JP2006332326A - 自動傾転付きオープンカセットロードポート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オープンカセットケース内基板の出し入れをする出入口が設けられる固定フレーム部105と、固定フレーム部105に回動自在に支持され、かつ出入口より出し入れする基板積載カセットケース110を載置する傾転ドア101とを有し、カセットケース110を横置状態に回動する傾転ドア101の閉成動作力、および縦置状態に回動する傾転ドア101の閉成動作力を加えるエアシリンダ301、302と、傾転ドア101の回動を抑制する油圧ダンパ303,304を含むダンパを設けたこと。
【選択図】図1
Description
T1=425×409
T2=427×409
T1>T2
という関係が成り立つ。終端に近づくに従い小さくなるように配置していることにより、エアシリンダ301による回転力421は図10のように減少させることができる。
D1=426×408
D2=428×408
D1<D2
という関係が成り立つ。終端に近づくに従い大きくなるように配置していることより、油圧ダンパ303による抑制回転力422は図11のように増大する。
T3=475×458
T4=477×458
T3>T4
という関係が成り立つ。終端に近づくに従い小さくなるように配置していることにより、エアシリンダ301による回転力410は図10のように減少させることができる。
D3=476×457
D4=478×457
D3<D4
という関係が成り立つ。終端に近づくに従い大きくなるように配置していることより、油圧ダンパ304による抑制回転力471は図10のように増大する。また、油圧ダンパは動作全領域で作用する。
104…異物(作業者の手、指など)、302…エアシリンダ、303,304…油圧ダンパ、472…アシリンダによる回転力、422,471…油圧ダンパによる抑制力、501…空気圧経路切替バルブ、503,504,505,506…インターロックバルブ。
Claims (7)
- 複数の被処理基板が並列に並ぶように置かれる収納用のオープンカセットケースを被処理基板の処理装置に搬入・搬出する自動傾転付オープンカセットロードポートであって、
前記カセットケース内基板の出し入れが行なわれる出入口が設けられている固定フレーム部と、固定フレーム部に回動自在に支持され、かつ前記出入口より出し入れする前記カセットケースが載置される傾転ドアとを有し、
前記傾転ドアは、前記被処理基板が縦置きになる縦置状態の前記カセットケースの底部を支持する第1のケース支持部と、前記第1のケース支持部とともに回動し、かつ前記被処理基板が横置きになる横置状態の前記カセットケースの側面を支持する第2のケース支持部とを有し、
前記カセットケースを横置状態に回動する前記傾転ドアの閉成動作力、および縦置状態に回動する前記傾転ドアの閉成動作力を加えるエアシリンダと、前記傾転ドアの回動を抑制する油圧ダンパを含むダンパを設けたことを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。 - 請求項1に記載された自動傾転付オープンカセットロードポートにおいて、
前記エアシリンダと前記ダンパを対にして前記傾転ドアの両側に配置したことを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。 - 請求項2に記載された自動傾転付オープンカセットロードポートにおいて、
一方に配置された前記エアシリンダと前記ダンパは、前記傾転ドアの閉成動作時に機能し、他方に配置された前記エアシリンダと前記ダンパは、前記傾転ドアの開放動作時に機能することを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。 - 請求項1に記載された自動傾転付オープンカセットロードポートにおいて、
前記傾転ドアの閉成動作が始まる前の状態では、
前記エアシリンダが、前記エアシリンダと前記傾転ドアとの結合点である作用点と
,前記傾転ドアを固定フレーム部に回動自在に支持する支持結合点としての傾転軸と
を結ぶ線より、前記カセットケースの反対側に位置し、
前記ダンパが、前記作用点と,前記傾転軸とを結ぶ線より、前記カセットケース側
に位置することを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。 - 請求項1に記載された自動傾転付オープンカセットロードポートにおいて、
前記傾転ドアの開放動作が始まる前の状態では、
前記エアシリンダが、前記エアシリンダと前記傾転ドアとの結合点である作用点と
,前記傾転ドアを固定フレーム部に回動自在に支持する支持結合点としての傾転軸と を結ぶ線より、前記カセットケース側に位置し、
前記ダンパが、前記作用点と,前記傾転軸とを結ぶ線より、前記カセットケースの
反対側に位置することを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。 - 請求項3に記載された自動傾転付オープンカセットロードポートにおいて、
前記傾転ドアを閉成動作させる前記シリンダと前記傾転ドアを開放動作させる前記シリンダとに供給する空気圧の切り替えを行なう空気圧切り替え手段を設けたことを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。 - 請求項1に記載された自動傾転付オープンカセットロードポートにおいて、
前記傾転ドアが閉成動作ないし開放動作する範囲に進入する異物を検知する検知手段を設け、前記検知手段が異物の進入を検知したら前記傾転ドアが閉成動作を止めて開放動作に切り替えることを特徴とする自動傾転付オープンカセットロードポート。
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Cited By (5)
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US20120067770A1 (en) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Cassette adapter, adapter main body locking apparatus and seating sensor mechanism |
JP2012064829A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Sinfonia Technology Co Ltd | カセットアダプタ、及びカセットカバー |
JP2012064827A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Sinfonia Technology Co Ltd | カセットアダプタ、及びアダプタ本体ロック装置 |
JP2014530496A (ja) * | 2011-09-14 | 2014-11-17 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | ロードステーション |
JP2021007922A (ja) * | 2019-07-02 | 2021-01-28 | 株式会社ヒガシモトキカイ | ワゴン洗浄装置 |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20120067770A1 (en) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Cassette adapter, adapter main body locking apparatus and seating sensor mechanism |
JP2012064829A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Sinfonia Technology Co Ltd | カセットアダプタ、及びカセットカバー |
JP2012064827A (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-29 | Sinfonia Technology Co Ltd | カセットアダプタ、及びアダプタ本体ロック装置 |
US9171748B2 (en) * | 2010-09-17 | 2015-10-27 | Sinfonia Technology Co., Ltd. | Cassette adapter, adapter main body locking apparatus and seating sensor mechanism |
TWI585892B (zh) * | 2010-09-17 | 2017-06-01 | 昕芙旎雅股份有限公司 | 卡匣轉接器 |
JP2014530496A (ja) * | 2011-09-14 | 2014-11-17 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | ロードステーション |
US9812343B2 (en) | 2011-09-14 | 2017-11-07 | Brooks Automation, Inc. | Load station |
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