JP2010159945A - 温度制御装置の冷凍機制御方法 - Google Patents

温度制御装置の冷凍機制御方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010159945A
JP2010159945A JP2009020775A JP2009020775A JP2010159945A JP 2010159945 A JP2010159945 A JP 2010159945A JP 2009020775 A JP2009020775 A JP 2009020775A JP 2009020775 A JP2009020775 A JP 2009020775A JP 2010159945 A JP2010159945 A JP 2010159945A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
refrigerator
gas
temperature
expansion valve
temperature control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2009020775A
Other languages
English (en)
Inventor
Sho Cho
張翔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to JP2009020775A priority Critical patent/JP2010159945A/ja
Publication of JP2010159945A publication Critical patent/JP2010159945A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Landscapes

  • Control Of Temperature (AREA)

Abstract

【課題】冷凍機を使った、媒体（液体若しくは気体）の温度調節を行う温制御装置のガス膨張弁の選定が容易に出来る手段を提供する。
【解決手段】ステッピングモータにより駆動するバルブ（通称電子膨張弁で、モータのステップ数で、バルブに通る液体ガス若しくは気体ガスの流量が変えられる）を使用し、各制御温度でのステッピングモータのステップ数（通称電子膨張弁の開度。このステップ数を温度との関数にすることも出来る）を予めに決め（これは数多くの内径異なる細い金属管に値する）、装置はステッピングモータを各制御温度の開度まで駆動し、冷凍機の冷却能力を制御する。
【選択図】図１

Description

本発明は、外部装置（選択図１の１８外部装置。本発明装置を使用し、その目的温度まで温度を維持する外部熱負荷を持つ装置）が持つ熱負荷（若しくは冷却負荷）を冷やし（若しくは冷却源を暖める）、その温度を一定に保つための定温制御装置装置に関し、特に半導体製造装置等に使用される定温制御装置（通称チラー装置）等の、一定温度の液体（若しくは気体）媒体を循環させて外部装置の温度を一定に保つための温制御装置に関する。
チラー装置は、冷却部分（図１の１，２，３，４，５，６，７より構成する部分）、加熱器（図１の９）、および外部装置との間を循環する管路より構成される。循環する管路に液体（若しくは気体．以下媒体と称する）の媒体を流し、外部装置で加熱（若しくは冷却）された媒体を冷却器で冷却（若しくは加熱器で加熱）し、外部装置で冷却された媒体を加熱器で加熱し、外部装置の要求する温度まで冷却（若しくは加熱）して外部装置に供給している。
このような装置では、要求される温度維持範囲が広い（例：−４０℃から＋１００℃）。通常冷凍機が低温での冷却能力が低く、高温域での冷却能力が高い為、ガスを膨張させる時の流量を変えないと、低温域で合わせたでガス流量が高温域で同じガス流量を流すと冷却能力が出すぎ、温度制御が不可能になる。これを回避するため、冷凍機より循環されるガスを膨張させるキャピラリチューブを数本選定し、温度域により切り替えて使用する。
このキャピラリチューブの切り替え使用により、冷却に使うガスの流量が変えられ、広い温度範囲での温度制御が可能になる。
本発明はステッピングモータにより駆動するバルブ（通称電子膨張弁）図１の１を使用し、各制御温度でのステッピングモータのステップ数（通称電子膨張弁の開度、このステップ数を関数にすることも出来る）を予めに決め（これは数多くの内径異なる細い金属管に値する）、装置はステッピングモータを各制御温度の開度まで駆動し、温度制御をする。
本発明はステッピングモータにより駆動するバルブ（通称電子膨張弁）１を使用し、各制御温度でのステッピングモータのステップ数（通称電子膨張弁の開度、このステップ数を関数にすることも出来る）を予めに決め（これは数多くの内径異なる細い金属管に値する）、装置はステッピングモータを各制御温度の開度まで駆動し、温度制御をする。
この電子膨張弁の開度を決める基準が、温度制御装置の冷凍機始動前に電子膨張弁をその弁の機械原点（全快若しくは全閉）まで回す事（例：もし電子膨張弁の全開と全閉間のステップ数が５００とし、それを５００ステップ数を閉める方向に若しくは開の方向に回す。これを通称電子膨張弁のリセット）
この手段を冷凍機が冷却する若しくは加熱（通称ホットガス）する媒体（液体若しくは気体）に使用する以外に、冷凍機自身を冷やす（通称インジェクション動作で、冷たいガスの一部を冷凍機に戻し、冷凍機を冷やすか暖める。
本発明を使用することにより、温度制御装置は任意の制御温度で冷凍機の冷却能力とホットガスの加熱能力とを容易に造られ、温度制御装置の設計と製作とが従来のより容易になり、温度制御装置の運転安定性も従来装置より高められる。
図１は本発明を使った温制御装置の概念図です。破線で囲まれた部分が温制御装置である。図１の１８は（例えば）半導体ウエハのエッチング装置のような温度を制御する必要のある外部熱負荷（若しくは冷却源をもつ冷却負荷）装置で媒体循環管路（図１の１４と１５との間の管路）によって温度制御装置と連結され循環回路を構成している。
本発明の温度制御装置の概念図である。
１ 冷却用電子膨張弁
２ ホットガス（加熱ガス）用電子膨張弁
３ イジェクションガス（圧縮機冷却ガス）用電子膨張弁
４ アキュムレータ
５ ガス圧縮機
６ ガス蒸発器
７ コンデンサー
８ 熱媒体バッファータンクク
９ 加熱器
１０ 温度センサー
１１ 熱媒体循環用ポンプ
１２ ガス圧縮器を冷却するインジェクションガスの流れる方向
１３ 熱媒体加熱するホットガスの流れる方向
１４ 熱媒体出口
１５ 熱媒体入り口
１６ 冷却水入り口
１７ 冷却水出口
１８ 外部熱負荷

Claims (6)

  1. 温度制御装置、若しくは温度制御装置の冷凍機始動前に電子膨張弁をその弁の機械原点までリセットすること。
  2. 冷凍機のオイル循環を良くし、冷凍機始動時のガス高圧を抑えるために、冷凍機始動時に電子膨張弁の開度を短時間の間に、ある予めに決めたステップ数で運転すること。
  3. 上記請求項１と請求項２とを冷凍機自身を冷却する目的に使用すること。
  4. 上記請求項１と請求項２とを冷凍機のホットガスで液体若しくは気体を暖める目的に使用すること。
  5. 上記請求項１と請求項２を液体若しくは気体を冷やす目的に使用すること。
  6. 電源周波数別に異なる電子膨張弁開度データ（若しくは計算式）をコントラーラがもつこと。
JP2009020775A 2009-01-07 2009-01-07 温度制御装置の冷凍機制御方法 Pending JP2010159945A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009020775A JP2010159945A (ja) 2009-01-07 2009-01-07 温度制御装置の冷凍機制御方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009020775A JP2010159945A (ja) 2009-01-07 2009-01-07 温度制御装置の冷凍機制御方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010159945A true JP2010159945A (ja) 2010-07-22

Family

ID=42577231

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009020775A Pending JP2010159945A (ja) 2009-01-07 2009-01-07 温度制御装置の冷凍機制御方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010159945A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112524773A (zh) * 2020-12-09 2021-03-19 珠海格力电器股份有限公司 一种电子膨胀阀开度确定方法和装置
US11236420B2 (en) * 2018-04-03 2022-02-01 Tokyo Electron Limited Cleaning method

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11236420B2 (en) * 2018-04-03 2022-02-01 Tokyo Electron Limited Cleaning method
CN112524773A (zh) * 2020-12-09 2021-03-19 珠海格力电器股份有限公司 一种电子膨胀阀开度确定方法和装置
CN112524773B (zh) * 2020-12-09 2022-03-18 珠海格力电器股份有限公司 一种电子膨胀阀开度确定方法和装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2008292026A (ja) 恒温維持装置。
JP2010071639A (ja) 冷凍装置
JP6398324B2 (ja) ヒートポンプ給湯装置
JP2012172869A (ja) ヒートポンプ装置
JP6602395B2 (ja) 冷凍サイクル装置
WO2017208393A1 (ja) 半導体検査装置用の冷却装置
JP6488160B2 (ja) ヒートポンプ加熱装置
JP2010159945A (ja) 温度制御装置の冷凍機制御方法
JP2008267640A (ja) 冷却装置および半導体検査装置
JP2005205876A (ja) 加熱冷却装置
CN111094880A (zh) 制冷机
JP2009097826A (ja) ヒートポンプ給湯装置
JP2008224067A (ja) ヒートポンプ給湯装置
JP6320897B2 (ja) 温度制御方法
JP2002277138A (ja) 熱媒体流体用の温度調整装置
JP2009192186A (ja) 冷凍システム
JP2009085476A (ja) ヒートポンプ給湯装置
KR20090043991A (ko) 냉장고의 핫 라인 장치
JP2016053444A (ja) ヒートポンプ装置
JP6491465B2 (ja) 冷却システム
JP2009063195A (ja) 温度調節方法及びその装置
JP7074915B2 (ja) ヒートポンプ装置
JP4665954B2 (ja) ヒートポンプ装置
WO2024057506A1 (ja) 冷却加熱装置
JP2019039596A (ja) ヒートポンプ熱源機