JP2006505876A5

JP2006505876A5 -

Info

Publication number: JP2006505876A5
Application number: JP2005507067A
Authority: JP
Filing date: 2003-10-29
Publication date: 2009-01-29
Anticipated expiration: 2023-10-29

Claims

デバイスを製造するための複数のステップを含むプロセスのモデルを定義する処理と、
前記プロセスのステップの少なくとも一つのサブセットに対して、複数のインラインプロセスターゲットを定義する処理であって、前記モデルは前記インラインプロセスターゲットを、複数のプロセス出力パラメータに関係づける処理と、
前記インラインプロセスターゲットに対する確率制約の第１セットを定義する処理と、
前記プロセス出力パラメータに対する確率制約の第２セットを定義する処理と、
前記モデルと、前記複数のプロセス出力パラメータに基づき、目的関数を定義する処理と、
プロセスの各ステップにおいて、前記インラインプロセスターゲットに対する値を決定するために、プロセスの各ステップに対し、確率制約の第１及び第２セットを条件として、目的関数を最適化することにより、プロセス出力パラメータのトラジェクトリを決定する処理であって、プロセスの残りのステップのために、各ステップ完了後に最適化を繰り返す処理とを含む方法。
前記目的関数を最適化する処理が更に、個々の確率制約技術を用いて、前記制約の第１及び第２セットを条件として、前記目的関数を最適化する処理を含む、請求項１記載の方法。
前記目的関数を最適化する処理が更に、共有の確率制約技術を用いて、前記制約の第１及び第２セットを条件として、前記目的関数を最適化する処理を含む、請求項１記載の方法。
前記確率制約の第１セットを定義する処理が更に、前記インラインプロセスターゲットの値域に対して、確率制約を定義する処理を含む、請求項１に記載の方法。
前記確率制約の第１セットを定義する処理が更に、前記インラインプロセスターゲットにおける変更に対するステップサイズの値域に対して、確率制約を定義する処理を更に含む、請求項１記載の方法。
前記確率制約の第２セットを定義する処理が更に、前記プロセス出力パラメータに対する値域に対して確率制約を定義する処理を含む、請求項１記載の方法。
前記確率制約の第１セットを定義する処理が更に、制約に対するバックオフを定義する処理を含む、請求項１記載の方法。
前記確率制約の第１及び第２セットのうちの一つが満たされえないことを決定する処理と、
前記確率制約の第１及び第２セットの少なくとも一つを変更する処理と、
前記変更された前記確率制約の第１及び第２セットの一つに基づき、トラジェクトリを決定する処理とを更に含む、請求項１記載の方法。
複数のステップを経てデバイスを製造するための複数のツールと、
前記ツールの少なくとも一つのサブセットに関連する複数のプロセスコントローラを含み、各プロセスコントローラは、インラインプロセスターゲットに基づき、少なくとも一つの関連ツールのプロセスを制御するように構成されており、
デバイスを製造するために、前記プロセスステップのモデルを採用するように構成されており、前記モデルは、前記インラインプロセスターゲットを複数のプロセス出力パラメータに関係づけるものであって、前記インラインプロセスターゲットに対する確率制約の第１セットを定義し、前記プロセス出力パラメータに対する確率制約の第２セットを定義し、前記モデル、及び、前記複数のプロセス出力パラメータに基づく目的関数を定義し、かつ、関連のプロセスコントローラを持つ、各プロセスステップにおけるインラインプロセスターゲットに対する値を決定するために、各プロセスステップに対する、確率制約の第１及び第２セットを条件として、目的関数を最適化することにより、プロセス出力パラメータのトラジェクトリを決定し、前記最適化が残りのプロセスステップのために、各プロセスステップの完了後に繰り返されるように構成される監視コントローラとを含む、システム。
前記監視コントローラが更に、個々の確率制約技術を用いて、前記制約の第１及び第２セットを条件として、前記目的関数を最適化するように構成されている、請求項９記載のシステム。
前記監視コントローラが更に、共有の確率制約技術を用いて、前記制約の第１及び第２セットを条件として、前記目的関数を最適化するように構成されている、請求項９記載のシステム。
前記監視コントローラが更に、前記インラインプロセスターゲットの値域に対して、前記確率制約を定義するように構成されている、請求項９記載のシステム。
前記監視コントローラが更に、前記インラインプロセスターゲットにおける変更に対するステップサイズの値域に対して、確率制約を定義するように構成されている、請求項９記載のシステム。
前記監視コントローラが更に、前記確率制約の第１及び第２セットのうちの一つが満たされえないことを決定し、前記確率制約の第１及び第２セットのうち少なくとも一つを変更し、かつ、前記変更された前記確率制約の第１及び第２セットの一つに基づき、前記トラジェクトリを決定するように構成されている、請求項９記載のシステム。