JP2007002284A - 蒸着源装置及び真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機薄膜材料3を加熱するヒーター6を備えた有機薄膜材料加熱装置5と、有機薄膜材料加熱装置5の温度を制御するために所定の温度範囲に制御される恒温装置8と、有機薄膜材料加熱装置5と恒温装置8間の熱を交換するために設けられた熱交換器12とを真空中に配設し、有機薄膜材料加熱装置5において、−50℃から500℃の温度範囲の昇華温度を有する有機薄膜材料3を昇華させるようにしたことを特徴とする蒸着源装置である。
【選択図】図1
Description
また、本発明の他の目的は、有機薄膜材料加熱装置を−50℃から500℃の温度範囲で制御する蒸着源装置において、有機薄膜材料加熱装置に貯留された有機薄膜材料の温度を急速に上昇、下降、又は所定の温度に保持させることを可能にした蒸着源装置及び該蒸着源装置を備える真空蒸着装置を提供することにある。
第1の手段は、有機薄膜材料を加熱する加熱用ヒーターを備えた有機薄膜材料加熱装置と、該有機薄膜材料加熱装置の温度を制御するために所定の温度範囲に制御される恒温装置と、前記有機薄膜材料加熱装置と前記恒温装置間の熱を交換するために設けられた熱交換器とを真空中に配設し、前記有機薄膜材料加熱装置において、−50℃から500℃の温度範囲の昇華温度を有する前記有機薄膜材料を昇華させるようにしたことを特徴とする蒸着源装置である。
図1は本実施形態の発明に係る蒸着源装置を備える真空蒸着装置の構成を示す正面断面図である。
同図において、1は真空蒸着装置、2は蒸着源装置、3は−50℃から500℃の任意の温度で昇華する薄膜形成材料としての有機薄膜材料、4は有機薄膜材料3が貯留される坩堝、5は有機薄膜材料3が貯留された坩堝4を載置し、坩堝4を加熱して貯留された有機薄膜材料3を昇華させる有機薄膜材料加熱装置、6は有機薄膜材料加熱装置5に設けられ単独で500℃まで昇温加熱することのできる加熱用ヒーター、7は加熱用ヒーター6の温度を測定する温度計、8は内部に熱交換用の液体媒体や気体媒体の熱媒体を蓄える熱媒体槽5と熱媒体槽5に熱媒体を流入出させる流入管10と排出管11とを備える恒温装置、9は熱媒体槽、12は有機薄膜材料加熱装置5と恒温装置8との間に機械的に接続される、例えば、円柱状又は角柱状に形成された支持体からなり、該支持体を介して有機薄膜材料加熱装置3と恒温装置8間の熱を交換する熱交換器、13は蒸着源装置2から昇華された有機薄膜材料3によって薄膜が形成される基板である。
真空中(1×10−1Pa)において25℃程度から昇華し始め、80℃で安定して昇華する高昇華性の有機薄膜材料3を坩堝4に入れ、有機薄膜材料加熱装置5に嵌め込み密着する。次に、蒸着源装置2が取り付けられた真空蒸着装置1の真空引きを行い、その真空度が10−1Pa程度になった時点で恒温装置8の熱媒体槽9におよそ−20℃のエチレングリコール水溶液を市販の安価な冷媒循環器によって供給する。恒温装置8は瞬時に冷却され、その熱は熱交換器12を介して有機薄膜材料加熱装置5に伝達され、その温度を約0℃に低下させることができる。これによって、有機薄膜材料加熱装置5に嵌め込まれた有機薄膜材料3が入っている坩堝4も冷却され、これによって有機薄膜材料3の無駄な昇華を防止することができる。有機薄膜材料3が昇華していないことは、真空蒸着装置1内に設置された不図示の膜厚計によって確認することができる。
2 蒸着源装置
3 有機薄膜材料
4 坩堝
5 有機薄膜材料加熱装置
6 加熱用ヒーター
7 温度計
8 恒温装置
9 熱媒体槽
10 流入管
11 排出管
12 熱交換器
13 基板
Claims (8)
- 有機薄膜材料を加熱する加熱用ヒーターを備えた有機薄膜材料加熱装置と、該有機薄膜材料加熱装置の温度を制御するために所定の温度範囲に制御される恒温装置と、前記有機薄膜材料加熱装置と前記恒温装置間の熱を交換するために設けられた熱交換器とを真空中に配設し、前記有機薄膜材料加熱装置において、−50℃から500℃の温度範囲の昇華温度を有する前記有機薄膜材料を昇華させるようにしたことを特徴とする蒸着源装置。
- 前記熱交換器は、前記有機薄膜材料加熱装置と前記恒温装置との間に、前記有機薄膜材料加熱装置及び前記恒温装置を構成する材料の熱伝導率より低い熱伝導率を有する取り外し可能な柱状の支持体から構成されることを特徴とする請求項1に記載の蒸着源装置。
- 前記恒温装置は、冷却媒体又は加熱媒体を流通させることにより−200℃から数100℃の温度範囲の任意の温度に制御されるように構成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の蒸着源装置。
- 前記恒温装置の温度を室温以下に保持し、前記熱交換器を通じて前記有機薄膜材料加熱装置の温度を低下させ、前記有機薄膜材料加熱装置に貯留された真空中では室温において昇華する有機薄膜材料を昇華温度以下に保持するようにしたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つの請求項に記載の蒸着源装置。
- 蒸着開始時、前記有機薄膜材料加熱装置に貯留された有機薄膜材料を加熱するとともに、前記恒温装置の温度を高温に保持し、前記熱交換器を通じて前記有機薄膜材料加熱装置に貯留された前記有機薄膜材料の温度上昇を補助させ、前記有機薄膜材料を急速に昇華させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つの請求項に記載の蒸着源装置。
- 蒸着終了時、前記恒温装置の温度を急速に低温に冷却し、前記熱交換器を通じて前記有機薄膜材料加熱装置に貯留された有機薄膜材料を急速に昇華温度以下に低下させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つの請求項に記載の蒸着源装置。
- 蒸着終了時、前記恒温装置の温度を急速に低温に冷却し、前記熱交換器を通じて前記有機薄膜材料加熱装置を急速に室温に低下させるようにしたことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1つの請求項に記載の蒸着源装置。
- 請求項1乃至請求項7のいずれか1つの請求項に記載の蒸着源装置を備える真空蒸着装置。
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