JPH04265875A - 平面型グラジオメータ - Google Patents
平面型グラジオメータInfo
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- JPH04265875A JPH04265875A JP3027508A JP2750891A JPH04265875A JP H04265875 A JPH04265875 A JP H04265875A JP 3027508 A JP3027508 A JP 3027508A JP 2750891 A JP2750891 A JP 2750891A JP H04265875 A JPH04265875 A JP H04265875A
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- bonding
- detection coils
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高感度磁気センサ、電
流計、変位計、または高周波信号増幅器などに応用する
超伝導量子干渉素子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ
Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ：ＳＱＵＩＤと略す）に関するものである
。
流計、変位計、または高周波信号増幅器などに応用する
超伝導量子干渉素子（Ｓｕｐｅｒｃｏｎｄｕｃｔｉｎｇ
Ｑｕａｎｔｕｍ Ｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ
Ｄｅｖｉｃｅ：ＳＱＵＩＤと略す）に関するものである
。
【０００２】
【従来の技術】ＳＱＵＩＤ磁束計は高感度な磁場検出器
として利用されている。例えば１次微分型平面型グラジ
オメータは２個の検出コイルを逆方向に直列に接続して
構成され、地磁気などの一様磁場を消去し、１次磁場勾
配を検出することができる。図２は従来例を示す直交型
平面型グラジオメータの平面図である。２組の平面型グ
ラジオメータをベースライン（検出コイルの中心間距離
）の中心軸で互いに直交させて配置した構造である。 平面型グラジオメータによる磁場測定は、同一点で直交
する２方向の磁場勾配を測定することが必要であり、図
２に示した平面型グラジオメータの構造は同一点で直交
する２方向の磁場勾配を正確に検出することができる。 従来、２組の検出コイルの交差部６はすべて薄膜で形成
されていた。
として利用されている。例えば１次微分型平面型グラジ
オメータは２個の検出コイルを逆方向に直列に接続して
構成され、地磁気などの一様磁場を消去し、１次磁場勾
配を検出することができる。図２は従来例を示す直交型
平面型グラジオメータの平面図である。２組の平面型グ
ラジオメータをベースライン（検出コイルの中心間距離
）の中心軸で互いに直交させて配置した構造である。 平面型グラジオメータによる磁場測定は、同一点で直交
する２方向の磁場勾配を測定することが必要であり、図
２に示した平面型グラジオメータの構造は同一点で直交
する２方向の磁場勾配を正確に検出することができる。 従来、２組の検出コイルの交差部６はすべて薄膜で形成
されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の２組の検出コイ
ルの交差部６を薄膜プロセスによって形成するためには
、半導体などの製造プロセスなどで公知の通り多くの工
程が必要である。少なくとも下部配線堆積、下部配線パ
ターニング、層間絶縁膜堆積、コンタクトホール形成、
上部配線堆積、上部配線パターニングの工程が必要であ
り、工程が複雑で製造時間がかかり、歩留まりが低下す
る問題があった。
ルの交差部６を薄膜プロセスによって形成するためには
、半導体などの製造プロセスなどで公知の通り多くの工
程が必要である。少なくとも下部配線堆積、下部配線パ
ターニング、層間絶縁膜堆積、コンタクトホール形成、
上部配線堆積、上部配線パターニングの工程が必要であ
り、工程が複雑で製造時間がかかり、歩留まりが低下す
る問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の課題を
解決するため、同一平面上に構成され、ベースラインの
中心軸で互いに直交する２組の検出コイルを有する直交
型の平面型グラジオメータにおいて、前記２組の検出コ
イルの交差部をボンディングワイヤーにより構成した。
解決するため、同一平面上に構成され、ベースラインの
中心軸で互いに直交する２組の検出コイルを有する直交
型の平面型グラジオメータにおいて、前記２組の検出コ
イルの交差部をボンディングワイヤーにより構成した。
【０００５】
【作用】上記のような構造によれば、平面型グラジオメ
ータを製造するための薄膜プロセスはコイルパターンを
形成するための１層の工程のみであり、２組の検出コイ
ルの交差部はワイヤーボンディングという簡単な工程で
形成することができ、製造工程を少なくして簡単に直交
型の平面型グラジオメータを形成することができる。
ータを製造するための薄膜プロセスはコイルパターンを
形成するための１層の工程のみであり、２組の検出コイ
ルの交差部はワイヤーボンディングという簡単な工程で
形成することができ、製造工程を少なくして簡単に直交
型の平面型グラジオメータを形成することができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。 図１は本発明の実施例を示す平面型グ
ラジオメータの平面図である。１はボンディングワイヤ
ー、２はボンディングパッド、３は検出コイル部、４は
配線用パッド、５の点線で囲んだ部分はコイル交差部で
ある。ボンディングワイヤー１の材料としては、例えば
鉛インジウム金（Ｐｂ−Ｉｎ−Ａｕ）合金（Ｐｂ８０％
、Ｉｎ１６％、Ａｕ４％）、鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ
）合金（Ｐｂ８０％、Ｉｎ２０％）などが用いられるが
、ボンディング可能な超伝導線材であれば他の材料でも
良い。検出コイル部３、ボンディングパッド２、配線用
パッド４の材料としては、例えばニオブ（Ｎｂ）、窒化
ニオブ（ＮｂＮ）、鉛（Ｐｂ）、Ｐｂ−Ｉｎなどの超伝
導材料が用いられるが、他の超伝導材料を用いても良い
。また、ボンディングパッド２の表面にはバッファー層
として金（Ａｕ）薄膜が付加されることもある。ボンデ
ィングパッド２及びボンディングワイヤー１は超伝導材
料で構成されるので、ボンディングワイヤー１の両端の
コンタクト部は超伝導コンタクトとすることができる。
て説明する。 図１は本発明の実施例を示す平面型グ
ラジオメータの平面図である。１はボンディングワイヤ
ー、２はボンディングパッド、３は検出コイル部、４は
配線用パッド、５の点線で囲んだ部分はコイル交差部で
ある。ボンディングワイヤー１の材料としては、例えば
鉛インジウム金（Ｐｂ−Ｉｎ−Ａｕ）合金（Ｐｂ８０％
、Ｉｎ１６％、Ａｕ４％）、鉛インジウム（Ｐｂ−Ｉｎ
）合金（Ｐｂ８０％、Ｉｎ２０％）などが用いられるが
、ボンディング可能な超伝導線材であれば他の材料でも
良い。検出コイル部３、ボンディングパッド２、配線用
パッド４の材料としては、例えばニオブ（Ｎｂ）、窒化
ニオブ（ＮｂＮ）、鉛（Ｐｂ）、Ｐｂ−Ｉｎなどの超伝
導材料が用いられるが、他の超伝導材料を用いても良い
。また、ボンディングパッド２の表面にはバッファー層
として金（Ａｕ）薄膜が付加されることもある。ボンデ
ィングパッド２及びボンディングワイヤー１は超伝導材
料で構成されるので、ボンディングワイヤー１の両端の
コンタクト部は超伝導コンタクトとすることができる。
【０００７】上記のような平面型グラジオメータの構造
によれば、検出コイル部３、ボンディングパッド２、配
線用パッド４は薄膜プロセスにおいて同一層の薄膜堆積
、パターニングの工程で同時に形成することができ、コ
イル交差部５はボンディングワイヤー１をボンディング
パッド２にワイヤーボンディングする工程のみで形成す
ることができる。従って、平面型グラジオメータの製造
工程数が少なくなり、製造時間の短縮及び歩留まりの向
上が可能となる。
によれば、検出コイル部３、ボンディングパッド２、配
線用パッド４は薄膜プロセスにおいて同一層の薄膜堆積
、パターニングの工程で同時に形成することができ、コ
イル交差部５はボンディングワイヤー１をボンディング
パッド２にワイヤーボンディングする工程のみで形成す
ることができる。従って、平面型グラジオメータの製造
工程数が少なくなり、製造時間の短縮及び歩留まりの向
上が可能となる。
【０００８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、直
交型の平面型グラジオメータにおいて２組の検出コイル
の交差部をボンディングワイヤーにより構成することに
よってその製造工程数を簡単にすることができ、製造時
間の短縮及び歩留まりの向上が可能となる。
交型の平面型グラジオメータにおいて２組の検出コイル
の交差部をボンディングワイヤーにより構成することに
よってその製造工程数を簡単にすることができ、製造時
間の短縮及び歩留まりの向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示す平面型グラジオメータの
平面図である。 【図２】従来例を示す平面型グラジオメータの平面図で
ある。 【符号の説明】 １・・・ボンディングワイヤー ２・・・ボンディングパッド ３・・・検出コイル部 ４・・・配線用パッド ５・・・本発明の実施例によるコイル交差部６・・・従
来例によるコイル交差部
平面図である。 【図２】従来例を示す平面型グラジオメータの平面図で
ある。 【符号の説明】 １・・・ボンディングワイヤー ２・・・ボンディングパッド ３・・・検出コイル部 ４・・・配線用パッド ５・・・本発明の実施例によるコイル交差部６・・・従
来例によるコイル交差部
Claims (4)
- 【請求項１】同一平面上に構成され、ベースライン（検
出コイルの中心間距離）の中心軸で互いに直交する２組
の検出コイルを有する平面型グラジオメータにおいて、
前記２組の検出コイルの交差部をボンディングワイヤー
により構成したことを特徴とする平面型グラジオメータ
。 - 【請求項２】前記ボンディングワイヤーは超伝導体で構
成されていることを特徴とする請求項１記載の平面型グ
ラジオメータ。 - 【請求項３】前記ボンディングワイヤーの両端のコンタ
クト部は超伝導コンタクトで形成されていることを特徴
とする請求項１記載の平面型グラジオメータ。 - 【請求項４】前記２組の検出コイルは超伝導薄膜で形成
されていることを特徴とする請求項１記載の平面型グラ
ジオメータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3027508A JPH04265875A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 平面型グラジオメータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3027508A JPH04265875A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 平面型グラジオメータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265875A true JPH04265875A (ja) | 1992-09-22 |
Family
ID=12223078
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3027508A Pending JPH04265875A (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 平面型グラジオメータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04265875A (ja) |
Cited By (70)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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