JP2006349139A - 筐体の接合機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガラス窓3(接合部)周縁に配設されるシールを膨縮シール30とした。そして、膨縮シール30の内空部31に、圧縮空気を導入するための空気流通管路50を接続した。さらに、この空気流通管路50に、圧力計53及びマスフローメーター52を装着した。そして、圧力計53により空気流通管路50を通過する空気の圧力を継続的に測定すると共に、マスフローメーター52により流量を継続的に測定するようにした。
【選択図】図2
Description
アイソレーター装置1は、基台10を備えている。さらに、この基台10の上に、内部が除染された装置筐体2が保持されている。かかる構成にあって、装置筐体2の内部が気密的に遮閉化されることにより、局所的な清浄空間が構成される。なお、前記装置筐体2により、本発明に係る筐体が構成される。
上述のように、空気流通管路50を介して膨縮シール30に導入する圧縮空気は、圧力計53、及びマスフローメーター52により継続的に監視される。すなわち、膨縮シール30の内部圧力の変動が常時把握でき、膨縮シール30が所定の膨張状態にあるか等の状態検証が可能となる。そして、その検証により、間接的に、装置筐体2内の清浄度を確認することができる。例えば、圧力計53及びマスフローメーター52の測定値が、適正な範囲にあれば、膨縮シール30が適正に膨張状態にあると判定でき、除染状態が確保されて装置筐体2内は異常がないとすることができる。一方、圧力計53及びマスフローメーター52の測定値が、共に適正な範囲にないときは、この結果に基づいて異常発生の警告をすることができる。
2 装置筐体
3 ガラス窓(接合部)
30,30’ 膨縮シール
30a 当接部
31 内空部
35 凹溝
35a 開口部
50,70 空気流通管路
50a 空路
51 開閉バルブ
52 マスフローメーター
53 圧力計
61 角パイプ
62a バックアップ用陰圧吸入路
A,B 接合機構
D シール肉厚
Claims (9)
- 内部が除染された筐体の接合部にシールが密接されてなり、該接合部を介して空気が内外へ流通することを阻止する筐体の接合機構において、
前記シールが、接合部周縁に配設された、内空部を具備する管状の膨縮シールであって、該内空部に、空気流通路を介して空気源が接続されることにより、該内空部が所定圧に印加されてなると共に、該空気流通路を介して前記空気源から内空部へ空気が導入、又は内空部から外部へ空気が排出されることにより、当該内空部の内部圧力が変動して径方向に膨張又は収縮する構成であり、
前記空気流通路を通過する空気の流量及び/又は圧力を継続的に測定する通過空気管理手段を備えたことを特徴とする筐体の接合機構。 - 通過空気管理手段が、
空気流通路を通過する空気の流量を測定する流量測定手段と、
空気流通路を通過する空気の圧力を測定する圧力測定手段と
で構成されると共に、
前記流量測定手段により測定された空気の流量が、所定の流量適正範囲内にあるか否かを判定する流量適正範囲判定手段と、
前記圧力測定手段により測定された空気の圧力が、所定の圧力適正範囲内にあるか否かを判定する圧力適正範囲判定手段と、
膨縮シールのリークを報知するリーク報知手段と、
前記流量適正範囲判定手段が流量適正範囲内でないと判定し、かつ前記圧力適正範囲判定手段が圧力適正範囲内でないと判定した場合のみ、前記リーク報知手段により膨縮シールのリークを報知するリーク報知制御手段と
を備えたことを特徴とする請求項1記載の筐体の接合機構。 - 空気流通路に、当該空気流通路の空気流通を遮断する空気流通遮断装置を接続すると共に、
当該空気流通路内であって、前記空気流通遮断装置によって空気流通が遮断される空気流通遮断位置と膨縮シールの内空部との間に、空気が内在する空路を形成してなり、
通過空気管理手段が、空気流通遮断装置により、膨縮シール内空部へ流入しようとする空気流通を遮断し、かつ、前記空路を流動する空気の流量及び圧力を継続的に測定するものであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の筐体の接合機構。 - 膨縮シールと密接する当接部に、当接方向に開口する所定深さの凹溝が形成されてなると共に、該凹溝と膨縮シールとの間に形成された空隙が、当該膨縮シールの内空部に対して陰圧であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の筐体の接合機構。
- 凹溝と膨縮シールとの間に形成された空隙が、筐体の内部及び外部に対して陰圧であることを特徴とする請求項4記載の筐体の接合機構。
- 膨縮シールのシール肉厚にあって、凹溝の開口部と対向する部分のシール肉厚が、凹溝の開口部と対向しない部分のシール肉厚よりも薄肉であることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の筐体の接合機構。
- 膨縮シールの内空部に導入される空気が、除染させた空気であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の筐体の接合機構。
- 膨縮シールの配設位置に対して筐体内部寄り位置に、当該筐体の内部及び外部に対して陰圧となる陰圧空気吸入路が設けられてなり、当該接合部周縁を通過する空気が前記陰圧空気吸入路で吸引されてなることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の筐体の接合機構。
- 接合部周縁又はその近傍部から筐体内方へ起立してなるガイド壁が、当該膨縮シールの配設方向に沿って帯状に設けられ、該ガイド壁と接合部との間に形成された間隙を、陰圧空気吸入路としたことを特徴とする請求項8記載の筐体の接合機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005179364A JP4975278B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 筐体の接合機構 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006349139A true JP2006349139A (ja) | 2006-12-28 |
JP4975278B2 JP4975278B2 (ja) | 2012-07-11 |
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Country Status (1)
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