JP2024064081A - 切削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】延性材で形成されている領域を切削する際に低速化しなくても１度の切削で切削溝に残存するバリを低減する。【解決手段】延性材を有する被加工物を切削する切削方法であって、切削ブレードの外周端部から切削ブレードの径方向の中心に向かう様にそれぞれ切り欠かれており切削ブレードの周方向に沿って配置された複数の切り欠きを外周部に有し、且つ、切削ブレードの径方向における切削ブレードの断面視において外周端部に直線状領域を有する切削ブレードを、スピンドルの回転中心を通る切削ブレードの径方向において回転中心から切削ブレードの一方の外周端部までの第１距離が回転中心から切削ブレードの他方の外周端部までの第２距離より長くなる様に、スピンドルに装着する切削ブレード装着工程と、切削ブレードを回転させながら、切削ブレードで被加工物における延性材で形成されている領域を切削する切削工程と、を備える切削方法を提供する。【選択図】図１

Description

本発明は、延性材を有する被加工物を円環状の切削ブレードで切削する切削方法に関する。

樹脂、金属等の延性材を有する被加工物を、高速回転している切削ブレードで切削して切削溝を形成すると、一般的には、延性材が伸びて切削溝の近傍にはバリが発生する。バリは、被加工物を切削して製造されるチップ等の製品における特性不良や外観不良となる。

そこで、切削時の加工送り速度（即ち、切削ブレードと被加工物との所定方向における相対的な移動速度）を１ｍｍ／ｓから数ｍｍ／ｓと低くすることで、バリのサイズを小さくする手法がある。また、切削溝の形成後に、切削ブレードで当該切削溝をなぞることで、バリを除去する手法も提案されている（例えば、特許文献１参照）。

しかし、加工送り速度を低くすると、単位時間当たりに切削可能な被加工物の数が減少するので生産性が低下する。同様に、切削ブレードで切削溝をなぞることでバリを除去する場合も、１つの切削予定ラインにつき複数回の加工送りが必要になるので、結果として、単位時間当たりに切削可能な被加工物の数が減少するので生産性が低下する。

特開２００１－７７０５５号公報

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、延性材で形成されている領域を切削ブレードで切削する際に、低速化しなくても１度の切削で切削溝に残存するバリを低減することを目的とする。

本発明の一態様によれば、延性材を有する被加工物を円環状の切削ブレードで切削する切削方法であって、該切削ブレードの外周端部から該切削ブレードの径方向の中心に向かう様にそれぞれ切り欠かれており該切削ブレードの周方向に沿って配置された複数の切り欠きを外周部に有し、且つ、該切り欠きを通る該切削ブレードの径方向における該切削ブレードの断面視において外周端部に直線状領域を有する該切削ブレードを、スピンドルの回転中心を通る該切削ブレードの径方向において該回転中心から該切削ブレードの一方の外周端部までの第１距離が該回転中心から該切削ブレードの他方の外周端部までの第２距離より長くなる様に、該スピンドルに装着する切削ブレード装着工程と、該切削ブレード装着工程の後、該スピンドルに装着された該切削ブレードを回転させながら、該切削ブレードで該被加工物における該延性材で形成されている領域を切削する切削工程と、を備える切削方法が提供される。

好ましくは、該切削ブレード装着工程では、該第１距離と該第２距離との差が１５μｍ以上１００μｍ以下となる様に、該切削ブレードを該スピンドルに装着する。

また、好ましくは、該切削ブレード装着工程の後、該切削ブレードを該スピンドルの周りに回転させながら該切削ブレードをドレスボードに切り込んだ状態で該スピンドルの長手方向と直交する加工送り方向に沿って該切削ブレードと該ドレスボードとを相対的に移動させるドレス工程を経ることなく、該第１距離が該第２距離よりも長い状態を維持した状態で該切削工程を行う。

また、好ましくは、切削方法は、該切削工程の後、該切削ブレードを該スピンドルから取り外し、次いで、該スピンドルの長手方向に沿う所定の直線の周りに該切削ブレードを９０度以上１８０度以下の所定角度だけ回転させた上で、該スピンドルの該回転中心を通る該切削ブレードの径方向において該回転中心から該切削ブレードの一方の外周端部までの第３距離が該回転中心から該切削ブレードの他方の外周端部までの第４距離よりも長くなる様に、該切削ブレードを該スピンドルに再装着する再装着工程を更に備える。

また、好ましくは、切削方法は、該切削工程の後、且つ、該再装着工程の前に、該スピンドルを回転させながら該切削ブレードをドレスボードに切り込んだ状態で、該スピンドルの長手方向に沿う割り出し送り方向に沿って該切削ブレードと該ドレスボードとを相対的に移動させることで、該切削ブレードの径方向における該切削ブレードの断面視において外周端部が直線状領域を有する様に該切削ブレードの該外周端部に対してフラットドレスを施すフラットドレス工程を更に備える。

また、好ましくは、該切削ブレードは、砥粒と、該砥粒を固定するボンド材と、を有する。

本発明の一態様に係る切削方法では、スピンドルの回転中心に対して切削ブレードの径方向の中心がずれて配置されており、スピンドルの回転中心から最も遠い第１距離又はその近傍に位置する切削ブレードの外周端部であって切り欠きの外周端部に位置する直線状領域を用いて、延性材で形成されている領域を主に切削する。

それゆえ、延性材で形成されている領域をカンナで削る様に切削できるので、切り欠きの外周端部に位置する直線状領域を有しない他の切削ブレードで被加工物を切削する場合に比べて、バリの発生量を低減できる。つまり、低速化しなくとも１度の切削において切削溝に残存するバリを低減できる。

第１の実施形態に係る切削方法のフロー図である。 図２（Ａ）は切削ブレードの正面図であり、図２（Ｂ）は切削ブレードの一部の斜視図である。 切削ユニットの分解斜視図である。 スピンドルに装着された切削ブレードを示す図である。 切削ブレードで被加工物を切削する様子を示す図である。 一般的なドレス工程を示す図である。 図７（Ａ）は切削溝の上面写真であり、図７（Ｂ）は切削溝の断面写真であり、図７（Ｃ）はＲ付略真円の切削ブレードで形成された切削溝の上面写真であり、図７（Ｄ）はＲ付略真円の切削ブレードで形成された切削溝の断面写真であり、図７（Ｅ）はＲ付偏心装着された切削ブレードで形成された切削溝の上面写真である。 第２の実施形態に係る切削方法のフロー図である。 図９（Ａ）は切削工程後且つ再装着工程前の摩耗した切削ブレードを示す図であり、図９（Ｂ）は再装着工程後の摩耗した切削ブレードを示す図である。 図１０（Ａ）は外周端部に直線状領域を有する切削ブレードの断面図であり、図１０（Ｂ）は外周端部が凸形状の曲面となった切削ブレードの断面図であり、図１０（Ｃ）は外周端部に直線状領域が再生された切削ブレードの断面図である。 第３の実施形態に係る切削方法のフロー図である。 フラットドレス工程を示す図である。 図１３（Ａ）はフラットドレス工程後且つ再装着工程前の切削ブレードで形成された切削溝の上面写真であり、図１３（Ｂ）はフラットドレス工程及び再装着工程後の切削ブレードで形成された切削溝の上面写真である。 他の例に係る切削ブレードの正面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、第１の実施形態に係る切削方法のフロー図である。第１の実施形態では、切削ブレード装着工程Ｓ１０及び切削工程Ｓ２０を順次行い、被加工物１１（図５参照）を切削ブレード２（図２（Ａ）等）で切削する。

ここで、図２（Ａ）から図５を参照し、切削ブレード２等について説明する。図２（Ａ）は、切削ブレード２の正面図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレード２の一部の斜視図である。切削ブレード２は、アルミニウム合金等で形成された基台を有さず、切り刃のみで構成されているハブレス型（ワッシャ型とも呼ばれる）である。

切削ブレード２は、ダイヤモンド、ｃＢＮ（cubic boron nitride）等で形成された砥粒と、レジンボンド、メタルボンド、電鋳ボンド等の砥粒を固定するためのボンド材と、を有する。砥粒は、＃２４０から＃５０００程度の粒度を有する。

粒度は、日本工業標準調査会（JISC：Japanese Industrial Standards Committee）により制定されるＪＩＳ規格、具体的にはＪＩＳ Ｒ ６００１－１：２０１７（研削といし用研削材の粒度－第１部：粗粒）及びＪＩＳ Ｒ ６００１－２：２０１７（研削といし用研削材の粒度－第２部：微粉）の表記に従う又は準ずる。

粒度の決め方の詳細は、上述のＪＩＳ Ｒ ６００１－１：２０１７及びＪＩＳ Ｒ ６００１－２：２０１７に記載されている。例えば、粒度は、沈降管試験方法、電気抵抗試験等を用いることにより定められる。

切削ブレード２は、砥粒及びボンド材を有するので、後述するフラットドレスにより切れ味を回復させることができる。一方で、砥粒を含まない超鋼カッターでは、一度切れ味が低減したら、超鋼カッターを新品のものに交換する必要がある。フラットドレスによる切れ味の回復が可能であることは、切削ブレード２の特徴の一つである。

切削ブレード２は、５０μｍ以上２００μｍ以下の所定の厚さを有する。本実施形態の切削ブレード２は、７０μｍの厚さを有する。切削ブレード２の形状は、円環状であり、それぞれ円形の外周端部２ａ及び内周端部２ｂを含む。

外周端部２ａ及び内周端部２ｂは、新品（未使用）の状態では、同心円状である。切削ブレード２の外周部には、複数の切り欠き２ｃが形成されている。各切り欠き２ｃは、切削ブレード２の厚さ方向において一面２Ａ_１から他面２Ａ_２までつながっている。

複数の切り欠き２ｃは、それぞれ外周端部２ａから切削ブレード２の径方向２ｄの中心２ｅに向かう様に形成され（即ち、切り欠かれ）ており、切削ブレード２の周方向２ｆに沿って略等間隔に配置されている。なお、中心２ｅは、切削ブレード２の外形（即ち、外周円）の中心である。

本実施形態の切り欠き２ｃは、外周端部２ａから中心２ｅに向かって伸びる様に細長く形成されたスリットである。切り欠き２ｃを通る径方向２ｄにおける切削ブレード２の断面視（図２（Ａ）の矢印Ａ参照）において、外周端部２ａは直線状領域２ｇを有する。

直線状領域２ｇは、切削ブレード２の一面２Ａ_１から他面２Ａ_２に向かう刃厚方向に沿っている。なお、市販の切削ブレードでは、加工目的に応じて、刃厚方向に対して所定角度を形成する傾斜領域を外周部に形成することがあるが、本実施形態の切削ブレード２における直線状領域２ｇは、刃厚方向に対して略平行である。

次に、図３を参照し、切削ブレード２が用いられる切削ユニット４について説明する。図３は、切削ユニット４の分解斜視図である。切削ユニット４は、長手方向がＹ軸方向に略平行に配置された筒状のスピンドルハウジング６を有する。

スピンドルハウジング６は、円柱状のスピンドル８の一部が回転可能に収容されている。スピンドル８は、長手方向がＹ軸方向に略平行に（即ち、Ｙ軸方向に沿って）配置されている。スピンドル８の基端部の近傍には、モータ等の駆動源（不図示）が設けられている。

スピンドル８の先端部は、スピンドルハウジング６から突出している。スピンドル８の先端部には、ブレードマウント１０が固定されている。ブレードマウント１０は、円環状の受けフランジ部１２と、円柱状のボス部１４と、を含む。

ボス部１４には、まず、切削ブレード２の開口２ｈが挿入される。切削ブレード２の開口２ｈの径は、スピンドル８の径よりも所定値（例えば、３０μｍ）だけ大きいので（即ち、クリアランスを有するので）、開口２ｈにボス部１４を挿入すると、切削ブレード２の内周端部２ｂの一部が、ボス部１４で支持される。

次いで、ボス部１４には、円盤状の押さえフランジ１６の開口１６ａが挿入される。その後、ボス部１４の先端部分の外周面に形成されている雄ねじに、円環状の固定ナット１８の雌ねじが締結される。

これにより、切削ブレード２は、受けフランジ部１２及び押さえフランジ１６で挟まれた状態でスピンドル８の他端部に固定される（即ち、スピンドル８に装着される）。図４は、スピンドル８に装着された切削ブレード２を示す図である。

但し、図４では、説明の便宜上、押さえフランジ１６、固定ナット１８等を省略している。また、図４では、切削ブレード２の半径を符号２ｉで示し、ボス部１４の円柱の中心軸に、スピンドル８の回転中心８ａを示す。

図４に示す様に、本実施形態の切削ブレード２は、切削ブレード２の中心２ｅがスピンドル８の回転中心８ａからずれる様に、スピンドル８に装着される。

これにより、切削ブレード２は、スピンドル８の回転中心８ａを通る切削ブレード２の径方向２ｄにおいて、回転中心８ａから切削ブレード２の一方の外周端部２ａまでの第１距離２０が、回転中心８ａから切削ブレード２の他方の外周端部２ａまでの第２距離２２より長くなる。

なお、本実施形態において、回転中心８ａを通る径方向２ｄにおける回転中心８ａから外周端部２ａまでの距離とは、切削ブレード２に切り欠き２ｃが形成されていない場合の回転中心８ａ及び外周端部２ａ間の距離と見なしてよい。

第１距離２０と第２距離２２との差２４は、切削ブレード２の外形の中心２ｅとスピンドル８の回転中心８ａとの差に略等しい。本実施形態では、差２４を１５μｍ以上１００μｍ以下の所定値とする。

ところで、スピンドルハウジング６の先端部には、不図示のブレードカバーが設けられている。ブレードカバーは、スピンドル８に装着された切削ブレード２の両面を挟む様に設けられた一対のクーラーノズル（不図示）を有する。

一対のクーラーノズルからは、純水等の切削水（不図示）が所定の流量で供給される。また、ブレードカバーには、切削ブレード２の外周部に所定の流量で切削水を供給可能なシャワーノズル（不図示）が設けられている。

切削装置３０は、上述の切削ユニット４に加えて、図５に示す様に、切削ユニット４の下方に設けられた円盤状のチャックテーブル３２を備える。チャックテーブル３２は、ステンレス鋼等の金属で形成差されている円盤状の枠体を有する。枠体の上部には、円盤状の凹部（不図示）が形成されている。

凹部には、ポーラスセラミックスで形成された円盤状の多孔質板（不図示）が固定されている。枠体の上面と、多孔質板の上面とは、略面一であり、ＸＹ平面に略平行な保持面３２ａを構成している。

多孔質板には、真空ポンプ等の吸引源（不図示）から負圧が伝達される。被加工物１１を保持面３２ａに載置した後、多孔質板に負圧を伝達させれば、被加工物１１は、保持面３２ａで吸引保持される。

チャックテーブル３２は、Ｚ軸方向と略平行な所定の回転軸の周りに回転可能に構成されている。また、チャックテーブル３２は、ボールねじ式の移動機構（不図示）により、Ｘ軸方向に沿って移動可能に構成されている。なお、Ｘ軸方向（加工送り方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向）、Ｚ軸方向（高さ方向、鉛直方向）は、互いに直交する。

次に、被加工物１１について説明する。本実施形態の被加工物１１は、縦１２５ｍｍ、横１２５ｍｍ及び厚さ約２２０μｍの矩形板であり、その全体がＰＥＴ（polyethylene terephthalate）で形成されている。

つまり、被加工物１１は、その全体が樹脂（延性材）で形成されている。しかし、本実施形態で説明する切削ブレード２での切削方法は、少なくとも被切削領域に樹脂、金属等の延性材を有する他の被加工物に対しても有効である。

次に、図１の各工程に沿い、被加工物１１を切削ブレード２で切削する切削方法について説明する。まず、図３及び図４を用いて説明した様に、切削ブレード２をスピンドル８に装着する（切削ブレード装着工程Ｓ１０）。

切削ブレード装着工程Ｓ１０の後、図５に示す様に、被加工物１１の一面と、被加工物１１の対角線よりも長い内径の円形開口を有する金属製の環状フレーム１５の一面とに、樹脂製のダイシングテープ１３が貼り付けられた被加工物ユニット１７を、保持面３２ａに載置する。なお、保持面３２ａの径は、被加工物１１の対角線よりも長く、環状フレーム１５の開口の径よりも小さい。

次いで、ダイシングテープ１３を介して被加工物１１を保持面３２ａで吸引保持する。そして、所定の速度で回転させた切削ブレード２の下端を被加工物１１の被保持面（即ち、下面）と、保持面３２ａとの間の所定深さに位置付けると共に、被加工物１１における１つの切削予定ライン（不図示）の延長線上に切削ブレード２を配置する。

そして、切削ブレード２を回転させたまま、それぞれ所定の流量で一対のクーラーノズル及びシャワーノズルから切削水を供給しながら、チャックテーブル３２をＸ軸方向に沿って移動させる（即ち、加工送りをする）。

これにより、被加工物１１は切削され、切削溝（不図示）が形成される（切削工程Ｓ２０）。本実施形態の切削工程Ｓ２０では、１つの切削予定ラインに沿う１回の切削で被加工物１１を切断する。図５は、切削ブレード２で被加工物１１を切削する様子を示す図である。

１つの切削予定ラインに沿って被加工物１１を切削した後、所定のインデックス量だけ切削ユニット４を割り出し送りする。その後、同様にして被加工物１１を切削する。この様にして、第１の方向に沿う全ての切削予定ラインを切削した後、チャックテーブル３２を９０度回転させる。

そして、第１の方向と直交する第２の方向に沿う全ての切削予定ラインに沿って、同様に被加工物１１を切削する。これにより、被加工物１１は、それぞれ矩形板状のチップ（不図示）に分割される。

切削工程Ｓ２０における加工条件の一例を次に示す。

スピンドル回転数 ：３０，０００ｒｐｍ
加工送り速度 ：５０ｍｍ／ｓ
クーラーノズルの流量：１．５Ｌ／ｍｉｎ
シャワーノズルの流量：１．０Ｌ／ｍｉｎ

本実施形態では、図４に示す様に、スピンドル８の回転中心８ａから最も遠い第１距離２０又はその近傍に位置する切削ブレード２の外周端部２ａであって切り欠き２ｃの外周端部２ａに位置する直線状領域２ｇで、延性材で形成されている被加工物１１を主に切削する。

それゆえ、被加工物１１をカンナで削る様に切り取ることができるので、切り欠き２ｃの外周端部２ａに位置する直線状領域２ｇを有しない他の切削ブレードで被加工物１１を切削する場合に比べて、バリの発生量を低減できる。つまり、低速化しなくとも１度の切削において切削溝に残存するバリを低減できる。

ところで、本実施形態の特徴の一つは、切削ブレード装着工程Ｓ１０の後、被加工物１１の切削直前に切削ブレード２の目立てや形状修正を主な目的とする一般的なドレス工程を経ることなく、切削工程Ｓ２０を行う点にある。

図６は、一般的なドレス工程を示す図である。一般的なドレス工程では、ドレスボード３３が使用される。ドレスボード３３は、上述のダイシングテープ１３を介して環状フレーム１５で支持された状態で、保持面３２ａで吸引保持される。

ドレスボード３３は、砥粒と、砥粒を固定する結合材と、を有する。砥粒は、例えば、ホワイトアランダム（ＷＡ）、グリーンカーボン（ＧＣ）で形成されており、切削ブレード２に使用される砥粒の平均粒径に比べて、小さい平均粒径を有する。また、結合材（ボンド材）としては、例えば、ビトリファイドボンドや、レジンボンドが用いられる。

一般的なドレス工程では、まず、スピンドル８の周りに回転している切削ブレード２の下端を、ドレスボード３３の上面３３ａ及び下面３３ｂの間の高さ位置に配置する。次に、Ｘ軸方向（加工送り方向）に沿って切削ブレード２とドレスボード３３とを相対的に移動させる。

本実施形態では、切削ユニット４に対してチャックテーブル３２を移動させることで、切削ブレード２をドレスボード３３に切り込んだ状態でドレスボード３３に対して加工送りする。

しかし、この様に、一般的なドレス工程を経ると、切削ブレード２の外形の中心２ｅが、スピンドル８の回転中心８ａに近づく、又は、略一致する。つまり、図４で説明した切削ブレード２の中心２ｅ及び回転中心８ａの差２４が小さくなる、又は、略ゼロになる。

後述する実験結果（図７（Ａ）から図７（Ｅ）参照）で示す様に、バリの発生を低減するためには、中心２ｅ及び回転中心８ａが離れることで第１距離２０が第２距離２２よりも長くなった状態で（図４参照）、切削工程Ｓ２０を行うことが重要である。

（第１の実験）図７（Ａ）及び図７（Ｂ）は、（ｉ）断面視において外周端部２ａが直線状領域２ｇを有する切削ブレード２を用い（図１０（Ａ）参照）、且つ、（ｉｉ）図４に示す様に第１距離２０が第２距離２２よりも長い状態を維持した状態で、被加工物１１に所定深さの切削溝１１ａを形成した実験結果である。

加工条件は、上述の第１の実施形態のものとした。図７（Ａ）は、切削溝１１ａの上面写真である。なお、図７（Ａ）において紙面横方向に延びる細長い直線は、切削溝１１ａの撮影時に撮影視野に重畳的に表示される基準線である。後述する他の上面写真でも同様である。

図７（Ｂ）は、切削溝１１ａの長手方向に直交する平面で切断された切削溝１１ａの断面写真である。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示す様に、第１の実験では、バリは略形成されなかった。また、図７（Ｂ）の断面写真に示す様に、切削溝１１ａの底部は、略平坦となった。

（第２の実験）図７（Ｃ）及び図７（Ｄ）は、上述の一般的なドレス工程を経て第１距離２０及び第２距離２２が略同じになり、且つ、外周端部２ａが断面視で曲線状の凸形状（図１０（Ｂ）参照）となった切削ブレード２（以降、Ｒ付略真円の切削ブレード２と略記する）を用いて、被加工物１１に所定深さの切削溝１１ｂを形成した結果である。

加工条件は、上述の第１の実施形態のものとした。図７（Ｃ）は、Ｒ付略真円の切削ブレード２で形成された切削溝１１ｂの上面写真である。図７（Ｃ）に示す様に、切削溝１１ｂの近傍には、多数のバリ１９が形成された。

図７（Ｄ）は、Ｒ付略真円の切削ブレード２で形成された切削溝１１ｂの断面写真である。図７（Ｄ）も、切削溝１１ｂの長手方向に直交する平面での断面写真である。図７（Ｄ）の断面写真に示す様に、切削溝１１ｂの底部は、凸形状の曲線となった。

（第３の実験）図７（Ｅ）は、外周端部２ａが若干摩耗しており断面視で凸形状の曲線（図１０（Ｂ）参照）を有する切削ブレード２をスピンドル８から取り外し、回転中心８ａの周りに時計回りに１２０度回転させた上で、再度、スピンドル８に装着した上で（以降、Ｒ付偏心装着された切削ブレード２と略記する）、形成された切削溝１１ｃの上面写真である。

Ｒ付偏心装着された切削ブレード２では、再装着により、図４を用いて説明した様に、第１距離２０が第２距離２２よりも長い状態が実現されている。

図７（Ｅ）に示す切削溝１１ｃの近傍に形成されるバリ１９の量は、図７（Ｃ）に示すバリ１９に比べて減少したが、図７（Ａ）に示す結果に比べれば、形成されるバリ１９の量は多い。

また、図示してはいないが、切り欠き２ｃを有さない切削ブレード（不図示）で被加工物１１を切削した場合には、切削溝の縁部に多量のバリ１９が発生することを出願人は確認している。

第１実験、第２実験及び第３実験の結果を鑑みるに、（ｉ）切削ブレード２が外周部に切り欠き２ｃを有し、断面視において外周端部２ａが直線状領域２ｇを有すること、及び、（ｉｉ）切削ブレード２の中心２ｅとスピンドル８の回転中心８ａとをずらして切削ブレード２をスピンドル８に装着することが、バリ１９の低減に効果的であると言える。

また、図７（Ｅ）の結果を鑑みれば、切削ブレード２が摩耗して外周端部２ａが断面視で凸形状の曲線となっていたとしても、切削ブレード２の中心２ｅとスピンドル８の回転中心８ａとをずらす様に、切削ブレード２をスピンドル８に装着することは、バリ１９を低減する上で、一定の効果があると言える。

（第２の実施形態）そこで、第２の実施形態では、切削ブレード２の中心２ｅとスピンドル８の回転中心８ａとをずらす様に、摩耗した切削ブレード２を回転させてボス部１４に配置した上で、切削ブレード２をスピンドル８に再装着する。図８は、第２の実施形態に係る切削方法のフロー図である。

図９（Ａ）は、切削工程Ｓ２０後且つ再装着工程Ｓ３０前の摩耗した切削ブレード２を示す図である。図９（Ａ）に示す様に、摩耗により、切削ブレード２の外形の中心２ｅと、回転中心８ａとは、略一致し、所定値（例えば、５μｍ）以下となる。

なお、図９（Ａ）では、説明の便宜上、押さえフランジ１６を省略し、更に、ボス部１４の円柱の中心軸に、スピンドル８の回転中心８ａを示している。また、ボス部１４に示す丸と、切削ブレード２の一面２Ａ_１に示す二重丸とは、切削ブレード２の回転を視覚的に明らかにするために便宜的に付している。

第２の実施形態では、切削工程Ｓ２０の後、更に切削を行う場合（Ｓ２４でＹＥＳ）、摩耗した切削ブレード２をスピンドル８から取り外す。

そして、スピンドル８の長手方向（即ち、Ｙ軸方向）に沿う所定の直線の周りに切削ブレード２を９０度以上１８０度以下の所定角度だけ回転させた上で、摩耗した切削ブレード２をスピンドル８に再装着する（再装着工程Ｓ３０）。図９（Ｂ）は再装着工程Ｓ３０後の摩耗した切削ブレード２を示す図である。

スピンドル８に再装着された切削ブレード２では、切削ブレード２の開口２ｈと、スピンドル８の径と、のクリアランス（例えば、３０μｍ程度）に起因して、切削ブレード２の外形の中心２ｅが、スピンドル８の回転中心８ａから所定距離（例えば、１５μｍ程度）離れ、回転中心８ａよりも下方に位置する。

再装着工程Ｓ３０を経ることで、回転中心８ａを通る摩耗した切削ブレード２の径方向２ｄにおいて回転中心８ａから摩耗した切削ブレード２の一方の外周端部２ａまでの第３距離４０は、回転中心８ａから摩耗した切削ブレード２の他方の外周端部２ａまでの第４距離４２よりも長くなる。

本実施形態においても、回転中心８ａを通る径方向２ｄにおける回転中心８ａから外周端部２ａまでの距離とは、切削ブレード２に切り欠き２ｃが形成されていない場合の回転中心８ａ及び外周端部２ａ間の距離と見なしてよい。

この様に、摩耗した切削ブレード２の外形の中心２ｅと、スピンドル８の回転中心８ａとをずらすことで、バリ１９を低減する一定の効果を得ることができる。なお、切削工程Ｓ２０後、切削を行わない場合（Ｓ２４でＮＯ）、フローを終了する。

ところで、上述の様に、摩耗前の（即ち、新品の）切削ブレード２では、切り欠き２ｃ及び中心２ｅを通る切削ブレード２の断面視（図２（Ａ）の矢印Ａ参照）での外周端部２ａは、図１０（Ａ）に示す様に直線状領域２ｇを有する。図１０（Ａ）は、外周端部２ａに直線状領域２ｇを有する切削ブレード２の断面図である。

しかし、被加工物１１の切削を進めるにつれて、切削ブレード２の外周端部２ａは摩耗する。特に、一面２Ａ_１側及び他面２Ａ_２側の外周端部２ａが摩耗し、切り欠き２ｃ及び中心２ｅを通る断面視において、切削ブレード２は凸形状の曲線となる（つまり、所謂Ｒが付いた状態となる）。

図１０（Ｂ）は、切り欠き２ｃ及び中心２ｅを通る断面における外周端部２ａが凸形状の曲面となった切削ブレード２の断面図である。上述の図７（Ａ）及び図７（Ｅ）に示す実験の結果を鑑みれば、切り欠き２ｃ及び中心２ｅを通る断面において外周端部２ａを直線状とする方が、バリ１９を低減できる。

つまり、Ｒが付いた外周端部２ａに対して所謂フラットドレスを施すことで、外周端部２ａの形状を修正して、直線状領域２ｇを再生することはバリ１９を低減する上で効果的である。図１０（Ｃ）は、フラットドレスにより、外周端部２ａに直線状領域２ｇが再生された切削ブレード２の断面図である。

（第３の実施形態）第３の実施形態では、外周端部２ａに直線状領域２ｇを再生するために、切削工程Ｓ２０の後且つ再装着工程Ｓ３０の前にフラットドレス工程Ｓ２６（図１１参照）を行う。図１１は、第３の実施形態に係る切削方法のフロー図である。

図１２は、フラットドレス工程Ｓ２６を示す図である。フラットドレス工程Ｓ２６では、まず、矩形板状のドレスボード３３の下面３３ｂと、環状フレーム１５の一面とに、樹脂製のダイシングテープ１３が貼り付けられたドレスボードユニットを保持面３２ａで吸引保持する。

このとき、ドレスボード３３の上面３３ａが上方に露出する。そして、スピンドル８を回転させながら外周端部２ａが摩耗した切削ブレード２をドレスボード３３に切り込んだ状態で、Ｙ軸方向に沿って切削ブレード２とドレスボード３３とを相対的に移動させる。

本実施形態では、チャックテーブル３２の位置を固定し、切削ユニット４をＹ軸方向に沿って往復移動させる。これにより、切削ブレード２の径方向２ｄにおける切削ブレード２の断面視において外周端部２ａが直線状領域２ｇを有する様に、切削ブレード２の外周端部２ａに対してフラットドレスを施す（フラットドレス工程Ｓ２６）。

フラットドレス工程Ｓ２６における加工条件の一例を次に示す。

スピンドル回転数 ：３０，０００ｒｐｍ
割り出し送り速度 ：３０ｍｍ／ｓ
クーラーノズルの流量：１．５Ｌ／ｍｉｎ
シャワーノズルの流量：１．０Ｌ／ｍｉｎ

切削ユニット４のＹ軸方向の往復移動は、例えば、まず、Ｙ軸方向の一方へ１５μｍ移動した後、Ｙ軸方向の他方へ１５μｍ移動する１往復の動作を１０回繰り返す。次いで、Ｙ軸方向の一方へ７．０μｍ移動した後、Ｙ軸方向の他方へ７．０μｍ移動する１往復の動作を１５回繰り返す。

最後に、Ｙ軸方向の一方へ３．０μｍ移動した後、Ｙ軸方向の他方へ３．０μｍ移動する１往復の動作を２０回繰り返す。但し、往復移動の態様は、この例に限定されるものではない。

（第４、第５の実験）図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）は、フラットドレス工程Ｓ２６後の切削ブレード２を用いて、被加工物１１に所定深さの切削溝１１ｄ，１１ｅを形成した場合の実験結果である。加工条件は、上述の第１の実施形態のものとした。

但し、図１３（Ａ）は、フラットドレス工程Ｓ２６後且つ再装着工程Ｓ３０前の切削ブレード２で形成された切削溝１１ｄの上面写真であり（第４の実験）、図１３（Ｂ）は、フラットドレス工程Ｓ２６及び再装着工程Ｓ３０後の切削ブレード２で形成された切削溝１１ｅの上面写真である（第５の実験）。

図１３（Ａ）に示す切削溝１１ｄの近傍には多量のバリ１９が形成されている一方で、図１３（Ｂ）に示す切削溝１１ｅの近傍にはバリ１９が略形成されていない。第１から第５の実験の結果を鑑みるに、切削ブレード２の中心２ｅとスピンドル８の回転中心８ａとをずらすことは、バリ１９を低減する上で特に効果的であると言える。

その他、上述の実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、上述の実施形態及び実験で記載した効果を奏することができるのは、図２（Ａ）等に記載の切削ブレード２に限定されない。

図１４は、他の例に係る切削ブレード２´の正面図である。切削ブレード２´も、砥粒及びボンド材を有する。切削ブレード２´は、切り欠き２ｃの形状が、正面視においてスリットではなく略三角形である点が切削ブレード２と異なる。

但し、切り欠き２ｃを通る径方向２ｄにおける切削ブレード２´の断面視において、外周端部２ａは直線状領域２ｇを有する。切削ブレード２´を用いる場合も、図４に示す様に第１距離２０が第２距離２２よりも長い状態を維持した状態で切削工程Ｓ２０を行ってよい。

また、再装着工程Ｓ３０（第２の実施形態）や、フラットドレス工程Ｓ２６後の再装着工程Ｓ３０を経て（第３の実施形態）、切削工程Ｓ２０を再度行ってもよい。これにより、切削ブレード２を用いた場合と同様の効果を得ることができる。

２，２´：切削ブレード、２Ａ_１：一面、２Ａ_２：他面
２ａ：外周端部、２ｂ：内周端部、２ｃ：切り欠き、２ｄ：径方向、２ｅ：中心
２ｆ：周方向、２ｇ：直線状領域、２ｈ：開口、２ｉ：半径
４：切削ユニット、６：スピンドルハウジング、８：スピンドル、８ａ：回転中心
１０：ブレードマウント、１２：受けフランジ部、１４：ボス部
１１：被加工物、１１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ：切削溝
１３：ダイシングテープ、１５：環状フレーム、１７：被加工物ユニット、１９：バリ
１６：押さえフランジ、１６ａ：開口、１８：固定ナット
２０：第１距離、２２：第２距離
３０：切削装置、３２：チャックテーブル、３２ａ：保持面
３３：ドレスボード、３３ａ：上面、３３ｂ：下面
４０：第３距離、４２：第４距離
Ａ：矢印
Ｓ１０：切削ブレード装着工程、Ｓ２０：切削工程
Ｓ２６：フラットドレス工程、Ｓ３０：再装着工程

Claims (6)

1. 延性材を有する被加工物を円環状の切削ブレードで切削する切削方法であって、
   該切削ブレードの外周端部から該切削ブレードの径方向の中心に向かう様にそれぞれ切り欠かれており該切削ブレードの周方向に沿って配置された複数の切り欠きを外周部に有し、且つ、該切り欠きを通る該切削ブレードの径方向における該切削ブレードの断面視において外周端部に直線状領域を有する該切削ブレードを、スピンドルの回転中心を通る該切削ブレードの径方向において該回転中心から該切削ブレードの一方の外周端部までの第１距離が該回転中心から該切削ブレードの他方の外周端部までの第２距離より長くなる様に、該スピンドルに装着する切削ブレード装着工程と、
   該切削ブレード装着工程の後、該スピンドルに装着された該切削ブレードを回転させながら、該切削ブレードで該被加工物における該延性材で形成されている領域を切削する切削工程と、
   を備えることを特徴とする切削方法。
2. 該切削ブレード装着工程では、該第１距離と該第２距離との差が１５μｍ以上１００μｍ以下となる様に、該切削ブレードを該スピンドルに装着することを特徴とする請求項１に記載の切削方法。
3. 該切削ブレード装着工程の後、該切削ブレードを該スピンドルの周りに回転させながら該切削ブレードをドレスボードに切り込んだ状態で該スピンドルの長手方向と直交する加工送り方向に沿って該切削ブレードと該ドレスボードとを相対的に移動させるドレス工程を経ることなく、該第１距離が該第２距離よりも長い状態を維持した状態で該切削工程を行うことを特徴とする請求項１に記載の切削方法。
4. 該切削工程の後、該切削ブレードを該スピンドルから取り外し、次いで、該スピンドルの長手方向に沿う所定の直線の周りに該切削ブレードを９０度以上１８０度以下の所定角度だけ回転させた上で、該スピンドルの該回転中心を通る該切削ブレードの径方向において該回転中心から該切削ブレードの一方の外周端部までの第３距離が該回転中心から該切削ブレードの他方の外周端部までの第４距離よりも長くなる様に、該切削ブレードを該スピンドルに再装着する再装着工程を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の切削方法。
5. 該切削工程の後、且つ、該再装着工程の前に、該スピンドルを回転させながら該切削ブレードをドレスボードに切り込んだ状態で、該スピンドルの長手方向に沿う割り出し送り方向に沿って該切削ブレードと該ドレスボードとを相対的に移動させることで、該切削ブレードの径方向における該切削ブレードの断面視において外周端部が直線状領域を有する様に該切削ブレードの該外周端部に対してフラットドレスを施すフラットドレス工程を更に備えることを特徴とする請求項４に記載の切削方法。
6. 該切削ブレードは、砥粒と、該砥粒を固定するボンド材と、を有する請求項１に記載の切削方法。

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