JP2006323060A - Polarized-light irradiating device - Google Patents

Polarized-light irradiating device Download PDF

Info

Publication number
JP2006323060A
JP2006323060A JP2005145210A JP2005145210A JP2006323060A JP 2006323060 A JP2006323060 A JP 2006323060A JP 2005145210 A JP2005145210 A JP 2005145210A JP 2005145210 A JP2005145210 A JP 2005145210A JP 2006323060 A JP2006323060 A JP 2006323060A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
light irradiation
irradiation unit
lamp
photo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005145210A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shigenori Nakada
重範 仲田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Denki KK
Ushio Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ushio Denki KK, Ushio Inc filed Critical Ushio Denki KK
Priority to JP2005145210A priority Critical patent/JP2006323060A/en
Priority to TW095106851A priority patent/TWI411864B/en
Priority to KR1020060026432A priority patent/KR100920293B1/en
Publication of JP2006323060A publication Critical patent/JP2006323060A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/0001—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems
    • G02B6/0011—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings specially adapted for lighting devices or systems the light guides being planar or of plate-like form
    • G02B6/0033—Means for improving the coupling-out of light from the light guide
    • G02B6/005—Means for improving the coupling-out of light from the light guide provided by one optical element, or plurality thereof, placed on the light output side of the light guide
    • G02B6/0055—Reflecting element, sheet or layer
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
    • G02F1/13378—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation
    • G02F1/133788—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers by treatment of the surface, e.g. embossing, rubbing or light irradiation by light irradiation, e.g. linearly polarised light photo-polymerisation

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarized-light irradiating device that can keep maximum incident angle of light incident on a polarizing element to be small, and that shows little changes in illuminance distribution within an irradiation region, even if the light source is tilted and irradiated. <P>SOLUTION: A light irradiating section 11 is constituted of a plurality of light irradiating units 10 arranged in a width direction of a photoalignment layer 20, each unit comprising a light source 4 comprising a lamp 1 and a reflection mirror 2 and a polarizing element 3 polarizing the light from the light source. The irradiation units 10 of the irradiation section 10 are arranged, in such a manner that polarized light exiting from adjoining irradiation units overlap each other, to form one irradiation region. The photoalignment layer 20 is moved within the irradiation region and irradiated with polarized light to carry out a photoalignment processing. A lighting power supply for lighting each irradiation unit 10 is provided in each irradiation unit so as to independently perform emission and halting of polarized light and control of light intensity. By providing a mechanism for tilting each irradiation unit 10, the photoalignment layer 20 can be irradiated with light from an oblique direction. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、液晶表示素子の配向膜や、紫外線硬化型液晶を用いた視野角補償フィルムの配向層などの配向膜に、偏光光を照射して光配向を行なう偏光光照射装置に関する。   The present invention relates to a polarized light irradiation apparatus that performs optical alignment by irradiating polarized light to an alignment film such as an alignment film of a liquid crystal display element or an alignment layer of a viewing angle compensation film using an ultraviolet curable liquid crystal.

近年、液晶パネルを始めとする液晶素子の配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、配向膜に所定の波長の偏光光を照射することにより配向を行なう、光配向と呼ばれる技術が採用されるようになってきている。以下、上記光により配向を行う配向膜や配向層を設けたフィルムなど、光により配向特性が生じる膜や層のことを総称して光配向膜と呼ぶ。光配向に用いられる偏光光照射装置として、例えば、特許文献１、特許文献２に記載のものが知られている。   In recent years, with respect to alignment processing of alignment films for liquid crystal elements such as liquid crystal panels and alignment layers for viewing angle compensation films, alignment is performed by irradiating polarized light of a predetermined wavelength to the alignment film. Technology is being adopted. Hereinafter, films and layers in which alignment characteristics are generated by light, such as an alignment film that performs alignment by light and a film provided with an alignment layer, are collectively referred to as a photo-alignment film. As a polarized light irradiation apparatus used for photo-alignment, for example, those described in Patent Document 1 and Patent Document 2 are known.

図９に、従来の偏光光照射装置の構成の一例を示す。
１００は光照射部であり、ランプ１０１とミラー（集光鏡）１０２からなる光源１１０から出射した光は、第１平面鏡１０３で反射されて、インテグレータレンズ１０４に入射する。
インテグレータレンズ１０４から出射した光は、シャッタ１０５を介し、第２平面鏡１０６で反射され、コリメータレンズ１０７により平行光にされ、偏光素子１０８に入射する。なお、コリメータレンズ１０７は、光配向膜１０９に照射される偏光光の特性として、高度な平行光が要求されない場合は、使用しないこともある。
偏光素子１０８に入射した光は偏光され、光配向膜１０９に照射される。偏光素子１０８としては、例えば上記特許文献１，２において使用されている光軸に対してブリュースタ角になるように配置したガラス板や、特許文献３に示されているワイヤーグリッド偏光子を適用することができる。 FIG. 9 shows an example of the configuration of a conventional polarized light irradiation apparatus.
Reference numeral 100 denotes a light irradiation unit. Light emitted from a light source 110 including a lamp 101 and a mirror (condenser mirror) 102 is reflected by a first plane mirror 103 and enters an integrator lens 104.
The light emitted from the integrator lens 104 is reflected by the second plane mirror 106 via the shutter 105, converted into parallel light by the collimator lens 107, and enters the polarizing element 108. Note that the collimator lens 107 may not be used when highly parallel light is not required as a characteristic of polarized light irradiated to the photo-alignment film 109.
The light incident on the polarizing element 108 is polarized and applied to the photo-alignment film 109. As the polarizing element 108, for example, a glass plate disposed so as to have a Brewster angle with respect to the optical axis used in Patent Documents 1 and 2 or a wire grid polarizer shown in Patent Document 3 is applied. can do.

図９に示した偏光光照射装置において、図１０（ａ）に示すように、光源１１０から出射した光は、光源１１０の大きさに応じた広がりを有して光照射領域に入射する。光照射領域には、光配向膜や偏光素子が配置される。なお、図１０においては、光源１１０からの光を平行光にするコリメータや照度均一化のためのインテグレータを用いていない。
光配向に用いる場合、光配向膜や偏光素子に入射する光の、中心光線（光軸）に対する広がり（光源を見込む視覚と等価であり、以下最大入射角と呼ぶ）は小さいほうが望ましい。その理由は以下の通りである。
(i) 偏光素子に入射する光は、最大入射角が小さいほうが消光比が良い。例えば、偏光素子がブリュースタ角を利用したものの場合、最大入射角が大きくなるほどブリュースタ角から外れた光の成分が多くなるので、偏光素子を透過して出射する偏光光の消光比が悪くなる（透過するＰ偏光光成分に対するＳ偏光成分の割合が増える）。
(ii)偏光素子に入射する光は、最大入射角が小さいほうが軸むらが小さい。例えば、偏光素子としてワイヤーグリッドを利用したものの場合（例えば特許文献４参照）、偏光素子に入射する光の角度が大きくなるほど、光照射面における偏光軸が所望の方向からずれる。
(iii) また、光配向膜に照射される偏光光について、出来上がりの製品の品質の問題から、より小さな最大入射角を望むユーザもある。 In the polarized light irradiation apparatus shown in FIG. 9, as shown in FIG. 10A, the light emitted from the light source 110 is incident on the light irradiation region with a spread corresponding to the size of the light source 110. A photo-alignment film and a polarizing element are arranged in the light irradiation region. In FIG. 10, a collimator that collimates light from the light source 110 and an integrator for uniform illuminance are not used.
When used for photo-alignment, it is desirable that the light incident on the photo-alignment film or the polarizing element has a smaller spread with respect to the central ray (optical axis) (equivalent to the vision of looking at the light source, hereinafter referred to as the maximum incident angle). The reason is as follows.
(i) The light incident on the polarizing element has a better extinction ratio when the maximum incident angle is smaller. For example, if the polarizing element uses a Brewster angle, the larger the maximum incident angle, the more light components that deviate from the Brewster angle, so the extinction ratio of polarized light that passes through the polarizing element and exits becomes worse. (The ratio of the S-polarized light component to the transmitted P-polarized light component increases).
(ii) The light incident on the polarizing element has less axial unevenness when the maximum incident angle is smaller. For example, in the case where a wire grid is used as the polarizing element (see, for example, Patent Document 4), the polarization axis on the light irradiation surface deviates from a desired direction as the angle of light incident on the polarizing element increases.
(iii) In addition, some users desire a smaller maximum incident angle with respect to the polarized light applied to the photo-alignment film due to the quality of the finished product.

一方、液晶パネルの大型化と共に、パネルに利用される光配向膜も大型化（広面積化）しており、それに応じて偏光光照射装置の光照射領域も、広面積化と高照度化が要求されている。
広い面積を高い照度で照射するために、偏光光照射装置の光源はその分大型化しなければならず、大型ランプの開発ために多額の投資が必要でコストアップになる。
大型のランプが開発できたとしても、光源の大型化により、図１０（ｂ）に示すように、光源から光照射領域までの距離（光路長）が同じであれば、最大入射角は大きくなる。 最大入射角が大きくなると、上記(i) 〜 (iii)の問題が生じる。そのため、本出願人は図１０（ｃ）に示すように、光路長を長くする方法を取っている。同図に示すように、光路長を長くすると、光照射領域に入射する光の最大入射角は小さくなる。
しかし、現在要求されている光照射領域の広さで、最大入射角が十分に小さくなるようにするためには、例えば十数メートルの光路長が必要となり、装置全体が極端に大型化する。また、光路長が長くなると、光路を折り返すために複数の光学素子が必要となり、その分照度も低下するので、処理時間が長くなり、生産性も低下する。 On the other hand, along with the increase in size of liquid crystal panels, the photo-alignment film used for the panels has also increased in size (increase in area), and accordingly, the light irradiation area of the polarized light irradiation device has also increased in area and increased in illuminance. It is requested.
In order to irradiate a large area with high illuminance, the light source of the polarized light irradiation device must be increased in size accordingly, and a large investment is required to develop a large lamp, resulting in an increase in cost.
Even if a large lamp can be developed, as shown in FIG. 10B, if the distance from the light source to the light irradiation region (optical path length) is the same, the maximum incident angle increases due to the increase in the size of the light source. . When the maximum incident angle increases, the above problems (i) to (iii) occur. Therefore, the present applicant takes a method of increasing the optical path length as shown in FIG. As shown in the figure, when the optical path length is increased, the maximum incident angle of light incident on the light irradiation region is decreased.
However, in order to make the maximum incident angle sufficiently small with the currently required light irradiation area, an optical path length of, for example, several tens of meters is required, and the entire apparatus becomes extremely large. In addition, when the optical path length is increased, a plurality of optical elements are required to turn back the optical path, and the illuminance is reduced accordingly, so that the processing time is increased and the productivity is also reduced.

また、光配向処理においては、配向膜にプレチルト角を付与するために、例えば特許文献５の図１に示されるように、斜めから光を照射するプロセスが採用される場合がある。 そのために、例えば図１１に示すように、光源１１０を光配向膜に対して傾けて、光を斜め方向から照射することが考えられる。しかし、光源からの照射距離が短い場合に、このように光源を傾けると、光源から光照射領域の両側までの距離が光源を傾ける方向で異なることになる。同図では光源から光配向膜の左端までの距離ＬＬが、光源から光配向膜の右端までの距離ＬＲに比べて長くなる。
光源から遠い部分は照度が低下し、近い部分は照度が上がるので、光照射領域における照度に分布が生じる。広い光照射領域に対応して光源が大型化するほど、距離ＬＬと距離ＬＲとの差は大きくなり、照度分布はより悪化する。
照度の低い部分では露光主が不足し、一方照度の高い部分では露光量が過多になるので、製品の品質に問題が生じる場合がある。 In the photo-alignment treatment, in order to give a pretilt angle to the alignment film, a process of irradiating light from an oblique direction as shown in FIG. Therefore, for example, as shown in FIG. 11, it is conceivable to irradiate light from an oblique direction by tilting the light source 110 with respect to the photo-alignment film. However, if the light source is tilted in this way when the irradiation distance from the light source is short, the distance from the light source to both sides of the light irradiation region differs in the direction in which the light source is tilted. In the figure, the distance LL from the light source to the left end of the photo-alignment film is longer than the distance LR from the light source to the right end of the photo-alignment film.
Since the illuminance decreases in a portion far from the light source and the illuminance increases in a close portion, a distribution occurs in the illuminance in the light irradiation region. The larger the light source corresponding to a wider light irradiation area, the larger the difference between the distance LL and the distance LR, and the illuminance distribution gets worse.
There are cases where there is a shortage of exposure in a portion with low illuminance, while an exposure amount is excessive in a portion with high illuminance, which may cause a problem in product quality.

一方、大型の液晶パネルに対し光配向を行うため、特許文献６には光照射ユニットを多連化することが提案されている（例えば同文献の図４（ｂ）、図５（ａ）参照）。
光照射ユニットの各々には、マイクロ波長により励起放電される円筒形状のバルブを有するランプと、ランプからの光を反射する反射鏡（ミラー）、及びランプからのおよび反射鏡により反射された光を偏光する偏光素子が設けられている。
一つの光照射ユニットから出射する偏光光は、液晶パネル（光配向膜）の一部に照射され、隣り合う光照射ユニットからの光がつなぎ合わされることにより、幅の広い光照射領域を形成する。
このように構成すると、液晶パネルが大型化しても、それに合せた大型の光源を開発する必要がない。パネルの大型化に対しては、並べる光照射ユニットの数を増やせばよく、光源開発の投資は不要でコストが低下する、というような利点がある。
特許第３１４６９９８号公報 特許２９２８２２６号公報 特表２００３−５０８８１３号公報 特開２００４−１６３８８１号公報 特開平９−２１１４６５号公報 特開２００５−１０４０８号公報 特開２０００−５７８２５号公報 On the other hand, in order to perform photo-alignment on a large-sized liquid crystal panel, Patent Document 6 proposes to make multiple light irradiation units (for example, see FIGS. 4B and 5A of the same document). ).
Each of the light irradiation units includes a lamp having a cylindrical bulb that is excited and discharged by a micro wavelength, a reflecting mirror (mirror) that reflects light from the lamp, and light reflected from and reflected by the reflecting mirror. A polarizing element for polarizing is provided.
Polarized light emitted from one light irradiation unit is irradiated onto a part of the liquid crystal panel (photo-alignment film), and light from adjacent light irradiation units is connected to form a wide light irradiation region. .
If comprised in this way, even if a liquid crystal panel enlarges, it is not necessary to develop the large sized light source according to it. To increase the size of the panel, it is only necessary to increase the number of light irradiation units to be arranged, and there is an advantage that the investment for light source development is unnecessary and the cost is reduced.
Japanese Patent No. 3146998 Japanese Patent No. 2928226 Japanese translation of PCT publication No. 2003-508813 JP 2004-163881 A JP-A-9-212465 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-10408 JP 2000-57825 A

液晶パネルの大型化と共に、パネルに利用される光配向膜も大型化（広面積化）しており、それに応じて偏光光照射装置の光照射領域も、広面積化と高照度化が要求されている。しかし、上述したように前記図９に示した偏光光照射装置では、このような要求に充分こたえることができない。
一方、前記特許文献６に記載の装置を用いれば、上記の利点が得られるが、特許文献６に記載のものも以下のような問題がある。
特許文献６の実施例に示された装置においては、マイクロ波長により励起放電される円筒形状のバルブを有するランプを使用し、同公報の図１に示されるように、ランプの管軸（長手方向）が、偏光光を照射する液晶パネル（光配向膜）に対して平行に配置されている。
このように、円筒形状のランプを、その管軸が光配向膜に対して平行になるように配置した場合、偏光素子に入射する光を平行光にすることができない。 Along with the increase in size of the liquid crystal panel, the photo-alignment film used for the panel has also increased in size (increased area), and accordingly, the light irradiation area of the polarized light irradiation device is also required to have a larger area and higher illuminance. ing. However, as described above, the polarized light irradiation apparatus shown in FIG. 9 cannot sufficiently meet such a requirement.
On the other hand, if the apparatus described in Patent Document 6 is used, the above advantages can be obtained, but the apparatus described in Patent Document 6 also has the following problems.
In the apparatus shown in the embodiment of Patent Document 6, a lamp having a cylindrical bulb that is excited and discharged by a micro wavelength is used. As shown in FIG. 1 of the publication, the tube axis (longitudinal direction) of the lamp is used. ) Are arranged in parallel to the liquid crystal panel (photo-alignment film) that emits polarized light.
As described above, when the cylindrical lamp is arranged so that its tube axis is parallel to the photo-alignment film, the light incident on the polarizing element cannot be made parallel light.

特許文献６に記載のものでは、同公報の図３に示されるように、遮光板１５により偏光素子であるブリュースターミラー１４に入射する光の角度を制限しており、これにより、偏光素子に入射する入射角をある程度制限できるものと考えられる。
しかし、円筒形状のバルブを有するランプを用いた場合、遮光板を用いることで図１２（ａ）に示すようにランプ１０１の管軸（円筒形状の長手方向）に対して直交する方向に対しては、偏光素子１０８に入射する光の角度を制限できるが、ランプ１０１の管軸に沿った方向に対しては、同図（ｂ）に示すように入射する光の角度を制限できず、偏光素子１０８にはさまざまな角度から光が入射する。
したがって、同公報の図３のようにブリュースターミラーから反射するＳ偏光光を利用する場合は、反射するＳ偏光成分が少なくなり照射強度が弱くなる。また、透過するＰ偏光成分を利用する場合は、消光比が低下する。ワイヤーグリッド偏光子であれば、偏光軸がばらつく。 In the thing of patent document 6, as shown in FIG. 3 of the gazette, the angle of the light which injects into the Brewster mirror 14 which is a polarizing element by the light-shielding plate 15 is restrict | limited, Thereby, it becomes a polarizing element. It is considered that the incident angle of incidence can be limited to some extent.
However, when a lamp having a cylindrical bulb is used, by using a light-shielding plate, a direction perpendicular to the tube axis (cylindrical longitudinal direction) of the lamp 101 is used as shown in FIG. Can limit the angle of light incident on the polarizing element 108, but cannot restrict the angle of incident light with respect to the direction along the tube axis of the lamp 101 as shown in FIG. Light enters the element 108 from various angles.
Therefore, when S-polarized light reflected from the Brewster mirror is used as shown in FIG. 3 of the publication, the reflected S-polarized component is reduced and the irradiation intensity is weakened. In addition, the extinction ratio decreases when a transmitted P-polarized light component is used. In the case of a wire grid polarizer, the polarization axis varies.

さらに、同公報の記載のものでは、ランプの管軸に平行な軸回りに光照射ユニット回転させて、斜め方向から光を照射することは可能であるが、例えば、管軸の伸びる方向に光照射ユニットを傾ける場合については言及されていない。
仮に、管軸の伸びる方向に光照射ユニットを傾けると、ランプの右側端と左側端とでは、光配向膜までの距離が大きく異なることになり、照度分布が悪化する。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであって、偏光光照射装置において、偏光素子に入射する光の最大入射角を小さく保つことができ、また、光源を傾けて照射しても、光照射領域内の照度分布が大きく変化しない偏光光照射装置を提供することを目的とする。 Further, in the publication described in the publication, it is possible to irradiate light from an oblique direction by rotating the light irradiation unit around an axis parallel to the tube axis of the lamp. There is no mention of tilting the irradiation unit.
If the light irradiation unit is inclined in the direction in which the tube axis extends, the distance to the photo-alignment film is greatly different between the right end and the left end of the lamp, and the illuminance distribution is deteriorated.
The present invention has been made to solve the above-described problems. In the polarized light irradiation apparatus, the maximum incident angle of light incident on the polarizing element can be kept small, and the light source is tilted for irradiation. However, an object of the present invention is to provide a polarized light irradiation apparatus in which the illuminance distribution in the light irradiation region does not change significantly.

上記課題を本発明においては、次のように解決する。
（１）光照射部を複数の光照射ユニットから構成し、この光照射ユニットを、光配向膜もしくは偏光光の移動方向に対して直交する方向（光配向膜の幅方向）に直線状に並べて構成する。各光照射ユニットには、石英ガラスからなる放電容器に一対の電極が対向配置されたランプと、該ランプからの光を反射する反射ミラーと、該反射ミラーにより反射された光を偏光する偏光手段とが設けられ、ランプは、一対の電極を結ぶ線である管軸が上記反射ミラーの光軸と平行になるように配置されている。
そして、偏光光に対して連続的または間歇的に相対的に移動する光配向膜に対し、各光照射ユニットから出射する偏光光をつなぎ合わせて照射する。
（２）各光照射ユニットのランプは、放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 の水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍであり、３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射する超超高圧水銀ランプであることが望ましい。
（３）また、光照射ユニットには、配向膜にプレチルト角を付与するために、斜めから光を照射するプロセスにも対応できるよう、各光照射ユニットを、光配向膜の幅方向に同じ角度で傾ける光照射ユニット傾斜機構が設けられていることが望ましい。
（４）光照射ユニットに、それぞれ制御可能な点灯電源が接続するのが望ましい。
具体的には、光照射ユニットのそれぞれに光照射の点灯用電源が接続し、装置の制御部により点灯消灯を制御する。また、点灯用電源から光照射に供給される電力を変化させることにより、出射する光強度を変化させる。これにより、独立して点灯消灯及び出射する光強度を調整することができる。 In the present invention, the above problem is solved as follows.
(1) The light irradiation unit is composed of a plurality of light irradiation units, and the light irradiation units are arranged in a straight line in a direction (width direction of the photo-alignment film) orthogonal to the direction of movement of the photo-alignment film or polarized light Constitute. Each light irradiation unit includes a lamp having a pair of electrodes opposed to a discharge vessel made of quartz glass, a reflection mirror that reflects light from the lamp, and a polarization unit that polarizes light reflected by the reflection mirror The lamp is arranged such that the tube axis, which is a line connecting a pair of electrodes, is parallel to the optical axis of the reflection mirror.
Then, the polarized light emitted from each light irradiation unit is connected and irradiated to the photo-alignment film that moves relative to the polarized light continuously or intermittently.
(2) The lamp of each light irradiation unit encloses 0.08 to 0.30 mg / mm 3 mercury, rare gas, and halogen in a discharge vessel, and the distance between the electrodes is 0.5 to 2.0 mm. It is desirable to be an ultra-high pressure mercury lamp that efficiently radiates ultraviolet light of 300 to 450 nm.
(3) In addition, in order to provide the light irradiation unit with a pretilt angle to the alignment film, each light irradiation unit has the same angle in the width direction of the light alignment film so that it can be applied to the process of irradiating light from an oblique direction. It is desirable to provide a light irradiation unit tilting mechanism that tilts at.
(4) It is desirable that a controllable lighting power source is connected to the light irradiation unit.
Specifically, a light source for lighting is connected to each of the light irradiation units, and lighting / extinguishing is controlled by the control unit of the apparatus. Moreover, the emitted light intensity is changed by changing the power supplied to the light irradiation from the lighting power source. Thereby, the light intensity can be adjusted independently and the intensity of emitted light can be adjusted.

本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）光照射部が複数の光照射ユニットにより構成されているので、単一の光照射部で光照射領域全域を照射する場合に比べて、光照射領域に入射する光の最大入射角を小さくすることができる。
（２）各光照射ユニットのランプが、一対の電極を結ぶ線である管軸が上記反射ミラーの光軸と平行になるように配置されているので、パラボラミラー等の光学ミラーを使用することにより、偏光手段に入射する光を平行光とすることができる。したがって、前記問題点で説明した照射強度や消光比の低下、また偏光軸のばらつきを防ぐことができる。
また、ミラーの光軸とランプの管軸が平行であるので、光照射領域に斜めに入射する光の成分が少なく、各光照射ユニットから、比較的平行度のよい光を出射させることができる。このため、波長選択フィルタにより所望の波長の光を取り出しやすい。また、入射角度依存性を有する比較的安価な蒸着膜を使った偏光素子を使用することができる。
さらに、光照射ユニットを傾けて照射する時、光照射ユニットの左右で光配向膜までの距離が大きく異なることがなく、照度分布が悪化を防ぐことができる。
（３）ランプとして、石英ガラスからなる放電容器に一対のタングステン電極が対向配置されており、この放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 の水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍであり、３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射する超超高圧水銀ランプを使用することにより、入力を定格の±３０％程度まで変化させることができ、各光照射ユニットごとに放射強度の調整が容易となる。
（４）各光照射ユニットに光配向膜の幅方向に同じ角度で傾ける光照射ユニット傾斜機構が設けることにより、光照射領域（光配向膜）に斜めに光を入射させる場合、個々の光照射ユニットを同じ角度だけ傾けて光照射することができる。
したがって、光照射領域全体を、単一の光照射部を傾けて照射する場合に比べて、発生する光照射領域内の光源までの距離の差が小さくなり、照度分布の発生を小さく抑えることができる。
（５）各光照射ユニットに、それぞれ制御可能な点灯電源が接続することにより、個々の光照射ユニットから出射する光を独立して点灯消灯、また光強度を調整することができる。各光照射ユニットは光照射領域の一部のみを照射しているので、光照射領域において照度分布が発生したとしても、各光照射ユニットの光強度を調整することにより、光照射領域の部分的な照度調整（ある部分のみの照度を変化させること）ができ、照度分布を改善することができる。
また、光照射領域の変更の要求に対しても対応が容易である。
すなわち、光照射領域が狭くなった場合は、不要な光照射ユニットを消灯することにより対応できる。これにより効率よく光を利用できる。また、光照射領域が広くなった場合は、光照射ユニットの数を増やすことにより対応できる。
したがって、光照射領域が変更されても、光源自体の大きさを変える必要がない。このため、最大入射角は大きくならず、光路長を長くする必要がなく、装置の極端な大型化を防ぐことができ、また照度の低下による生産性の低下も防ぐことができる。また、より広い光照射領域を有する新しい光源を開発する必要もない。 In the present invention, the following effects can be obtained.
(1) Since the light irradiating unit is composed of a plurality of light irradiating units, the maximum incident angle of light incident on the light irradiating region is larger than that when the entire light irradiating region is irradiated with a single light irradiating unit. Can be small.
(2) Since the lamp of each light irradiation unit is arranged so that the tube axis that is a line connecting a pair of electrodes is parallel to the optical axis of the reflection mirror, an optical mirror such as a parabolic mirror should be used. Thus, the light incident on the polarization means can be made parallel light. Accordingly, it is possible to prevent the irradiation intensity and the extinction ratio from being lowered as described in the above problem, and the variation of the polarization axis.
In addition, since the optical axis of the mirror and the tube axis of the lamp are parallel, there is little component of light incident obliquely on the light irradiation area, and light with relatively good parallelism can be emitted from each light irradiation unit. . For this reason, it is easy to extract light having a desired wavelength by the wavelength selection filter. Moreover, a polarizing element using a relatively inexpensive vapor deposition film having incident angle dependency can be used.
Furthermore, when the light irradiation unit is tilted and irradiated, the distance to the photo-alignment film is not significantly different on the left and right of the light irradiation unit, and the illuminance distribution can be prevented from deteriorating.
(3) As a lamp, a pair of tungsten electrodes are opposed to a discharge vessel made of quartz glass, and 0.08 to 0.30 mg / mm 3 of mercury, a rare gas, and a halogen are enclosed in this discharge vessel. The distance between the electrodes is 0.5 to 2.0 mm, and the input is changed to about ± 30% of the rating by using an ultra-high pressure mercury lamp that efficiently emits 300 to 450 nm ultraviolet light. It is possible to easily adjust the radiation intensity for each light irradiation unit.
(4) When each light irradiation unit is provided with a light irradiation unit tilting mechanism that tilts at the same angle in the width direction of the photo-alignment film, individual light irradiation is performed when light is incident on the light irradiation region (photo-alignment film) obliquely. The unit can be illuminated at the same angle.
Therefore, compared to the case where the entire light irradiation region is irradiated with a single light irradiation unit inclined, the difference in the distance to the light source in the generated light irradiation region is reduced, and the generation of the illuminance distribution can be suppressed to be small. it can.
(5) By connecting a controllable lighting power source to each light irradiation unit, the light emitted from each light irradiation unit can be turned on and off independently, and the light intensity can be adjusted. Since each light irradiation unit irradiates only a part of the light irradiation area, even if an illuminance distribution occurs in the light irradiation area, by adjusting the light intensity of each light irradiation unit, Illuminance adjustment (changing the illuminance of only a certain part) can be performed, and the illuminance distribution can be improved.
Further, it is easy to respond to a request for changing the light irradiation area.
That is, when the light irradiation area becomes narrow, it can be dealt with by turning off unnecessary light irradiation units. Thereby, light can be used efficiently. Further, when the light irradiation area becomes wide, it can be dealt with by increasing the number of light irradiation units.
Therefore, even if the light irradiation area is changed, it is not necessary to change the size of the light source itself. For this reason, the maximum incident angle does not increase, it is not necessary to lengthen the optical path length, the apparatus can be prevented from becoming extremely large, and the productivity can be prevented from decreasing due to a decrease in illuminance. Moreover, it is not necessary to develop a new light source having a wider light irradiation area.

図１は本発明の実施例の偏光光照射装置の構成を示す図である。
同図に示すように、ランプ１と反射ミラー２からなる光源４と、光源からの光を偏光する偏光素子３とを有する光照射ユニット１０を、光配向膜２０の幅方向に複数並べて配置し、光照射部１１を構成する。複数の光照射ユニット１０は連結棒１２で連結され、連結棒１２の両端は支持台１３により支持されている。同図では、偏光素子３としてワイヤーグリッドを利用した偏光素子を用いている。
光照射部１１の光照射ユニット１０は、ある光照射ユニットから出射した偏光光が、隣り合う他の光照射ユニットから出射した偏光光と重なり合い、一つの光照射領域を形成するように配置されている。
光配向膜２０は、光照射部１１の下の光照射領域内を、不図示の搬送手段により連続的または間歇的に移動し、偏光光が照射され、光配向処理が行われる。光配向膜２０が形成された基板の搬送方向は、光照射ユニット１０が並ぶ方向に対して直交する方向であり、直線状に一定方向もしくは往復移動する。 FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a polarized light irradiation apparatus according to an embodiment of the present invention.
As shown in the figure, a plurality of light irradiation units 10 each having a light source 4 including a lamp 1 and a reflection mirror 2 and a polarizing element 3 that polarizes light from the light source are arranged in the width direction of the photo-alignment film 20. The light irradiation part 11 is comprised. The plurality of light irradiation units 10 are connected by a connecting rod 12, and both ends of the connecting rod 12 are supported by a support base 13. In the figure, a polarizing element using a wire grid is used as the polarizing element 3.
The light irradiation unit 10 of the light irradiation unit 11 is arranged so that polarized light emitted from one light irradiation unit overlaps with polarized light emitted from another adjacent light irradiation unit to form one light irradiation region. Yes.
The photo-alignment film 20 is continuously or intermittently moved in the light irradiation region under the light irradiation unit 11 by a conveying means (not shown), and is irradiated with polarized light, and a photo-alignment process is performed. The transport direction of the substrate on which the photo-alignment film 20 is formed is a direction orthogonal to the direction in which the light irradiation units 10 are arranged, and moves linearly in a certain direction or reciprocally.

光配向膜２０は、リールに巻かれた帯状の長尺の基板に形成されたのものであっても良いし、枚葉式の四角い基板上に形成されたものであっても良い。なお、光配向膜２０を移動させる代わりに、光照射部１１を移動させてもよいが、以下の本実施例では、光配向膜を移動させる場合について説明する。
例えば、幅がおよそ１５００ｍｍの配向膜に対し光を照射する場合、定格２５０Ｗのランプと約５０ｍｍ角の集光鏡とを内蔵する光照射ユニットを、配向膜の幅方向に、約３０個配列し、１ｍ程度の光路長で照射する。
これに対し、同じ光照射領域を１個の光源で照射するためには、定格８ｋＷのランプを用いることになり、上記実施例と同等の最大入射角にするためには、光路長が１０倍以上長くなる。 The photo-alignment film 20 may be formed on a strip-like long substrate wound around a reel, or may be formed on a single-wafer type square substrate. In addition, although the light irradiation part 11 may be moved instead of moving the photo-alignment film | membrane 20, the following example demonstrates the case where a photo-alignment film is moved.
For example, when irradiating light to an alignment film having a width of about 1500 mm, about 30 light irradiation units including a lamp with a rated power of 250 W and a condenser mirror of about 50 mm square are arranged in the width direction of the alignment film. Irradiate with an optical path length of about 1 m.
On the other hand, in order to irradiate the same light irradiation region with one light source, a lamp with a rating of 8 kW is used. In order to obtain the maximum incident angle equivalent to that in the above embodiment, the optical path length is 10 times. It gets longer.

図２は、図１の装置を光配向膜の搬送方向からみた図であり、光照射ユニットの断面図および図１には示さなかったほかの構成要素を示す。
各光照射ユニット１０には、光配向膜２０を配向させる波長を含む光を放射するランプ１と、ランプ１からの光を反射する反射ミラー２とからなる光源４を内蔵する。
ランプ１は石英ガラスからなる放電容器に一対のタングステン電極が対向配置された両端封止型の放電ランプである。
反射ミラー２は、ランプ１から放射された光を平行光として反射する、断面が放物線状のパラボラミラーを使用する。同図に示すように、ランプ１はその一対の電極を結ぶ線である管軸が、反射ミラー２の光軸と平行になるように配置される。
代表的な配向膜は、紫外線により配向するものが多いので、ランプ１としては、例えば超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプなどが使用できるが、３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射する放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 の水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍである超超高圧水銀ランプを使用するのが望ましい。
上記の超超高圧水銀ランプは、入力を定格の±３０％程度まで変化させることができるので、後述するような、光照射領域の照度分布の調整を行うための、各光照射ユニットでの放射強度の調整が容易になる。 FIG. 2 is a view of the apparatus of FIG. 1 as viewed from the transport direction of the photo-alignment film, and shows a cross-sectional view of the light irradiation unit and other components not shown in FIG.
Each light irradiation unit 10 includes a light source 4 including a lamp 1 that emits light including a wavelength for aligning the photo-alignment film 20 and a reflection mirror 2 that reflects light from the lamp 1.
The lamp 1 is a both-end-sealed discharge lamp in which a pair of tungsten electrodes are opposed to a discharge vessel made of quartz glass.
The reflection mirror 2 uses a parabolic mirror having a parabolic cross section that reflects the light emitted from the lamp 1 as parallel light. As shown in the figure, the lamp 1 is arranged so that the tube axis, which is a line connecting the pair of electrodes, is parallel to the optical axis of the reflection mirror 2.
Since many typical alignment films are aligned by ultraviolet rays, for example, an ultra-high pressure mercury lamp or a metal halide lamp can be used as the lamp 1, but a discharge vessel that efficiently emits 300 to 450 nm ultraviolet light, It is desirable to use an ultra-high pressure mercury lamp in which 0.08 to 0.30 mg / mm 3 of mercury, a rare gas, and halogen are enclosed, and the distance between the electrodes is 0.5 to 2.0 mm.
Since the above ultra-high pressure mercury lamp can change the input to about ± 30% of the rating, the radiation at each light irradiation unit for adjusting the illuminance distribution in the light irradiation region as will be described later. The strength can be easily adjusted.

反射ミラー２には、光源４から放射される光から、光配向に必要な紫外領域の光を選択的に反射し、光配向膜の劣化や温度上昇をもたらすといった可視や赤外域の光を遮断する膜が蒸着されている。
また、特許文献７に示されるように、超超高圧水銀ランプは反射ミラーと一体化しユニットとすることもできる。このようなユニットは、あらかじめランプとミラーの位置が合わされて固定されているので、ランプ交換時、ランプとミラーとの位置合せを行う必要がなく、交換が容易になる。
各光照射ユニット１０の出射側には、光源４からの光を偏光する偏光素子３が配置される。偏光素子３としては、従来例と同様に、光軸に対してブリュースタ角に配置したガラス板を利用したものや、ワイヤーグリッドを利用したものが使用できる。本実施例では、光照射ユニットを小型化するために、上記したようにワイヤーグリッドを利用した偏光素子を使用している。 The reflection mirror 2 selectively reflects light in the ultraviolet region necessary for photo-alignment from the light emitted from the light source 4 and blocks light in the visible and infrared regions, which causes deterioration of the photo-alignment film and temperature rise. A film to be deposited is deposited.
Further, as shown in Patent Document 7, the ultra-super high pressure mercury lamp can be integrated with a reflection mirror to form a unit. In such a unit, since the positions of the lamp and the mirror are aligned and fixed in advance, it is not necessary to align the lamp and the mirror when replacing the lamp, and the replacement becomes easy.
A polarizing element 3 that polarizes light from the light source 4 is disposed on the emission side of each light irradiation unit 10. As the polarizing element 3, a material using a glass plate arranged at a Brewster angle with respect to the optical axis or a material using a wire grid can be used as in the conventional example. In this embodiment, in order to reduce the size of the light irradiation unit, a polarizing element using a wire grid is used as described above.

また、光源４と偏光素子３との間に、所望の紫外域の光を選択して透過させる波長選択フィルタ５や、光強度を調整する減光フィルタ６等を挿入することができる。また、平行光にするためのコリメータレンズ７や照度均一化のためのインテグレータ（不図示）を設けてもよい。
なお、偏光後の光に対し光学素子を挿入すると、偏光光の特性、例えば消光比や偏光軸のばらつきが悪化する場合があるので、上記のようなフィルタ等は偏光素子３の光入射側に設けることが好ましい。
光照射ユニットのランプの点灯を行う点灯電源３１は光照射ユニット毎に設けられ、各点灯電源３１は偏光光照射装置の制御部３０により制御される。
制御部３０は、各点灯電源に対し、ランプ１の点灯消灯を行う指令信号や、ランプ１に供給する電力の大きさを変更する指令信号を送る。点灯電源３１は、これらの信号に基づいて、ランプ１の点灯消灯および供給電力を変更する。これにより、各光照射ユニット１０は、独立して偏光光の出射と停止、及び光強度の調整が行われる。なお、光照射ユニット１０から出射する光強度を、光照射ユニットの光出射側に設けた減光フィルタ６を挿入退避させることにより、変化させることもできる。 Further, between the light source 4 and the polarizing element 3, a wavelength selection filter 5 for selecting and transmitting light in a desired ultraviolet region, a neutral density filter 6 for adjusting light intensity, and the like can be inserted. Moreover, you may provide the collimator lens 7 for making parallel light, and the integrator (not shown) for illuminance uniformity.
If an optical element is inserted into the polarized light, the characteristics of the polarized light, such as variations in extinction ratio and polarization axis, may deteriorate. It is preferable to provide it.
A lighting power source 31 for lighting the lamp of the light irradiation unit is provided for each light irradiation unit, and each lighting power source 31 is controlled by the control unit 30 of the polarized light irradiation device.
The control unit 30 sends a command signal for turning on and off the lamp 1 and a command signal for changing the magnitude of power supplied to the lamp 1 to each lighting power source. Based on these signals, the lighting power source 31 changes the lighting / extinction of the lamp 1 and the supplied power. Thereby, each light irradiation unit 10 is independently controlled to emit and stop polarized light and adjust the light intensity. The light intensity emitted from the light irradiation unit 10 can be changed by inserting and retracting the neutral density filter 6 provided on the light emission side of the light irradiation unit.

例えば、光照射領域２０において照度分布を測定し、一部の照度が低ければ、その部分に光を照射している光照射ユニット１０の光源に供給する電力を多くして、光強度を上げ、照度分布を均一に調整する。一部の照度が高ければ、上記とは逆に電力を下げる。
また、光配向膜の幅が狭く、光照射領域の面積が小さくても良い場合は、図３に示すように、不要な外側の光照射ユニット１０は消灯し、必要なユニットのみを点灯させる。
光配向膜２０が大きくなり、より幅広い光照射領域が必要となった場合は、光照射ユニットを外側に追加して並べ、光照射領域を横に広げる。 For example, when the illuminance distribution is measured in the light irradiation region 20 and a part of the illuminance is low, the power supplied to the light source of the light irradiation unit 10 irradiating the part with light is increased to increase the light intensity, Adjust the illuminance distribution uniformly. If part of the illuminance is high, the power is reduced contrary to the above.
When the width of the photo-alignment film is narrow and the area of the light irradiation region may be small, as shown in FIG. 3, the unnecessary outer light irradiation unit 10 is turned off and only the necessary units are turned on.
When the photo-alignment film 20 becomes large and a wider light irradiation area is required, a light irradiation unit is added and arranged outside, and the light irradiation area is expanded laterally.

図４により、光照射領域に入射する光の最大入射角について説明する。図４（ａ）は本実施例の場合であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）と同じ広さの光照射領域Ｓを同じ距離で１個の光源により照射した従来例の場合である。
図４（ｂ）の従来例の場合、光源４は光照射領域２０の応じた大きさが必要であり、光照射領域上の点ｂに入射する光の最大入射角は、その大きな光源の全体から光が入射するので、最大入射角は大きくなる。
一方、図４（ａ）の本実施例の場合、上記したように、ある光照射ユニット１０から出射した偏光光が、隣り合う他の光照射ユニット１０から出射した偏光光と重なり合い、一つの光照射領域Ｓを形成する。即ち、個々の光源は光照射領域全体を照射する必要がない。
例えば、図４（ａ）の光照射領域上の点ａにおいては、複数の光源のうち光源Ａからの光しか入射せず、したがって、入射する光の最大入射角は、光源Ａのみの大きさにより決まり、従来例に比べて小さくなる。
また、光照射領域が広くなっても、光源の個数を増やすことで対応ができるので最大入射角は変化しない。 With reference to FIG. 4, the maximum incident angle of light incident on the light irradiation region will be described. FIG. 4A shows the case of this embodiment, and FIG. 4B shows the case of the conventional example in which the light irradiation region S having the same area as that of FIG. 4A is irradiated by one light source at the same distance. It is.
In the case of the conventional example shown in FIG. 4B, the light source 4 needs to have a size corresponding to the light irradiation region 20, and the maximum incident angle of light incident on the point b on the light irradiation region is the entire large light source. Since the light is incident from, the maximum incident angle becomes large.
On the other hand, in the case of the present embodiment shown in FIG. 4A, as described above, the polarized light emitted from one light irradiation unit 10 overlaps with the polarized light emitted from another adjacent light irradiation unit 10, and one light is emitted. An irradiation region S is formed. That is, it is not necessary for each light source to irradiate the entire light irradiation area.
For example, at the point a on the light irradiation region in FIG. 4A, only the light from the light source A is incident among the plurality of light sources, and therefore the maximum incident angle of the incident light is the size of only the light source A. It becomes smaller than the conventional example.
Further, even if the light irradiation area is widened, the maximum incident angle does not change because it can be dealt with by increasing the number of light sources.

図５は光配向膜にプレチルト角を付与するために、斜めから光を照射するための機構の構成例を示す図であり、同図（ａ）は光照射ユニットを傾けていない状態を示し、（ｂ）は光照射ユニットを傾けた場合を示す。なお、図５は図１に示した装置を光配向膜の搬送方向から見た図であり、光照射ユニット１０を、光配向膜２０の搬送方向に平行な軸を中心として回動させ、光配向膜２０に斜め方向から光を入射させる場合を示す。
同図に示すように、各光照射ユニット１０には、並べられた光照射ユニットを光配向膜の幅方向に、同じ角度で傾ける光照射ユニット傾斜機構１４が取り付けられている。
光照射ユニット傾斜機構１４は、各光照射ユニット１０を、その上下において連結する２本のリンク棒１４ａ，１４ｂと、リンク棒１４ａ，１４ｂの一方を図面左右に押し引きするシリンダ１４ｃから構成されている。 FIG. 5 is a diagram showing a configuration example of a mechanism for irradiating light from an oblique direction to give a pretilt angle to the photo-alignment film. FIG. 5A shows a state where the light irradiation unit is not inclined, (B) shows the case where the light irradiation unit is tilted. 5 is a view of the apparatus shown in FIG. 1 as viewed from the transport direction of the photo-alignment film. The light irradiation unit 10 is rotated about an axis parallel to the transport direction of the photo-alignment film 20, and light is emitted. A case where light is incident on the alignment film 20 from an oblique direction is shown.
As shown in the figure, each light irradiation unit 10 is provided with a light irradiation unit tilting mechanism 14 that tilts the arranged light irradiation units at the same angle in the width direction of the photo-alignment film.
The light irradiation unit tilting mechanism 14 includes two link bars 14a and 14b that connect the light irradiation units 10 at the upper and lower sides thereof, and a cylinder 14c that pushes and pulls one of the link bars 14a and 14b right and left in the drawing. Yes.

リンク棒１４ａ，１４ｂは、各光照射ユニット１０に回転軸受１４ｄを介して取り付けられ、また、各光照射ユニット１０は、連結棒１２に対して傾斜可能な継ぎ手１４ｅを介して取り付けられている。具体的には、各光照射ユニット１０を、上記リンク棒１４ａ，１４ｂとの間に設けられた回転軸受け１４ｄの中心軸を結ぶ線の中点位置で上記連結棒に回転軸受等により回転可能に軸支すれば、各光照射ユニット１０を連結棒１２に対して傾斜させることができる。
したがって、上記リンク棒１４ａ，１４ｂをシリンダ１４ｃにより相対的に押し引きすることにより、図５（ｂ）に示すように、リンク棒１４ａ，１４ｂは同図の左右方向に移動し、配向膜の幅方向に並べられた光照射ユニット１０は、同じ角度だけ傾く。この状態で、光配向膜２０に光を照射することにより、光配向膜２０に、搬送方向に直交する方向から斜めに偏光光を照射することができる。
なお、光照射ユニット１０を上記連結棒１２を軸として回転させれば、光配向膜２０に搬送方向から斜めに偏光光を照射することができる。 The link rods 14a and 14b are attached to each light irradiation unit 10 via a rotary bearing 14d, and each light irradiation unit 10 is attached via a joint 14e that can be inclined with respect to the connecting rod 12. Specifically, each light irradiation unit 10 can be rotated to the connecting rod by a rotary bearing or the like at the midpoint position of the line connecting the central axes of the rotary bearings 14d provided between the link rods 14a and 14b. If pivotally supported, each light irradiation unit 10 can be inclined with respect to the connecting rod 12.
Therefore, by relatively pushing and pulling the link rods 14a and 14b by the cylinder 14c, the link rods 14a and 14b move in the left-right direction of the drawing as shown in FIG. The light irradiation units 10 arranged in the direction are inclined by the same angle. In this state, by irradiating the photo-alignment film 20 with light, it is possible to irradiate the photo-alignment film 20 with polarized light obliquely from the direction orthogonal to the transport direction.
If the light irradiation unit 10 is rotated about the connecting rod 12 as an axis, the light alignment film 20 can be irradiated with polarized light obliquely from the transport direction.

図６は光配向膜２０の幅方向に対して斜め方向から光を入射させる場合の、光源から光照射領域の両端までの距離を説明する図である。
図６（ａ）は本実施例の場合であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）と同じ広さの光照射領域を同じ距離で１個の光源により照射した従来例の場合である。
図６（ｂ）の従来例の場合、光配向膜２０の幅に応じた光照射領域を有する大きな光源全体を傾けることになるので、光源４から光配向膜２０の左端までの距離ＬＬが、光源から光配向膜の右端までの距離ＬＲに比べて長くなる。そのため、左端の照度が右端に比べて低下し、照度分布が悪くなる。
一方、図６（ａ）の本実施例の場合、光照射部全体ではなく、個々の光照射ユニット１０が傾くので、各光源４から光配向膜２０の左端までの距離ＬＬと右端までの距離ＬＲはほとんど変わらない。そのため、斜めから光を照射しても、光配向膜の右端と左端とでは照度分布がほとんど変わらず、照度分布が悪くならない。 FIG. 6 is a diagram for explaining the distance from the light source to both ends of the light irradiation region when light is incident from an oblique direction with respect to the width direction of the photo-alignment film 20.
FIG. 6A shows the case of the present embodiment, and FIG. 6B shows the case of the conventional example in which the light irradiation area having the same area as that of FIG. 6A is irradiated by one light source at the same distance. is there.
In the case of the conventional example of FIG. 6B, the entire large light source having the light irradiation region corresponding to the width of the photo-alignment film 20 is tilted, and therefore the distance LL from the light source 4 to the left end of the photo-alignment film 20 is It becomes longer than the distance LR from the light source to the right end of the photo-alignment film. Therefore, the illuminance at the left end is lower than that at the right end, and the illuminance distribution is deteriorated.
On the other hand, in the case of the present embodiment shown in FIG. 6A, since the individual light irradiation units 10 are inclined rather than the entire light irradiation unit, the distance LL from each light source 4 to the left end of the photo-alignment film 20 and the distance from the right end. LR is almost unchanged. Therefore, even if light is irradiated obliquely, the illuminance distribution hardly changes between the right end and the left end of the photo-alignment film, and the illuminance distribution does not deteriorate.

図７は、光照射ユニットの他の構成例である。
ランプ１として超超高圧水銀ランプを用いる場合、ランプの特性として水平点灯させるほうが安定して点灯する場合がある。そのような場合は、図７に示すように、ランプ１を水平点灯させ、反射ミラー２により光を水平方向に反射した後、折り返しミラー８により反射し、偏光素子に入射させ、光配向膜に照射するようにしても良い。なお、この場合も、ランプの一対の電極を結ぶ線である管軸とミラーの光軸とは平行である。
図８は、光照射ユニット１０の他の構成例を示す図であり、光照射領域の照度分布を均一にするインテグレータ９を有している。
図８において、ランプ１から出射した光は反射ミラー２で反射されて平行光となり、第１の平面ミラー８ａで折り返される。
折り返された光は、偏光素子３（同図では光軸に対してブリュースタ角になるように配置された複数のガラス板からなる偏光素子を用いている）に入射する。
偏光素子３に入射した光は、Ｐ偏光光のみが通過し、Ｓ偏光光は反射される。偏光素子３を通過したＰ偏光光はインテグレータ９に入射し、光照射面での照度分布が均一にされ、第２の平面ミラー８ｂにより折り返されて、光照射ユニット１０から出射し、光配向膜２０に照射される。 FIG. 7 shows another configuration example of the light irradiation unit.
When an ultra extra high pressure mercury lamp is used as the lamp 1, there is a case where the lamp is lit more stably as a lamp characteristic. In such a case, as shown in FIG. 7, the lamp 1 is turned on horizontally, the light is reflected in the horizontal direction by the reflection mirror 2, then reflected by the folding mirror 8, and incident on the polarizing element, and is applied to the photo-alignment film. You may make it irradiate. In this case as well, the tube axis that is a line connecting the pair of electrodes of the lamp and the optical axis of the mirror are parallel.
FIG. 8 is a diagram illustrating another configuration example of the light irradiation unit 10, and includes an integrator 9 that makes the illuminance distribution in the light irradiation region uniform.
In FIG. 8, the light emitted from the lamp 1 is reflected by the reflecting mirror 2 to become parallel light, and is turned back by the first flat mirror 8a.
The folded light is incident on the polarizing element 3 (in the figure, a polarizing element made up of a plurality of glass plates arranged so as to have a Brewster angle with respect to the optical axis is used).
Only the P-polarized light passes through the light incident on the polarizing element 3, and the S-polarized light is reflected. The P-polarized light that has passed through the polarizing element 3 enters the integrator 9, the illuminance distribution on the light irradiation surface is made uniform, is folded back by the second plane mirror 8b, is emitted from the light irradiation unit 10, and the photo-alignment film 20 is irradiated.

本発明の実施例の偏光光照射装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the polarized light irradiation apparatus of the Example of this invention. 図１の装置を光配向膜の搬送方向からみた断面図および点灯電源と制御部との接続関係を示す図である。It is sectional drawing which looked at the apparatus of FIG. 1 from the conveyance direction of a photo-alignment film | membrane, and the figure which shows the connection relation of a lighting power supply and a control part. 図１の装置において光照射領域を変更する場合を説明する図である。It is a figure explaining the case where a light irradiation area | region is changed in the apparatus of FIG. 本発明と従来例の装置における光照射領域に入射する光の最大入射角を説明する図である。It is a figure explaining the maximum incident angle of the light which injects into the light irradiation area | region in this invention and the apparatus of a prior art example. 光配向膜に斜めから光を照射するための機構の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example of the mechanism for irradiating light to the photo-alignment film from diagonally. 配向膜の幅方向に対して斜め方向から光を入射させる場合の光源から光照射領域の両端までの距離を説明する図である。It is a figure explaining the distance from the light source to the both ends of a light irradiation area | region in the case of making light enter from the diagonal direction with respect to the width direction of an alignment film. 光照射ユニットの他の構成例（１）を示す図である。It is a figure which shows the other structural example (1) of a light irradiation unit. 光照射ユニットの他の構成例（２）を示す図である。It is a figure which shows the other structural example (2) of a light irradiation unit. 単一のランプを用いた従来の偏光光照射装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional polarized light irradiation apparatus using a single lamp. 図９の装置における最大入射角を説明する図である。It is a figure explaining the maximum incident angle in the apparatus of FIG. 図９の装置において光源を傾けて斜めから光配向膜に光を照射する場合を説明する図である。It is a figure explaining the case where the light source is inclined in the apparatus of FIG. 9, and light is irradiated to a photo-alignment film from diagonally. 円筒形状のバルブを有するランプを用いた場合の問題点を説明する図である。It is a figure explaining the problem at the time of using the lamp | ramp which has a cylindrical bulb | ball.

符号の説明Explanation of symbols

１ ランプ
２ 反射ミラー
３ 偏光素子
４ 光源
５ 波長選択フィルタ
６ 減光フィルタ
７ コリメータレンズ
８ 折り返しミラー
８ａ，８ｂ 平面ミラー
９ インテグレータ
１０ 光照射ユニット
１１ 光照射部
１２ 連結棒
１３ 支持台
１４ａ，１４ｂ リンク棒
１４ｃ シリンダ
１４ｄ 回転軸受
１４ｅ 継ぎ手
２０ 光配向膜
３０ 制御部
３１ 点灯電源



DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Lamp 2 Reflecting mirror 3 Polarizing element 4 Light source 5 Wavelength selection filter 6 Neutral filter 7 Collimator lens 8 Folding mirror 8a, 8b Planar mirror 9 Integrator 10 Light irradiation unit 11 Light irradiation part 12 Connecting rod 13 Support stand 14a, 14b Link rod 14c Cylinder 14d Rotary bearing 14e Fitting 20 Photo-alignment film 30 Control unit 31 Lighting power source



Claims (4)

光照射部から出射した偏光光を、連続または間歇的に光配向膜に対して相対的に、直線状に移動させ、上記偏光光を光配向膜に照射する偏光光照射装置において、
上記光照射部は、上記光配向膜もしくは偏光光の移動方向に対して直交する幅方向に配列された、複数の光照射ユニットから構成され、
上記光照射ユニットは、石英ガラスからなる放電容器に一対の電極が対向配置されたランプと、ランプからの光を反射する反射ミラーと、
該反射ミラーにより反射された光を偏光する偏光手段とを備え、
上記ランプは、上記一対の電極を結ぶ線である管軸が上記反射ミラーの光軸と平行になるように配置されている
ことを特徴とする偏光光照射装置。 In the polarized light irradiation device that linearly moves the polarized light emitted from the light irradiation unit relative to the photo-alignment film continuously or intermittently, and irradiates the polarized light on the photo-alignment film,
The light irradiation unit is composed of a plurality of light irradiation units arranged in a width direction orthogonal to the moving direction of the photo-alignment film or polarized light,
The light irradiation unit includes a lamp having a pair of electrodes opposed to a discharge vessel made of quartz glass, a reflection mirror that reflects light from the lamp,
Polarizing means for polarizing the light reflected by the reflecting mirror,
The polarized light irradiation apparatus, wherein the lamp is arranged such that a tube axis that is a line connecting the pair of electrodes is parallel to an optical axis of the reflection mirror. 上記ランプは、上記放電容器に、０．０８〜０．３０ｍｇ／ｍｍ3 の水銀と、希ガスと、ハロゲンを封入し、電極間距離が０．５〜２．０ｍｍであり、３００〜４５０ｎｍの紫外光を効率よく放射する超超高圧水銀ランプである
ことを特徴とする請求項１の偏光光照射装置。 The lamp encloses 0.08 to 0.30 mg / mm 3 mercury, rare gas, and halogen in the discharge vessel, and the distance between the electrodes is 0.5 to 2.0 mm, and 300 to 450 nm. 2. The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, wherein the apparatus is an ultra-high pressure mercury lamp that efficiently radiates ultraviolet light. 上記光照射ユニットには、
各光照射ユニットを、光配向膜の幅方向に、同じ角度で傾ける、光照射ユニット傾斜機構が設けられている
ことを特徴とする請求項１または請求項２の偏光光照射装置。 In the light irradiation unit,
3. The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, further comprising a light irradiation unit tilting mechanism for tilting each light irradiation unit at the same angle in the width direction of the photo-alignment film. 上記光照射ユニットには、
それぞれ制御可能な点灯電源が接続されている
ことを特徴とする請求項１，２または請求項３の偏光光照射装置。










In the light irradiation unit,
4. The polarized light irradiation apparatus according to claim 1, wherein a lighting power source that can be controlled is connected.










JP2005145210A 2005-05-18 2005-05-18 Polarized-light irradiating device Pending JP2006323060A (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005145210A JP2006323060A (en) 2005-05-18 2005-05-18 Polarized-light irradiating device
TW095106851A TWI411864B (en) 2005-05-18 2006-03-01 Polarized light irradiation device
KR1020060026432A KR100920293B1 (en) 2005-05-18 2006-03-23 Polarized light illuminating apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005145210A JP2006323060A (en) 2005-05-18 2005-05-18 Polarized-light irradiating device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006323060A true JP2006323060A (en) 2006-11-30

Family

ID=37542805

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005145210A Pending JP2006323060A (en) 2005-05-18 2005-05-18 Polarized-light irradiating device

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP2006323060A (en)
KR (1) KR100920293B1 (en)
TW (1) TWI411864B (en)

Cited By (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011215639A (en) * 2011-07-14 2011-10-27 Ushio Inc Polarized light irradiation device for optical alignment
JP2012173641A (en) * 2011-02-23 2012-09-10 V Technology Co Ltd Scanning exposure apparatus
JP2012203294A (en) * 2011-03-28 2012-10-22 Ushio Inc Polarization element unit and polarization light irradiation apparatus
JP2012252201A (en) * 2011-06-03 2012-12-20 Ushio Inc Light irradiation device
JP5163825B1 (en) * 2012-04-23 2013-03-13 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device
KR101288661B1 (en) 2010-01-13 2013-07-22 우시오덴키 가부시키가이샤 Polarized light irradiation apparatus
JP2013174863A (en) * 2012-01-25 2013-09-05 Ushio Inc Unit of polarization element and filter
WO2014006942A1 (en) * 2012-07-03 2014-01-09 株式会社ブイ・テクノロジー Exposure apparatus
WO2014136934A1 (en) * 2013-03-07 2014-09-12 株式会社ブイ・テクノロジー Polarized-light emission device for optical alignment
JP2014186329A (en) * 2014-04-25 2014-10-02 Ushio Inc Polarization light irradiation apparatus
US9040229B2 (en) 2013-01-25 2015-05-26 Kent State University Maskless process for pre-tilting liquid crystal molecules
JP2015169884A (en) * 2014-03-10 2015-09-28 ウシオ電機株式会社 Polarization light irradiation device for optical orientation and polarization light irradiation method for optical orientation
KR101589519B1 (en) 2015-11-19 2016-02-04 위아코퍼레이션 주식회사 Photo alignment device using led
JP2017015887A (en) * 2015-06-30 2017-01-19 アイグラフィックス株式会社 Optical alignment irradiation device
JP2017015886A (en) * 2015-06-30 2017-01-19 アイグラフィックス株式会社 Light irradiation apparatus
US9575232B2 (en) 2013-08-09 2017-02-21 Sumitomo Chemical Company, Limited Method for producing optically anisotropic laminated body
JP2017044967A (en) * 2015-08-28 2017-03-02 東芝ライテック株式会社 Manufacturing device of liquid crystal panel
JP2017058622A (en) * 2015-09-18 2017-03-23 東芝ライテック株式会社 Polarized Light Irradiation Device
JP2017072768A (en) * 2015-10-08 2017-04-13 ウシオ電機株式会社 Light irradiation device and light irradiation method
JP2017142386A (en) * 2016-02-10 2017-08-17 ウシオ電機株式会社 Ultraviolet rays filter layer, method for forming ultraviolet rays filter layer, ultraviolet rays filter, grid polarization element, and polarized light irradiation device
JP2017146427A (en) * 2016-02-16 2017-08-24 ウシオ電機株式会社 Polarization element unit and polarization light irradiation apparatus
WO2017145975A1 (en) * 2016-02-22 2017-08-31 株式会社ブイ・テクノロジー Polarized light irradiation device
CN108604030A (en) * 2016-02-22 2018-09-28 株式会社 V 技术 Polarized light illumination device
WO2019031453A1 (en) * 2017-08-09 2019-02-14 株式会社ブイ・テクノロジー Photo-aligning exposure device
KR20190058410A (en) * 2012-07-18 2019-05-29 우시오덴키 가부시키가이샤 Polarization measuring process, polarization measuring apparatus, polarization measuring system and photo-alignment irradiation apparatus
US10353128B2 (en) 2013-08-09 2019-07-16 Sumitomo Chemical Company, Limited Laminated body
WO2019171760A1 (en) * 2018-03-09 2019-09-12 富士フイルム株式会社 Method for forming photo-alignment film and method for manufacturing laminate
CN111492314A (en) * 2017-12-26 2020-08-04 东京毅力科创株式会社 Light irradiation device
CN111856745A (en) * 2019-04-30 2020-10-30 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Light irradiation device
WO2021193301A1 (en) * 2020-03-24 2021-09-30 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device, and exposure apparatus provided therewith
JP2021184083A (en) * 2020-05-21 2021-12-02 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure device with the same
JP2022031802A (en) * 2020-03-24 2022-02-22 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure apparatus including the same
JP2022184872A (en) * 2020-05-21 2022-12-13 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure apparatus including the same

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013031461A1 (en) * 2011-08-29 2013-03-07 シャープ株式会社 Method for manufacturing liquid-crystal display device
JP6201310B2 (en) * 2012-12-14 2017-09-27 東芝ライテック株式会社 Polarized light irradiation device

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1090684A (en) * 1996-09-12 1998-04-10 Ushio Inc Oriented film light orienting polarization light irradiating device for liquid crystal display element
JP2001294864A (en) * 2000-04-11 2001-10-23 Agency Of Ind Science & Technol Liquid crystal aligning agent
JP2002098969A (en) * 2000-09-26 2002-04-05 Konica Corp Method for manufacturing optical alignment layer
JP2002350858A (en) * 2001-05-28 2002-12-04 Sony Corp Light orientation device
JP2005050576A (en) * 2003-07-30 2005-02-24 Ushio Inc Lighting device for short arc type discharge lamp

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH112813A (en) 1997-06-13 1999-01-06 Hitachi Ltd Liquid crystal display device
JP3622557B2 (en) * 1999-02-23 2005-02-23 セイコーエプソン株式会社 Polarization conversion optical system, illumination optical system, and projection display device
JP2004119025A (en) * 2002-09-24 2004-04-15 Ushio Inc Ac lighting extra high-pressure mercury lamp
KR20050108740A (en) * 2004-05-13 2005-11-17 주식회사 참비전 Molecular orientation equipment for film

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1090684A (en) * 1996-09-12 1998-04-10 Ushio Inc Oriented film light orienting polarization light irradiating device for liquid crystal display element
JP2001294864A (en) * 2000-04-11 2001-10-23 Agency Of Ind Science & Technol Liquid crystal aligning agent
JP2002098969A (en) * 2000-09-26 2002-04-05 Konica Corp Method for manufacturing optical alignment layer
JP2002350858A (en) * 2001-05-28 2002-12-04 Sony Corp Light orientation device
JP2005050576A (en) * 2003-07-30 2005-02-24 Ushio Inc Lighting device for short arc type discharge lamp

Cited By (53)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101288661B1 (en) 2010-01-13 2013-07-22 우시오덴키 가부시키가이샤 Polarized light irradiation apparatus
JP2012173641A (en) * 2011-02-23 2012-09-10 V Technology Co Ltd Scanning exposure apparatus
JP2012203294A (en) * 2011-03-28 2012-10-22 Ushio Inc Polarization element unit and polarization light irradiation apparatus
JP2012252201A (en) * 2011-06-03 2012-12-20 Ushio Inc Light irradiation device
JP2011215639A (en) * 2011-07-14 2011-10-27 Ushio Inc Polarized light irradiation device for optical alignment
JP2013174863A (en) * 2012-01-25 2013-09-05 Ushio Inc Unit of polarization element and filter
JP5163825B1 (en) * 2012-04-23 2013-03-13 ウシオ電機株式会社 Polarized light irradiation device
KR101276445B1 (en) 2012-04-23 2013-06-19 우시오덴키 가부시키가이샤 Polarized light illuminating apparatus
JP2013225069A (en) * 2012-04-23 2013-10-31 Ushio Inc Polarized light irradiation device
CN104395831A (en) * 2012-07-03 2015-03-04 株式会社V技术 Exposure apparatus
WO2014006942A1 (en) * 2012-07-03 2014-01-09 株式会社ブイ・テクノロジー Exposure apparatus
CN104395831B (en) * 2012-07-03 2018-07-06 株式会社V技术 Exposure device
TWI588619B (en) * 2012-07-03 2017-06-21 V Technology Co Ltd Exposure device
JP2014013277A (en) * 2012-07-03 2014-01-23 V Technology Co Ltd Exposure equipment
KR102080211B1 (en) * 2012-07-03 2020-02-24 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디 Exposure apparatus
KR20150035789A (en) * 2012-07-03 2015-04-07 브이 테크놀로지 씨오. 엘티디 Exposure apparatus
KR20190058410A (en) * 2012-07-18 2019-05-29 우시오덴키 가부시키가이샤 Polarization measuring process, polarization measuring apparatus, polarization measuring system and photo-alignment irradiation apparatus
KR102036235B1 (en) * 2012-07-18 2019-10-24 우시오덴키 가부시키가이샤 Polarization measuring process, polarization measuring apparatus, polarization measuring system and photo-alignment irradiation apparatus
US9040229B2 (en) 2013-01-25 2015-05-26 Kent State University Maskless process for pre-tilting liquid crystal molecules
JP2014197189A (en) * 2013-03-07 2014-10-16 株式会社ブイ・テクノロジー Polarized light irradiation device for photo-aligning
CN105008990A (en) * 2013-03-07 2015-10-28 株式会社V技术 Polarized-light emission device for optical alignment
WO2014136934A1 (en) * 2013-03-07 2014-09-12 株式会社ブイ・テクノロジー Polarized-light emission device for optical alignment
US9575232B2 (en) 2013-08-09 2017-02-21 Sumitomo Chemical Company, Limited Method for producing optically anisotropic laminated body
US10353128B2 (en) 2013-08-09 2019-07-16 Sumitomo Chemical Company, Limited Laminated body
JP2015169884A (en) * 2014-03-10 2015-09-28 ウシオ電機株式会社 Polarization light irradiation device for optical orientation and polarization light irradiation method for optical orientation
JP2014186329A (en) * 2014-04-25 2014-10-02 Ushio Inc Polarization light irradiation apparatus
JP2017015887A (en) * 2015-06-30 2017-01-19 アイグラフィックス株式会社 Optical alignment irradiation device
JP2017015886A (en) * 2015-06-30 2017-01-19 アイグラフィックス株式会社 Light irradiation apparatus
JP2017044967A (en) * 2015-08-28 2017-03-02 東芝ライテック株式会社 Manufacturing device of liquid crystal panel
JP2017058622A (en) * 2015-09-18 2017-03-23 東芝ライテック株式会社 Polarized Light Irradiation Device
TWI678584B (en) * 2015-09-18 2019-12-01 日商東芝照明技術股份有限公司 Polarized light irradiation device
JP2017072768A (en) * 2015-10-08 2017-04-13 ウシオ電機株式会社 Light irradiation device and light irradiation method
KR101589519B1 (en) 2015-11-19 2016-02-04 위아코퍼레이션 주식회사 Photo alignment device using led
JP2017142386A (en) * 2016-02-10 2017-08-17 ウシオ電機株式会社 Ultraviolet rays filter layer, method for forming ultraviolet rays filter layer, ultraviolet rays filter, grid polarization element, and polarized light irradiation device
JP2017146427A (en) * 2016-02-16 2017-08-24 ウシオ電機株式会社 Polarization element unit and polarization light irradiation apparatus
CN108604030A (en) * 2016-02-22 2018-09-28 株式会社 V 技术 Polarized light illumination device
WO2017145975A1 (en) * 2016-02-22 2017-08-31 株式会社ブイ・テクノロジー Polarized light irradiation device
WO2019031453A1 (en) * 2017-08-09 2019-02-14 株式会社ブイ・テクノロジー Photo-aligning exposure device
CN111492314A (en) * 2017-12-26 2020-08-04 东京毅力科创株式会社 Light irradiation device
WO2019171760A1 (en) * 2018-03-09 2019-09-12 富士フイルム株式会社 Method for forming photo-alignment film and method for manufacturing laminate
JPWO2019171760A1 (en) * 2018-03-09 2021-02-12 富士フイルム株式会社 Method for forming a photoalignment film and method for manufacturing a laminate
CN111856745A (en) * 2019-04-30 2020-10-30 上海微电子装备（集团）股份有限公司 Light irradiation device
WO2021193301A1 (en) * 2020-03-24 2021-09-30 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device, and exposure apparatus provided therewith
JP2021152617A (en) * 2020-03-24 2021-09-30 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure apparatus including the same
JP6989977B2 (en) 2020-03-24 2022-01-12 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure device equipped with this
JP2022031802A (en) * 2020-03-24 2022-02-22 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure apparatus including the same
JP7140430B2 (en) 2020-03-24 2022-09-21 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure device provided with same
CN115210636A (en) * 2020-03-24 2022-10-18 凤凰电机公司 Light irradiation device and exposure device provided with same
CN115210636B (en) * 2020-03-24 2024-04-23 凤凰电机公司 Light irradiation device and exposure device provided with same
JP2021184083A (en) * 2020-05-21 2021-12-02 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure device with the same
JP7142380B2 (en) 2020-05-21 2022-09-27 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure device provided with same
JP2022184872A (en) * 2020-05-21 2022-12-13 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure apparatus including the same
JP7257719B2 (en) 2020-05-21 2023-04-14 フェニックス電機株式会社 Light irradiation device and exposure device provided with same

Also Published As

Publication number Publication date
TWI411864B (en) 2013-10-11
KR100920293B1 (en) 2009-10-08
KR20060119745A (en) 2006-11-24
TW200702878A (en) 2007-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2006323060A (en) Polarized-light irradiating device
JP4063042B2 (en) Polarized light irradiation device for photo-alignment
JP4604661B2 (en) Polarized light irradiation device for photo-alignment
KR100954897B1 (en) Polarized light device unit and polarized light irradiation apparatus
KR101234406B1 (en) Polarized light irradiation apparatus for photo-alignment
JP2007114647A (en) Polarized light irradiation device for photo-alignment
JP5177266B2 (en) Polarizing element unit, light irradiation device using the polarizing element unit, and transmittance setting method of polarizing element unit
KR20110083496A (en) Polarized light irradiation apparatus
JP4706255B2 (en) Polarized light irradiation device
JP2012203294A (en) Polarization element unit and polarization light irradiation apparatus
JP2004004817A (en) Exposure device for irradiating substrate endowed with photosensitivity
JPH10161126A (en) Method for forming oriented film and exposing device
WO2012046541A1 (en) Exposure apparatus
JP2004170630A (en) Lighting unit
JP4135557B2 (en) Polarized light irradiation device for photo-alignment
JP2010243880A (en) Illuminator and projection type video display device
TW200530709A (en) Polarized light exposure apparatus for photo-alignment and adjustment method of polarization direction therein
JP2008225039A (en) Image projector
JP2018169480A (en) Method for manufacturing retardation film
JP3149791B2 (en) Film quality reformer
WO2024075127A2 (en) Beam-spreading arrangements for reflective-slm displays
TW201250151A (en) Light irradiation device
JP2006047384A (en) Aligner
JP2011027968A (en) Polarizing exposure device and polarizing exposure method using the same
JPH0980435A (en) Method for reforming film quality and light source for reforming film quality

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080304

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100826

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20100907

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20110510