JP2006342056A - 結晶製造装置、iii族窒化物結晶の製造方法およびその製造方法を用いて製造したiii族窒化物結晶 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窒素ガスが充填されている第1のガス供給装置120の第1のシリンダー110内の窒素圧力(窒素原料圧力)が反応容器101内の圧力(窒素原料圧力)以上となっていることで、窒素ガスの圧力調整機構(107,108)を介して、反応容器101内の窒素原料圧力を所望の値に設定することが可能となる。このように、III族金属とフラックス(例えばNa)が十分ある状態で、窒素原料である窒素ガスの圧力が制御できることで、継続的なIII族窒化物結晶(GaN結晶)の成長が可能となり、III族窒化物結晶(GaN結晶)を所望の大きさに成長させることが可能となる。
【選択図】図1
Description
Japanese Journal of Applied Physics Vol.36 (1997) Part 2, No.12A, L1568-1571. Applied Physics Letters, Vol.73,No.6, P832-834 (1998). Journal of Crystal Growth, Vol.189/190, p.153-158 (1998). Chemistry of Materials Vol.9 (1997) p.413-416.
Claims (6)
- 少なくともIII族金属とフラックスとを含む混合融液を保持する反応容器と、
前記窒素原料を保持する第1および第2の保持容器と、
前記反応容器と前記第1の保持容器との間に設けられた第1の分離手段と、
前記第1の保持容器と前記第2の保持容器との間に設けられた第2の分離手段とを備える結晶製造装置。 - 前記第1の保持容器の容積は、前記第2の保持容器の容積よりも大きい、請求項1に記載の結晶製造装置。
- 少なくともIII族金属とフラックスとを含む混合融液を保持する反応容器内の圧力を前記窒素原料を保持する保持容器の圧力以下に設定する工程と、
前記窒素原料をバルブを介して外部から前記反応容器内へ供給する工程とを備えるIII族窒化物結晶の製造方法。 - 前記窒素原料を保持する保持容器の圧力変動により前記窒素原料の消費量を検知する工程をさらに備える、請求項3に記載のIII族窒化物結晶の製造方法。
- 前記フラックスを気体の状態で結晶成長領域に供給する工程をさらに備える、請求項3または請求項4に記載のIII族窒化物結晶の製造方法。
- 請求項3から請求項5のいずれか1項に記載の製造方法によって製造されたIII族窒化物結晶。
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