本発明は、光信号を変調する光変調器等をモジュール化した光モジュールに関する。
従来、例えば、光変調器モジュールでは、光変調器の温度を一定に保つため、温度制御素子(ペルチェクーラー)等を用いていた(特許文献1参照)。又、光変調器から発生する熱を効率よく外部に逃がすため、光変調器を設置するマウント部分は、モジュール筐体との熱伝導を十分確保できる構造となっていた。
しかしながら、上述したような光変調器モジュールにおいては、外部から熱が流入した場合、特に、光の進行方向と垂直な方向に、熱が偏って流入すると、マウント部分に熱勾配ができ、光変調器が不均一に熱せられてしまうこととなる。特に、入力光を2本の光導波路へ分配し、その位相差を制御することで強度変調光信号を得ることを原理とする、マッハツェンダ型光変調器等の干渉型光変調器においては、両導波路の温度が不均一に変化すると、その光出力強度が変化し、信号劣化の原因となっていた。つまり、熱伝導を確保するためのマウントが、光変調器を外部温度の変動に影響され易い状態にしていた。
又、光変調器を制御する制御電子回路を光モジュールの筐体内部に実装する場合、制御電子回路が発生する熱がマウント部分に不均一に熱伝導して、光変調器が不均一に熱せられて、光変調器の信号劣化を起こすおそれもあった。
本発明は上記課題に鑑みなされたもので、内部に実装された制御電子回路による内部発熱や外部温度の変動があっても、光変調器の出力が変動することのない光モジュールを提供することを目的とする。
上記課題を解決する第1の発明に係る光モジュールは、
光信号を変調する光変調器を搭載するマウントと、
前記光変調器を含めて、前記マウントを収容する筐体と、
前記マウントを前記筐体の内部に固定するスペーサとを有し、
前記マウントを前記筐体へ固定する方向に垂直な面における前記マウントの断面積より、同方向に垂直な面における前記スペーサの断面積を小さくしたことを特徴とする。
つまり、上記構成により、マウントのスペーサに接する面の面積より、スペーサのマウントに接する接触面積を小さくすることができ、スペーサからマウントへの熱流入を抑制することができる。
上記課題を解決する第2の発明に係る光モジュールは、
上記第1の発明に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサの断面積を、前記マウントの断面積の2/3以下としたことを特徴とする。
上記課題を解決する第3の発明に係る光モジュールは、
上記第1又は第2の発明に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサを形成する材料の熱伝導率を、前記筐体及び前記マウントを形成する材料の熱伝導率より小さくしたことを特徴とする。
上記課題を解決する第4の発明に係る光モジュールは、
上記第3の発明に記載の光モジュールにおいて、
前記スペーサを形成する材料の熱伝導率を、前記筐体及び前記マウントを形成する材料の熱伝導率の50%以下としたことを特徴とする。
上記課題を解決する第5の発明に係る光モジュールは、
上記第1〜第4の発明のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
光変調器を制御する制御電子回路を、前記筐体の内部に実装したことを特徴とする。
上記課題を解決する第6の発明に係る光モジュールは、
上記第1〜第5の発明のいずれかに記載の光モジュールにおいて、
前記制御電子回路を搭載するステージを、前記マウント、前記スペーサとは独立して、前記筐体の内部に設けたことを特徴とする。
本発明によれば、光変調器を搭載するマウントを、スペーサを介して筐体に固定すると共に、スペーサの断面積をマウントの断面積より小さくし、その熱伝導率をマウント、筐体の熱伝導率より小さくしたので、スペーサからマウントへ流入する熱を抑制すると共に、断面積がスペーサより大きく、熱容量の大きいマウントに、流入した熱を拡散させることができ、内部で発生した熱、外部から流入した熱の影響を、光変調器が受けることがなくなる。又、温度変化があったとしても、熱容量の大きいマウントにより、光変調器の温度を均一に変化させることができる。その結果、光変調器からの出力が変動することのない光モジュールを実現することができる。
本発明は、光変調器、或いは、光変調器とそれを駆動する制御電子回路を同時に実装した光モジュールにおいて、光モジュールの筐体から光変調器を搭載したマウントへの熱流入を抑制するため、筐体とマウントの間にあるスペーサの断面積をマウントの断面積より小さく構成し、更に、熱流入を小さくするため、スペーサの材料として、熱伝導率の小さなものを用いるようにしたものである。以下、本発明に係る光モジュールの実施形態例のいくつかを、図1〜図10を用いて説明を行う。
図1は、本発明に係る光モジュールの実施形態の一例を示す図であり、図1(a)は、図1(b)のB−B’線矢視断面図、図1(b)は、上面透視図、図1(c)は、図1(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例では、図1に示すマウント106上に搭載する光変調器108として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路83、85の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁101及びプレート102よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ104、光ファイバ固定スリーブ103を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ109から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板111を通して、光変調器108へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ104は、光変調器108と直接結合されている。光変調器108はマウント106に搭載されており、マウント106はスペーサ112を用いてモジュール筐体のプレート102に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁101、プレート102、マウント106は、熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ112は、同材料で形成されているが、マウント106をプレート102へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ112のマウント106に接する接触面積を、マウント106のスペーサ112に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート102から光変調器108方向へ流入しようとする熱は、スペーサ112の断面積が小さいことから、光変調器108方向へ流入しにくくなっており、更に、大きな熱容量を持つマウント106により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器108を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器108は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント106にて、その発熱が拡散され、光変調器108の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ112の断面積は、マウント106の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。
図3は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図3(a)は、図3(b)のB−B’線矢視断面図、図3(b)は、上面透視図、図3(c)は、図3(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例でも、光変調器108として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路83、85の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁101及びプレート102よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ104、光ファイバ固定スリーブ103を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ109から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板111を通して光変調器108へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ104は光変調器108と直接結合されている。光変調器108はマウント106に搭載されており、マウント106はスペーサ113を用いてモジュール筐体のプレート102に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁101、プレート102、マウント106は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ113は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3 J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3 J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント106をプレート102へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ113の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ113のマウント106に接する接触面積を、マウント106のスペーサ113に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート102から光変調器108方向へ流入しようとする熱は、スペーサ113の断面積の小ささ及びスペーサ113の熱伝導率の悪さから、光変調器108方向へ流入しにくくなっており、光変調器108へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント106により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器108を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器108は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント106にて、その発熱が拡散され、光変調器108の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ113の断面積は、マウント106の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント106等の材料の熱伝導率に比べ、スペーサ113の材料の熱伝導率は50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくは10%以下である。
図4は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図4(a)は、図4(b)のB−B’線矢視断面図、図4(b)は、上面透視図、図4(c)は、図4(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例では、図4に示すマウント206上に搭載する光変調器208として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路93、95の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁201及びプレート202よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ204、光ファイバ固定スリーブ203を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ209から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板211を通して半導体光変調器208へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ204は、光変調器設置用マウント206上に具備された結合用レンズ207により光変調器208へ結合されている。光変調器208はマウント206に搭載されており、マウント206はスペーサ212を用いてモジュール筐体のプレート202に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁201、プレート202、マウント206は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ212は、同材料で形成されているが、マウント206をプレート202へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ212のマウント206に接する接触面積を、マウント206のスペーサ212に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート202から光変調器208方向へ流入しようとする熱は、スペーサ212の断面積が小さいことから、光変調器208方向へ流入しにくくなっており、更に、大きな熱容量を持つマウント206により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器208を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器208は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント206にて、その発熱が拡散され、光変調器208の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ212の断面積は、マウント206の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。
図6は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図6(a)は、図6(b)のB−B’線矢視断面図、図6(b)は、上面透視図、図6(c)は、図6(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例でも、光変調器208として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路93、95の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁201及びプレート202よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ204、光ファイバ固定スリーブ203を具備したものである。電気信号は、電気コネクタ209から、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板211を通して半導体光変調器208へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ204は、光変調器設置用マウント206上に具備された結合用レンズ207により光変調器208へ結合されている。光変調器208はマウント206に搭載されており、マウント206はスペーサ213を用いてモジュール筐体のプレート202に固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁201、プレート202、マウント206は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ213は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3 J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3 J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント206をプレート202へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ213の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ213のマウント206に接する接触面積を、マウント206のスペーサ213に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート202から光変調器208方向へ流入しようとする熱は、スペーサ213の断面積の小ささ及びスペーサ213の熱伝導率の悪さから、光変調器208方向へ流入しにくくなっており、光変調器208へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント206により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器208を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器208は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント206にて、その発熱が拡散され、光変調器208の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ213の断面積は、マウント206の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント206等の材料の熱伝導率に比べ、スペーサ213の材料の熱伝導率は50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくは10%以下である。
なお、上記実施例1〜4においては、光変調器を制御する制御用ICを、光モジュール筐体の外部に配置しているが、上述したように、光変調器を搭載するマウントを、スペーサを介して筐体側へ固定するようにしているため、光変調器へ直接伝熱する場所でなければ、制御用ICを光モジュール筐体の内部へ配置しても、光出力強度に影響を及ぼすことはない。但し、この場合、制御用ICからの発熱を、光モジュール筐体の外部へ効率よく放出することが望ましく、そのような実施形態として、後述する実施例5〜8に示すような構成が考えられる。
図7は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図7(a)は、図7(b)のB−B’線矢視断面図、図7(b)は、上面透視図、図7(c)は、図7(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例でも、光変調器308として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路83、85の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁301及びプレート302よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ304、光ファイバ固定スリーブ303、制御用IC310を配備するためのステージ305を具備したものである。ステージ305上の制御用IC310には、電気コネクタ309を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC310からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板311を通して光変調器308へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ304は光変調器308と直接結合されている。光変調器308はマウント306に搭載されており、マウント306はスペーサ312を用いてモジュール筐体のプレート302に固定されており、又、ステージ305は、マウント306、スペーサ312とは独立して、プレート302へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁301、プレート302、ステージ305、マウント306は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ312は、同材料で形成されているが、マウント306をプレート302へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ312のマウント306に接する接触面積を、マウント306のスペーサ312に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート302から光変調器308方向へ流入しようとする熱は、スペーサ312の断面積が小さいことから、光変調器308方向へ流入しにくくなっており、更に、大きな熱容量を持つマウント306により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器308を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC310より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ305、プレート302を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器308へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器308方向へ流入しようとしても、スペーサ312、マウント306を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ312によりマウント306への熱伝導が抑制されると共にマウント306により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器308は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント306にて、その発熱が拡散され、光変調器308の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ312の断面積は、マウント306の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。
図8は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図8(a)は、図8(b)のB−B’線矢視断面図、図8(b)は、上面透視図、図8(c)は、図8(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例でも、光変調器308として、図2に示すような、リチュームナイオベート(LiNbO3)基板80上に形成された変調器を用いる。上記変調器は、光入力導波路81へ入力されたCW光を、光分配器82で2つの位相制御用光導波路83、85へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極84、86へ印加する電気信号で制御して、光結合器87で結合され、光出力導波路88より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図2参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁301及びプレート302よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ304、光ファイバ固定スリーブ303、制御用IC310を配備するためのステージ305を具備したものである。ステージ305上の制御用IC310には、電気コネクタ309を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC310からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板311を通して光変調器308へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ304は、光変調器308と直接結合されている。光変調器308はマウント306に搭載されており、マウント306はスペーサ313を用いてモジュール筐体のプレート302に固定されており、又、ステージ305は、マウント306、スペーサ313とは独立して、プレート302へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁301、プレート302、ステー1ジ305、マウント306は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ313は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント306をプレート302へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ313の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ313のマウント306に接する接触面積を、マウント306のスペーサ313に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート302から光変調器308方向へ流入しようとする熱は、スペーサ313の断面積の小ささ及びスペーサ313の熱伝導率の悪さから、光変調器308方向へ流入しにくくなっており、光変調器308へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント306により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器308を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC310より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ305、プレート302を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器308へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器308方向へ流入しようとしても、スペーサ313、マウント306を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ313によりマウント306への熱伝導が抑制されると共にマウント306により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器308は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱最が微少であるため、熱容量の大きいマウント306にて、その発熱が拡散され、光変調器308の局所的な温度上昇を避けることができる。スペーサ313の断面積は、マウント306の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント306等の材料の熱伝導率に比べ、スペーサ313の材料の熱伝導率は50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくはl0%以下である。
図9は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図9(a)は、図9(b)のB−B’線矢視断面図、図9(b)は、上面透視図、図9(c)は、図9(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例でも、光変調器408として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記光変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路93、95の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁401及びプレート402よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ404、光ファイバ固定スリーブ403、制御用IC410を配備するためのステージ405を具備したものである。ステージ405上の制御用IC410には、電気コネクタ409を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC410からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板411を通して半導体光変調器408へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ404は光変調器設置用マウント406上に具備された結合用レンズ407により光変調器408へ結合されている。光変調器408はマウント406に搭載されており、マウント406はスペーサ412を用いてモジュール筐体のプレート402に固定されており、又、ステージ405は、マウント406、スペーサ412とは独立して、プレート402へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁401、プレート402、ステージ405、マウント406は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ412は同材料で形成されているが、マウント406をプレート402へ固定する方向Fに垂直な面における断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ412のマウント406に接する接触面積を、マウント406のスペーサ412に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート402から光変調器408方向へ流入しようとする熱は、スペーサ412の断面積が小さいことから、光変調器408方向へ流入しにくくなっており、光変調器408へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント406により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器408を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC410より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ405、プレート402を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器408へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器408方向へ流入しようとしても、スペーサ412、マウント406を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ412によりマウント406への熱伝導が抑制されると共にマウント406により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器408は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント406にて、その発熱が拡散され、光変調器408の局所的な温度上昇は避けることができる。スペーサ412の断面積は、マウント106の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。
図10は、本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例を示す図であり、図10(a)は、図10(b)のB−B’線矢視断面図、図10(b)は、上面透視図、図10(c)は、図10(b)のA−A’線矢視断面図である。
本実施例でも、光変調器408として、図5に示すような、半導体基板90上に形成された変調器を用いる。上記光変調器は、光入力導波路91へ入力されたCW光を、光分配器92で2つの位相制御用光導波路93、95へ分配し、その光導波路間の位相差を、制御用電極94、96へ印加する電気信号で制御して、光結合器97で結合され、光出力導波路98より出力される光強度を制御することを原理とするマッハツェンダ型光変調器(MZ変調器)である。MZ変調器では、上記原理で説明したように、2本の位相制御用光導波路の位相差により出力光強度を制御するので、片側の光導波路のみが熱せられ、温度が上昇することで、片側の光導波路のみの屈折率(位相)が変化すると、出力光強度が変化してしまう。しかし、両光導波路を同様に熱すると、温度を上昇させても両光導波路間の位相差は変化することがないため、出力光強度が変化することはない。
即ち、光変調器の温度が変化したとしても、光変調器全体が同様な温度変化をすれば、その出力高強度が変化することはなく、少なくとも、光変調器の幅方向Wの熱分布の不均一性を抑制すれば、光変調器の長さ方向Lの熱分布に不均一性があったとしても、出力光強度の変化を防止することが可能となる(図5参照)。
本実施例の光モジュールは、モジュール外壁401及びプレート402よりなるモジュール筐体に、光入出力用光ファイバ404、光ファイバ固定スリーブ403、制御用IC410を配備するためのステージ405を具備したものである。ステージ405上の制御用IC410には、電気コネクタ409を通して電気信号を供給する構造となっており、制御用IC410からの制御信号は、熱絶縁性の高いセラミックスにより形成された配線板411を通して半導体光変調器408へ供給される。入出力光を導くための光ファイバ404は、光変調器設置用マウント406上に具備された結合用レンズ407により光変調器408へ結合されている。光変調器408はマウント406に搭載されており、マウント406はスペーサ413を用いてモジュール筐体のプレート402に固定されており、又、ステージ405は、マウント406、スペーサ413とは独立して、プレート402へ固定されており、これらはモジュール筐体の内部に収容されている。
ここで、モジュール外壁401、プレート402、ステージ405、マウント406は熱伝導率の良い、例えば、銅タングステン(CuW、熱伝導率〜3.7×10-3J/cm/s/K)等の材料で形成され、熱の伝導をよくするように作製されている。スペーサ413は、モジュール筐体を構成する材料に比べ熱伝導率が50%以下の材料、例えば、真鍮(黄銅(Cu70%。Zn30%)、熱伝導率〜0.96×10-3J/cm/s/K)、あるいは、ステンレススチール(熱伝導率〜0.25×10-3J/cm/s/K)等で形成されている。又、マウント406をプレート402へ固定する方向Fに垂直な面におけるスペーサ413の断面積Ssを、同じ方向Fに垂直な面におけるマウントの断面積Smより小さくなるように、断面積Smの2/3以下の面積に設定している。即ち、スペーサ413のマウント406に接する接触面積を、マウント406のスペーサ413に接する面の面積より小さくしている。従って、プレート402から光変調器408方向へ流入しようとする熱は、スペーサ413の断面積の小ささ及びスペーサ413の熱伝導率の悪さから、光変調器408方向へ流入しにくくなっており、光変調器408へ大きな影響を及ぼさず、更に、大きな熱容量を持つマウント406により拡散されるため、影響がある場合にも、光変調器408を均一に熱する効果しか無く、光出力強度に影響を及ぼすことはない。又、制御用IC410より発生した熱は、熱伝導率の良いステージ405、プレート402を通して、効率よくモジュール外部へ放出されるため、その発熱を光変調器408へ直接伝熱することはなく、発熱が光変調器408方向へ流入しようとしても、スペーサ413、マウント406を介して伝熱しようとするため、上述したように、スペーサ413によりマウント406への熱伝導が抑制されると共にマウント406により熱拡散が行われるため、光出力強度に影響を及ぼすことはない。
なお、光変調器408は、ほとんど発熱を伴わない、あるいは、発熱量が微少であるため、熱容量の大きいマウント406にて、その発熱が拡散され、光変調器408の局所的な温度上昇は避けることができる。スペーサ413の断面積は、マウント406の断面積の2/3以下が望ましいが、更に望ましくは1/2以下、最も望ましくは1/4以下である。又、マウント材料の熱伝導率に比べ、スペーサ413の材料の熱伝導率は、50%以下が望ましいが、更に望ましくは25%以下、最も望ましくは10%以下である。
本発明においては、光変調器を例にとって説明を行ったが、熱変動を受けると特性が影響を受ける光素子をモジュール化したものであれば、どのような光モジュールにも適用可能である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の一例(実施例1)を示す図である。
本発明に係る光モジュールに用いるリチェームナイオベートマッハツェンダ光変調器の原理図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例2)を示す図である。
本発明に係る光モジュールに用いる半導体マッハツェンダ光変調器の原理図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例3)を示す図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例4)を示す図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例5)を示す図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例6)を示す図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例7)を示す図である。
本発明に係る光モジュールの実施形態の他の一例(実施例8)を示す図である。
符号の説明
80:リチェームナイオベート基板
81、91:光入力用導波路
82、92:光分配器
83、85、93、95:位相制御用光導波路
84、86、94、96:制御用電極
87、97:光結合器
88、98:光出力導波路
90:半導体基板
101、201、301、401:モジュール外壁
102、202、302、402:プレート
103、203、303、403:光ファイバ固定スリーブ
104、204、304、404:光入出力用光ファイバ
106、206、306、406:光変調器設置用マウント
108、208、308、408:光変調器
109、209、309、409:電気コネクタ
111、211、311、411:配線板
112、212、312、412:モジュール筐体と同一材料によるスペーサ
113、213、313、413:モジュール筐体材料より熱伝導率の悪い材料によるスペーサ
207、407:結合用レンズ
305、405:ステージ
310、410:制御用IC(制御電子回路)