明に係る化合物判定方法の実施の形態を、図
２に示すフローチャートに基づいて説明する。まず、Ｅ
ＰＭＡによる試料の定量分析に基づいて得られた試料の
化学組成データ（化学式と重量濃度％，原子濃度％，Ｘ
線強度）を化学組成データ入力手段２に書き込んで試料
の未知化合物の化学組成ファイルを作成する（ステップ
11）。次に、化合物判定手段４に、未知化合物化学組成
データ入力手段２からの未知化合物の化学組成データ
と、化合物データベース３からの既知化合物検索データ
とを読み出して、化合物の判定を行う（ステップ12）。
【０００９】化合物データベース３には、図３に示すよ
うに複数の既知化合物（化合物Ａ，化合物Ｂ，化合物
Ｃ，・・・）の検索データが登録されており、各化合物
検索データは判定処理可能な１つ又は複数のルール（化
学式，演算子，値の組み合わせ）で記述されている。ル
ールの一例を示すと次の通りである。 ルール１： Ｃｕ＞20.1 ルール２： ＺｎＯ＜30.5 ルール３： 5.3 ≦Ｍｎ≦10.3
うに複数の既知化合物（化合物Ａ，化合物Ｂ，化合物
Ｃ，・・・）の検索データが登録されており、各化合物
検索データは判定処理可能な１つ又は複数のルール（化
学式，演算子，値の組み合わせ）で記述されている。ル
ールの一例を示すと次の通りである。 ルール１： Ｃｕ＞20.1 ルール２： ＺｎＯ＜30.5 ルール３： 5.3 ≦Ｍｎ≦10.3
【００１０】化合物判定手段４においては、未知化合物
化学組成データ入力手段２から入力された試料の未知化
合物の化学組成データと、化合物データベース３に登録
されている全ての既知化合物検索データとに基づいて化
合物判定処理が行われる。判定処理手順としては、まず
未知化合物の化学組成データの中の化学式と、化合物デ
ータベースの各化合物検索データのルールにおける化学
式との照合判定を行う。そして、化学式の合致が得られ
た場合、その化学式が合致したルールにおける条件であ
る演算子及び値を満たしているか否かの判定を行う。こ
れらのルール条件（演算子及び値）を満たしていない場
合は、該ルール条件とそれに対応する未知化合物の化学
組成との差分を算出する。
化学組成データ入力手段２から入力された試料の未知化
合物の化学組成データと、化合物データベース３に登録
されている全ての既知化合物検索データとに基づいて化
合物判定処理が行われる。判定処理手順としては、まず
未知化合物の化学組成データの中の化学式と、化合物デ
ータベースの各化合物検索データのルールにおける化学
式との照合判定を行う。そして、化学式の合致が得られ
た場合、その化学式が合致したルールにおける条件であ
る演算子及び値を満たしているか否かの判定を行う。こ
れらのルール条件（演算子及び値）を満たしていない場
合は、該ルール条件とそれに対応する未知化合物の化学
組成との差分を算出する。
【００１１】化合物データベースに登録されている各化
合物検索データ毎に、上記のように未知化合物の化学組
成データとの判定処理を行い、合致したルール数及びル
ール条件との差分の合計を算出する。そして、合致した
ルール総数の多い順、差分合計の少ない順などに判定結
果を並べ替えてソーティングを行う（ステップ13）。次
いで、合致ルール総数や差分合計にそれぞれ閾値を設定
して、化合物判定手段による判定処理に基づく合致ルー
ル総数や差分合計と各閾値とを対比し（ステップ14）、
閾値内であれば未知化合物を合致ルールに対応する化合
物と判定し、試料化合物名を表示し保存する（ステップ
15）。閾値外の場合は、化合物データベースには登録さ
れていない新たな化合物と判定し、その新たな化合物と
判定された未知化合物の化学組成データをルールとして
化合物データベースに登録する（ステップ16）。このよ
うに化合物データベースに新たに登録された未知化合物
の化学組成データは、検索データとしてその後の化合物
の判定に用いることができる。
合物検索データ毎に、上記のように未知化合物の化学組
成データとの判定処理を行い、合致したルール数及びル
ール条件との差分の合計を算出する。そして、合致した
ルール総数の多い順、差分合計の少ない順などに判定結
果を並べ替えてソーティングを行う（ステップ13）。次
いで、合致ルール総数や差分合計にそれぞれ閾値を設定
して、化合物判定手段による判定処理に基づく合致ルー
ル総数や差分合計と各閾値とを対比し（ステップ14）、
閾値内であれば未知化合物を合致ルールに対応する化合
物と判定し、試料化合物名を表示し保存する（ステップ
15）。閾値外の場合は、化合物データベースには登録さ
れていない新たな化合物と判定し、その新たな化合物と
判定された未知化合物の化学組成データをルールとして
化合物データベースに登録する（ステップ16）。このよ
うに化合物データベースに新たに登録された未知化合物
の化学組成データは、検索データとしてその後の化合物
の判定に用いることができる。
【００１２】上記実施の形態においては、ＥＰＭＡによ
る定量分析の結果に基づいて得られた試料の化学組成フ
ァイルを作成し、該ファイルより化学組成データを化合
物判定手段へ入力するようにしたものを示したが、定量
分析に基づいて得られた試料の化学組成を順次化合物判
定手段へ入力して化合物判定処理を行い、試料より目的
とする化合物が検出された時点で、ＥＰＭＡによる定量
分析動作を中断したり、他の測定を切り替え実行するよ
うにしてもよい。このような定量分析の中断により、試
料中から目的化合物の検出を目的としている場合は、測
定時間を短縮することが可能となる。
る定量分析の結果に基づいて得られた試料の化学組成フ
ァイルを作成し、該ファイルより化学組成データを化合
物判定手段へ入力するようにしたものを示したが、定量
分析に基づいて得られた試料の化学組成を順次化合物判
定手段へ入力して化合物判定処理を行い、試料より目的
とする化合物が検出された時点で、ＥＰＭＡによる定量
分析動作を中断したり、他の測定を切り替え実行するよ
うにしてもよい。このような定量分析の中断により、試
料中から目的化合物の検出を目的としている場合は、測
定時間を短縮することが可能となる。
【００１３】また、上記実施の形態では、粒子線装置と
して電子ビームを利用するＥＰＭＡを用いたものを示し
たが、電子ビーム以外のイオン，Ｘ線，中性粒子などの
他の粒子線を試料に照射し、試料から発生する信号によ
り試料の分析を行う装置を用いた化合物判定判定装置に
も、本発明を適用することができ、同様の作用効果が得
られる。
して電子ビームを利用するＥＰＭＡを用いたものを示し
たが、電子ビーム以外のイオン，Ｘ線，中性粒子などの
他の粒子線を試料に照射し、試料から発生する信号によ
り試料の分析を行う装置を用いた化合物判定判定装置に
も、本発明を適用することができ、同様の作用効果が得
られる。
【００１４】
【発明の効果】以上実施の形態に基づいて説明したよう
に、本発明によれば、定量分析により得られる未知試料
の化学組成情報と化合物データベースに収納されている
検索データとに基づいて化合物を自動的に判定できると
共に、試料化合物が検索データに含まれていない場合に
は、新たな化合物として化合物データベースに登録さ
れ、以降の化合物判定における検索データとして利用す
ることができ、ユーザの負担を軽減させると共に大量の
分析結果を短時間で処理することが可能となる。
に、本発明によれば、定量分析により得られる未知試料
の化学組成情報と化合物データベースに収納されている
検索データとに基づいて化合物を自動的に判定できると
共に、試料化合物が検索データに含まれていない場合に
は、新たな化合物として化合物データベースに登録さ
れ、以降の化合物判定における検索データとして利用す
ることができ、ユーザの負担を軽減させると共に大量の
分析結果を短時間で処理することが可能となる。
【図１】本発明に係る粒子線装置による試料の化合物判
定方法の実施に用いる試料の化合物判定装置の構成例を
示す概略ブロック構成図である。
定方法の実施に用いる試料の化合物判定装置の構成例を
示す概略ブロック構成図である。
【図２】本発明に係る粒子線装置による試料の化合物判
定方法の実施の形態を説明するためのフローチャートで
ある。
定方法の実施の形態を説明するためのフローチャートで
ある。
【図３】化合物データベースの構成例を示す図である。
１ ＥＰＭＡ本体 ２ 試料の未知化合物の化学組成データ入力手段 ３ 既知化合物データベース ４ 化合物判定手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G001 AA01 AA03 AA04 AA05 AA10 BA05 CA01 FA01 FA06 HA09 KA01 KA20 NA03 NA10 NA13 NA17 NA18 NA20
Claims (1)
- 【請求項１】 粒子線を試料に照射し試料から発生する
信号により試料の定量分析を行い化合物の判定を行う粒
子線装置による試料の化合物判定方法において、試料の
定量分析により未知化合物の化学組成を求めるステップ
と、該ステップにより得られた未知化合物の化学組成と
化合物データベースに収納されている検索データとに基
づいて試料の未知化合物を判定するステップと、該判定
ステップにおいて判定不能の試料未知化合物を新たな化
合物として化合物データベースに登録するステップとを
備えていることを特徴とする粒子線装置による試料の化
合物判定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11073384A JP2000266700A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 粒子線装置による試料の化合物判定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11073384A JP2000266700A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 粒子線装置による試料の化合物判定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000266700A true JP2000266700A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13516655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11073384A Pending JP2000266700A (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | 粒子線装置による試料の化合物判定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000266700A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285786A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 電子線を用いるｘ線分析装置 |
-
1999
- 1999-03-18 JP JP11073384A patent/JP2000266700A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007285786A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | 電子線を用いるｘ線分析装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040514 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040525 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041005 |