JP2006349496A - シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】高精度のピッチで磁気測定点を設定であり且つ熱雑音を抑制可能なシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサを提供する。
【解決手段】ピックアップコイル(1),ジョセフソン接合(2),シャント抵抗(3),ダンピング抵抗(4)およびフィードバックコイル(5)を含むSQUIDセンサ(10)を、複数個、1枚の基板(11)上に、半導体薄膜プロセスにより、2次元配列して形成する。
【効果】小動物の脳磁や心磁の測定に好適となる。
【選択図】図1
【解決手段】ピックアップコイル(1),ジョセフソン接合(2),シャント抵抗(3),ダンピング抵抗(4)およびフィードバックコイル(5)を含むSQUIDセンサ(10)を、複数個、1枚の基板(11)上に、半導体薄膜プロセスにより、2次元配列して形成する。
【効果】小動物の脳磁や心磁の測定に好適となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサに関し、さらに詳しくは、高精度のピッチで磁気測定点を設定であり且つ熱雑音を抑制可能なシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサに関する。
従来、2.5mm角のSQUID磁気センサ・チップを、複数個、1枚のガラスエポキシ基板に配列して固着したマルチチャンネル磁気センサが知られている(例えば、非特許文献1参照。)。
他方、複数のSQUIDを集積回路化したロジック回路が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。
また、複数のSQUIDを直列接続したSQUIDアレイによる増幅回路が知られている(例えば、特許文献3参照。)。
他方、複数のSQUIDを集積回路化したロジック回路が知られている(例えば、特許文献1、特許文献2参照。)。
また、複数のSQUIDを直列接続したSQUIDアレイによる増幅回路が知られている(例えば、特許文献3参照。)。
J.Kawai et.al, "A 9-channel relaxation oscillation SQUID magnetometer system integrated in a 16mm×16mm area", Superconductor Science Technology 14 (2001) 1081-1085
特開2004−153282号公報
特開平11−211798号公報
特開平10−242537号公報
上記非特許文献1に開示のマルチチャンネル磁気センサでは、複数個のSQUID磁気センサ・チップをガラスエポキシ基板上に高精度に配列する作業に手間がかかる上に、磁気測定点を高精度のピッチで設定できない問題点がある。また、配線幅が太い(細くても100μm程度)ため、異なるチャネルの配線パターンの隙間が詰まってクロストークが起きたり、熱雑音を発生しやすい問題点がある。
そこで、本発明の目的は、高精度のピッチで磁気測定点を設定であり且つクロストークや熱雑音を抑制可能なシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサを提供することにある。
なお、上記特許文献1〜3に記載の技術は、磁気センサではなく、ロジック回路または増幅回路である。
そこで、本発明の目的は、高精度のピッチで磁気測定点を設定であり且つクロストークや熱雑音を抑制可能なシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサを提供することにある。
なお、上記特許文献1〜3に記載の技術は、磁気センサではなく、ロジック回路または増幅回路である。
第1の観点では、本発明は、ピックアップコイル(1),ジョセフソン接合(2)およびフィードバックコイル(5)を含むSQUID磁気センサ(10)を、複数個、1枚の基板(11)上に1次元または2次元配列して半導体薄膜プロセスにより形成したことを特徴とするシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)を提供する。
上記第1の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)では、ピックアップコイル(1)〜フィードバックコイル(5)を含むSQUID磁気センサ(10)を、複数個、1枚の基板(11)上に半導体薄膜プロセスにより形成するため、高精度のピッチでSQUID磁気センサ(10)を1次元または2次元配列できる。すなわち、μmオーダーの位置精度で磁気測定点を1次元または2次元配列することが出来る。また、配線幅を数μmまで細くできるため、異なるチャネルの配線パターンの隙間をあけてクロストークを抑制できると共に、熱雑音の発生も抑制できる。
なお、基板(11)は、半導体基板でもガラス基板でもよい。
上記第1の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)では、ピックアップコイル(1)〜フィードバックコイル(5)を含むSQUID磁気センサ(10)を、複数個、1枚の基板(11)上に半導体薄膜プロセスにより形成するため、高精度のピッチでSQUID磁気センサ(10)を1次元または2次元配列できる。すなわち、μmオーダーの位置精度で磁気測定点を1次元または2次元配列することが出来る。また、配線幅を数μmまで細くできるため、異なるチャネルの配線パターンの隙間をあけてクロストークを抑制できると共に、熱雑音の発生も抑制できる。
なお、基板(11)は、半導体基板でもガラス基板でもよい。
第2の観点では、本発明は、上記第1の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)において、前記基板(11)の周縁にパッド(12)が配設され、個々のSQUID磁気センサ(10)と前記パッド(12)を接続する配線パターン(13,14)が超伝導体であることを特徴とするシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)を提供する。
上記第2の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)では、配線パターン(13,14)が超伝導体であるため、熱雑音の問題がなくなる。
上記第2の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)では、配線パターン(13,14)が超伝導体であるため、熱雑音の問題がなくなる。
第3の観点では、本発明は、前記第1または前記第2の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)において、個々のSQUID磁気センサ(10)のピックアップコイル(1)は、同形の複数個のセクタ形コイル(1a)を全体として円形状になるように配置すると共に並列接続した構成であることを特徴とするシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)を提供する。
上記第3の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサでは、セクタ形コイル(1a)を並列接続することによってインダクタンスを小さくすることが出来る。また、全体として円形状にすることにより、隣接したチャネルでコイル辺が平行に近接することがなくなり、隣り合うSQUID磁気センサ(10)間のクロストークを最小限にすることが出来る。
上記第3の観点によるシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサでは、セクタ形コイル(1a)を並列接続することによってインダクタンスを小さくすることが出来る。また、全体として円形状にすることにより、隣接したチャネルでコイル辺が平行に近接することがなくなり、隣り合うSQUID磁気センサ(10)間のクロストークを最小限にすることが出来る。
本発明のシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサによれば、μmオーダーの位置精度で磁気測定点を1次元または2次元配列することが出来る。また、異なるチャネル間のクロストークを抑制できると共に、熱雑音の発生も抑制でき、例えば小動物の脳磁や心磁の磁気分布を好適に測定できる。
以下、図に示す実施例により本発明をさらに詳細に説明する。なお、これにより本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1に係るシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ100を示す概念図である。
このシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ100は、1枚の半導体基板11上に、9個の独立したSQUID磁気センサ10の2次元配列を、半導体薄膜プロセスにより形成したものである。
このシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ100は、1枚の半導体基板11上に、9個の独立したSQUID磁気センサ10の2次元配列を、半導体薄膜プロセスにより形成したものである。
一つのSQUID磁気センサ10は、ピックアップコイル1と、ジョセフソン接合2,2’と、シャント抵抗3,3’と、ダンピング抵抗4と、フィードバックコイル5から構成されたSQUIDマグネトメータである。
半導体基板11は、10mm×10mmのSiチップである。
SQUID磁気センサ10のピッチは、2.75mmである。
SQUID磁気センサ10の磁束密度分解能は、10fT/√Hzである。100fT/√Hz以下が望ましい。
SQUID磁気センサ10のピッチは、2.75mmである。
SQUID磁気センサ10の磁束密度分解能は、10fT/√Hzである。100fT/√Hz以下が望ましい。
図2は、シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ100の平面図である。
一つのピックアップコイル1は、同形の6個のセクタ形コイルを全体として円形状になるように配置して形成されている。
一つのフィードバックコイル5は、セクタ形コイルであり、ピックアップコイル1の1個のセクタ形コイルとオーバーラップして形成されている。
一つのピックアップコイル1は、同形の6個のセクタ形コイルを全体として円形状になるように配置して形成されている。
一つのフィードバックコイル5は、セクタ形コイルであり、ピックアップコイル1の1個のセクタ形コイルとオーバーラップして形成されている。
このシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ100は、フリップチップで基板に接続可能になっている。
図3は、一つのSQUID磁気センサ10の集積構造図である(配線パターンは省略)。
ピックアップコイル1は、同形の6個のセクタ形コイル1aを、全体として円形状になるように配置し、且つ、並列接続して、形成されている。
ピックアップコイル1は、同形の6個のセクタ形コイル1aを、全体として円形状になるように配置し、且つ、並列接続して、形成されている。
図4は、一つのSQUID磁気センサ10の回路図である。
ピックアップコイル1は、同形の6個のセクタ形コイル1aを全体として円形状になるように配置し且つ並列接続して形成されている。
ピン12への配線パターン13,14は、幅10μmであり、超伝導材からなる。これはクロストークや熱雑音を抑制するためである。また、往路と復路をなるべくオーバーラップして形成されている。これは配線パターン13,14を通じてのクロストークを最小限にするためである。
ピックアップコイル1は、同形の6個のセクタ形コイル1aを全体として円形状になるように配置し且つ並列接続して形成されている。
ピン12への配線パターン13,14は、幅10μmであり、超伝導材からなる。これはクロストークや熱雑音を抑制するためである。また、往路と復路をなるべくオーバーラップして形成されている。これは配線パターン13,14を通じてのクロストークを最小限にするためである。
実施例1に係るシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ100によれば、次の効果が得られる。
(1)単一のSiチップに独立した複数のSQUID磁気センサ10を半導体薄膜プロセスにより集積しているので、μmオーダーの位置精度で磁気測定点を1次元または2次元配列することが出来る。
(2)配線パターン13,14の幅を数μmまで細くできるため、異なるチャネルの配線パターン13,14の隙間をあけてクロストークを抑制できると共に、熱雑音の発生も抑制できる。
(3)配線パターン13,14を超伝導材とするため、熱雑音の発生を抑制できる。
(4)配線パターン13,14の往路と復路をなるべくオーバーラップさせているので、配線パターン13,14を通じてのクロストークを最小限にすることが出来る。
(5)複数のセクタ形コイル1aを並列接続しているので、ピックアップコイル1のインダクタンスを小さくすることが出来る。
(6)ピックアップコイル1を全体として円形状にしているので、隣り合うSQUID磁気センサ10間に隣接した平行辺がなく、クロストークを最小限にすることが出来る。
(7)フリップチップで基板に接続可能になっているため、ボンディングは不要であり、クロストークを低減できる。
(1)単一のSiチップに独立した複数のSQUID磁気センサ10を半導体薄膜プロセスにより集積しているので、μmオーダーの位置精度で磁気測定点を1次元または2次元配列することが出来る。
(2)配線パターン13,14の幅を数μmまで細くできるため、異なるチャネルの配線パターン13,14の隙間をあけてクロストークを抑制できると共に、熱雑音の発生も抑制できる。
(3)配線パターン13,14を超伝導材とするため、熱雑音の発生を抑制できる。
(4)配線パターン13,14の往路と復路をなるべくオーバーラップさせているので、配線パターン13,14を通じてのクロストークを最小限にすることが出来る。
(5)複数のセクタ形コイル1aを並列接続しているので、ピックアップコイル1のインダクタンスを小さくすることが出来る。
(6)ピックアップコイル1を全体として円形状にしているので、隣り合うSQUID磁気センサ10間に隣接した平行辺がなく、クロストークを最小限にすることが出来る。
(7)フリップチップで基板に接続可能になっているため、ボンディングは不要であり、クロストークを低減できる。
SQUID磁気センサ10は、Ketchen型と呼ばれるものでもよい。
SQUID磁気センサ10を1次元配列としてもよい。
本発明のシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサは、小動物の脳磁や心磁の測定に利用できる。
1 ピックアップコイル
2,2’ ジョセフソン接合
3,3’ シャント抵抗
4 ダンピング抵抗
5 フィードバック抵抗
10 SQUID磁気センサ
11 半導体基板
12 ピン
13,14 配線パターン
100 シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ
2,2’ ジョセフソン接合
3,3’ シャント抵抗
4 ダンピング抵抗
5 フィードバック抵抗
10 SQUID磁気センサ
11 半導体基板
12 ピン
13,14 配線パターン
100 シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ
Claims (3)
- ピックアップコイル(1),ジョセフソン接合(2)およびフィードバックコイル(5)を含むSQUID磁気センサ(10)を、複数個、1枚の基板(11)上に1次元または2次元配列して半導体薄膜プロセスにより形成したことを特徴とするシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)。
- 請求項1に記載のシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)において、前記基板(11)の周縁にパッド(12)が配設され、個々のSQUID磁気センサ(10)と前記パッド(12)を接続する配線パターン(13,14)が超伝導体であることを特徴とするシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)。
- 請求項1または請求項2に記載のシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)において、個々のSQUID磁気センサ(10)のピックアップコイル(1)は、同形の複数個のセクタ形コイル(1a)を全体として円形状になるように配置すると共に並列接続した構成であることを特徴とするシングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ(100)。
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JP2005175817A JP2006349496A (ja) | 2005-06-16 | 2005-06-16 | シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2005
- 2005-06-16 JP JP2005175817A patent/JP2006349496A/ja active Pending
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