JP2006334685A - ツルーイング工具および研削砥石のツルーイング方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】 特に薄刃ブレードに用いて、R形状に摩耗したその刃先を確実にフラットに修正して鋭利な断面形状にツルーイングし、またこのツルーイング工具を用いて、薄刃ブレードの刃先をこのような鋭利な形状にツルーイングする。
【解決手段】 研削砥石のツルーイングを行うツルーイング工具であって、樹脂結合剤相2にWC粉末4と超砥粒3とを分散した加工部1を有し、この加工部1におけるWC粉末4の含有量を10〜50vol%、超砥粒3の含有量を10〜40vol%とし、このようなツルーイング工具を用いて、超砥粒を金属または樹脂結合剤相に分散した砥粒層を有する薄刃ブレードを、その中心軸線回りに回転させつつ砥粒層を加工部に切り込ませることによってツルーイングする。
【選択図】 図2

Description

本発明は、研削砥石のツルーイングを行うツルーイング工具、および該ツルーイング工具を用いて特に薄刃ブレード状の研削砥石をツルーイングする研削砥石のツルーイング方法に関するものである。
ダイヤモンド砥粒やcBN砥粒のような超高硬度の超砥粒を分散した砥粒層を有する研削砥石のツルーイング(形状修正)に用いられるツルーイング工具として、例えば特許文献1には、元素周期表における4A族、5A族、または6A族の金属またはその合金を研削砥石の作業面(砥粒層)に接触させる接触部材(加工部)としたツルーイング工具が提案されている。また、特許文献2には、研削砥石と接触する部材(加工部)がニッケル及び/又はニッケル基合金を含有するドレッシング及び/又はツルーイング工具が提案されており、さらにこれら特許文献1、2では上記金属や合金の加工部にGCやWA等の砥石材料を分散してもよいとされている。
特開平10−6216号公報 特開2004−34244号公報
ところで、上述のように超砥粒を分散した砥粒層を有する研削砥石としては、被研削物の表面を上記砥粒層によって研磨して平滑に仕上げ加工するものの他に、電子材料部品の製造工程などにおいて、基板上に一括して素子等を実装してモールディングした後に個片化する際の切断に用いられる、極薄円環形等の薄刃ブレード状の研削砥石(以下、単に薄刃ブレードと称する。)が知られている。そして、このような電子材料部品として、近年例えばQFN(quad flat non−leaded package)と称されるものやIrDA(赤外線データ通信協会)規格の光伝送モジュールのように、モールディング樹脂中に金属製のリードフレームやスルーホールが埋設されたものを上記薄刃ブレードによって切断することが増えてきており、このような電子材料部品の切断では、薄刃ブレード外周の刃先が断面半円弧状(R形状)等に摩耗してその切れ味が鈍ると、上記リードフレームやスルーホールから金属バリが発生してしまったり、刃先の切断幅がそれよりも内周側に比べて小さくなることから切断された部品の上下面の寸法差が大きくなったりするため、特に薄刃ブレードの極薄の外周面を該薄刃ブレードの中心軸線方向にフラットになるように修正して、この外周面と薄刃ブレードの両側面とが出来るだけ直交した鋭利な刃先断面にツルーイングすることが必要となる。
しかしながら、上記特許文献1、2に記載のツルーイング工具は、その加工部を上述のように元素周期表における4A族、5A族、または6A族の金属、あるいはニッケル、もしくはその合金とすることにより、研削砥石が該加工部を削った際に生成されるこのような金属もしくは合金の切屑によって研削砥石の砥粒層の結合剤を機械的に除去することで超砥粒を突き出させるようにしたもので、上記薄刃ブレードに対しては、ドレッシング効果は得られたとしても、摩耗した刃先のR形状をフラットに修正して薄刃ブレードの外周面と両側面とが直交するような刃先断面形状にツルーイングするのは困難となる。特に、特許文献2に記載のツルーイング工具では、加工部が延性に富み比較的軟らかいニッケル及び/又はニッケル基合金とされているため、このような加工部に薄刃ブレードのR形状に摩耗した刃先を切り込ませると、加工部がこのR形状に倣った形状に削られ、あるいは押し広げられることになって逆に刃先はR形状のままドレッシングされるだけとなり、たとえこの加工部にGCやWA等の砥石材料を分散していても、上記フラットな刃先断面形状を得ることはできない。
本発明は、このような背景の下になされたもので、特に上述のような薄刃ブレードに用いて、R形状に摩耗したその刃先を確実にフラットに修正して鋭利な断面形状にツルーイングすることが可能なツルーイング工具を提供し、またかかるツルーイング工具を用いて、上記薄刃ブレードの刃先をこのような鋭利な形状にツルーイングすることが可能な研削砥石(薄刃ブレード)のツルーイング方法を提供することを目的としている。
上記課題を解決して、このような目的を達成するために、本発明のツルーイング工具は、研削砥石のツルーイングを行うツルーイング工具であって、樹脂結合剤相にWC粉末と超砥粒とを分散した加工部を有し、この加工部における上記WC粉末の含有量が10〜50vol%、上記超砥粒の含有量が10〜40vol%とされていることを特徴とするものである。また、本発明のツルーイング方法は、このようなツルーイング工具を用いて、超砥粒を金属または樹脂結合剤相に分散した砥粒層を有する薄刃ブレードを、その中心軸線回りに回転させつつ上記砥粒層を上記加工部に切り込ませることによってツルーイングすることを特徴とする。
上記構成のツルーイング工具においては、その加工部に、研削砥石の砥粒層を除去して形状修正し得る超高硬度の超砥粒とともに高硬度のWC粉末が分散されており、これにより加工部自体に高い強度(硬度)を確保することができる。このため、ツルーイングの際に上記ツルーイング方法のように超砥粒を金属または樹脂結合剤相に分散した砥粒層を有する薄刃ブレードの刃先を切り込ませても、R形状に摩耗した刃先に倣って加工部が削り取られることが少なく、該加工部の超砥粒によって確実に薄刃ブレードの外周面をその中心軸線に平行に薄刃ブレードの砥粒層の厚さと近い幅でフラットに修正して、側面との交差稜線部が直交するように刃先を鋭利な形状にツルーイングすることが可能となる。しかも、この超砥粒は、ある程度の弾性を有する樹脂結合剤相に分散されて加工部に保持されているので、刃先の切込みによって加工部が押し広げられると、その反力によって超砥粒が研削砥石の砥粒層に強く押圧されるようにして食い付かされることとなり、これにより一層確実なR形状の修正を図ることができる。
ただし、上記加工部においてWC粉末や超砥粒の含有量が多すぎると、反対にこれらを保持する樹脂結合剤相の占める割合は少なくなり、十分な保持力が得られずに超砥粒やWC粉末が加工部から脱落し易くなる。このため、上述のように薄刃ブレードの外周面を側面と直交する状態に近くなるような幅でフラットに修正して刃先を鋭利な形状にツルーイングするには、薄刃ブレードを回転させて刃先を切り込ませつつ加工部に対して長い距離の送りを与えなければならず、ツルーイングに多くの時間を要することになって、例えば上記電子材料部品の切断作業全体におけるアイドリングタイム(切断中断時間)も長引き、作業効率の低下を招くことにもなる。また、逆に超砥粒の含有量が少なすぎてもツルーイングやドレッシングに多くの時間を要し、さらにWC粉末の含有量が少なすぎると加工部の強度を十分に確保することが出来ずに上述の効果を奏することができなくなるので、加工部におけるWC粉末の含有量は10〜50vol%、超砥粒の含有量は10〜40vol%とされる。
なお、上記ツルーイング工具において加工部に分散される超砥粒の粒度はメッシュサイズで#1000以下とされるのが望ましく、これよりも加工部の超砥粒の砥粒サイズが細かいと(粒度がメッシュサイズで#1000よりも大きいと)、研削砥石の砥粒層に与える衝撃力が小さくなってツルーイング効率が低下し、十分なツルーイングを図るには多くの時間を費やす結果となる。ただし、この超砥粒の砥粒サイズがあまり大きすぎても、特に上記薄刃ブレードのような極薄の砥粒層を有する研削砥石のツルーイングでは精度が損なわれるおそれがあるため、その上限はメッシュサイズで#120程度とされるのが望ましい。また、WC粉末の粒径は、樹脂結合剤相に均一に分散させて加工部の強度や硬度を確実に向上させるために、平均粒径にして10μm以下とされるのが望ましい。
図1および図2は本発明のツルーイング工具の一実施形態を示すものである。本実施形態のツルーイング工具は、図1に示すように方形平板のプレート状をなし、その全体が研削砥石をツルーイングするための加工部1とされている。なお、加工部1の研削砥石に接触させられる以外の部分に、当該ツルーイング工具を研削盤等の工作機械に取り付けるための取付部が備えられていてもよい。
そして、この加工部1は図2に示すように、樹脂結合剤相2にダイヤモンド砥粒やcBN砥粒等の超砥粒3とWC粉末4とが略均一に分散されて形成されており、このうちWC粉末4の加工部1における含有量は10〜50vol%、超砥粒3の加工部1における含有量は10〜40vol%とされている。また、超砥粒3の粒度はメッシュサイズで#1000以下とされ、望ましくは#120〜#1000の範囲内とされるとともに、より望ましくはその粒径がツルーイングされる研削砥石の砥粒の粒径の2倍以上とされ、さらにWC粉末4の粒径は10μm以下とされる。なお、樹脂結合剤相2としては、例えばフェノール樹脂やポリイミド樹脂等の耐熱樹脂よりなるものが用いられる。
図3および図4は、この実施形態のツルーイング工具を用いた本発明の薄刃ブレード11のツルーイング方法の一実施形態を示すものである。この薄刃ブレード11は、やはりダイヤモンド砥粒やCBN砥粒等の超砥粒を、電鋳等によってニッケル等の金属結合剤相(金属めっき相)に分散したり、あるいはフェノール樹脂やポリイミド樹脂等の樹脂結合剤相に分散したりして形成された、厚さが0.05〜0.5mm程度の極薄で中心軸線Oを中心とした円環状の砥粒層12によって構成されている。そして、このような薄刃ブレード11は、この砥粒層12がなす円環の内周部が工作機械の回転軸に取り付けられて、上記中心軸線O回りに回転させられるとともに、砥粒層12外周部の刃先13が工作機械に保持された上述の電子材料部品のような加工物に切り込まれ、さらに中心軸線Oに垂直な水平方向に相対的に送りが与えられて該加工物を切断してゆく。
こうして加工物の切断を行ううちには、薄刃ブレード11の砥粒層12の上記刃先13が摩耗して、図4(a)に示すように中心軸線Oに沿った断面において凸半円弧のR形状に丸められてしまう。このように刃先13が摩耗した薄刃ブレード11では、特に加工物が上述したQFNやIrDA規格の光伝送モジュールのような切断により個片化される電子材料部品である場合に、モールディング樹脂中の金属製リードフレームやスルーホールが刃先13のR形状によって押し広げられつつ切断されることとなってバリを生じたり、刃先13の先端による切断幅がこれよりも内周側(図4(a)において上側)の砥粒層12による切断幅よりも小さくなって、切断された電子材料部品の上下面における上記切断幅方向の寸法差が大きくなってしまったりしてしまうため、上記実施形態のツルーイング工具によって上記刃先13を形状修正して鋭利な切れ味を回復させる。
すなわち、上記加工物に代えて図3に示すように上記実施形態のツルーイング工具を、薄刃ブレード11が取り付けられた工作機械に、上記加工部1の平面部が薄刃ブレード11側を向いて中心軸線Oと平行となるように水平に保持し、切断のときと同じように薄刃ブレード11をその中心軸線O回りに回転させつつ上記砥粒層12外周の刃先13を加工部1の上記平面部に垂直に切り込ませ、さらにこの中心軸線Oに垂直な水平方向(図3の図面に直交する方向)に相対的に送りを与えてゆく。ただし、この刃先13の切り込み量は加工部1の厚さよりも小さくされ、従って該加工部1は上記加工物のように切断されることはなく、薄刃ブレード11によって幅狭の凹溝が上記水平方向に向けて形成されることとなる。また、1回の送りだけでは十分な形状修正がなされない場合は、図3に示したように加工部1に対して薄刃ブレード11を中心軸線O方向に相対的に順次移動させて、複数本の上記凹溝が形成されるように切込みと送りを与える。
そして、上記実施形態のツルーイング工具においては、その加工部1が、樹脂結合剤相2に超砥粒3とWC粉末4とを分散したものとされているので、超高硬度の超砥粒3によって薄刃ブレード11の砥粒層12を確実に除去してツルーイングできるとともに、この超高硬度の超砥粒3と、さらに高硬度のWC粉末4とによって加工部1自体に高い強度や硬度を確保することが可能となる。このため、上述のようにR形状に摩耗した薄刃ブレード11の刃先13を切り込ませても、このR形状に倣って加工部1が断面凹半円弧状に削り取られてしまうのを抑えることができる。また、その一方で、これら超砥粒3とWC粉末4とが分散される樹脂結合剤相2自体は、ある程度の弾性を有しているので、刃先13の切込みによって加工部1が押し広げられようとすると、その反力により超砥粒3は逆に刃先13に向けて強く押圧されることとなるので、これらにより、上記構成のツルーイング工具によれば、ツルーイング後の刃先13を加工部1の平面部に沿って薄刃ブレード11の中心軸線Oと平行になるように、図4(b)に示すようなフラットな断面形状に修正することができる。
従って、このように形状修正された薄刃ブレード11では、図4(b)に示したように刃先13において中心軸線Oに平行とされた薄刃ブレード11の外周面13aと両側面13bとが垂直に交差する状態に近くなり、これら外周面13aと側面13bとの交差稜線部13cが直角に近い鋭利な断面形状となる。このため、こうしてツルーイングされた薄刃ブレード11によれば、この鋭利な刃先13の交差稜線部13cを切刃エッジとして加工物の切断を行うことができ、上述のQFNやIrDA規格の光伝送モジュールのような電子材料部品を個片化するのに再度用いても、モールディング樹脂中の金属製のリードフレームやスルーホールを切れ味良く切断することができてバリの発生を確実に防止することが可能となるとともに、切断された電子材料部品のような加工物の上下面の寸法差を減少させることができる。
また、上記ツルーイング工具では、加工部1に分散されたWC粉末4の含有量が10〜50vol%とされるとともに、超砥粒3の含有量は10〜40vol%とされており、薄刃ブレード11をツルーイング工具に対して比較的短い距離だけ送り出す間に、より確実に薄刃ブレード11の刃先13をフラットに修正して交差稜線部13cが鋭利な断面形状となるようにツルーイングすることができる。すなわち、WC粉末の含有量が10vol%を下回るほど少ないと、加工部1に上述のような高い強度や硬度を確保することができずに刃先13をフラットとすることができなくなる一方、WC粉末4の含有量が50vol%を上回るほど多かったり、あるいは超砥粒3の含有量が40vol%を上回るほど多かったりすると、逆に加工部1において超砥粒3を保持する樹脂結合剤相2の含有量が少なくなり、これに伴い超砥粒3が脱落し易くなって、却って単位送り長さ当たりのツルーイング量が少なくなる。
さらに、超砥粒3の含有量が10vol%を下回るほど少なくても、やはり該超砥粒3による薄刃ブレード11の砥粒層12のツルーイング量が単位送り長さ当たりで減少し、従ってより長い距離だけ薄刃ブレード11を相対的に送り出さなければ、図4(b)に示したように刃先13における薄刃ブレード11の外周面13aを交差稜線部13cにおいて側面13bと直交する状態に近くなるまでフラットにすることができず、すなわちフラットに修正された外周面13aの中心軸線O方向の幅Taを薄刃ブレード11の砥粒層12の厚さTに近づけることができなくなる。そして、このようにフラットとされた外周面13aの幅Taが砥粒層12の厚さTに対して小さいと、例えば図4(c)に示すように交差稜線部13cには断面凸円弧のR形状が残されたままとなり、かかる刃先部13を有する薄刃ブレード11では、加工物の上下面に大きな寸法差が生じたり、金属リードフレームやスルーホールの押し広げを防ぐことができずにバリの発生を防止することが不可能となったりする。
ところが、これに対して上記ツルーイング工具では、超砥粒3やWC粉末4の加工部1における含有量が上述のような範囲とされているので、薄刃ブレード11の砥粒層12をツルーイングするのに十分な超砥粒3を容易に脱落させることなく保持しうる量の樹脂結合剤相2を加工部1に確保することができる。従って、WC粉末4により加工部1自体の強度や硬度が向上するのに伴い超砥粒3の保持力が向上することとも相俟って、より短い送り長さ、すなわち加工部1に形成される上記凹溝の数で、図4(b)に示したようにフラットに修正された外周面13aの幅Taを砥粒層12の厚さTに近づけ、つまり刃先13の上記交差稜線部13cを断面直角に近づけて、バリを生じることのない鋭利な切れ味を回復することが可能となるとともに、加工物の上下面の寸法差も減少させることができる。
このように、上記構成のツルーイング工具によれば、より短い送り長さや少ない凹溝の本数で刃先13の外周面13aを必要な幅Taまでフラットに修正し、薄刃ブレード11を迅速にツルーイングすることができるので、このツルーイングに要する時間を短縮することが可能となり、例えば上述のような電子材料部品を個片化するための切断作業においても、作業時間全体に占めるツルーイングによるアイドリングタイム(切断中断時間)の割合を低減して作業効率の向上を図ることができる。なお、こうして交差稜線部13cを直角に近づけて鋭利な切れ味を得るには、フラットな外周面13aの幅Taは砥粒層12の厚さTに対して0.9T以上とされるのが望ましい。
さらに、上記実施形態のツルーイング工具では、加工部1に分散される超砥粒3のメッシュサイズが#1000以下、望ましくは#120〜#1000の範囲内で、より望ましくは超砥粒3の粒径がツルーイングされる研削砥石の粒径の2倍以上とされており、これにより一層迅速で効率的なツルーイングを促すことができる。すなわち、超砥粒3のメッシュサイズがこれよりも大きいと粒径(砥粒サイズ)が小さくなりすぎ、この超砥粒3が砥粒層12の結合剤相に食い付くだけとなって該砥粒層12に与えられる衝撃力が小さくなり、この砥粒層12のR形状に摩耗した刃先13を効率的にフラットに修正することができなくなるため、上述のように刃先13の外周面13aを砥粒層12の厚さTに近い幅Taでフラットにするには、より長い送りで多くの本数の凹溝を加工部1に形成せざるを得なくなり、ツルーイングに要する時間の増大を招くことになる。
ただし、この超砥粒3のメッシュサイズが小さすぎると(粒径が大きすぎると)、特に上記実施形態の薄刃ブレード11のツルーイング方法のように極薄の砥粒層12に形成された刃先13を形状修正する場合に、砥粒の形状によって修正された刃先13の形状が影響を受けて修正精度が損なわれるおそれがあるので、該超砥粒3の粒度はメッシュサイズで#120以上とされるのが望ましい。また、本実施形態では、WC粉末4の平均粒径が10μm以下とされており、このWC粉末4をより均一に樹脂結合剤相2に分散させて一層確実に該WC粉末4による加工部1の強度や硬度の向上を図ることが可能となる。すなわち、WC粉末4の粒径がこれよりも大きいと、樹脂結合剤相2中にWC粉末4の偏りが生じ、これに伴い加工部1にもその強度や硬度に部分的な偏りが生じるおそれがある。
なお、上記実施形態のツルーイング方法では、上記実施形態のツルーイング工具を薄刃ブレード11の刃先13のツルーイングに用いた場合について説明したが、本発明のツルーイング工具は、このような薄刃ブレード11以外の研削砥石のツルーイングに用いることも、勿論可能である。このような場合において、ツルーイング工具の加工部1の形状は、ツルーイングされる研削砥石の修正すべき砥粒層の形状に応じて形成すればよい。さらにまた、本発明のツルーイング工具は、その加工部1において上述のようにある程度の弾性を有する樹脂結合剤相2に超砥粒3が分散されているとともに、この樹脂結合剤相2には高硬度のWC粉末4も分散されたものであるので、研削砥石の砥粒層の結合剤相から砥粒を突出させて目立てを行うドレッシングの効果も期待することができる。
以下、本発明のツルーイング工具の実施例を挙げて、その効果を実証する。本実施例では、まずツルーイング工具の加工部における超砥粒の含有量を25vol%で一定とし、WC粉末の含有量を5〜65vol%の範囲で異ならせた13種のツルーイング工具を製造した。このうち、本発明に係わるWC粉末含有量が10〜50vol%の範囲にある9種のものを実施例1〜9、それ以外の4種のものを比較例1〜4とした。ただし、超砥粒はダイヤモンド砥粒、粒度(ただし、メッシュサイズ。以下、同じ)は#230、WC粉末の平均粒径は10μmで一定であり、樹脂結合剤相はフェノール樹脂であって、加工部は1辺の長さが80mm、厚さ1mmの正方形平板状とした。また、さらに比較例5として、粒径#200のGC砥粒を25vol%の含有量でフェノールよりなる結合剤相に分散した上記と同形同大の加工部を有するツルーイング工具を製造した。そして、これらのツルーイング工具により、上記実施形態のツルーイング方法に基づいて、刃先がR形状に摩耗した薄刃ブレードに同一の条件でツルーイングを施し、所定の送り長さごとに薄刃ブレードの刃先の形状、寸法を測定して、その修正の状態を評価した。この結果を表1に示す。
ただし、ツルーイングした薄刃ブレードは、ニッケルめっき相に#600のダイヤモンド砥粒を25vol%分散した外径56mm、内径40mm、厚さ0.1mmの電鋳薄刃ブレードであり、ツルーイング前の刃先断面は概ね上記厚さ寸法を直径とする凸半円弧状に丸められていた。さらに、ツルーイング条件は主軸回転数30000(1/min)、送り速度30(mm/sec)、切り込み量0.2(mm)であった。また、薄刃ブレードは正方形平板状の上記加工部の辺方向に送り出し、これにより加工部に形成された凹溝10本ごと、すなわち送り長さ800mmごとの刃先の形状、寸法を測定し、薄刃ブレードの中心軸線に平行にフラットに修正された刃先の外周面の上記幅Taが砥粒層の上記厚さTに対して90%以上にツルーイングされていた場合を○、そうでない場合を×として評価した。
Figure 2006334685
この表1の結果より、GC砥粒を用いた比較例5や、超砥粒を用いてもWC粉末の含有量が多すぎる比較例1では、凹溝本数が50本(送り長さ40000mm)に達しても幅Taが厚さTの90%に達することはなかった。また、比較例1と同じくWC粉末の含有量が50vol%を上回る比較例2や逆に10vol%を下回る比較例4では凹溝本数が50本までで、比較例3では40本までで幅Taが厚さTの90%に達するなど、ツルーイングに時間を要したのに対し、WC粉末含有量が10〜50vol%の範囲とされた本発明に係わる実施例1〜9では、凹溝本数が30本(送り長さ24000mm)までで厚さTの90%以上の幅Taが得られており、特にWC粉末含有量を15〜45vol%とした実施例2〜8ではツルーイング開始当初の10本目まででこのような幅Taのフラットな外周面が形成されたことが確認できた。さらに、加工部の超砥粒の粒度を#200、ツルーイングする薄刃ブレードの砥粒粒度を#325、厚さを0.3mmとした以外は、上記と同じ条件でツルーイングを行った場合にも、表1と同様の結果が得られた。
次に、ツルーイング工具の加工部におけるWC粉末の含有量を30vol%で一定とし、超砥粒の含有量を6.25〜43.75vol%(集中度25〜175)の範囲で異ならせた7種のツルーイング工具を製造した。このうち、本発明に係わる超砥粒の含有量が10〜40vol%の範囲にある5種のものを実施例11〜15、それ以外の2種のものを比較例16、17とする。ただし、超砥粒はダイヤモンド砥粒、粒度は#230、WC粉末の平均粒径は5μmで一定であり、樹脂結合剤相はフェノール樹脂であって、加工部の形状、寸法は上記の場合と同様である。さらに、比較例18として上記比較例5と同じくGC砥粒を用いたツルーイング工具も用意した。そして、これらのツルーイング工具により、ニッケルめっき相に#600のダイヤモンド砥粒を31.25vol%分散した外径56mm、内径40mm、厚さ0.1mmの電鋳薄刃ブレードに、上記と同じツルーイング条件でツルーイングを施し、その刃先の修正状態を評価した。この結果を、表2にやはり上記と同じく○、×で示す。
Figure 2006334685
この表2の結果より、GC砥粒を用いた比較例18や、超砥粒を用いてもその含有量が少なすぎる比較例17では凹溝本数が50本に達しても幅Taが厚さTの90%に達することはなく、また逆に超砥粒含有量が40vol%を上回る比較例11でも、刃先の外周面の幅Taが砥粒層の厚さTの90%に達するには凹溝本数が50本と、多くのツルーイング時間を要することになった。これらに対し、超砥粒含有量が10〜40vol%の範囲の本発明に係わる実施例11〜15では、やはり凹溝本数が30本までで厚さTの90%以上の幅Taが得られており、特に超砥粒含有量を18.75〜31.25vol%(集中度75〜125)とした実施例12〜14では、上記実施例2〜8と同様に凹溝本数が10本目までで厚さTの90%以上の幅Taが得られていた。さらに、これら実施例11〜15および比較例16、17でも加工部の超砥粒の粒度を#200とし、比較例18も含めてツルーイングする薄刃ブレードの砥粒粒度を#325、厚さを0.3mmとした以外は、上記と同じ条件でツルーイングを行った場合にも、表2と同様の結果が得られた。
最後に、本発明に係わるツルーイング工具の加工部の超砥粒含有量を25vol%、WC粉末含有量を30vol%で一定とし、超砥粒の粒度を種々に変化させて同様にツルーイングを施し、その結果を評価した。ただし、評価基準は、薄刃ブレードの中心軸線と平行に修正された刃先外周面の幅Taが砥粒層の厚さTに対して95%よりも大きい場合を○、90%よりも大きく95%未満の場合を△、90%以下の場合を×としてある。この結果を、表3に実施例21〜27として示す。ただし、この薄刃ブレードは外径56mm、内径40mm、厚さ0.05mmのものであって、超砥粒の粒度が#4000であった。また、ツルーイング工具の加工部において超砥粒はダイヤモンド砥粒、WC粉末の平均粒径は3μm、樹脂結合剤相はフェノール樹脂であり、加工部の形状、寸法は上記と同じであった。さらに、ツルーイング条件は、切り込み量が0.1mmとされている以外は上記表1、2の場合と同様であった。また、この表3の場合でも、比較例21として、比較例5、18と同じくGC砥粒を用いたツルーイング工具によってもツルーイングを行った。
Figure 2006334685
この結果より、GC砥粒を用いた比較例21では、凹溝本数が50本(送り長さ40000mm)に達しても、薄刃ブレードの刃先の外周面の幅Taが砥粒層の厚さTの90%に達することはなかった。また、加工部におけるWC粉末の含有量が10〜50vol%、超砥粒の含有量が10〜40vol%であっても、超砥粒の粒度が#1000より大きく、すなわち粒径が小さい実施例26、27では、凹溝本数が30本に達したところで幅Ta厚さTの90%には達したものの、実施例26ではこれが95%に達するには50本の凹溝を形成しなければならず、またこれよりもさらに粒度の大きい(細かい)実施例27では50本形成時でも95%に達することはなかった。これらに対して、加工部の超砥粒の粒度を#1000以下とした実施例21〜25では、いずれも30本までで幅Taが厚さTの95%に達しており、特に加工部の超砥粒の粒度が#800以下となるようにされた実施例21〜24では、ツルーイング開始当初の10本目の凹溝が形成されるまでで、幅Taが厚さTの95%に達することが認められた。
本発明のツルーイング工具の一実施形態を示す斜視図である。 図1に示す実施形態の加工部1の模式的拡大図である。 本発明のツルーイング方法の一実施形態を説明する図である。 図3に示す実施形態のツルーイング方法によってツルーイングされる薄刃ブレード11の刃先13の、(a)ツルーイング前の状態、(b)ツルーイング後の状態、および(c)ツルーイングが不十分である場合の状態、を示す断面図である。
符号の説明
1 加工部
2 樹脂結合剤相
3 超砥粒
4 WC粉末
11 薄刃ブレード(研削砥石)
12 砥粒層
13 刃先
13a 砥粒層12の外周面
13b 砥粒層12の側面
13c 外周面13aと側面13bとの交差稜線部
T 砥粒層12の厚さ
Ta ツルーイングされた外周面13aの幅
O 薄刃ブレード11の中心軸線

Claims (3)

  1. 研削砥石のツルーイングを行うツルーイング工具であって、樹脂結合剤相にWC粉末と超砥粒とを分散した加工部を有し、この加工部における上記WC粉末の含有量が10〜50vol%、上記超砥粒の含有量が10〜40vol%とされていることを特徴とするツルーイング工具。
  2. 上記超砥粒の粒度が#1000以下とされていることを特徴とする請求項1に記載のツルーイング工具。
  3. 請求項1または請求項2に記載のツルーイング工具を用いて、超砥粒を金属または樹脂結合剤相に分散した砥粒層を有する薄刃ブレード状の上記研削砥石を、その中心軸線回りに回転させつつ上記砥粒層を上記加工部に切り込ませることによってツルーイングすることを特徴とする研削砥石のツルーイング方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011031386A (ja) * 2009-07-10 2011-02-17 Mitsubishi Chemicals Corp 電着式固定砥粒ワイヤーおよびこれを用いた結晶スライス方法
JP2015030084A (ja) * 2013-08-07 2015-02-16 株式会社ディスコ レジンブレードの整形方法
JP2015096288A (ja) * 2013-11-15 2015-05-21 株式会社東京精密 目立て用工具
JP2017140697A (ja) * 2017-05-29 2017-08-17 株式会社東京精密 目立て用工具
CN109249285A (zh) * 2017-07-12 2019-01-22 株式会社迪思科 修整板和修整方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6080855A (ja) * 1983-10-11 1985-05-08 Kohjin Co Ltd 静電記録紙
JPS62124872A (ja) * 1985-11-21 1987-06-06 ピ− キユ− コ−ポレ−シヨン ウエハ−を製造する為のマウンテイングビ−ム
JPH0379265A (ja) * 1989-08-19 1991-04-04 Sony Chem Corp 被加工物の切断方法
JPH03281171A (ja) * 1990-03-28 1991-12-11 Fujitsu Ltd カッティングホイールのドレッシング方法
JPH0584666A (ja) * 1991-09-24 1993-04-06 Noritake Dia Kk レジンボンド超砥粒砥石の製造法
JP2004202681A (ja) * 2002-12-11 2004-07-22 Showa Denko Kk 複合材料及びそれを用いた加工方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6080855A (ja) * 1983-10-11 1985-05-08 Kohjin Co Ltd 静電記録紙
JPS62124872A (ja) * 1985-11-21 1987-06-06 ピ− キユ− コ−ポレ−シヨン ウエハ−を製造する為のマウンテイングビ−ム
JPH0379265A (ja) * 1989-08-19 1991-04-04 Sony Chem Corp 被加工物の切断方法
JPH03281171A (ja) * 1990-03-28 1991-12-11 Fujitsu Ltd カッティングホイールのドレッシング方法
JPH0584666A (ja) * 1991-09-24 1993-04-06 Noritake Dia Kk レジンボンド超砥粒砥石の製造法
JP2004202681A (ja) * 2002-12-11 2004-07-22 Showa Denko Kk 複合材料及びそれを用いた加工方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011031386A (ja) * 2009-07-10 2011-02-17 Mitsubishi Chemicals Corp 電着式固定砥粒ワイヤーおよびこれを用いた結晶スライス方法
JP2015030084A (ja) * 2013-08-07 2015-02-16 株式会社ディスコ レジンブレードの整形方法
JP2015096288A (ja) * 2013-11-15 2015-05-21 株式会社東京精密 目立て用工具
JP2017140697A (ja) * 2017-05-29 2017-08-17 株式会社東京精密 目立て用工具
CN109249285A (zh) * 2017-07-12 2019-01-22 株式会社迪思科 修整板和修整方法
KR20190007390A (ko) * 2017-07-12 2019-01-22 가부시기가이샤 디스코 드레서 보드, 드레싱 방법
JP2019018254A (ja) * 2017-07-12 2019-02-07 株式会社ディスコ ドレッサボード、ドレッシング方法
KR102503533B1 (ko) 2017-07-12 2023-02-23 가부시기가이샤 디스코 드레서 보드, 드레싱 방법

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