JP2006522997A - ノズル装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ノズル流路の内輪郭は、少なくとも部分的に凹面状に形成されている。
Description
Claims (23)
- 特に、流体を真空室に噴射するための、ノズル装置(1,1´,28)であって、所定の内輪郭(19,19´)を有するノズル流路(18,18´)を具備し、このノズル流路(18,18´)は、出口開口部(17,17´)に通じているノズル装置において、
前記ノズル流路(18,18´)の前記内輪郭(19,19´)は、少なくとも部分的に凹面状に形成されていることを特徴とするノズル装置(1,1´,28)。 - 前記ノズル流路(18,18´)の前記内輪郭(19,19´)は、放物線状の形状を有することを特徴とする請求項1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル流路(18,18´)は、前記出口開口部(17,17´)に隣接する領域に、凹面状のまたは放物線状の内輪郭(19,19´)を有することを特徴とする請求項1または2に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル流路(18,18´)は、ノズル本体(6,6´)に延びており、このノズル本体(6,6´)は、少なくとも部分的に、凸面状の外輪郭(20)を有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル本体(6,6´)は、放物線状の外輪郭(20)を有することを特徴とする請求項4に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル本体(6,6´)は、前記出口開口部(17,17´)に隣接する領域に、凸面状のまたは放物線状の外輪郭(20)を有することを特徴とする請求項4または5に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル本体(6,6´)は、石英、サファイアまたはガラスからなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル本体(6,6´)は、透明な材料からなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記出口開口部(17,17´)は、1μmないし0.5mmの範囲の内径を有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル本体(6,6´)は、熱伝導性の材料からなることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ノズル本体(6,6´)は、供給管(2,2´)に接続されており、前記ノズル本体(6,6´)と前記供給管(2,2´)との間には、シール(3,3´)が設けられていることを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記シール(3,3´)は、前記ノズル本体(6,6´)および/または前記供給管(2,2´)よりも著しく軟らかい材料からなることを特徴とする請求項11に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記シール(3,3´)は、プラスチックからなることを特徴とする請求項12に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記供給管(2,2´)は、0.1mmないし5mmの範囲の内径を有することを特徴とする請求項11ないし13のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記シール(3,3´)は、0.01mmないし5mmの範囲の内径を有することを特徴とする請求項11ないし14のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記供給管(2,2´)と、前記シール(3,3´)と、前記ノズル流路(18,18´)との内径は、2倍未満だけ異なっていることを特徴とする請求項11ないし15のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記供給管(2,2´)の、前記シール(3,3´)のおよび/または前記ノズル流路(18,18´)の接続のために、ねじ込み接続部が設けられていることを特徴とする請求項11ないし16のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ねじ込み接続部は、前記供給管(2,2´)と螺着可能なねじ込みスリーブ(4)およびこのねじ込みスリーブ(4)と螺着可能なねじ込みキャップ(5,5´)からなることを特徴とする請求項17に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 前記ねじ込みキャップ(5,5´)は、このねじ込みキャップ(5,5´)をしっかり締め付けるために、ツール用の肩部(16、16´)を有することを特徴とする請求項18に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 少なくとも100バールの圧縮強さを有することを特徴とする前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(1,1´,28)。
- 真空室(22)と、流体ジェットをこの真空室に噴射するための、前記すべての請求項のいずれか1に記載のノズル装置(28)とを有する装置。
- 流体ジェットを前記ノズル装置(28)によって前記真空室(22)に噴射する工程と、
前記流体ジェットの噴射中または噴射後に前記ノズル装置(28)を真空にする工程とを有する、請求項21に記載の装置のための操作方法。 - 前記ノズル装置(28)を加熱することを特徴とする請求項21または22に記載の装置のための操作方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10308299A DE10308299A1 (de) | 2003-02-26 | 2003-02-26 | Düsenanordnung |
PCT/EP2004/001761 WO2004076071A1 (de) | 2003-02-26 | 2004-02-23 | Düsenanordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006522997A true JP2006522997A (ja) | 2006-10-05 |
Family
ID=32863906
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006501926A Pending JP2006522997A (ja) | 2003-02-26 | 2004-02-23 | ノズル装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080191051A1 (ja) |
EP (1) | EP1596988B1 (ja) |
JP (1) | JP2006522997A (ja) |
AT (1) | ATE347935T1 (ja) |
DE (2) | DE10308299A1 (ja) |
WO (1) | WO2004076071A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1672674A1 (de) | 2004-12-17 | 2006-06-21 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Untersuchungsverfahren und -system zur Hochdurchsatzmassenanalyse |
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- 2004-02-23 AT AT04713522T patent/ATE347935T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-02-23 JP JP2006501926A patent/JP2006522997A/ja active Pending
- 2004-02-23 WO PCT/EP2004/001761 patent/WO2004076071A1/de active IP Right Grant
- 2004-02-23 US US10/546,899 patent/US20080191051A1/en not_active Abandoned
- 2004-02-23 DE DE502004002294T patent/DE502004002294D1/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE502004002294D1 (de) | 2007-01-25 |
EP1596988B1 (de) | 2006-12-13 |
ATE347935T1 (de) | 2007-01-15 |
WO2004076071A1 (de) | 2004-09-10 |
EP1596988A1 (de) | 2005-11-23 |
DE10308299A1 (de) | 2004-09-16 |
US20080191051A1 (en) | 2008-08-14 |
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