JPH0499979A - Ｓｑｕｉｄ磁束計 - Google Patents
Ｓｑｕｉｄ磁束計Info
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- JPH0499979A JPH0499979A JP2217193A JP21719390A JPH0499979A JP H0499979 A JPH0499979 A JP H0499979A JP 2217193 A JP2217193 A JP 2217193A JP 21719390 A JP21719390 A JP 21719390A JP H0499979 A JPH0499979 A JP H0499979A
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- 241000238366 Cephalopoda Species 0.000 title claims abstract description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 34
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims abstract description 20
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 23
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 13
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 4
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 239000002887 superconductor Substances 0.000 description 4
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229910020012 Nb—Ti Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-RNFDNDRNSA-N helium-8 atom Chemical compound [8He] SWQJXJOGLNCZEY-RNFDNDRNSA-N 0.000 description 1
- 230000001976 improved effect Effects 0.000 description 1
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 210000004126 nerve fiber Anatomy 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
高感度の磁気センサとして用いられるＳＱＵＩＤ磁束計
に関し、 高い寸法精度でピックアップコイルを形成することがで
き、このピックアップコイルを被計測体の形状に合わせ
て配置することができ、微弱な生体磁気等を高感度で計
測できるＳＱＵＩＤ磁束計を提供することを目的とし、 使用温度と常温との間の熱サイクルに耐える高分子有機
材料の可曲性基板上に形成された薄膜配線からなるピッ
クアップコイルと、超伝導薄膜からなるＳＱＵＩＤセン
サから構成した。
に関し、 高い寸法精度でピックアップコイルを形成することがで
き、このピックアップコイルを被計測体の形状に合わせ
て配置することができ、微弱な生体磁気等を高感度で計
測できるＳＱＵＩＤ磁束計を提供することを目的とし、 使用温度と常温との間の熱サイクルに耐える高分子有機
材料の可曲性基板上に形成された薄膜配線からなるピッ
クアップコイルと、超伝導薄膜からなるＳＱＵＩＤセン
サから構成した。
また、薄膜配線からなるピックアップコイルを使用温度
と常温との間の熱サイクルに耐える高分子有機材料の可
曲性基板上に形成し、ＳＱＵＩＤセンサを他の基板上に
形成して、その間を超伝導接続して構成した。
と常温との間の熱サイクルに耐える高分子有機材料の可
曲性基板上に形成し、ＳＱＵＩＤセンサを他の基板上に
形成して、その間を超伝導接続して構成した。
そして、上記の高分子有機材料をポリイミド樹脂で構成
し、ピックアップコイルを除く配線の少なくとも一部に
接近して超伝導薄膜からなるグランドプレーンを設けた
。
し、ピックアップコイルを除く配線の少なくとも一部に
接近して超伝導薄膜からなるグランドプレーンを設けた
。
本発明は、高感度の磁気センサとして用いられるＳＱＵ
ＩＤ （ＳｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇＱｕａｎｔｕ
ｍ ＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅＤｅｖｉｃｅ）磁束計
に関するものである。
ＩＤ （ＳｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇＱｕａｎｔｕ
ｍ ＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅＤｅｖｉｃｅ）磁束計
に関するものである。
ＳＱＵＩＤを用いた高感度センサは、生体内において、
神経繊維中を流れる電流などによって生じる微弱な磁気
を計測する上で不可欠であり、近年、脳や心臓などの広
範囲の磁界分布を測定するため、ＳＱＵＩＤセンサを多
数系統配列した多チャネルＳＱＵＩＤの開発も進められ
ている。
神経繊維中を流れる電流などによって生じる微弱な磁気
を計測する上で不可欠であり、近年、脳や心臓などの広
範囲の磁界分布を測定するため、ＳＱＵＩＤセンサを多
数系統配列した多チャネルＳＱＵＩＤの開発も進められ
ている。
従来から、ＳＱＵＩＤ磁束計は、ピックアップコイルと
ＳＱＵＩＤセンサから構成され、ピックアップコイルと
ＳＱＵＩＤセンサの間は、磁界結合されている。
ＳＱＵＩＤセンサから構成され、ピックアップコイルと
ＳＱＵＩＤセンサの間は、磁界結合されている。
そして、ＳＱＵＩＤ磁束計用ピックアップコイルは、通
常、Ｎｂ−Ｔｉ合金等からなる超伝導線を立体的コイル
状に巻いたもの、あるいは、シリコン等の材料からなる
基板上に形成されたＮｂ等からなる超伝導薄膜をループ
状にパターン加工したものが用いられている。
常、Ｎｂ−Ｔｉ合金等からなる超伝導線を立体的コイル
状に巻いたもの、あるいは、シリコン等の材料からなる
基板上に形成されたＮｂ等からなる超伝導薄膜をループ
状にパターン加工したものが用いられている。
そして、これらのピックアップコイルは、地磁気などの
外部磁気の影響を排除するため、１次微分型や２次微分
型など、形状、配置に工夫が施されている。
外部磁気の影響を排除するため、１次微分型や２次微分
型など、形状、配置に工夫が施されている。
従来知られていたＳＱＵＩＤ磁束計を用いて生体磁気な
どを測定する場合、超伝導線を用いたコイルは立体的に
構成しやすいため、脳や心臓等の被計測体の形状に合わ
せてピックアップコイルを配列することが可能であるが
、高い寸法精度でコイルを形成することが難しいため、
ピックアップコイルやＳＱＵＩＤセンサの配線等の超伝
導線間のクロストークの低減が容易でないなどの問題点
がある。
どを測定する場合、超伝導線を用いたコイルは立体的に
構成しやすいため、脳や心臓等の被計測体の形状に合わ
せてピックアップコイルを配列することが可能であるが
、高い寸法精度でコイルを形成することが難しいため、
ピックアップコイルやＳＱＵＩＤセンサの配線等の超伝
導線間のクロストークの低減が容易でないなどの問題点
がある。
他方、基板上に形成した超伝導材料薄膜をループ状にパ
ターン加工して形成した平面的なコイルは、リソグラフ
ィーの技術などによって高い寸法精度で加工することが
可能であり、また、ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセ
ンサを同一基板上に形成することができるため、超伝導
配線間のクロストークを低減することができる等の利点
があるが、ピックアップコイルが平面型に限られるため
、被計測体の形状に合わせてピックアップコイルを配置
するには工夫が必要であった。
ターン加工して形成した平面的なコイルは、リソグラフ
ィーの技術などによって高い寸法精度で加工することが
可能であり、また、ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセ
ンサを同一基板上に形成することができるため、超伝導
配線間のクロストークを低減することができる等の利点
があるが、ピックアップコイルが平面型に限られるため
、被計測体の形状に合わせてピックアップコイルを配置
するには工夫が必要であった。
本発明は、高い寸法精度でピックアップコイルを形成す
ることができ、このピックアップコイルを被計測体の形
状に合わせて配置することができ、微弱な生体磁気等を
高感度で計測できるＳＱＵＩＤ磁束計を提供することを
目的とする。
ることができ、このピックアップコイルを被計測体の形
状に合わせて配置することができ、微弱な生体磁気等を
高感度で計測できるＳＱＵＩＤ磁束計を提供することを
目的とする。
〔課題を解決するための手段〕
本発明にかかるＳＱＵＩＤ磁束計においては、使用温度
と常温との間の熱サイクルに耐える高分子有機材料の可
曲性基板上に形成された薄膜配線からなるピックアップ
コイルと、超伝導薄膜からなるＳＱＵＩＤセンサから構
成した。
と常温との間の熱サイクルに耐える高分子有機材料の可
曲性基板上に形成された薄膜配線からなるピックアップ
コイルと、超伝導薄膜からなるＳＱＵＩＤセンサから構
成した。
また、上記の高分子有機材料の可曲性基板上に薄膜配線
からなるピックアップコイルを形成し、他の基板上にＳ
ＱＵＩＤセンサを形成して、その間を超伝導接続して構
成した。
からなるピックアップコイルを形成し、他の基板上にＳ
ＱＵＩＤセンサを形成して、その間を超伝導接続して構
成した。
また、この高分子有機材料としてポリイミド樹脂を採用
した。
した。
そしてまた、ピックアップコイルを除く配線の少な（と
も一部に、接近して超伝導薄膜からなるグランドプレー
ンを設けた。
も一部に、接近して超伝導薄膜からなるグランドプレー
ンを設けた。
本発明の上記構成によれば、平面状の基板に形成された
薄膜を加工してピックアップコイルを形成するため、完
熟したリソグラフィー技術を用いて、高い寸法精度でパ
ターン加工することが可能であるため、配線間のクロス
トークを低減でき、使用温度と常温との間の熱サイクル
に耐える高分子有機材料の可曲性基板を使用するため、
この基板を湾曲させて地磁気等の外部磁気の影響を低減
することができ、また、被計測体の形状に合わせて立体
的に構成でき、さらに、配線に接近して超伝導薄膜から
なるグランドプレーンを設けたことにより、配線のイン
ダクタンスを低減でき、外部磁界を遮蔽できるから、広
範囲にわたる被計測体の磁界分布を正確に計測できる。
薄膜を加工してピックアップコイルを形成するため、完
熟したリソグラフィー技術を用いて、高い寸法精度でパ
ターン加工することが可能であるため、配線間のクロス
トークを低減でき、使用温度と常温との間の熱サイクル
に耐える高分子有機材料の可曲性基板を使用するため、
この基板を湾曲させて地磁気等の外部磁気の影響を低減
することができ、また、被計測体の形状に合わせて立体
的に構成でき、さらに、配線に接近して超伝導薄膜から
なるグランドプレーンを設けたことにより、配線のイン
ダクタンスを低減でき、外部磁界を遮蔽できるから、広
範囲にわたる被計測体の磁界分布を正確に計測できる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
（１）第１実施例
第１図（ａ）〜（Ｃ）は、本発明の第１実施例のＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成説明図である。
ＩＤ磁束計の構成説明図である。
この図において、１はポリイミド樹脂フィルム、２ば超
伝導薄膜をパターン加工したピックアップコイル、３は
ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセンサの磁界結合、４
はジョセフソン接合、５はＳＱＵＩＤセンサ、８はクラ
イオスタンド、９は液体ヘリウム、ｌＯは被計測体、Ａ
はＳＱＵＩＤ磁束計である。
伝導薄膜をパターン加工したピックアップコイル、３は
ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセンサの磁界結合、４
はジョセフソン接合、５はＳＱＵＩＤセンサ、８はクラ
イオスタンド、９は液体ヘリウム、ｌＯは被計測体、Ａ
はＳＱＵＩＤ磁束計である。
ｉ 第１実施態様
第１図（ａ）は、第１実施態様を示す概略斜視図である
。
。
このＳＱＵＩＤ磁束計Ａにおいては、ポリイミド樹脂の
フィルム１の上に、超伝導薄膜をパターン加工したピッ
クアップコイル２と、２つのジョセフソン接合４を有す
るＳＱＵＩＤセンサ５の両者が形成され、ピックアップ
コイル２とＳＱ’ＵＩＤセンサ５の間は磁界結合３によ
って結合されている。
フィルム１の上に、超伝導薄膜をパターン加工したピッ
クアップコイル２と、２つのジョセフソン接合４を有す
るＳＱＵＩＤセンサ５の両者が形成され、ピックアップ
コイル２とＳＱ’ＵＩＤセンサ５の間は磁界結合３によ
って結合されている。
この実施態様が、従来のＳＱＵＩＤ磁束計と異なる点は
、ピックアップコイル２と、ＳＱＵＩＤセンサ５を形成
する基板１として、使用温度と常温との間の熱サイクル
に耐える高分子有機材料である可曲性を有するポリイミ
ド樹脂のフィルムを用いた点である。
、ピックアップコイル２と、ＳＱＵＩＤセンサ５を形成
する基板１として、使用温度と常温との間の熱サイクル
に耐える高分子有機材料である可曲性を有するポリイミ
ド樹脂のフィルムを用いた点である。
そのため、ピックアップコイル２と、ＳＱＵＩＤセンサ
５の正確なパターン加工が容易であり、ポリイミド樹脂
のフィルム１を湾曲させて立体的な構成をとることがで
きる。
５の正確なパターン加工が容易であり、ポリイミド樹脂
のフィルム１を湾曲させて立体的な構成をとることがで
きる。
１１ 第２実施態様
第１図（ｂ）は、第２実施態様を示す概略斜視図である
。
。
この実施態様は、第１実施態様として説明したＳＱＵＩ
Ｄ磁束計Ａにおいて、ピックアップコイル２のループを
ポリイミド樹脂のフィルム１の両端に分けて形成し、こ
のフィルム１の両端を湾曲させて、両ループを略平行に
配置して１次微分型ピックアップコイルを有する磁束計
として構成したものである。
Ｄ磁束計Ａにおいて、ピックアップコイル２のループを
ポリイミド樹脂のフィルム１の両端に分けて形成し、こ
のフィルム１の両端を湾曲させて、両ループを略平行に
配置して１次微分型ピックアップコイルを有する磁束計
として構成したものである。
このように、ポリイミド樹脂フィルム１の両端に形成さ
れたピックアップコイル２の各ループはほぼ平行して対
向しているから、両端ループを共通に通過する地磁気な
どの影響を相殺することができる。
れたピックアップコイル２の各ループはほぼ平行して対
向しているから、両端ループを共通に通過する地磁気な
どの影響を相殺することができる。
また、ポリイミド樹脂フィルム１を適宜湾曲して、ピッ
クアップコイル２とＳＱＵＩＤセンサ５の配線に生じる
外部磁気の影響を排除することができる。
クアップコイル２とＳＱＵＩＤセンサ５の配線に生じる
外部磁気の影響を排除することができる。
このＳＱＵＩＤ磁束計Ａにおいては基板としてポリイミ
ド樹脂フィルムを使用しているため、製造段階において
は、平面状にして加工を容易にし、完成した後に適宜目
的に応じて湾曲することができる。
ド樹脂フィルムを使用しているため、製造段階において
は、平面状にして加工を容易にし、完成した後に適宜目
的に応じて湾曲することができる。
ｉｉｉ 第３実施態様
第１図（Ｃ）は、第３実施態様を示す概略斜視図である
。
。
この実施態様においては、ポリイミド樹脂フィルム上に
形成された多チャネルＳＱＵＩＤ磁束計Ａ、を人間の脳
などの被計測体の形状に合致させたクライオスタット７
の壁面に貼りつけ、液体ヘリウム８を注入して全体を冷
却したＳ ＱＵ Ｉ ＤＶ１束計の使用態様を示してい
る。
形成された多チャネルＳＱＵＩＤ磁束計Ａ、を人間の脳
などの被計測体の形状に合致させたクライオスタット７
の壁面に貼りつけ、液体ヘリウム８を注入して全体を冷
却したＳ ＱＵ Ｉ ＤＶ１束計の使用態様を示してい
る。
この場合、ピックアップコイル２は、前述した１次微分
型であっても、また、これを組み合わせた２次型微分型
であっても適用できる。
型であっても、また、これを組み合わせた２次型微分型
であっても適用できる。
この実施態様においては、図示されているように、ポリ
イミド樹脂フィルム１を湾曲して被計測体の形状に合わ
せるから、被計測体の広範囲の磁界分布を正確に計測で
きる。
イミド樹脂フィルム１を湾曲して被計測体の形状に合わ
せるから、被計測体の広範囲の磁界分布を正確に計測で
きる。
（２）第２実施例
第２図（ａ）〜（Ｃ）は、本発明の第２実施例のＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成説明図である。
ＩＤ磁束計の構成説明図である。
この図において、６が従来使用されていたシリコン等の
材料からなる基板、７が接続導体である他は第１図にお
いて同符号を付して説明したものと同じである。
材料からなる基板、７が接続導体である他は第１図にお
いて同符号を付して説明したものと同じである。
ｉ 第１実施態様
第２図（ａ）は、第１実施態様を示す概略斜視図である
。
。
このＳＱＵＩＤ磁束計Ａは、ポリイミド樹脂のフィルム
１の上に、超伝導薄膜をパターン加工して形成されたピ
ックアップコイル２と、他の基板６上に形成された２つ
のジョセフソン接合４を有するＳＱＵＩＤセンサ５から
構成され、ピックアップコイル２とＳＱＵＩＤセンサ５
の間は接続導体７によって相互に超伝導接続されている
。
１の上に、超伝導薄膜をパターン加工して形成されたピ
ックアップコイル２と、他の基板６上に形成された２つ
のジョセフソン接合４を有するＳＱＵＩＤセンサ５から
構成され、ピックアップコイル２とＳＱＵＩＤセンサ５
の間は接続導体７によって相互に超伝導接続されている
。
この実施態様が、第１実施例の第１実施態様のＳＱＵＩ
Ｄ磁束計と異なる点は、ＳＱＵＩＤセンサ５を形成する
基板６が、ピックアップコイル２を形成するポリイミド
樹脂のフィルム１とは別体となっている点である。
Ｄ磁束計と異なる点は、ＳＱＵＩＤセンサ５を形成する
基板６が、ピックアップコイル２を形成するポリイミド
樹脂のフィルム１とは別体となっている点である。
そのため、ピックアップコイル２については、第１実施
例におけると同様な効果を奏し、その上に、ＳＱＵＩＤ
センサ５とピックアップコイル２の組合せが自由になる
から、ピックアップコイル２を被計測体の形状に合わせ
て種々な形状にし、これを画一的に形成されたＳＱＵＩ
Ｄセンサ５と組み合わせることができる。
例におけると同様な効果を奏し、その上に、ＳＱＵＩＤ
センサ５とピックアップコイル２の組合せが自由になる
から、ピックアップコイル２を被計測体の形状に合わせ
て種々な形状にし、これを画一的に形成されたＳＱＵＩ
Ｄセンサ５と組み合わせることができる。
１１ 第２実施態様
第２図（ｂ）は、第２実施態様を示す概略斜視図である
。
。
この実施態様は、第１実施例の第１実施態様に対応する
もので、特に説明を要しないが、ピックアップコイル２
の基板とＳＱＵＩＤセンサ５の基板が別体であることに
よる利点は前記の第２実施例の第１態様と同様である。
もので、特に説明を要しないが、ピックアップコイル２
の基板とＳＱＵＩＤセンサ５の基板が別体であることに
よる利点は前記の第２実施例の第１態様と同様である。
ｊｉ 第３実施態様
第２図（Ｃ）は、第３実施態様を示す概略斜視図である
。
。
この実施態様は、第１実施例の第１実施態様に対応する
もので、特に新たな説明を要しないが、ピックアップコ
イル２の基板とＳＱＵＩＤセンサ５の基板が別体である
ことによる利点は前記の第２実施例の第１態様と同様で
ある。
もので、特に新たな説明を要しないが、ピックアップコ
イル２の基板とＳＱＵＩＤセンサ５の基板が別体である
ことによる利点は前記の第２実施例の第１態様と同様で
ある。
（３）第３実施例
５Ｑ＝ＵＩＤ磁束計の感度をさらに向上するには、配線
のインダクタンスを低減し、また、外部磁界から磁束計
を遮蔽することが必要である。
のインダクタンスを低減し、また、外部磁界から磁束計
を遮蔽することが必要である。
第３図（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施例の要部説
明図である。
明図である。
この図において、１または６は基板、１１は超伝導体か
らなるグランドプレーン、１２は絶縁体層、１３は超伝
導薄膜配線である。
らなるグランドプレーン、１２は絶縁体層、１３は超伝
導薄膜配線である。
第３図（ａ）は、ポリイミド樹脂フィルムからなる基板
１または６の上に、例えばＮｂをスバ・ツタ−した超伝
導体からなるグランドプレーン１１を積層し、その上に
絶縁体層１２を積層し、さらにその上に超伝導薄膜から
なる配線１３．１３を形成したものを示している。
１または６の上に、例えばＮｂをスバ・ツタ−した超伝
導体からなるグランドプレーン１１を積層し、その上に
絶縁体層１２を積層し、さらにその上に超伝導薄膜から
なる配線１３．１３を形成したものを示している。
この実施例による磁束計は、グランドプレーン１１が有
するマイスナー効果によって外部磁界から遮蔽され、ま
た配線１３．１３のインダクタンスおよび配線間のクロ
ストークが低減される。
するマイスナー効果によって外部磁界から遮蔽され、ま
た配線１３．１３のインダクタンスおよび配線間のクロ
ストークが低減される。
この場合、絶縁体層１２はグランドプレーン１１による
配線１３．１３間の短絡を防ぐため挿入されたものであ
る。
配線１３．１３間の短絡を防ぐため挿入されたものであ
る。
第３図（ｂ）は、ポリイミド樹脂フィルムからなる基板
１または６の裏面に、超伝導体からなるグランドプレー
ン１１を設け、基板１または６の表面に超伝導体の薄膜
からなる配線１３．１３を形成したものである。
１または６の裏面に、超伝導体からなるグランドプレー
ン１１を設け、基板１または６の表面に超伝導体の薄膜
からなる配線１３．１３を形成したものである。
この磁束計によると、第３図（ａ）に示された磁束計が
有する改善効果を奏するが、ポリイミド樹脂フィルムか
らなる基板１または６の厚さを絶縁体層１２はど薄（で
きないことが多いから、その効果は若干低くなる。
有する改善効果を奏するが、ポリイミド樹脂フィルムか
らなる基板１または６の厚さを絶縁体層１２はど薄（で
きないことが多いから、その効果は若干低くなる。
なお、上記の実施例においては、ピックアップコイルを
形成する超伝導材料をＮｂ等として説明したが、他の超
伝導材料であっても同様に適用できる。
形成する超伝導材料をＮｂ等として説明したが、他の超
伝導材料であっても同様に適用できる。
また、その場合使用される超伝導材料によって臨界温度
が異なるから、ポリイミド樹脂フィルムの他に、超伝導
材料の臨界温度と常温との間の熱サイクルに耐える高分
子有機材料の可曲性基板であれば使用できる。
が異なるから、ポリイミド樹脂フィルムの他に、超伝導
材料の臨界温度と常温との間の熱サイクルに耐える高分
子有機材料の可曲性基板であれば使用できる。
以上説明したように、本発明によれば、基板を平面状態
にしてピックアップコイルやＳＱＵＩＤセンサを形成す
ることによって、高い寸法精度の加工を行って、配線間
のクロストークを低減でき、また、基板が可曲性をもつ
から、基板を適宜湾曲することによって、外部磁気の影
響を低減し、また、被計測体の形状に合わせた立体的な
構成をとることが容易であり、そしてまた、グランドプ
レーンを設けることによって、配線のインダクタンスを
低減でき、また、外部磁気の影響を低減することができ
る。
にしてピックアップコイルやＳＱＵＩＤセンサを形成す
ることによって、高い寸法精度の加工を行って、配線間
のクロストークを低減でき、また、基板が可曲性をもつ
から、基板を適宜湾曲することによって、外部磁気の影
響を低減し、また、被計測体の形状に合わせた立体的な
構成をとることが容易であり、そしてまた、グランドプ
レーンを設けることによって、配線のインダクタンスを
低減でき、また、外部磁気の影響を低減することができ
る。
したがって、本発明によると高感度、高精度のＳＱＵＩ
Ｄ磁束計を提供でき、この技術分野において貢献すると
ころが大きい。
Ｄ磁束計を提供でき、この技術分野において貢献すると
ころが大きい。
第１図（ａ）〜（ｃ）は、本発明の第１実施例のＳＱＵ
ＩＤ磁束計の構成説明図、第２図（ａ）〜（Ｃ）は、本
発明の第２実施例のＳＱＵＩＤ磁束計の構成説明図、第
３図（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施例の要部説明
図である。 ■−ポリイミド樹脂フィルム、２・−ピックアップコイ
ル、３・−ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセンサの磁
界結合、４−ジョセフソン接合、５−３ＱＵＩＤセンサ
、６−基板、７−接続導体、８クライオスタンド、９−
液体ヘリウム、１〇−被計測体、１１−グランドプレー
ン、１２・−絶縁体層、１３−超伝導薄膜配線、Ａ−３
Ｑ Ｕ Ｉ Ｄ磁束計 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 相 谷 昭 司
ＩＤ磁束計の構成説明図、第２図（ａ）〜（Ｃ）は、本
発明の第２実施例のＳＱＵＩＤ磁束計の構成説明図、第
３図（ａ）、（ｂ）は、本発明の第３実施例の要部説明
図である。 ■−ポリイミド樹脂フィルム、２・−ピックアップコイ
ル、３・−ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセンサの磁
界結合、４−ジョセフソン接合、５−３ＱＵＩＤセンサ
、６−基板、７−接続導体、８クライオスタンド、９−
液体ヘリウム、１〇−被計測体、１１−グランドプレー
ン、１２・−絶縁体層、１３−超伝導薄膜配線、Ａ−３
Ｑ Ｕ Ｉ Ｄ磁束計 特許出願人 富士通株式会社 代理人弁理士 相 谷 昭 司
Claims (7)
- （１）、使用温度と常温との間の熱サイクルに耐える高
分子有機材料の可曲性基板上に形成された薄膜配線から
なるピックアップコイルと、超伝導薄膜からなるＳＱＵ
ＩＤセンサから構成されたＳＱＵＩＤ磁束計。 - （２）、使用温度と常温との間の熱サイクルに耐える高
分子有機材料の可曲性基板上に形成された薄膜配線から
なるピックアップコイルと、他の基板上に形成されたＳ
ＱＵＩＤセンサとから構成され、該ピックアップコイル
と該ＳＱＵＩＤセンサの間が超伝導接続されていること
を特徴とするＳＱＵＩＤ磁束計。 - （３）、請求項（１）に記載されたＳＱＵＩＤ磁束計に
おいて、高分子有機材料の可曲性基板の少なくとも一部
を湾曲して、ピックアップコイルとＳＱＵＩＤセンサが
同一平面にない形状に構成したことを特徴とするＳＱＵ
ＩＤ磁束計。 - （４）、請求項（２）に記載されたＳＱＵＩＤ磁束計に
おいて、高分子有機材料の可曲性基板の少なくとも一部
を湾曲して、ピックアップコイルを立体的形状に構成し
たことを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束計。 - （５）、請求項（１）ないし（４）のいずれか１つに記
載されたＳＱＵＩＤ磁束計において、ピックアップコイ
ルおよびＳＱＵＩＤセンサが複数の系統から構成された
ことを特徴とする多チャネルＳＱＵＩＤ磁束計。 - （６）、請求項（１）ないし（５）のいずれか１つに記
載されたＳＱＵＩＤ磁束計において、高分子有機材料が
ポリイミド樹脂であることを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束
計。 - （７）、請求項（１）ないし（６）のいずれか１つに記
載されたＳＱＵＩＤ磁束計において、ピックアップコイ
ルを除く配線の少なくとも一部に、該配線とは絶縁され
、かつ、これに接近して超伝導薄膜からなるグランドプ
レーンを設けたことを特徴とするＳＱＵＩＤ磁束計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2217193A JPH0499979A (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2217193A JPH0499979A (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0499979A true JPH0499979A (ja) | 1992-03-31 |
Family
ID=16700317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2217193A Pending JPH0499979A (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | Ｓｑｕｉｄ磁束計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0499979A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337297A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Kanazawa Inst Of Technology | 超伝導磁気センサ |
| JP2006349496A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Kanazawa Inst Of Technology | シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ |
| JP2008047784A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Yokogawa Electric Corp | 平面型ｓｑｕｉｄセンサ |
-
1990
- 1990-08-20 JP JP2217193A patent/JPH0499979A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006337297A (ja) * | 2005-06-06 | 2006-12-14 | Kanazawa Inst Of Technology | 超伝導磁気センサ |
| JP2006349496A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Kanazawa Inst Of Technology | シングルチップ集積型マルチチャンネル磁気センサ |
| JP2008047784A (ja) * | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Yokogawa Electric Corp | 平面型ｓｑｕｉｄセンサ |
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