JP2006339530A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁分離トレンチ2に取り囲まれ、絶縁分離トレンチ2上に形成されたLOCOS3の端部を外周とする、半導体基板10のトランジスタ形成領域TR内に、横型MOSトランジスタのソース(S)とドレイン(D)の各セルが、格子状に配置されてなる半導体装置100であって、トランジスタ形成領域TR内のLOCOS3の端部から離れた中央部に配置されるソース(S)もしくはドレイン(D)の少なくとも一方のセルが、最大幅10μm以下である半導体装置とする。
【選択図】 図3
Description
TR トランジスタ形成領域
S ソース(セル)
D ドレイン(セル)
L0 セルの最大幅
L1 絶縁分離トレンチの端面からLOCOSの端部までの距離
10 (SOI構造)半導体基板
1a 埋め込み絶縁膜
2 絶縁分離トレンチ
3 LOCOS
4 第1p型領域(チャネルP)
5 第2p型領域(ADBase)
6 高濃度n型領域
t SOI層の厚さ
Claims (13)
- 絶縁分離トレンチに取り囲まれ、当該絶縁分離トレンチ上に形成されたLOCOSの端部を外周とする、半導体基板のトランジスタ形成領域内に、
横型MOSトランジスタのソースとドレインの各セルが、格子状に配置されてなる半導体装置であって、
前記トランジスタ形成領域内の前記LOCOSの端部から離れた中央部に配置される前記ソースもしくはドレインの少なくとも一方のセルが、最大幅10μm以下であることを特徴とする半導体装置。 - 前記トランジスタ形成領域内に配置されるソースとドレインの全てのセルが、最大幅10μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記トランジスタ形成領域の面積が、1.0×106μm2以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記トランジスタ形成領域の面積が、2.8×104μm2以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記トランジスタ形成領域の面積が、5.8×102μm2以下であることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置。
- 前記絶縁分離トレンチの前記トランジスタ形成領域側の端面から、前記LOCOSの端部までの距離が、25μm以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記ソースセルが、
前記横型MOSトランジスタのチャネルとなる第1p型領域内に形成され、p型不純物を前記第1p型領域より高濃度に含有する第2p型領域と、
前記第1p型領域および第2p型領域内に形成され、前記横型MOSトランジスタのソースとなる高濃度n型領域とを有してなることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記LOCOSの端部に隣接するセルが、ソースセルのみからなり、
前記LOCOSの端部に隣接するソースセルにおいて、前記第2p型領域が取り除かれてなることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。 - 前記LOCOSの端部に隣接するソースセルにおいて、前記高濃度n型領域が取り除かれてなることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置。
- 前記第2p型領域が、ドーズ量2×1014/cm2以下のイオン注入により形成されてなることを特徴とする請求項7乃至9のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記半導体基板が、SOI構造の半導体基板であり、
SOI層の厚さが、14μm以上であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 絶縁分離トレンチに取り囲まれ、当該絶縁分離トレンチ上に形成されたLOCOSの端部を外周とする、半導体基板のトランジスタ形成領域内に、
横型MOSトランジスタのソースとドレインの各セルが、配置されてなり、
前記トランジスタ形成領域内に形成されるソースセルもしくはドレインセルの少なくとも一方が、最大幅10μm以下のセルを含む半導体装置の製造方法であって、
前記ソースセルが、
前記横型MOSトランジスタのチャネルとなる第1p型領域内に形成され、p型不純物を前記第1p型領域より高濃度に含有する第2p型領域を有してなり、
前記第2p型領域を、ドーズ量2×1014/cm2以下のイオン注入により形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 絶縁分離トレンチに取り囲まれ、当該絶縁分離トレンチ上に形成されたLOCOSの端部を外周とする、半導体基板のトランジスタ形成領域内に、
横型MOSトランジスタのソースとドレインの各セルが、配置されてなり、
前記トランジスタ形成領域内に形成されるソースセルもしくはドレインセルの少なくとも一方が、最大幅10μm以下のセルを含む半導体装置の製造方法であって、
前記ソースセルが、
前記横型MOSトランジスタのチャネルとなる第1p型領域内に形成され、p型不純物を前記第1p型領域より高濃度に含有する第2p型領域を有してなり、
前記第2p型領域をイオン注入により形成した後、1100℃以上で熱処理することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPH10200102A (ja) * | 1997-01-09 | 1998-07-31 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置 |
JPH10313064A (ja) * | 1997-05-13 | 1998-11-24 | Denso Corp | 半導体装置 |
JPH11354779A (ja) * | 1998-06-12 | 1999-12-24 | Denso Corp | 横型mosトランジスタ |
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