JP2006332730A - 薄膜バルク音響波共振子およびフィルタならびに通信装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板11と、基板11上に配置され、圧電体薄膜14および圧電体薄膜14に上下から電圧を印加するための上部電極15および下部電極13からなる共振部とを具備する薄膜バルク音響波共振子において、上部電極15は、その外形が平面視で下部電極13の外形の内側に位置しているものである。上部電極の外形が平面視で下部電極の外形の内側に位置していることから、下部電極,圧電体薄膜,上部電極のそれぞれを形成する度にパターニングしなくても、下部電極から上部電極までを一気に形成してからパターニングすることで薄膜バルク音響波共振子を作製することができるので、製造にかかる時間が大幅に短縮されると同時に、パターニングの工程中に生じる破損やごみの付着などのトラブルを克服することができるので生産性が高いものとなる。
【選択図】 図1
Description
2)基板と共振部との間に犠牲層を設け、その犠牲層をエッチングして除去することによって共振部を基板から空間的に離す。
3)基板と共振部との間に多層膜からなる音響反射器を設け、共振部を基板から音響的にアイソレートする。
図1に示す本発明の薄膜バルク音響波共振子を、図4に示す工程に従って作製した。ここでは2GHzで共振する薄膜バルク音響波共振子を作製した。
図3(b),(c)に示す、2GHzで共振する本発明の薄膜バルク音響波共振子を作製した例について説明する。
13・・・下部電極
14・・・圧電体薄膜
15・・・上部電極
16・・・絶縁層
17・・・接続電極
18・・・中間電極
Claims (5)
- 基板と、該基板上に配置され、圧電体薄膜および該圧電体薄膜に上下から電圧を印加するための上部電極および下部電極からなる共振部とを具備する薄膜バルク音響波共振子において、前記上部電極は、その外形が平面視で前記下部電極の外形の内側に位置していることを特徴とする薄膜バルク音響波共振子。
- 前記共振部の外側に設けられた外部回路との接続パッドと、前記上部電極と前記接続パッドとを電気的に接続する接続電極と、前記接続電極と前記下部電極との短絡を防止するために前記接続電極と前記下部電極との間に介在させた絶縁層とをさらに具備することを特徴とする請求項1記載の薄膜バルク音響波共振子。
- 前記上部電極と前記接続電極との間に、中間電極をさらに介在させたことを特徴とする請求項2記載の薄膜バルク音響波共振子。
- 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の薄膜バルク音響波共振子をフィルタを構成する共振子として用いたことを特徴とするフィルタ。
- 請求項4記載のフィルタを有する、受信回路および送信回路の少なくとも一方を備えたことを特徴とする通信装置。
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