JP4604661B2 - For optical alignment polarized light irradiation apparatus - Google Patents

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本発明は、液晶表示素子の配向膜や、紫外線硬化型液晶を用いた視野角補償フイルムの配向層などの光配向膜に偏光光を照射して光配向を行なう偏光光照射装置に関する。 The present invention, alignment films and a liquid crystal display device, a polarizing beam irradiation device for optical alignment by irradiating polarized light to the photo-alignment film, such as the orientation layer of the viewing angle compensation film using a UV-curable liquid crystal.

近年、液晶パネルの配向膜や、視野角補償フィルムの配向層などの配向処理に関し、配向膜に所定の波長の偏光光を照射することにより配向を行なう、光配向と呼ばれる技術が採用されるようになってきている。 Recently, an alignment film and a liquid crystal panel, relates orientation treatment, such as orientation layers for viewing angle compensation film, performing alignment by irradiating polarized light in a predetermined wavelength in the alignment film, so that a technique called photo-alignment is employed it has become.
以下、上記光により配向を行う配向膜や配向層を設けたフィルムのことを総称して光配向膜と呼ぶ。 Hereinafter collectively to a film having an alignment film and an alignment layer for the orientation by the light is referred to as a photo-alignment film. 光配向膜は、液晶パネルの大型化と共に大型化しており、それと共に光配向膜に偏光光を照射する偏光光照射装置も大型化している。 Photo-alignment film is increased in size with size increase of the liquid crystal panel, it is also increased in size therewith polarized light irradiation device for irradiating a polarized light to the photo-alignment film.
上記光配向膜において、例えば視野角補償フィルムは、帯状で長尺のワークであり、配向処理後、所望の長さに切断し使用する。 In the photo-alignment film, for example, the viewing angle compensation film is a work long in strip, after orientation treatment, use and cut to the desired length. 最近は、パネルの大きさに合わせて大きくなり、幅1500mmのものもある。 Recently, it increased in accordance with the size of the panel, some of the width 1500 mm.

近年、このような帯状の長い光配向膜に対して光配向を行うために、棒状ランプとワイヤーグリッドの偏光素子を組み合せた偏光光照射装置が提案されている(例えば特許文献1、特許文献2参照)。 Recently, in order to perform optical alignment with respect to such belt-like long photo-alignment film, rod-shaped lamp and the polarized light irradiation apparatus that combines the polarization element of the wire grid is proposed (e.g. Patent Document 1, Patent Document 2 reference).
図15に、線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光手段を有する偏光光照射装置の構成例を示す。 15 shows a configuration example of a polarized light irradiation apparatus having a polarization means combining rod-shaped lamp and the wire grid polarization element is a linear light source.
高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の棒状ランプ21と、ランプ21からの光を反射する断面が楕円形の樋状集光鏡22を備えた光照射部20を、ランプ21の長手方向が、ワーク40上に形成された光配向膜41の幅方向(搬送方向に対して直交方向)になるように配置する。 A rod-shaped lamp 21, such as a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp, the light irradiation unit 20 which cross section is provided with a trough-like collector mirror 22 of the elliptical reflecting light from the lamp 21, the longitudinal direction of the lamp 21, the workpiece 40 arranged to be in the width direction of the optical alignment layer 41 formed in the upper (a direction orthogonal to the transport direction). 光照射部20には、ワイヤーグリッド偏光素子10が設けられている。 The light irradiation section 20, the wire grid polarizer 10 is provided. ワイヤーグリッド偏光素子10は、ランプ21の発光長よりやや長い一辺を持つ長方形状で、その長手方向がランプ21の長手方向に一致するように設けられている。 Wire grid polarizer 10 is a rectangular shape having a slightly longer side than the emission length of the lamp 21, the longitudinal direction are provided so as to coincide with the longitudinal direction of the lamp 21.

棒状ランプ21は、その長手方向が樋状集光鏡22の長手方向と一致するように、また、断面が楕円形の樋状集光鏡22の第1焦点位置に一致するように配置され、ワーク40上に形成された光配向膜41は、樋状集光鏡22の第2焦点位置に配置されている。 Rod-shaped lamp 21, as its longitudinal direction coincides with the longitudinal direction of the gutter-like collector mirror 22, also arranged so that the cross section coincides with the first focal point of the trough-like collector mirror 22 of the ellipse, photo alignment layer 41 formed on the work 40 is placed in the second focal point of the trough condensing mirror 22.
ワーク40は例えば長尺の連続ワークであり、送り出しローラR1にロール状に巻かれており、送り出しローラR1から引き出されて搬送され、光照射部20の下を通って巻き取りローラR2に巻き取られる。 Workpiece 40 is a continuous work, for example long is wound into a roll in the feed roller R1, is conveyed is drawn from the feed roller R1, taken up by the take-up roller R2 passes below the light irradiation portion 20 It is.
ワーク40が光照射部の下を搬送されるとき、ワーク40の光配向膜41に、ワイヤーグリッド偏光手段10により偏光された棒状ランプ21からの光が照射され、光配向処理される。 When the workpiece 40 is transported under the light irradiation unit, the optical alignment layer 41 of the workpiece 40, the light from the rod-shaped lamp 21 which is polarized is irradiated by wire grid polarizing means 10, it is an optical alignment treatment.
なお、ワイヤーグリッド偏光素子10はガラスウエハを基板としてリソグラフィ技術やエッチング技術を利用して作成されるが、蒸着装置、リソグラフィ装置、エッチング装置などの処理装置が処理できる基板の大きさには限界があり、基板から切り出されるワイヤーグリッド偏光素子の大きさにも限界がある。 Incidentally, the wire-grid polarizer 10 is created by using a lithography technique and an etching technique glass wafer as a substrate, vapor deposition apparatus, a lithographic apparatus, a limit to the size of the substrate processing apparatus can process such as an etching apparatus There, there is a limit to the size of the wire grid polarization element cut from the substrate. そこで、例えば長さが長い棒状のランプに応じた大きな偏光素子が必要な場合、複数のワイヤーグリッド偏光素子をフレーム内に並べて配置して、上記ランプに対応できる長さのワイヤーグリッド偏光素子ユニットを作成し、この偏光素子ユニットを上記ワイヤーグリッド偏光素子10として用いてもよい。 Therefore, for example, when a large polarizing element length corresponding to a long rod-shaped lamp is required, by arranging side by side a plurality of wire-grid polarizer in the frame, a wire grid polarization element unit length to accommodate the said lamp create, the polarizing element unit may be used as the wire-grid polarizer 10.

ワイヤーグリッド偏光素子については、例えば特許文献3や特許文献4に詳細が示されている。 The wire-grid polarizer, for example, is shown in detail in Patent Documents 3 and 4.
ワイヤーグリッド偏光素子1の概略の構造を図16に示す。 The schematic structure of the wire grid polarization element 1 shown in FIG. 16.
図16(a)は斜視図、(b)は側面図であり、同図に示すように、長さが幅よりもはるかに長い複数の直線状の電気導体10a(例えばクロムやアルミニウム等の金属線、以下グリッドと呼ぶ)を、石英ガラスなどの基板10b上に平行に配置したものである。 FIG. 16 (a) a perspective view, (b) is a side view, and as shown in the figure, much longer more than the width length linear electrical conductors 10a (e.g. a metal such as chromium or aluminum lines, hereinafter referred to as grids), in which are arranged in parallel on the substrate 10b such as a quartz glass. 電気導体10aのピッチPは、入射する光の波長以下、望ましくは1/3以下がよい。 Pitch P of the electrical conductors 10a, the wavelength of incident light or less, preferably it is 1/3 or less.
電磁波中に上記偏光素子を挿入すると、グリッド10aの長手方向に平行な偏波(偏光)成分は大部分反射され、直交する偏波(偏光)成分は通過する。 When inserting the polarizing element in the electromagnetic wave, parallel to the longitudinal direction polarization (polarized light) component of the grid 10a is most reflected orthogonal polarization (polarized light) component is passed.
ワイヤーグリッド偏光素子の特徴として、偏光光の消光比の入射角度(偏光素子に入射する光の角度)依存性が小さく、棒状ランプから出射する光のような拡散光であっても、入射角度が±45°の範囲であれば、良好な消光比の偏光光が得られる。 As a feature of a wire grid polarizer, the angle of incidence of polarized light extinction ratio (angle of light incident on the polarization element) dependency is small, even in diffuse light, such as light emitted from the rod-shaped lamp, the incident angle be in the range of ± 45 °, the polarized light of a good extinction ratio is obtained.
したがって、棒状ランプの長さを、光配向膜の幅に対応させて設け、光配向膜を偏光光照射装置に対して相対的に移動させれば、原理的には1本のランプで、帯状の長い光配向膜の光配向処理を行うことができる。 Therefore, the length of the rod-shaped lamp, provided corresponding to the width of the photo-alignment film, if relatively moving the optical alignment layer with respect to the polarized light irradiation apparatus, in principle a single lamp, strip photo-alignment treatment of the long optical alignment layer can be performed. またランプからの光を平行光にするような光学素子も不要になり装置の小型化が可能である。 The optical element as a parallel light light from the lamp is also possible to reduce the size of the not required device.
特開2004−163881号公報 JP 2004-163881 JP 特開2004−144884号公報 JP 2004-144884 JP 特開2002−328234号公報 JP 2002-328234 JP 特表2003−508813号公報 JP-T 2003-508813 JP

光配向膜の配向方向は、配向膜に照射する偏光光の偏光軸の方向に依存する。 Alignment direction of the photo-alignment film depends on the direction of the polarization axis of the polarized light that irradiates the alignment layer. 基本的には、偏光軸の方法に沿って配向が生じると考えてよい。 Basically, it may be considered that orientation along the way of the polarization axis occurs. 一方、光配向膜に生じさせる配向方向は、配向膜の用途や種類、製品である液晶パネルの種類、あるいは液晶パネルメーカのデザインルールにより種々異なる。 On the other hand, the alignment direction to cause the optical alignment layer is different depending on the application and the type of the alignment film, the kind of the liquid crystal panel is a product or a liquid crystal panel manufacturers design rule.
例えば、前記図15において、(a)ワークの搬送方向に平行な方向の配向方向、(b)ワークの搬送方向に直交する方向の配向方向、(c)斜め45°方向の配向方向といった配向方向が要求される。 For example, in FIG. 15, (a) parallel to the direction of orientation in the conveying direction of the workpiece, (b) the alignment direction of the direction perpendicular to the conveying direction of the workpiece, the alignment direction such as the orientation direction (c) diagonal 45 ° direction There is required. したがって、偏光光照射装置としては、出射する偏光光の偏光軸の方向を360°回転できるように構成されている必要がある。 Therefore, the polarized irradiation apparatus, there needs to be configured with a direction of polarization axis of the emitted polarized light so that it can rotate 360 ​​°.
偏光軸の方向を変える手段として、上記特許文献2においては、ランプの長手方向に対して、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドが並ぶ方向(角度)を変化させることにより行なうことが提案されている。 As means for changing the direction of the polarization axes, in the above Patent Document 2, with respect to the longitudinal direction of the lamp, it has been proposed to carry out by changing the direction (angle) lined grid of the wire grid polarization element.

しかし、実際にワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向を、ランプの長手方向に対して変化させ、出射する偏光光の特性を測定したところ、グリッドの方向がランプ長手方向に対して傾いている場合、グリッドがランプ長手方向に対して平行、または直交する場合に比べ、偏光軸のばらつきが悪化する(ばらつきが大きくなる)ということがわかった。 However, in practice the direction of the grid of the wire grid polarization element, is varied with respect to the longitudinal direction of the lamp, Measurement of the properties of polarized light emitted, when the direction of the grid is inclined with respect to the lamp longitudinal direction, grid compared with the case of parallel or perpendicular to the lamp longitudinal direction, it was found that the variation of the polarization axis is deteriorated (the variation is large).
偏光軸のばらつきが大きくなると、例えば液晶表示素子(液晶パネル)のコントラストが場所により異なり、ムラとして目に映るという問題が生じる。 When the variation of the polarization axes becomes large, for example, it depends on the contrast location of the liquid crystal display device (liquid crystal panel), a problem that meets the eye as uneven. このため、光照射面における偏光軸のばらつきが±0.1°であることが要求されることもある。 Therefore, also the variation of the polarization axis in the light irradiation surface is required to be ± 0.1 °.
図17〜図19に、ランプの長手方向に対するワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す。 In FIGS. 17 to 19 show the direction of the grid of the wire grid polarizer, the relationship between variations in the polarization axis in the light irradiation region with respect to the longitudinal direction of the lamp.
図17〜図19は、前記図15に示したように棒状ランプからの光を樋状集光鏡により集光し、ワイヤーグリッド偏光素子を介して光照射面に照射したときの、光照射面におけるランプ長手方向、ランプ断面方向の偏光軸のばらつきを示したものである。 17 to 19 are condensed by trough collector mirror the light from the rod-shaped lamp, as shown in FIG. 15, when irradiated in the light irradiation surface through a wire grid polarization element, the light irradiation surface lamp longitudinal direction of, it shows the variation of the polarization axis of the lamp cross-sectional direction. 同図中の白抜き矢印は偏光軸の方向を示し、白抜きの領域は偏光軸のばらつきが±0.5°以下、ハッチングの領域は偏光軸のばらつきが±0.5°を越えていることを示す。 White arrows in the figure indicate the direction of the polarization axis, the region of the open box variation of the polarization axis is ± 0.5 ° or less, the area of ​​the hatched variation in the polarization axis exceeds the ± 0.5 ° indicating that.

図17は、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、ランプの長手方向に対し0°(平行)で、ランプ長手方向に対して直交方向の偏光光が照射される場合を示す。 Figure 17 shows a case where the direction of the grid of the wire grid polarization element is at 0 ° relative to the longitudinal direction of the lamp (parallel), the polarized light in the orthogonal direction is irradiated to the lamp longitudinal direction.
また、図18は、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、ランプの長手方向に対し90°(直交)であり、ランプ長手方向に対して平行な方向の偏光光が照射される場合を示す。 Further, FIG. 18 shows a case where the direction of the grid of the wire grid polarization element is a 90 ° relative to the longitudinal direction of the lamp (orthogonal), that is parallel to the direction of the polarized light is emitted to the lamp longitudinal direction.
いずれの場合も、光照射領域の四隅の周辺部を除いて、偏光軸のばらつきが±0.5°以下の領域(白抜きの領域)が広く存在する。 In either case, except for the peripheral portion of the four corners of the light irradiation area, variation ± 0.5 ° or less in the region of the polarization axis (regions of white) it is widely present.
しかし、図18のように、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向をランプの長手方向に対し直交するように設けた場合のほうが、偏光軸のばらつきが大きい領域が若干広くなる。 However, as shown in Figure 18, towards the case of providing to be orthogonal to the direction of the grid of the wire grid polarizer with respect to the longitudinal direction of the lamp, the area variation of the polarization axis is large is widened slightly. しかし、両者とも、ランプの直下を見れば、ランプの長さいっぱいに、偏光軸のばらつきが±0.5°以下の領域が延びており、ランプの長さを有効に使って広い幅で光配向処理を行うことができる。 However, both, if you look at the right under the lamp, the full length of the lamp, the variation of the polarization axis extends the following areas ± 0.5 °, the light in a wide width effectively using the length of the ramp it is possible to perform the alignment process.
図19は、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、ランプの長手方向に対し45°の場合を示す。 19, the direction of the grid of the wire grid polarizing element, showing the case of 45 ° to the longitudinal direction of the lamp. 図17、図18と図19を比較すると、照射領域における偏光軸のばらつきの分布の様子が異なることがわかる。 17, a comparison of FIGS. 18 and 19, it can be seen that the state of distribution of the variations in the polarization axis in the irradiation region are different.

図19の場合には、偏光軸のばらつきが±0.5°以下の領域が、図17または図18に比べて狭くなり、特にランプの長手方向については、ランプ直下であっても、ランプの長さに対して両端の1/3程度領域は、ばらつきが大きく使用できない。 In the case of FIG. 19, the variation of the following areas ± 0.5 ° of the polarization axis becomes narrower than in FIG. 17 or FIG. 18, in particular for the longitudinal direction of the lamp, even in directly under the lamp, lamp 1/3 region across the length can not be variations used largely. したがって、ランプの長さを有効に使うことができず、広い幅の光配向処理ができない。 Therefore, it is impossible to effectively use the length of the lamp can not light alignment treatment wider.
また、これはまた別の問題であるが、ランプの長手方向に対して偏光素子のグリッドの方向が斜めであると(ランプ長手方向に対してグリッドが直角または平行でないと)、得られる偏光光の偏光軸の方向が、グリッドの角度からずれてしまうという現象も生じる。 Moreover, this also is a separate issue, the direction of the grid of the polarizing element with respect to the longitudinal direction of the lamp to be oblique (the grid with respect to the lamp longitudinal direction is not perpendicular or parallel), resulting polarized direction of the polarization axis, also caused a phenomenon that deviates from the angle of the grid. 例えば、図19はグリッドの角度はランプ長手方向に対して45°であるが、偏光軸のばらつきが±0.5°以下の領域における偏光軸の方向は51.5°〜52.5°であり、45°に対して5°以上程度ずれる。 For example, Figure 19 is the angle of the grid lamp is a longitudinal 45 ° to, the direction of the polarization axis variability of the polarization axis is in the region below the ± 0.5 ° at 51.5 ° ~52.5 ° There, displaced degree 5 ° or more with respect to 45 °.
したがって、斜め方向の偏光軸を有する偏光光を照射する場合は、所望の偏光軸の方向を得るためのグリッドの方向を、予備実験や計算により求めておかねばならず、手順が非常に複雑になる。 Therefore, when irradiated with polarized light having the polarization axis of oblique direction, the direction of the grid for obtaining the direction of the desired polarization axis, not must keep asking the preliminary experiments and calculations, the procedure is very complex Become.
したがって、ランプ長手方向に対し、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向を変化させる方法では、配向膜に対し、搬送方向に平行な配向方向、または直交する配向方向を生じさせるために使うことはできるが、それ以外の、斜め方向の配向を生じさせるために使うことは難しい。 Therefore, with respect to the lamp longitudinal, in the method of changing the direction of the grid of the wire grid polarizer, to the alignment layer, may be used to generate the alignment direction parallel orientation direction or perpendicular to the conveying direction , other than that, it is difficult to use in order to produce the orientation of the oblique direction.

本発明は、上記従来技術の問題点を解決するためになされたものであって、線状の光源とワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせ、幅の広い光配向膜に対して偏光光を照射する偏光光照射装置において、配向膜に所望の方向の配向を生じさせることができるようにし、特に、線状光源の長手方向に対し、斜め方向の配向を生じさせる場合であっても、偏光軸のばらつきの少ない偏光光が照射できるようにした光配向用偏光光照射装置を提供することを目的とする。 The present invention was made to solve the problems of the prior art, the combination of linear light sources and the wire grid polarization element is irradiated with polarized light in a wide optical alignment film width polarized in the irradiation device, to be able to cause the orientation of the desired direction in the alignment film, in particular, with respect to the longitudinal direction of the linear light source, even if the cause orientation in an oblique direction, the variation of the polarization axis less polarized light and to provide a polarized light irradiation device for optical alignment which is to be irradiated.

上記課題を解決するため、本発明においては、線状の光源からの光をワイヤーグリッド偏光素子により偏光して出射する光照射部を備え、該光照射部からの偏光光を、該光照射部に対して相対的に移動する配向膜に照射する光配向用偏光光照射装置において、線状光線の長手方向と、とワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向の関係が変化しないように、光照射部全体が帯状の配向膜の搬送方向に対して回転可能とする。 To solve the above problems, the present invention, the light from the linear light source includes a light irradiation unit for emitting polarized by wire-grid polarizer, the polarized light from the light irradiation unit, the light irradiation unit against the polarized light irradiation apparatus for optical alignment of irradiating the alignment film to move relative to the longitudinal direction of the linear beam, and as the grid direction of the relationship of the wire grid polarization element is not changed, the light irradiation unit whole is rotatable with respect to the conveying direction of the belt-like of the alignment film.
ここで、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向は、偏光軸のばらつきの少ない領域が広く、また、偏光軸方向のずれも生じない、線状光源の長手方向に対し平行または直角方向に固定しておく。 The direction of the grid of the wire grid polarizer, wide area less variation of the polarization axis, also does not occur deviations of the polarization axis direction, and fixed to the parallel or perpendicular to the longitudinal direction of the linear light source deep. そして、配向膜の搬送方向に対し斜め方向の配向を生じさせる際には、偏光光を出射する光照射部を、ワイヤーグリッド偏光素子ごと、所望の配向方向に応じて回転させる。 Then, when causing the orientation of the oblique direction with respect to the transporting direction of the alignment film, the light irradiation unit for emitting polarized light, each wire grid polarization element is rotated in accordance with the desired orientation direction.
また、上記線状の光源として配向膜の幅に対して少なくとも√(2)倍(1.4倍)以上の長さのものを用いることで、光照射部を45°回転しても、光照射領域が配向膜の全幅を覆うことができる。 Further, by using a least √ (2) times (1.4 times) or more in length relative to the width of the alignment layer as the linear light source, even when the light irradiation unit is rotated 45 °, light can be irradiated region covers the full width of the alignment film.
さらに、上記光照射部に樋状の集光鏡を内蔵させ、上記光照射部を、配向膜の面に略一致して設けられた回転軸に回転自在に取り付ける。 Further, by incorporating a gutter-like collector mirror on the light irradiation unit, the light irradiation unit is attached rotatably to the rotating shaft provided substantially matches the surface of the alignment film. これにより光照射部20は、上記回転軸26aを軸として回転するので、光照射部20をどのような角度に傾けても、光照射部20と光配向膜41との距離は変化しない。 Accordingly the light irradiation unit 20, since rotating the rotary shaft 26a as an axis, also tilting the light irradiation part 20 at any angle, the distance between the light irradiation unit 20 and the optical alignment layer 41 is not changed.

本発明においては、ワイヤーグリッド偏光素子を含めて光照射部全体を回動させるよう構成したので、線状光源の長手方向に対してワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向は変わらない。 In the present invention, since it is configured so as to rotate the entire light irradiation unit including a wire grid polarization element does not change the direction of the grid of the wire grid polarizer with respect to the longitudinal direction of the linear light source. したがって、光照射部を回動させても出射する偏光光の偏光軸のばらつきは変化しない。 Therefore, variations in the polarization axis of polarized light even by rotating the light irradiation unit emits does not change.
このための、配向膜の搬送方向に対し、斜め方向であっても、偏光軸のばらつきの少ない偏光光を照射することができる。 For this, with respect to the transporting direction of the alignment film, even oblique direction can be illuminated less polarized light variations of the polarization axis.

図1は本発明の実施例の偏光光照射装置の構成を示す図である。 Figure 1 is a diagram showing a configuration of a polarized light irradiation apparatus of the embodiment of the present invention.
図1に示すように光照射部20には、図15と同様に線状の光源である、高圧水銀ランプやメタルハライドランプ等の棒状のランプ21と、ランプ21からの光を反射する樋状の集光鏡22が内蔵されている。 The light irradiation unit 20 as shown in FIG. 1, a linear light source similar to FIG. 15, a rod-shaped lamp 21, such as a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp, gutter-like reflecting light from the lamp 21 collector mirror 22 is built. また光出射側にはワイヤーグリッド偏光素子10が設けられている。 The wire-grid polarizer 10 is arranged at the light emitting side.
なお、以下では、線状の光源として棒状ランプを例にして説明するが、近年は、紫外光を放射するLEDやLDも実用化されており、このようなLEDまたはLDを直線状に並べて配置し線状光源としても良い。 In the following, will be described as an example a rod lamp as a linear light source in recent years, LED or LD which emits ultraviolet light have also been put into practical use, by arranging such an LED or LD in linear arrangement it may be linear light source. なおその場合は、LEDまたはLDを並べる方向がランプの長手方向に相当する。 Note that case, the direction of arranging the LED or LD corresponds to the longitudinal direction of the lamp.
また、現在光配向膜の材料としては、波長260nm±20nmの光で配向されるもの、280nm〜330nmの光で配向されるもの、365nmの光で配向されるものなどが知られており、光源の種類は必要とされる波長に応じて適宜選択する。 The material of the current photo-alignment film, which is oriented with light having a wavelength of 260 nm ± 20 nm, which is oriented with the light of 280Nm~330nm, and the like is known which is oriented at 365nm of light, the light source kinds appropriately selected depending on the required wavelengths.
ワイヤーグリッド偏光素子10のグリッド10aの方向は、偏光軸のばらつきが少ない、ランプの長手方向に平行、もしくは直交する方向に並べられる。 Direction of the grid 10a of the wire grid polarizer 10, the variation of the polarization axis is small, it is arranged in a direction parallel or perpendicular to the longitudinal direction of the lamp. 図1においては、グリッド10aがランプ21の長手方向に直交するように配置している。 In Figure 1, the grid 10a are arranged so as to be perpendicular to the longitudinal direction of the lamp 21.

光照射部20のランプ21の長手方向の両側には、ブロック23が取り付けられ、このブロック23を介して支柱24が取り付けられている。 On both sides longitudinally of the lamp 21 of the light irradiation section 20, the block 23 is mounted, the strut 24 is attached through the block 23. 支柱24は円弧状のレール26を移動する移動ブロック25に取り付けられている。 Strut 24 is attached to the moving block 25 to move the arc-shaped rail 26. 移動ブロック25がレール26上を移動することで、光照射部20全体が回転する。 By moving block 25 moves on the rails 26, the entire light irradiation unit 20 is rotated.
光配向膜41が形成されたワーク40は、上記2本の支柱の24間を搬送される。 Workpiece 40 photoalignment film 41 is formed is carried between 24 the two posts. レール26は、光配向膜41の面に平行な平面上に設けられており、光照射部20は、搬送される光配向膜に対し直交する軸の周りを回転移動する。 Rails 26 are provided on a plane parallel to the plane of the optical alignment layer 41, the light irradiation unit 20 rotationally moves about an axis orthogonal to the optical alignment layer to be transported.
上記ワーク40は、前記図15に示したロールに巻かれた長尺帯状のワークであってもよいし、また、光配向膜41が形成された例えば液晶パネルの大きさに整形された矩形状のワークであってもよい。 The work 40 may be a long strip of the workpiece which is wound into a roll as shown in FIG. 15, also rectangular shape for example, has been shaped to the size of the liquid crystal panel photo-alignment film 41 is formed it may be a work.

ワークが矩形状の場合、ワーク40は図2に示すようにワークステージ42上に載置され、光照射部20から偏光光を照射しながらワークステージ42を同図の矢印方向に移動させて、光配向膜の光配向処理をする。 If the workpiece has a rectangular shape, the workpiece 40 is placed on the workpiece stage 42, as shown in FIG. 2, the workpiece carrier 42 is moved in the direction of the arrow in the figure while irradiating polarized light from the light irradiation unit 20, a photo-alignment treatment of the photo-alignment film.
なお、前記図15、図2において、ワーク40の光配向膜41に偏光光を照射し、光配向処理を行なう際、偏光光を照射しながらワーク40を連続的に移動させてもよいし、ワークを間欠的に移動させながら偏光光を照射してもよい。 Incidentally, FIG. 15, in FIG. 2, is irradiated with polarized light to the photo alignment layer 41 of the workpiece 40, when performing a photo-alignment treatment, it may move the workpiece 40 continuously while irradiating polarized light, work may be irradiated with polarized light while intermittently moving the.
ワークを間欠的に移動させる場合には、例えば、ワーク40を一定量移動させた後、ワーク40を停止させて偏光光を照射し、ついで偏光光の照射を停止してワークを一定量移動させた後、ワークを停止させて偏光光を照射する動作を繰り返す。 When moving the workpiece intermittently, for example, after the workpiece 40 by a predetermined amount of movement, is irradiated with polarized light stops the workpiece 40, by a predetermined amount of movement of the workpiece and then to stop the irradiation of the polarized light after repeats the operation for irradiating the polarized light to stop the work.
また、ワークステージ42を移動させる代わりに、ワーク40上で光照射部20を移動させてワーク40の光配向処理を行ってもよい。 Also, instead of moving the work stage 42 moves the light irradiation unit 20 on the workpiece 40 may be subjected to a photo-alignment treatment of the workpiece 40.

図3を用いて、本実施例の装置を使って光配向処理を行う場合の動作の説明をする。 With reference to FIG. 3, with the device of the present embodiment will be described in the operation in the case of performing the photo-alignment treatment.
図3(a)の場合、棒状ランプ21の長手方向は、光配向膜41の搬送方向に対し直交している。 Figure 3 If the (a), the longitudinal direction of the bar-shaped lamp 21 are perpendicular to the conveying direction of the optical alignment layer 41.
上記したように、ワイヤーグリッド偏光素子10からは、グリッドの方向に対し、直交する成分を有する偏光光が出射される。 As described above, in the wire-grid polarizer 10, with respect to the direction of the grid, polarized light is emitted with orthogonal components. 同図の場合、グリッドの方向はランプの長手方向に直交しているので、光出射部からは、ランプの長手方向に平行な偏光軸を有する偏光光が出射する。 If the figure, the direction of the grid because it is perpendicular to the longitudinal direction of the lamp, the light emitting portion, the polarized light is emitted having a longitudinal direction parallel to the polarization axis of the lamp. したがって、配向膜の配向方向は、搬送方向に直交方向になる。 Accordingly, alignment direction of the alignment film will orthogonal direction to the conveying direction.
図3(b)は、光照射部20を図3(a)の位置からθ°回転させた場合である。 Figure 3 (b) is a case the light irradiation unit 20 which is rotated theta ° from the position of FIG. 3 (a). 光照射部全体を回動させるので、ランプ21の長手方向とワイヤーグリッド偏光素子10のグリッド10aの方向の関係は変化しない。 Since it rotates the entire light irradiation part, the direction of the relationship between the grid 10a of longitudinally and the wire grid polarizer 10 of the lamp 21 does not change. したがって偏光軸のばらつきも変化しない。 Therefore no change variation of the polarization axis.
図3(b)の場合も、図3(a)と同様、光出射部20からは、ランプ21の長手方向に平行な偏光軸を有する偏光光が出射する。 In the case of FIG. 3 (b), the same as FIG. 3 (a), from the light emitting unit 20, the polarized light is emitted having a longitudinal direction parallel to the polarization axis of the lamp 21. したがって、配向膜の配向方向は、図3(a)に対してθ°傾いた配向方向が得られる。 Accordingly, alignment direction of the alignment film is theta ° inclined orientation with respect to FIGS. 3 (a) is obtained.

また、ワイヤーグリッド偏光素子10は、前記したように、グリッド10aの方向が、ランプ21長手方向に対し、平行か直交する方向であれば偏光軸のばらつきの少ない領域が広いので問題なく使用することができる。 Further, the wire grid polarizer 10, as described above, the direction of the grid 10a is, the lamp 21 to the longitudinal, be used without so small variation region of the polarization axes is large problem if a direction parallel or perpendicular can.
したがって、ワイヤーグリッド偏光素子10を、グリッド10aの方向がランプ21の長手方向に対し、平行または直交方向に切り換えられるようにしておき、また、図4、図5のように、光照射部20を少なくとも±45°回転できるようにしておけば、光配向膜に生じさせる配向方向を0〜180°の任意の方向に設定できる。 Accordingly, the wire grid polarizer 10, to the longitudinal direction of the grid 10a lamp 21 in advance so as to be switched in parallel or perpendicular to the direction, and FIG. 4, as shown in FIG. 5, the light irradiation unit 20 Once you have to rotate at least ± 45 °, can be set alignment direction that causes the photo-alignment film in an arbitrary direction of 0 to 180 °.
ただし、この場合、光照射部を45°回転しても、光照射領域が配向膜の全幅を覆うことができるように、棒状ランプは、配向膜の幅に対して少なくとも√(2)倍(1.4倍)以上の長さのものを用いる必要がある。 However, in this case, even when the light irradiation unit is rotated 45 °, so that light irradiation region covers the full width of the alignment film, rod-like lamp, at least √ (2) times the width of the alignment film ( it is necessary to use a 1.4-fold) or more in length.
なお、ワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向を切り換えるには、グリッドの方向が90°異なるワイヤーグリッド偏光素子10を2種類準備しておき、これを交換するようにすればよい。 Note that switch the direction of the grid of the wire grid polarizer, a wire grid polarizer 10 where the direction of the grid are different 90 ° 2 kinds prepared advance, it is sufficient to replace it. また、前記したように、複数のワイヤーグリッド偏光素子をフレーム内に並べて配置した偏光素子ユニットを用いる場合には、各偏光素子10を正方形状に形成し、図6(a)(b)に示すように、フレーム11の中で偏光素子10を90°回転するようにすれば良い。 Further, as described above, in the case of using the polarization element units arranged side by side a plurality of wire-grid polarizer in the frame, forming each polarizing element 10 in a square shape, shown in FIG. 6 (a) (b) as described above, the polarization element 10 in the frame 11 may be to rotate 90 °.

次に、光照射部20を光配向膜に対し直交する軸の周りを回転移動させる、他の構成例について説明する。 Then, about an axis perpendicular to the light irradiation portion 20 to the optical alignment film rotationally moves, the other configuration examples will be described.
図7は、図1に示した構成の変形例である。 Figure 7 is a modification of the construction shown in FIG. 図1の構成では、レール26とレール26に沿って移動するブロック25を、搬送される光配向膜より下に設けたが、図7においては、レール26が支柱24によって固定され、レール26を移動する移動ブロック25が光照射部20に取り付けられる。 In the configuration of FIG. 1, a block 25 which moves along the rail 26 and the rail 26, is provided below the photo-alignment film to be conveyed, in FIG. 7, the rail 26 is fixed by a strut 24, a rail 26 moving block 25 to move is attached to the light irradiation section 20.
図8は他の構成例であり、光照射部20を回転軸受を介して支柱に取り付け、回転可能とした構成を示す図である。 Figure 8 is another configuration example, attached to supports the light irradiation portion 20 via a rotary bearing, a diagram illustrating a rotatable and configuration. 同図(a)は、光照射部20を光配向膜41に垂直な方向から見た図、(b)は、光照射部20を光配向膜に平行な方向から見た図である。 FIG (a) is a view of the light irradiation unit 20 from a direction perpendicular to the optical alignment layer 41, (b) is a diagram viewed from the direction parallel to the light irradiation unit 20 to the photo-alignment film.
この例では、光照射部20の上部中央に回転軸受27を設け、該回転軸受27を介して上から支柱24で光照射部20を吊り下げたものである。 In this example, the provided rotary bearing 27 at the top center of the light irradiation unit 20, in which suspended light irradiating unit 20 in post 24 from above through the rotational bearing 27.
光照射部20は、回転軸受27により光配向膜41に対し直交する軸の周りを回転移動する。 Light irradiating unit 20, rotationally moves about an axis perpendicular to the optical alignment layer 41 by rotating the bearing 27. 光照射部20は、回転後、所望の位置で固定される。 Light irradiating unit 20, after rotation, is secured at a desired position. 光照射部20を固定する機構は図には示していないが、適宜設ける。 Mechanism for securing the light irradiation unit 20 is not shown in the figure, provided as appropriate.

図9は、光照射部の一方の端を回転軸にして回転可能とした構成を示す図である。 Figure 9 is a diagram showing a configuration in which one end of the light irradiation portion and rotatable to the rotary shaft. 同図(a)は、光照射部20を光配向膜41に垂直な方向から見た図、(b)は、光照射部20を光配向膜に平行な方向から見た図である。 FIG (a) is a view of the light irradiation unit 20 from a direction perpendicular to the optical alignment layer 41, (b) is a diagram viewed from the direction parallel to the light irradiation unit 20 to the photo-alignment film.
光照射部20は両端をそれぞれ支柱24により支持されるが、一方の端においては、回転軸受28aを介して取り付け、回転自在とする。 The light irradiation unit 20 is supported by the post 24 at both ends, respectively, in one end, attached via a rotary bearing 28a, and rotatable.
もう一方の端においても、支柱24とは回転軸受28bを介して取り付けられるが、回転軸受28bと光照射部20との間に、伸縮が自在のシリンダ30を取り付ける。 Also in the other end, although the post 24 is mounted via a rotary bearing 28b, between the rotary bearing 28b and the light irradiation section 20, expansion and contraction attach the cylinder 30 freely. また、支柱24は、移動子29を介し、直線のレール31に取り付ける。 Further, it struts 24, through the movable element 29, attached to rail 31 of the straight line.
直線のレール31上を移動子29が移動すると、光照射部20は、反対側の端の支柱24を回転軸として回転する。 When the upper rail 31 of the linear mover 29 moves the light irradiation unit 20 rotates the post 24 at the opposite end as a rotation axis. 回転により支柱24に対する光照射部20の位置が変化するが、その変化分は、シリンダ30の伸縮により吸収する。 The position of the light irradiation unit 20 for post 24 by rotation is changed, the variation is absorbed by expansion and contraction of the cylinder 30.

上記、実施例はいずれも、光照射部からの偏光光が、光配向膜に対して基本的に垂直に入射する構成である。 Above, any embodiment, polarized light from the light irradiation section is essentially vertically incident configured for photo-alignment film. これに対し、図10に示すように光配向膜に対し、偏光光を斜めに入射させることが求められる場合がある。 In contrast, in some cases with respect to the optical alignment layer as shown in FIG. 10, it is required to incident polarized light obliquely. これは、例えば、液晶を光配向膜に対して所定の角度(プレチルト角という)立ち上げるために行われる。 This is done, for example, in order to increase the predetermined angle (called pre-tilt angle) up the liquid crystal with respect to the optical alignment layer.
図11に、光配向膜に対して、偏光軸の方向を回転させることができ、かつ、斜めに入射させることができる偏光光照射装置を示す。 11, with respect to the optical alignment layer, it is possible to rotate the direction of polarization axis, and shows the polarized light irradiation apparatus that can be made incident obliquely.
図1に示した装置において、光照射部20と支柱24をつなぐブロック23に対し、光照射部20を回転軸受32により回転自在に取り付ける。 In the apparatus shown in FIG. 1, to block 23 for connecting the light irradiating unit 20 and the post 24, attached rotatably by the light irradiation unit 20 rotates the bearing 32. 回転軸受けの軸32aは、光照射部20に設けられたランプの長手方向の中心軸と略一致しており、光照射部20は軸32aを中心に同図の矢印方向に回転する。 Axis 32a of the rotary bearing, has a central axis substantially in the longitudinal direction of the lamp provided on the light irradiation portion 20 coincide, the light irradiation unit 20 is rotated in the arrow direction in the figure around the shaft 32a.
これにより、光配向膜41の面に平行な軸を中心として、光照射部20を回転(揺動)させることができる。 Thus, around an axis parallel to the plane of the optical alignment layer 41, it is possible to the light irradiation unit 20 is rotated (swung). また、光照射部20を傾けた状態に保持させるための固定手段を適宜設ける。 Also, provision of the fixing means for holding the state of tilting the light irradiation unit 20 as appropriate.
そして、偏光光を斜めに照射したい場合は、光照射部20をブロック23に設けた回転軸受32により、光配向膜41と平行な軸の回りに揺動移動させ、光軸が所望の角度になるように調整する。 When desired to be irradiated with polarized light at an angle, the light irradiation unit 20 by the rotation bearing 32 provided in the block 23, is swung moved around an axis parallel to the optical alignment layer 41, the optical axis to a desired angular so as to adjust.

ここで、図11に示すように、光照射部を傾けて斜めに入射させる場合、上記回転軸受の位置が移動しないと、光配向膜41に対して偏光光を垂直に入射させる場合と、斜めに入射させる場合とでは、ランプから光配向膜41までの距離が変化する。 Here, as shown in FIG. 11, if to be incident obliquely by tilting the light irradiation unit, the position of the rotary bearing does not move, and if with respect to the optical alignment layer 41 is made incident polarized light vertically, diagonally in the case of incident, the distance from the lamp to the photo-alignment film 41 is changed. すなわち、垂直に偏光光を入射させる場合に比べ、斜めに入射させた場合のほうが、光照射部から光配向膜41までの距離が長くなる。 That is, compared with the case of incident vertically polarized light, towards the case where is obliquely incident, the distance from the light irradiation portion to the photo alignment layer 41 becomes longer.
そこで、光照射部を傾けて光を斜めに入射させても、距離の変化がないように以下の構成にすることが考えられる。 Therefore, even when tilting the light irradiation unit is incident light obliquely, it is conceivable to the following structure as no change in the distance.
(a)図12(a)に示すように、光照射部20を振り子のように傾け、光照射部のランプ21の中心が光照射面を中心とする円弧上を移動するように構成する。 As shown in (a) FIG. 12 (a), the inclined light irradiation portion 20 like a pendulum, the center of the lamp 21 of the light irradiation portion is configured to move on the arc of a circle centered on the light irradiation surface.
(b)図12(b)に示すように、光照射部20を傾けたとき、ランプ21と光照射面の距離が等しくなるように、光配向膜41の搬送面を光照射部20に近づける。 (B) As shown in FIG. 12 (b), when tilting the light irradiation part 20, so that the distance of the lamp 21 and the light irradiation surface are equal, closer to the conveyance surface of the optical alignment layer 41 to the light irradiation section 20 .
(c)図12(c)に示すように、光照射部20を傾けたとき、ランプ21と光照射面の距離が等しくなるように、光照射部20を光配向膜41に近づける。 As shown in (c) FIG. 12 (c), the when tilting the light irradiation part 20, so that the distance of the lamp 21 and the light irradiation surface are equal, close the light irradiation unit 20 to the optical alignment layer 41.

図13は、上記図12(c)で説明した光照射部を傾けたとき、光照射部を光配向膜に近づけることが出来るようにした装置の構成例を示す図である。 13, when tilting the light irradiation unit described above with reference to FIG 12 (c), is a diagram illustrating a configuration example of a device in which the light irradiation unit to be able to approach to the optical alignment layer.
前記図11において、光照射部20を支持する2本の支柱24を、伸び縮みするシリンダ状に構成し、光照射部20を、同図の上下方向に移動可能とする。 In FIG 11, the two supports 24 for supporting the light irradiation unit 20 constitutes a cylinder-shaped to expansion and contraction, the light irradiation portion 20, and movable in the vertical direction in FIG.
これにより、光照射部20を傾けたとき、支柱24を短くして光照射部20を光配向膜41に近づけて、光照射部20と光配向膜41の距離が一定になるように調整することができる。 Thus, when tilting the light irradiation unit 20, to shorten the post 24 close to light irradiating unit 20 to the optical alignment layer 41 is adjusted so that the distance of the light irradiation portion 20 and the photo-alignment film 41 becomes constant be able to. また、移動ブロック25がレール26上を移動することで、光配向膜41の面に平行な軸を中心として、光照射部20を回転(揺動)させることができる。 In addition, by moving block 25 moves on the rail 26, about an axis parallel to the plane of the optical alignment layer 41, it is possible to the light irradiation unit 20 is rotated (swung).

図14は、上記図12(a)で説明した光照射部20を振り子のように傾ける場合の装置の構成例を示す図である。 Figure 14 is a diagram showing a configuration example of a device in the case of tilting the light irradiation unit 20 described in FIG 12 (a) like a pendulum.
光照射部20は、関節部33を有する2本の支柱24により支持される。 Light irradiating unit 20 is supported by two columns 24 having a joint 33. 関節部33の回転軸33aは、光配向膜41の面に略一致しており、光照射部20は、この回転軸33aを中心とした円弧上を揺動する。 Rotary shaft 33a of the joint portion 33 is substantially matched to the plane of the optical alignment layer 41, the light irradiation unit 20 swings an arc over around the rotary shaft 33a.
図14(a)に示すように、光照射部20を直立させることで光配向膜41に対して偏光光を垂直に入射させることができる。 As shown in FIG. 14 (a), it can be made incident vertically polarized light to the photo alignment layer 41 by uprighting the light irradiation section 20. また、図14(b)に示すように光照射部20を傾けることで、光配向膜41に斜めから偏光光を照射することができる。 Moreover, by tilting the light irradiation unit 20 as shown in FIG. 14 (b), it can be irradiated with polarized light from a diagonal to the optical alignment layer 41.
光照射部20は、上記回転軸26aを軸として回転するので、光照射部20をどのような角度に傾けても、光照射部20と光配向膜41との距離は変化しない。 Light irradiating unit 20, since rotating the rotary shaft 26a as an axis, also tilting the light irradiation part 20 at any angle, the distance between the light irradiation unit 20 and the optical alignment layer 41 is not changed. また、移動ブロック25がレール26上を移動することで、光配向膜41の面に平行な軸を中心として、光照射部20を回転(揺動)させることができる。 In addition, by moving block 25 moves on the rail 26, about an axis parallel to the plane of the optical alignment layer 41, it is possible to the light irradiation unit 20 is rotated (swung).

本発明の実施例の偏光光照射装置の構成を示す図である。 It is a diagram showing a configuration of a polarized light irradiation apparatus of the embodiment of the present invention. 長尺帯状でないワークに偏光光を照射する場合の偏光光照射装置の構成例を示す図である。 It is a diagram illustrating a configuration example of a polarized light irradiation apparatus in the case of irradiating the polarized light to the work is not a long length. 図1の実施例に示した偏光光照射装置を使って光配向処理を行なう場合の動作を説明する図である。 It is a diagram for explaining an operation of performing an optical alignment process using the polarized light irradiation apparatus shown in the embodiment of FIG. 光照射部を最大±45°傾けることで、光配向膜の配向方向を任意の方向に設定できることを説明する図(1)である。 By tilting up ± 45 ° light irradiation part, a diagram (1) explaining the ability to set an alignment direction of the photo-alignment film in an arbitrary direction. 光照射部を最大±45°傾けることで、光配向膜の配向方向を任意の方向に設定できることを説明する図(2)である。 By tilting up ± 45 ° the light irradiator is a diagram for explaining that can set an alignment direction of the photo-alignment film in an arbitrary direction (2). フレーム内に偏光素子を並べて配置した偏光素子ユニットにおけるグリッドの方向の切り換えを説明する図である。 It is a diagram illustrating the switching of the direction of the grid in the polarization element unit disposed side by side polarizing element in the frame. 光照射部を回転移動させる他の構成例(1)を示す図である。 The light irradiator is a diagram illustrating another configuration example of rotating movement (1). 光照射部を回転移動させる他の構成例(2)を示す図である。 Is a diagram illustrating another configuration example of rotating moves the light irradiation unit (2). 光照射部を回転移動させる他の構成例(3)を示す図である。 It is a diagram illustrating another configuration example of rotating moves the light irradiation section (3). 光配向膜に対して、光照射部を傾けて偏光光を斜めに入射させる場合を示す図である。 Against photo-alignment film is a diagram showing a case where by tilting the light irradiation portion is made incident polarized light obliquely. 光配向膜に対して、偏光軸の方向を回転させる、かつ斜めに入射させることができる偏光光照射装置の構成例を示す図である。 Against photo-alignment film is a diagram illustrating a configuration example of a polarized light irradiation apparatus that can be incident direction of the polarization axis is rotated, and diagonally. 光照射部を傾けて光を斜めに入射させてもランプと光配向膜との距離の変化がないようにした装置の構成例を示す図である。 Is a diagram illustrating a configuration example of a device change has so not the distance between the lamp and the photo-alignment film even tilting the light irradiation unit is incident light obliquely. 光照射部と光配向膜の距離を可変にした装置の構成例を示す図である。 Is a diagram illustrating a configuration example of a device in which the distance of the light irradiation unit and the photo-alignment film in the variable. 光照射部を振り子のように傾ける装置の構成例を示す図である。 The light irradiator is a diagram illustrating a configuration example of a device for tilting like a pendulum. 線状の光源である棒状ランプとワイヤーグリッド偏光素子を組み合わせた偏光手段を有する偏光光照射装置の構成例を示す図である。 Is a diagram illustrating a configuration example of a polarized light irradiation apparatus having a polarization means combining rod-shaped lamp and the wire grid polarization element is a linear light source. ワイヤーグリッド偏光素子の概略の構造を示す図である。 Is a diagram showing the schematic structure of a wire grid polarizer. ランプの長手方向に対する偏光軸の方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す図(グリッドの方向がランプの長手方向に対し平行の場合)である。 The direction of the polarization axis with respect to the longitudinal direction of the lamp is a diagram showing the relationship between variation of the polarization axis in the light irradiation area (when the direction of the grid parallel to the longitudinal direction of the lamp). ランプの長手方向に対する偏光軸の方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す図(グリッドの方向がランプの長手方向に対し直交する場合)である。 The direction of the polarization axis with respect to the longitudinal direction of the lamp is a diagram showing the relationship between variation of the polarization axis in the light irradiation area (when the direction of the grid perpendicular to the longitudinal direction of the lamp). ランプの長手方向に対する偏光軸の方向と、光照射領域における偏光軸のばらつきの関係を示す図(グリッドの方向がランプの長手方向に対し45°の場合)である。 The direction of the polarization axis with respect to the longitudinal direction of the lamp is a diagram showing the relationship between variation of the polarization axis in the light irradiation area (when the direction of the grid of 45 ° to the longitudinal direction of the lamp).

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10 ワイヤーグリッド偏光素子 20 光照射部 21 棒状ランプ 22 樋状集光鏡 23 ブロック 24 支柱 25 移動ブロック 26 レール 27 回転軸受 28a,28b 回転軸受 29 移動子 30 シリンダ 31 レール 32 回転軸受 33 間接部 40 ワーク 41 光配向膜 42 ワークステージ 10 wire-grid polarizer 20 light irradiating unit 21 rod-shaped lamp 22 trough condensing mirror 23 blocks 24 the struts 25 move block 26 rail 27 rotary bearing 28a, 28b rotary bearing 29 moving element 30 cylinder 31 rail 32 rotary bearing 33 indirectly unit 40 work 41 light alignment film 42 work stage



Claims (3)

  1. 線状の光源からの光をワイヤーグリッド偏光素子により偏光して出射する光照射部を備え、該光照射部からの偏光光を、該光照射部に対して相対的に移動する配向膜に照射する光配向用偏光光照射装置であって、 The light from the linear light source includes a light irradiation unit for emitting polarized by wire-grid polarizer, irradiated with polarized light from the light irradiation unit, the alignment film to move relative to the light irradiation unit a polarized light irradiation apparatus for optical alignment of,
    上記光照射部のワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向が、線状の光源の長手方向に対して平行、もしくは直交する方向に固定されており、 Direction of the grid of the wire grid polarizer of the light irradiation unit is fixed in a direction parallel or perpendicular to the longitudinal direction of the linear light source,
    上記光照射部全体を配向膜に直交する軸の周りに回転させる機構が設けられ Mechanism for rotating about an axis perpendicular across the light irradiating unit on the alignment film is provided,
    上記回転させる機構は、線状光源の長手方向とワイヤーグリッド偏光素子のグリッドの方向の関係を変化させることなく、上記光照射部をワイヤーグリッド偏光素子ごと回転させる The mechanism for rotating, without changing the grid direction of the relationship between the longitudinal direction and the wire grid polarizer of the linear light source, the light irradiation unit is rotated by the wire grid polarization element
    ことを特徴とする光配向用偏光光照射装置。 Light orienting polarized light irradiation apparatus, characterized in that.
  2. 上記線状の光源は配向膜の幅に対して少なくとも√(2)倍(1.4倍)以上の長さのものが用いられることを特徴とする請求項1に記載の光配向用偏光光照射装置。 At least √ (2) times (1.4 times) or more optical alignment for polarized light according to claim 1, characterized in that is used a length of the linear light source relative to the width of the alignment film irradiation apparatus.
  3. 上記光照射部には樋状の集光鏡が内蔵され、 The above light irradiating unit gutter-like collector mirror is incorporated,
    上記光照射部が、配向膜の面に略一致して設けられた回転軸に回転自在に取り付けられ、この回転軸を中心として揺動できることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光配向用偏光光照射装置。 The light irradiation section is rotatably attached to the rotation shaft provided substantially matches the surface of the alignment film, according to claim 1 or claim 2, characterized in that it swings about the rotary shaft for optical alignment polarized light irradiation apparatus.
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