JP2006348210A - 光造形用光硬化性液状組成物、立体造形物及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)エチレン性不飽和モノマー50〜95質量%、(B)光重合開始剤0.01〜10質量%、(C)動的光散乱法による数平均粒径が5〜100nmである無機系微粒子3〜14質量%、及び(D)0.01質量%のエタノール溶液としたときの波長405nmの光の透過率が1%以下である光吸収剤0.1〜5質量%を含む光造形用光硬化性液状組成物。
【選択図】図1
Description
このような積層造形法としては、ノズルから樹脂混合物を吐出して熱硬化させる方法や、光積層造形法を利用する方法が知られている。このうち、光積層造形法は、微細な形状を成形し易い等の利点を有することから、その利用が積極的に検討されている。
ここで、光積層造形法としては、光硬化性樹脂液の薄層液面に光線を照射して、所望のパターンの断面を有する硬化物(断面硬化層)を形成し、次に、この断面硬化層の上に光硬化性樹脂液を1層分供給し、光線を照射して、断面硬化層をさらに形成し、以後、この操作を繰り返すことによって、複数の断面硬化層が積層し一体化してなる所望の形状を有する立体モデルを造形する方法が代表的である(非特許文献1参照)。
また、熱可塑性樹脂からなるバインダーにセラミック粉体等を混入したコンパウンドを、三次元的に移動する微細ノズルから吐出し、堆積、熱凝固させて三次元立体形状物を造形する方法が知られている(特許文献1参照)。
また、セラミック粉体を光硬化性バインダーに分散させたスラリーを、光積層造形法により光硬化させて、立体造形物を作製する方法が知られている(例えば、特許文献2〜5参照)。
さらに、立体造形物の力学特性を制御することを目的として、平均粒径1μm以上のシリカ粒子等を添加した光造形用樹脂組成物も知られている(特許文献6参照)。
ノズルから樹脂混合物を吐出して熱硬化させる方法は、原料として熱硬化性樹脂を用いるため、複雑な形状の立体造形物を造形することが困難である。
また、光積層造形法は、立体造形物の力学特性の改変のために、平均粒径が1μm程度以上の比較的大きな粒子を添加したり、あるいは、セラミックス造形のために大量のセラミックス粒子を添加したりするため、チクソトロピー性の付与による樹脂組成物の塗布特性の改善や、造形精度の向上を図り得るものではなかった。
したがって、本発明の目的は、良好なチクソトロピー性を有するため、良好な流動性(塗布性)、及び塗布後の未硬化層の安定性を兼ね備えており、その結果、光積層造形法により、所望の形状を有する立体造形物を高精度でかつ容易に作製することができる光硬化性液状組成物を提供することである。
[1]下記(A)〜(C)成分を含有することを特徴とする光造形用光硬化性液状組成物。
(A)エチレン性不飽和モノマー 50〜95質量%
(B)光重合開始剤 0.01〜10質量%
(C)動的光散乱法による数平均粒径が5〜100nmである無機系微粒子 3〜14質量%
[2]前記(C)無機系微粒子が、シリカを主成分とする粒子である前記[1]に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
[3]前記(B)光重合開始剤が、500(L/mol・cm)以上のモル吸光係数(波長405nm)を有する前記[1]又は[2]に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
[4]下記(D)成分を含有する前記[1]〜[3]のいずれかに記載の光造形用光硬化性液状組成物。
(D)0.01質量%のエタノール溶液としたときの波長405nmの光の透過率が1%以下である光吸収剤 0.1〜5質量%
[5]前記(D)光吸収剤が、カラーインデックスコードがソルベントイエロー179又はディスパースイエロー201の油性染料である前記[4]に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
[6]前記[1]〜[5]のいずれかに記載の光硬化性液状組成物の硬化物からなる立体造形物。
[7]前記[1]〜[5]のいずれかに記載の光硬化性液状組成物に光を照射して、前記組成物の硬化層を形成した後、該硬化層の上に、前記組成物を再度供給し、光を照射して、前記組成物の硬化層をさらに形成し、以後、これを繰り返すことにより、複数の硬化層が積層し一体化してなる立体造形物を造形することを特徴とする立体造形物の製造方法。
[8]前記各々の硬化層を形成するための光の照射は、各投影領域を単位として、一括露光を繰り返すことにより行われる前記[7]に記載の立体造形物の製造方法。
[9]前記投影領域の面積は、100mm2以下である前記[8]に記載の立体造形物の製造方法。
[10]前記複数の硬化層の各層の厚さは、2〜10μmである前記[7]〜[9]のいずれかに記載の立体造形物の製造方法。
[11]前記光の照射は、ディジタルミラーデバイスによって反射された光を用いて行われる前記[7]〜[10]のいずれかに記載の立体造形物の製造方法。
本発明の液状組成物は、光積層造形法のみならず、マイクロ光造形法にも好適に使用することができる。
本発明の液状組成物は、(A)エチレン性不飽和モノマー50〜95質量%、(B)光重合開始剤0.01〜10質量%、及び(C)動的光散乱法による数平均粒径が5〜100nmである無機系微粒子3〜14質量%を含有するものである。
以下、各成分について詳しく説明する。
(A)エチレン性不飽和モノマーは、エチレン性不飽和結合(C=C)を分子中に有する、立体造形物の主成分となるための化合物であり、(メタ)アクリル系モノマーを含む概念である。
(A)成分としては、1分子中に1個のエチレン性不飽和結合を有する単官能性モノマー、及び、1分子中に2個以上のエチレン性不飽和結合を有する多官能性モノマーが挙げられる。
3官能以上の多官能性モノマーの含有割合は、(A)成分(100質量%)に対して、好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは50質量%以上、特に好ましくは80質量%以上である。該含有割合が10質量%未満であると、本発明の液状組成物の光硬化性が低下すると共に、立体造形物の強度が低下することがある。
(B)光重合開始剤は、好ましくはラジカル性光重合開始剤である。ラジカル性光重合開始剤は、光等のエネルギー線を受けることにより分解し、発生するラジカルによって、ラジカル重合反応を開始させる化合物である。
これらのうち、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等が特に好ましい。
これらの化合物は、一種単独で、又は二種以上を組み合わせて用いられる。
具体的には、405nmにおけるモル吸光係数が500(L/mol・cm)以上の光開始剤が好ましい。上記の例示物の中では、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド(405nmにおけるモル吸光係数:619L/mol・cm)、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド(405nmにおけるモル吸光係数:575L/mol・cm)等が好ましい。
(C)成分の無機系微粒子は、動的光散乱法による測定値として、数平均粒径が5〜100nmであることが必要である。
数平均粒径は、好ましくは5〜50nm、より好ましくは5〜30nmである。
該数平均粒径が5〜100nmの範囲内であることにより、(C)成分を比較的少量添加するだけで、液状組成物に良好なチクソトロピー性を付与することができる。該数平均粒径が5nmより小さい場合には、粒子の二次凝集が激しいために、粒子を分散することが困難になる。該数平均粒径が100nmを超えると、少ない添加量で液状組成物に十分なチクロトロピー性を付与することが困難になる。
通常、(C)成分としては、アルミナ、ジルコニア、シリカ、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、又はこれらの混合物等が好適に用いられる。
(C)成分の含有割合は、組成物全量(100質量%)中、3〜14質量%、好ましくは4〜12質量%、特に好ましくは5〜10質量%である。
3質量%未満または14質量%を超える場合には、液状組成物に良好なチクソトロピー性を付与することが困難になる。
(D)成分である光吸収剤は、405nm付近の波長の光を有効に吸収する成分である。(D)成分は、405nm付近の硬化波長を用いる場合に、硬化光を有効に吸収して、液状組成物が光硬化する深度(以下、「硬化深度」という。)を減少させる。
本発明の液状組成物を後述のマイクロ光造形法に用いるためには、硬化深度が30μm以下であることが好ましく、20μm以下であることがさらに好ましい。このためには、(D)成分を0.01質量%のエタノール溶液としたときの波長405nmの光の透過率が1%以下であることが好ましい。
Chemists and Colorists」によるものである。
このようにして得られる液状組成物の粘度は、25℃において、50〜50,000mPa・sであることが好ましく、50〜10,000mPa・sであることがより好ましい。
この積層体の各層は、光硬化性液状組成物の液面に光を照射することにより得られる。尚、液面は、リコーター等で均すことができる。このとき、光を選択的に照射すると、所望のパターンの断面を有する硬化物(断面硬化層)を得ることができる。
本発明の立体造形物の製造方法は、光硬化性液状組成物に光を照射して、該組成物の硬化物(断面硬化層)を形成し、この硬化物(断面硬化層)の上に、液状組成物を再度供給し、光を照射して、液状組成物の硬化物(断面硬化層)をさらに形成し、以後、これを繰り返すことにより、複数の硬化物(断面硬化層)を積層し一体化してなる立体造形物を得るものである。
また、上記(b)のマスクを用いる手段においては、マスクとして、液晶表示装置と同様の原理により、所定のパターンに従って、光透過領域と光不透過領域とよりなるマスク像を電気光学的に形成するものを用いることもできる。
目的とする立体造形物が、微細な部分を有するもの、又は高い寸法精度が要求されるものである場合には、液状組成物に選択的に光を照射する手段として、スポット径の小さいレーザー光を走査する手段を採用することが好ましい。
なお、容器内に液状組成物が収容されている場合、光の照射面(例えば、収束光の走査平面)は、組成物の液面、透光性容器の器壁との接触面の何れであってもよい。液状組成物の液面又は器壁との接触面を光の照射面とする場合には、容器の外部から直接又は器壁を介して光を照射することができる。
[光積層造形法]
光積層造形法により造形される立体造形物の大きさは、通常、数mmから数m、典型的には、数cmから数十cmのスケールである。
図1中、(a)に示すように、光硬化性液状組成物1を収容した容器2内に、昇降自在に設けられた支持ステージ3を、組成物1の液面4から微小量降下(沈降)させることにより、支持ステージ3上に、組成物1を供給して、組成物1の薄層を形成する。次いで、この薄層に対して、マスク5を介して選択的に光8を照射し、組成物1の硬化物(硬化樹脂層)6を形成する。
次に、(b)に示すように、支持ステージ3を微小量降下(沈降)させて、この硬化物6の上に、組成物1を供給して、組成物の薄層を再度形成する。次いで、この薄層に対して、マスク5を介して選択的に光8を照射し、硬化物6の上に、これと連続して一体的に積層するように新しい硬化物7をさらに形成する。そして、光照射されるパターンを変化させながら又は変化させずに、この工程を所定回数繰り返すことにより、複数の硬化物が一体的に積層されてなる立体造形物が造形される。
マイクロ光造形法により造形される立体造形物の大きさは、通常、数μmから数cm、典型的には、数十μmから数mmのスケールである。
本発明の液状組成物は、光積層造形法を用いる場合よりも微小な大きさの立体造形物を作製しうるマイクロ光造形法の材料として好適に用いられる。
マイクロ光造形法において、光の照射は、光線を走査して硬化させる必要がある部分に対してのみ行うのではなく、一定の領域(投影領域)毎に一括露光を繰り返すことにより行われる。このような一括露光は、例えば、ディジタルミラーデバイス(DMD)を用いて行われる。
光源11は、レーザ光線を発生させるための手段である。光源11には、例えば、405nmのレーザ光を発生させるレーザダイオード(LD)や紫外線(UV)ランプが用いられる。
ディジタルミラーデバイス(DMD)12は、テキサス・インスツルメンツ社によって開発されたデバイスであり、CMOS半導体上に独立して動くマイクロミラーが数十万〜数百万個、例えば、48万〜131万個敷き詰められている。かかるマイクロミラーは、静電界作用によって対角線を軸に約±10度、例えば、±12度程度傾けることが可能である。マイクロミラーは、各マイクロミラーのピッチの1辺の長さが約10μm、例えば、13.68μmの四角形の形状を有している。隣接するマイクロミラーの間隔は、例えば1μmである。DMD2の全体は、40.8×31.8mmの四角形状(このうち、ミラー部は、14.0×10.5mmの四角形状を有する。)を有し、1辺の長さが13.68μmのマイクロミラー786,432個により構成されている。
DMD12は、光源11から出射されたレーザ光線を個々のマイクロミラーによって反射させ、制御部17によって所定の角度に制御されたマイクロミラーによって反射されたレーザ光のみを、集光レンズ13を介して造形テーブル14上の液状組成物層19に照射する。
造形テーブル14は、液状組成物層19を硬化させてなる硬化層を順次堆積させて載置するための平板状の台である。造形テーブル14は、図示しない駆動機構、即ち移動機構によって、水平移動及び垂直移動が可能である。この駆動機構により、所望の範囲に亘って光造形を行なうことができる。
ディスペンサ15は、本発明の光硬化性液状組成物20を収容し、予め定められた量の液状組成物20を造形テーブル上の所定位置に供給するための手段である。
リコータ16は、液状組成物20を均一に塗布して、液状組成物層19を形成させる溜めの手段であり、例えば、ブレード機構と移動機構を備えている。
フレキシブルディスク装置、ハードディスク装置、CD−ROMドライブ等の記憶媒体駆動装置は、各種コントローラを介してバスに接続されている。フレキシブルディスク装置等の記憶媒体駆動装置には、フレキシブルディスク等の可搬型記憶媒体が挿入される。
記憶媒体は、オペレーティングシステムと協働してCPUなどに命令を与えて、本システムを稼動するための所定のコンピュータプログラムを記憶することができる。
記憶部18には、造形しようとする立体モデルを複数の層にスライスして得られる断面群の露光データを含む制御データが格納されている。
制御部17は、記憶部18に格納された露光データに基づいて、主としてDMD12における各マイクロミラーの角度制御、造形テーブル14の移動(即ち、立体モデルに対するレーザ光の照射範囲の位置)を制御し、立体モデルの造形を実行する。
液状組成物20としては、可視光及び可視光領域外の光によって硬化する樹脂を使用することができる。例えば、15μm以上(500mJ/cm2)の硬化深度を有し、粘度が1,500〜2,500Pa・s(25℃)の405nm対応のアクリル系樹脂を用いることができる。
まず、ディスペンサ15に液状組成物20を収容する。造形テーブル14は初期位置にある。ディスペンサ15は、収容された液状組成物20を所定量だけ造形テーブル14上に供給する。リコータ16は、液状組成物20を引き伸ばすようにして掃引し、硬化させる一層分の液状組成物層19を形成する。
光源11から出射したレーザ光線は、DMD12に入射する。DMD12は、記憶部18に格納された露光データに応じて制御部17により制御され、レーザ光線を液状組成物層19に照射する部分である一部のマイクロミラーの角度を調整する。これにより、一部のマイクロミラーで反射されたレーザ光線が、集光レンズ13を介して液状組成物層19に照射される一方、残部のマイクロミラーで反射されたレーザ光線は、液状組成物層19に照射されないことになる。
液状組成物層19へのレーザ光線の照射は、例えば0.4秒間行なわれる。このとき、液状組成物層19への投影領域は、例えば、1.3×1.8mm程度であり、0.6×0.9mm程度まで縮小することもできる。投影領域の面積は、100mm2以下であることが望ましい。
レーザ光線の投影領域のサイズよりも大きい立体モデルを形成する場合には、例えば造形テーブル14を移動機構によって水平移動させることにより、レーザ光線の照射位置を移動させて、全造形領域を照射する必要がある。投影領域毎に1ショットずつレーザ光線の照射を実行していく。各投影領域に対するレーザ光線の照射の制御については、後に詳述する。
このようにして、投影領域を移動させて、各投影領域を単位としてレーザ光線の照射、即ち露光を実行することによって、液状組成物層19が硬化し、第1層目の硬化層が形成される。1層分の積層ピッチ、すなわち、硬化層の厚みは、例えば、1〜50μm、好ましくは2〜10μm、さらに好ましくは5〜10μmである。
以下同様にして、第3層目以降の硬化樹脂層を順次堆積させる。そして、最終層の堆積が終了すると、造形テーブル14上に形成された造形物を取り出す。造形物は、表面に付着した光硬化性樹脂液を洗浄その他の方法で除去する。造形物は、必要に応じて、紫外線ランプ等により照射し又は加熱して、硬化を更に進行させることができる。
本発明の光硬化性液状組成物を用いることにより、良好なチクソトロピー性を付与して、塗布前の良好な流動性及び塗布後の安定性を兼ね備え、その結果、光積層造形法やマイクロ光造形法により、所望の立体造形物を高精度でかつ容易に作製することができる。
攪拌機を備えた反応容器に2,4−トリレンジイソシアネート10.4質量部、ジブチルスズジラウレート0.08質量部および2,6−ジ−t−ブチル−p−クレゾール0.02質量部を仕込み、15℃以下に冷却した。攪拌しながら温度を30℃以下に保ちつつ、新中村化学社製のNKエステルA−TMM−3LM−N(ペンタエリスリトールトリアクリレート60質量%とペンタエリスリトールテトラアクリレート40質量%からなる。このうち、反応に関与するのは、水酸基を有するペンタエリスリトールトリアクリレートのみである。)37.5質量部を滴下した。滴下終了後、30℃で1時間反応させた。
次に、水酸基当量1,000のα−[3−(2′−ヒドロキシエトキシ)プロピル]−ω−トリメチルシリルオキシポリジメチルシロキサン(チッソ社製のサイラプレーンFM−0411)52.1部を添加し、20〜55℃で攪拌した。残留イソシアネートが0.1重量%以下になった時を反応終了とした。
得られた生成物の数平均分子量(東ソー社製のAS−8020を用い、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより、ポリスチレン換算数平均分子量を測定。以下、同じ。)を測定したところ、数平均分子量が1,600である両末端反応性ポリジメチルシロキサン化合物の他に、生成物全量の20重量%の含有率でトリレンジイソシアネート1モルとヒドロキシエチルアクリレート2モルの結合物が存在することが認められた。この手法により得られた液状の末端反応性ポリジメチルシロキサン化合物をFM0411−THとする。
[光硬化性液状組成物の調製]
撹拌装置を備えた容器に、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート80gと、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート20gと、CGI403を3gと、2,4−ジエチルチオキサントン2gと、4−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル0.5gと、「Yellow6G Gran」2gと、「SH28PA」(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)0.06gと、FM0411−TH(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)0.18gを添加し、60℃で1時間撹拌した後に、アエロジル200(日本アエロジル社製)4gを添加して、特殊機化工業社製のT.K.HOMODISPERを用い、均一に分散することによって、光硬化性液状組成物を調製した。
得られた光硬化性液状組成物をガラス基板上に厚さ15μm又は100μmとなるように塗布してなる試験片を作成し、照射分光器(CT−25CP型、日本分光社)を用いて、照射面(液面)におけるレーザーパワー30mWで405nmのレーザー光を15〜30秒間照射したところ、厚さ15μmの場合には、液状組成物が完全に硬化したが、厚さ100μmの場合には、液状組成物の表層が硬化したのみで、ガラス基板の近傍の液状組成物が未硬化であった。
この実験により、液状組成物の硬化深度は15μm程度であることがわかった。
表1に示すように成分組成を変更した他は実施例1と同様にして、光硬化性液状組成物を調製した。表1中の数値の単位は、質量%である。
実施例2〜7及び比較例1〜5の液状組成物について、実施例1と同様にして硬化深度を評価したところ、(D)成分を含有する実施例2〜7及び比較例1〜4では、15μm程度の硬化深度を示したが、(D)成分を含有しない比較例5では、厚さ15μm及び100μmのいずれの組成物も完全に硬化し、硬化深度が100μm以上であった。
光硬化性液状組成物(実施例1〜7及び比較例1〜5)のチクソトロピー性を、以下に示すようにして評価した。結果を表1に示す。比較例4及び比較例5のチクソトロピー性が「×」となっているのは、(C)成分の配合量が過多であるため、(C)成分を均一に分散することができなかったことを示す。
ガラス板上に厚さ100μm以上となるように塗布した光硬化性液状組成物を、ガラス板と平行にスクレーパーで掻き取って、チクソトロピー性を評価した。このとき、スクレーパーに接した光硬化性液状組成物のみが流動し、それ以外の部分は流動せず、スクレーパー端部の周辺部分で糸引きなど見られない場合を「○」とし、スクレーパーに接した光硬化性液状組成物のみが流動し、それ以外の部分は流動せず、スクレーパー端部の周辺部分で糸引きなどが見られる場合を「△」とし、スクレーパーに直接接していない部分も流れたり、端部に糸引きが見られる場合を「×」として、判定した。
(1)CGI403:
化合物名:ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド
製造元:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社
405nmのモル吸光係数:575L/mol・cm
(2)Irgacure819:
化合物名:ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド
製造元:チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社
405nmにおけるモル吸光係数:619L/mol・cm
(3)Yellow6G Gran:
製造元:バイエル社製
(4)SH28PA:
化合物名:ジメチルポリシロキサンポリオキシアルキレン共重合体
製造元:東レ・ダウコーニング・シリコーン社
(5)FM0411−TH:
製造例1を参照
(6)アエロジル200:
物質:シリカ微粒子(平均粒径12nm)
製造元:日本アエロジル社
2 容器
3 支持ステージ
4 光硬化性液状組成物の液面
5 マスク
6,7 硬化物(硬化層)
8 光
11 光源
12 ディジタルミラーデバイス(DMD)
13 集光レンズ
14 造形テーブル
15 ディスペンサ
16 リコータ
17 制御部
18 記憶部
19 液状組成物層
20 光硬化性液状組成物
100 光硬化造形装置(光造形装置)
Claims (11)
- 下記(A)〜(C)成分を含有することを特徴とする光造形用光硬化性液状組成物。
(A)エチレン性不飽和モノマー 50〜95質量%
(B)光重合開始剤 0.01〜10質量%
(C)動的光散乱法による数平均粒径が5〜100nmである無機系微粒子 3〜14質量% - 前記(C)無機系微粒子が、シリカを主成分とする粒子である請求項1に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
- 前記(B)光重合開始剤が、500(L/mol・cm)以上のモル吸光係数(波長405nm)を有する請求項1又は2に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
- 下記(D)成分を含有する請求項1〜3のいずれか1項に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
(D)0.01質量%のエタノール溶液としたときの波長405nmの光の透過率が1%以下である光吸収剤 0.1〜5質量% - 前記(D)光吸収剤が、カラーインデックスコードがソルベントイエロー179又はディスパースイエロー201の油性染料である請求項4に記載の光造形用光硬化性液状組成物。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の光硬化性液状組成物の硬化物からなる立体造形物。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光硬化性液状組成物に光を照射して、前記組成物の硬化層を形成した後、該硬化層の上に、前記組成物を再度供給し、光を照射して、前記組成物の硬化層をさらに形成し、以後、これを繰り返すことにより、複数の硬化層が積層し一体化してなる立体造形物を造形することを特徴とする立体造形物の製造方法。
- 前記各々の硬化層を形成するための光の照射は、各投影領域を単位として、一括露光を繰り返すことにより行われる請求項7に記載の立体造形物の製造方法。
- 前記投影領域の面積は、100mm2以下である請求項8に記載の立体造形物の製造方法。
- 前記複数の硬化層の各層の厚さは、2〜10μmである記載の請求項7〜9のいずれか1項に立体造形物の製造方法。
- 前記光の照射は、ディジタルミラーデバイスによって反射された光を用いて行われる請求項7〜10のいずれか1項に記載の立体造形物の製造方法。
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