JP6500543B2 - Polarizer, light alignment device, and light alignment method - Google Patents

Polarizer, light alignment device, and light alignment method Download PDF

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Description

本発明は、直線偏光した偏光光を光配向膜に照射する偏光子、光配向装置、および光配向方法に関するものである。   The present invention relates to a polarizer, a light alignment device, and a light alignment method for irradiating a light alignment film with linearly polarized light.

液晶表示装置は、一般に駆動素子が形成された対向基板とカラーフィルタとを対向配置して周囲を封止し、その間隙に液晶材料を充填した構造を有する。そして、液晶材料は屈折率異方性を有しており、液晶材料に印加された電圧の方向に沿うように整列される状態と、電圧が印加されない状態との違いから、オンオフを切り替えて画素を表示することができる。ここで液晶材料を挟持する基板には、液晶材料を配向させるために配向膜が設けられている。
配向膜としては、例えば、ポリイミドに代表される高分子材料が用いたものが知られており、この高分子材料を布等により摩擦するラビング処理が施されることによって配向規制力を有するものとなる。
しかしながら、このようなラビング処理により配向規制力が付与された配向膜では、布等が異物として残存するといった問題があった。 In general, a liquid crystal display device has a structure in which a counter substrate on which a driving element is formed and a color filter are disposed to face each other to seal the periphery, and a gap is filled with a liquid crystal material. The liquid crystal material has refractive index anisotropy, and the pixel is switched on and off based on the difference between the state in which the liquid crystal material is aligned along the direction of the voltage applied to the liquid crystal material and the state in which the voltage is not applied. Can be displayed. Here, an alignment film is provided on the substrate for holding the liquid crystal material in order to align the liquid crystal material.
As the alignment film, for example, one using a polymer material typified by polyimide is known, and the polymer material is subjected to a rubbing process in which it is rubbed with a cloth or the like to have an alignment control force. Become.
However, in the alignment film to which the alignment control force is applied by such rubbing treatment, there is a problem that cloth or the like remains as a foreign matter.

これに対して直線偏光を照射することにより配向規制力を発現する配向膜、すなわち光配向膜では、上述のような布等によるラビング処理を施すことなく配向規制力を付与できるため、布等が異物として残存する不具合がないことから近年注目されている。
このような光配向膜への配向規制力付与のための直線偏光の照射方法としては、偏光子を介して露光する方法が一般的に用いられる。偏光子としては、平行に配置された複数の細線を有するものが用いられ、細線を構成する材料としては、アルミニウムや酸化チタンが用いられている（例えば、特許文献１）。 On the other hand, in the case of an alignment film which expresses alignment control force by irradiating linearly polarized light, that is, a photo alignment film, since alignment control force can be applied without rubbing treatment with a cloth as described above, cloth etc. Attention has recently been focused on the absence of defects remaining as foreign matter.
As a method of irradiating linearly polarized light for applying an alignment control force to such a photo alignment film, a method of exposing through a polarizer is generally used. As the polarizer, one having a plurality of thin lines arranged in parallel is used, and as a material for forming the thin lines, aluminum or titanium oxide is used (for example, Patent Document 1).

そして、平行に配置された複数の細線を形成する方法としては、従来、二光束干渉露光法が用いられてきた（例えば、特許文献２、３）。
この二光束干渉露光法は、位相および光路長を合わせた２本のレーザー光を重ね合わせた際に発生する周期的光強度分布（干渉パターン）を、基板上のレジストに転写する技術である。
例えば、ガラス基板の上にアルミニウム等の金属層を形成し、その上に形成したレジスト層に二光束干渉露光を施し、現像して得られた周期的なレジストパターンをエッチングマスクに用いて金属層をエッチングし、その後、レジストパターンを除去することで、ガラス基板の上に、アルミニウム等の金属からなる複数の平行配置された細線を形成することができる。
その後、偏光子としての所望の形態にガラス基板を切断することで、アルミニウム等の金属からなる細線を有する偏光子を得ることができる。 As a method of forming a plurality of thin lines arranged in parallel, a two-beam interference exposure method has conventionally been used (for example, Patent Documents 2 and 3).
The two-beam interference exposure method is a technology for transferring a periodic light intensity distribution (interference pattern) generated when two laser beams having the same phase and optical path length are superimposed on one another on a resist on a substrate.
For example, a metal layer such as aluminum is formed on a glass substrate, a resist layer formed on the metal layer is subjected to two-beam interference exposure, and a periodic resist pattern obtained by development is used as an etching mask. Then, the resist pattern is removed to form a plurality of parallel thin wires made of metal such as aluminum on the glass substrate.
Thereafter, the glass substrate is cut into a desired form as a polarizer, whereby a polarizer having a thin wire made of a metal such as aluminum can be obtained.

また、近年では、半導体用フォトマスクの製造技術を用いて、電子線描画により細線を形成することも行われている。   In recent years, thin lines are also formed by electron beam lithography using a semiconductor photomask manufacturing technology.

特許第４９６８１６５号公報Patent No. 4968165 gazette 特開２０１３−１４５８６３号公報JP, 2013-145863, A 特開２００７−１７８７６３号公報JP, 2007-178763, A

品質向上のために、光配向に用いられる光は、より波長の短い紫外光が用いられるようになり、偏光子に形成される細線も細くなる傾向にある。
これに合わせて、偏光子としては、紫外光を透過する透明基板を用いることになり、例えば、基板として、ガラスウェハ（一般に２００ｍｍ〜３００ｍｍ径）、若しくは、半導体用フォトマスク用ガラス基板（一般に６インチ角）を用いている。
そして、透明基板の上に細線形成後、直方体状の形態に切り出して、１個の偏光子を製造している。 In order to improve the quality, ultraviolet light having a shorter wavelength comes to be used as light used for photoalignment, and the thin lines formed on the polarizer tend to be thinner.
In line with this, a transparent substrate that transmits ultraviolet light will be used as a polarizer, and for example, a glass wafer (generally 200 mm to 300 mm in diameter) or a glass substrate for photomasks for semiconductors (generally 6) The inch angle is used.
And after forming a thin wire on a transparent substrate, it cuts out in the shape of a rectangular parallelepiped, and manufactures one light polarizer.

図１１に、従来の偏光子について示す。ここで、図１１（ａ）は、従来の偏光子の概略平面図を示し、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＧ−Ｇ線における概略断面図を示す。
図１１（ｂ）に示すように、従来の偏光子１００は、透明基板１０１の上に複数本の細線１０２が並列に配置された構成を有しており、図１１（ａ）に示すように、矩形状の平面形態を有しており、例えば、Ｌ3、Ｌ4の長さは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度である。
なお、従来の偏光子１００の外形精度は、切り出しの機械精度によるため、細線１０２と同レベルの平行性や直進性を有してはいない。例えば、細線１０２のピッチが０．１μｍ程度であるのに対し、通常、切り出しの機械精度は公差１０μｍ以上である。 FIG. 11 shows a conventional polarizer. Here, Fig. 11 (a) shows a schematic plan view of a conventional polarizer, and Fig. 11 (b) shows a schematic cross-sectional view taken along the line G-G in Fig. 11 (a).
As shown in FIG. 11 (b), the conventional polarizer 100 has a configuration in which a plurality of thin wires 102 are arranged in parallel on a transparent substrate 101, as shown in FIG. 11 (a). And a rectangular planar shape, for example, the length of L 3 and L 4 is about 100 mm to 150 mm.
In addition, since the external shape precision of the conventional polarizer 100 is based on the mechanical precision of cutting out, it does not have the parallelism and the rectilinearity same level as the thin wire 102. For example, while the pitch of the thin wire 102 is about 0.1 μm, usually, the machine accuracy of the cutout is 10 μm or more in tolerance.

一方、生産性向上のために、光配向膜は大面積化される傾向にある。そこで、従来は、光配向装置の偏光子搭載部に、複数枚の偏光子を並列配置して、光配向を行っていた。   On the other hand, in order to improve the productivity, the photo alignment film tends to be enlarged. Therefore, conventionally, a plurality of polarizers are arranged in parallel in the polarizer mounting portion of the light alignment device to perform light alignment.

図１２〜１４は、従来の偏光子と光配向膜の配置関係について示す図である。
偏光子よりも大きい幅（ＬW）を有する光配向膜２００の全領域に偏光光を照射する方法としては、例えば、図１２に示すように、光配向膜２００の上に、光配向膜２００の幅方向（図中Ｙ方向）に沿って、複数の偏光子１００を一列配置し、光配向膜２００を幅方向に垂直な方向（図中Ｘ方向）に搬送しながら、複数の偏光子１００から一斉に偏光光を照射する方法を、挙げることができる。 12-14 is a figure shown about the arrangement | positioning relationship of the conventional polarizer and optical alignment film.
As a method of irradiating polarized light to the entire region of the light alignment film 200 having a width (L w ) larger than that of the polarizer, for example, as shown in FIG. The plurality of polarizers 100 are arranged in a line along the width direction (Y direction in the drawing) of the plurality of polarizers 100 while transporting the photo alignment film 200 in the direction (X direction in the drawing) perpendicular to the width direction. The method of irradiating polarized light simultaneously can be mentioned.

しかしながら、光配向膜２００の上に偏光子１００を配置するためには、偏光子１００を保持するための偏光子ホルダー３００が必要であり、この偏光子ホルダー３００が、図１２に示すように、偏光子の４辺を保持する枠状の平面形態を有している場合、各偏光子１００間の境界部４０１では、偏光子ホルダー３００の存在によって偏光光が照射されず、これに起因して、光配向膜２００の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題がある。   However, in order to dispose the polarizer 100 on the light alignment film 200, the polarizer holder 300 for holding the polarizer 100 is required, and as shown in FIG. When it has a frame-like plane form holding the four sides of the polarizer, the polarized light is not irradiated at the boundary 401 between the polarizers 100 due to the presence of the polarizer holder 300, which is attributed to this. There is a problem that a linear defect occurs along the transport direction of the photo alignment film 200 (X direction in the drawing).

上記のような、問題を解消する方法として、例えば、図１３に示すように、偏光子１００の４辺ではなく、対向する２辺を保持する偏光子ホルダー３０１を用いることにより、各偏光子１００間の境界部４０２には、偏光子ホルダー３０１が存在しないようにする方法を、挙げることができる。   As a method of solving the above problems, for example, as shown in FIG. 13, each polarizer 100 can be obtained by using a polarizer holder 301 that holds not the four sides of the polarizer 100 but the two opposing sides. At the boundary 402 between them, there can be mentioned a method of making the polarizer holder 301 absent.

しかしながら、上述のように、偏光子１００の外形精度は、細線１０２と同レベルの平行性や直進性を有していないため、境界部４０２には隙間が生じ易い。そして、この隙間から直線偏光されていない光が照射されてしまうことにより、やはり、この境界部４０２に関係して、光配向膜２００の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題が残る。   However, as described above, the external precision of the polarizer 100 does not have the same level of parallelism or rectilinearity as the thin wire 102, so a gap is likely to be generated in the boundary portion 402. Then, since light which is not linearly polarized is emitted from the gap, a linear line is formed along the transport direction (X direction in the figure) of the photo alignment film 200 in relation to the boundary portion 402 as well. There remains a problem that a defect occurs.

それゆえ、例えば、図１４に示すように、図中Ｙ方向に複数の偏光子１００を配置した一列の偏光子列を、図中Ｘ方向に複数列配置し、かつ、各偏光子列の図中Ｙ方向の位置を変えて、偏光子列内の境界部４０２が、隣接する偏光子列との間で、図中Ｘ方向に揃わないようにすることにより、ライン状の不良個所が生じてしまう問題を解消することが考えられる。   Therefore, for example, as shown in FIG. 14, a plurality of polarizer rows arranged in the Y direction in the figure are arranged in the X direction in the figure, and a diagram of each polarizer row is shown. By changing the position in the middle Y direction so that the boundary portion 402 in the polarizer row does not align with the adjacent polarizer row in the X direction in the drawing, a line-shaped defect occurs. It is possible to solve the problem of

しかしながら、この場合は、高価な偏光子を数多く必要とし、生産コストが増大化してしまうという問題がある。その一方で、各偏光子列の端部の偏光子は、光配向膜２００への光配向に寄与しない無駄な部分５００を有することになる。   However, in this case, many expensive polarizers are required, and there is a problem that the production cost is increased. On the other hand, the polarizer at the end of each polarizer array has a useless portion 500 which does not contribute to the light alignment to the light alignment film 200.

また、複数の偏光子を用いる場合は、光配向膜に付与する配向規制力のばらつきを抑えるために、複数の偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせる必要がある。
しかしながら、上記のように、偏光子１００の平面サイズは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ角程度（すなわち、細線の長手方向の長さは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度）であるのに対し、細線２のピッチは０．１μｍレベルであり、各偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせることには困難性が伴う。さらに、多数の偏光子を用いることになれば、これに伴って上記の向きを合わせる作業に膨大な時間がかかってしまい、生産性を低下させてしまうことになる。 When a plurality of polarizers are used, the orientations of the plurality of polarizers (more specifically, the orientations of the thin lines) need to be uniformly adjusted in order to suppress the variation in the alignment regulating force applied to the photo alignment film.
However, as described above, the planar size of the polarizer 100 is about 100 mm to 150 mm square (that is, the length of the thin wire in the longitudinal direction is about 100 mm to 150 mm), while the pitch of the thin wire 2 is 0.1 μm It is difficult to uniformly align the orientations of the respective polarizers (more specifically, the orientations of the thin lines). Furthermore, if a large number of polarizers are used, the work of aligning the above-mentioned direction along with this will take an enormous amount of time, which will lower the productivity.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、幅広の光配向膜に、ライン状の不良個所が生じる問題を解消しつつ、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことが可能な偏光子、光配向装置、および光配向方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and it is possible to apply a photoalignment in a uniform direction with good productivity while solving the problem of the occurrence of a line defect on a wide photoalignment film. It is an object of the present invention to provide a light polarizer, a light alignment device, and a light alignment method.

本発明の請求項１に係る発明は、光配向装置に搭載され、前記光配向装置において搬送される光配向膜に、前記光配向装置の光源から照射される光を直線偏光した偏光光を照射する偏光子であって、透明基板の上に、複数本の細線が並列に配置された偏光領域を有し、前記光配向装置に搭載された状態において、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記偏光領域の長さが、前記光配向装置において前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記光配向膜の長さよりも、長いことを特徴とする偏光子である。   In the invention according to claim 1 of the present invention, the light alignment film mounted on the light alignment device and irradiated in the light alignment device is irradiated with polarized light obtained by linearly polarizing light emitted from the light source of the light alignment device. A polarizing region having a polarization region in which a plurality of thin wires are arranged in parallel on a transparent substrate, and in a direction in which the photoalignment film is transported in a state of being mounted on the photoalignment device A polarizer, wherein the length of the polarization area in the vertical direction is longer than the length of the photoalignment film in the direction perpendicular to the direction in which the photoalignment film is transported in the photoalignment device. It is.

また、本発明の請求項２に係る発明は、前記透明基板の上に、前記偏光領域を複数有することを特徴とする請求項１に記載の偏光子である。   The invention according to claim 2 of the present invention is the polarizer according to claim 1, wherein a plurality of the polarization regions are provided on the transparent substrate.

また、本発明の請求項３に係る発明は、前記透明基板の上の前記偏光領域の外側の領域に、前記光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の偏光子である。   In the invention according to claim 3 of the present invention, a light shielding film for shielding the light emitted from the light source of the light alignment device is formed in a region outside the polarization region on the transparent substrate. It is a polarizer of Claim 1 or Claim 2 characterized by the above-mentioned.

また、本発明の請求項４に係る発明は、光源からの光を偏光子によって直線偏光して光配向膜に照射する光配向装置であって、前記偏光子を搭載する偏光子搭載部と、前記光配向膜を搬送する搬送機構と、を備え、前記偏光子搭載部に、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子を備え、前記偏光子によって直線偏光された偏光光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする光配向装置である。   The invention according to claim 4 of the present invention is a light alignment device which linearly polarizes light from a light source by a polarizer and irradiates the light alignment film with the light, wherein the polarizer mounting portion mounts the polarizer; And a transport mechanism for transporting the photo alignment film, wherein the polarizer mounting portion includes the polarizer according to any one of claims 1 to 3, and the polarization is linearly polarized by the polarizer. A light alignment device characterized in that the light alignment film is irradiated with light.

また、本発明の請求項５に係る発明は、前記搬送機構により搬送される前記光配向膜が、平面視上、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、前記偏光子が前記偏光子搭載部に搭載されていることを特徴とする請求項４に記載の光配向装置である。   In the invention according to claim 5 of the present invention, the light alignment film transferred by the transfer mechanism is the light polarizer in a direction perpendicular to the direction in which the light alignment film is transferred in plan view. 5. The light alignment device according to claim 4, wherein the polarizer is mounted on the polarizer mounting portion so as to be included in a polarization region.

また、本発明の請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、平面視上、前記光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、前記光配向膜が前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、前記偏光子と前記光配向膜を配置することを特徴とする光配向方法である。   In the invention according to claim 6 of the present invention, the polarization light linearly polarized by the polarizer according to any one of claims 1 to 3 is irradiated to impart an alignment regulating force to the photo alignment film. And the polarizer and the polarizer are arranged such that, in a plan view, the optical alignment film is included in the polarization region of the polarizer in a direction perpendicular to the direction in which the optical alignment film is transported. It is a photoalignment method characterized by disposing a photoalignment film.

本発明によれば、幅広の光配向膜に、ライン状の不良個所が生じる問題を解消しつつ、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことができる。   According to the present invention, it is possible to apply a photoalignment in a uniform direction with good productivity while solving the problem of the occurrence of a line-shaped defect on the wide photoalignment film.

本発明に係る偏光子の第１の実施形態の一例について示す図A figure shown about an example of a 1st embodiment of light polarizer concerning the present invention 偏光子１０ａと光配向膜の配置関係について示す図A diagram showing the positional relationship between the polarizer 10a and the light alignment film 本発明に係る偏光子の第１の実施形態の他の例について示す図The figure shown about the other example of 1st Embodiment of the polarizer concerning this invention 本発明に係る偏光子の第２の実施形態の一例について示す図A diagram showing an example of a second embodiment of a polarizer according to the present invention 偏光子２０と光配向膜の配置関係について示す図A diagram showing an arrangement relationship between a polarizer 20 and a light alignment film 本発明に係る偏光子の第２の実施形態の他の例について示す図The figure shown about other examples of a 2nd embodiment of light polarizer concerning the present invention. 本発明に係る偏光子の第３の実施形態の一例について示す図The figure shown about an example of 3rd Embodiment of the polarizer concerning this invention 本発明に係る偏光子の第３の実施形態の他の例について示す図The figure shown about other examples of a 3rd embodiment of light polarizer concerning the present invention. 本発明に係る光配向装置の構成例について示す図A figure showing an example of composition of a light alignment device concerning the present invention 本発明に係る光配向装置の他の構成例について示す図A figure showing about another example of composition of a light alignment device concerning the present invention 従来の偏光子について示す図Diagram showing a conventional polarizer 従来の偏光子と光配向膜の配置関係の一例について示す図A diagram showing an example of the arrangement relationship between a conventional polarizer and a light alignment film 従来の偏光子と光配向膜の配置関係の他の例について示す図The figure which shows about the other example of the arrangement | positioning relationship of the conventional polarizer and optical alignment film 従来の偏光子と光配向膜の配置関係の他の例について示す図The figure which shows about the other example of the arrangement | positioning relationship of the conventional polarizer and optical alignment film

＜偏光子＞
まず、本発明に係る偏光子について説明する。 <Polarizer>
First, a polarizer according to the present invention will be described.

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る偏光子の第１の実施形態の一例について示す図であり、（ａ）は、概略平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線における概略断面図である。また、図２は、光配向装置に搭載された状態における偏光子１０ａと光配向膜の配置関係について示す図である。 First Embodiment
FIG. 1 is a view showing an example of a first embodiment of a polarizer according to the present invention, wherein (a) is a schematic plan view, and (b) is a schematic view at line AA of (a). FIG. Moreover, FIG. 2 is a figure shown about the arrangement | positioning relationship of the polarizer 10a and a photo-alignment film in the state mounted in the photo-alignment apparatus.

図１に示すように、偏光子１０ａは、紫外線を透過する透明基板１の上に、複数本の細線２が並列に配置された偏光領域１１を有している。なお、この偏光子１０ａにおいては、透明基板１の主面（図１（ｂ）に示すＺ方向側の面）の全領域が偏光領域１１に相当する。
そして、偏光子１０ａは、長さＬ1の辺を有する矩形の平面形態を有しており、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも長い。
なお、本明細書において、光配向膜の幅とは、光配向膜を搬送する方向に垂直な方向における光配向膜の長さを言う。 As shown in FIG. 1, the polarizer 10a has a polarization area 11 in which a plurality of thin wires 2 are arranged in parallel on a transparent substrate 1 which transmits ultraviolet light. In the polarizer 10 a, the entire region of the main surface (surface on the Z direction side shown in FIG. 1B) of the transparent substrate 1 corresponds to the polarization region 11.
The polarizer 10a has a rectangular planar form having a side length L 1, the length of this L 1 is longer than the width of the photo-alignment layer (L W).
In the present specification, the width of the photoalignment film refers to the length of the photoalignment film in the direction perpendicular to the direction in which the photoalignment film is transported.

上記のＬ1の長さとしては、透明基板１として、液晶パネル用カラーフィルタの製造に用いられる大型フォトマスク用ガラス基板を用いることで、例えば、０．５ｍ〜２．０ｍの範囲とすることができる。 The length of L 1 is, for example, in the range of 0.5 m to 2.0 m by using, as the transparent substrate 1, a glass substrate for a large photomask used for manufacturing a color filter for a liquid crystal panel. Can.

細線２の形成方法としては、液晶パネル用カラーフィルタの製造に用いられる大型フォトマスクの製造技術を適用することができる。より具体的には、大型フォトマスク用の電子線描画装置を用いて、大型フォトマスクのマスクパターンを形成する方法と同様にして、上記の大型フォトマスク用ガラス基板の上に細線２を形成することができる。   As a method of forming the thin line 2, a manufacturing technique of a large photomask used for manufacturing a color filter for liquid crystal panel can be applied. More specifically, thin lines 2 are formed on the above-mentioned glass substrate for a large photomask in the same manner as in the method of forming a mask pattern of a large photomask using an electron beam lithography system for a large photomask. be able to.

また、細線２の形成方法としては、ナノインプリントのパターン転写技術を適用することもできる。例えば、細線２とは凹凸の向きが反転した転写パターンを有するテンプレート（版、型、モールドとも呼ぶ）を用い、ナノインプリント技術で行われているパターン転写方法と同様にして、細線２を形成することができる。   In addition, as a method of forming the thin line 2, a pattern transfer technique of nanoimprint can be applied. For example, using the template (also referred to as a plate, a mold, or a mold) having a transfer pattern in which the direction of unevenness is reversed with the thin line 2, the thin line 2 is formed in the same manner as the pattern transfer method performed in the nanoimprint technology. Can.

ここで、一般に、ナノインプリントに用いられるテンプレート、特に半導体用途の転写パターンを有するテンプレートの転写面積は上記の大型フォトマスク用ガラス基板の面積よりも小さい。しかしながら、細線２は偏光領域１１の全域において、一般に、同一幅、同一ピッチ、すなわち同一パターンの設計になっているため、上記の小さい転写面積のテンプレートを、上記の大型フォトマスク用ガラス基板の主面に対して相対的に平行移動させて、転写パターンを多面付けすることで、大型フォトマスク用ガラス基板の全面（主面の全領域）に細線２を形成することができる。   Here, in general, the transfer area of a template used for nanoimprinting, in particular, a template having a transfer pattern for semiconductor use is smaller than the area of the glass substrate for a large photomask described above. However, since the thin line 2 is generally designed to have the same width and the same pitch, that is, the same pattern, in the entire area of the polarization area 11, the template of the small transfer area described above The thin lines 2 can be formed on the entire surface (the entire area of the main surface) of the glass substrate for a large-sized photomask by relatively translating the surface and making the transfer pattern polyhedral.

偏光子１０ａは上記のような構成を有するため、より詳しくは、偏光子１０ａの偏光領域１１の長さ（Ｌ1）は光配向膜７５の幅（ＬW）よりも長いため、例えば、図２に示すように、平面視上、光配向膜７５を搬送する方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）において、光配向膜７５の全領域が偏光子１０ａの偏光領域１１内に含まれるように、偏光子１０ａと光配向膜７５を配置することができる。
すなわち、光配向膜７５への光配向に用いる偏光子は１枚で済み、図２に示すように、平面視上、光配向膜７５の上には、図１２に示したような境界部４０１は存在しない。 Since the polarizer 10a has the configuration as described above, more specifically, since the length (L 1 ) of the polarization region 11 of the polarizer 10a is longer than the width (L W ) of the light alignment film 75, for example, As shown in 2, the entire area of the photo alignment film 75 is included in the polarization area 11 of the polarizer 10 a in a direction (Y direction in the figure) perpendicular to the direction of transporting the photo alignment film 75 in plan view. In addition, the polarizer 10a and the light alignment film 75 can be disposed.
That is, only one polarizer is used for photoalignment to the photoalignment film 75, and as shown in FIG. 2, a boundary portion 401 as shown in FIG. Does not exist.

それゆえ、本発明においては、従来のような、光配向膜の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題を解消することができる。   Therefore, in the present invention, it is possible to solve the problem that the line-like defect is generated along the transport direction (X direction in the drawing) of the conventional photo alignment film.

また、光配向に用いる偏光子は１枚で済むため、複数の偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせるという作業も生じない。それゆえ、幅広の光配向膜に、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことができる。   In addition, since only one polarizer is used for light alignment, there is no work of uniformly aligning the orientations of a plurality of polarizers (more specifically, the orientations of thin lines). Therefore, the wide light alignment film can be provided with the light alignment with good productivity and the uniform direction.

また、Ｌ1の長さを、ＬWの長さに近づけることで、図１４に示すような、光配向に寄与しない無駄な部分５００が生じることを、極力抑制することもできる。 Further, by making the length of L 1 close to the length of L W , it is possible to minimize the occurrence of the useless portion 500 that does not contribute to the light alignment as shown in FIG.

ここで、図１に示す偏光子１０ａにおいては、長さＬ1の辺の方向（図中Ｙ方向）が細線２の長手方向と平行な関係のものを例示したが、本発明においては、光配向膜に施す光配向に応じて、細線２の長手方向は、偏光子の長さＬ1の辺の方向と異なるものであってもよい。 Here, in the polarizer 10 a shown in FIG. 1, the one in which the direction of the side of the length L 1 (Y direction in the drawing) is parallel to the longitudinal direction of the thin wire 2 is exemplified. Depending on the light alignment applied to the alignment film, the longitudinal direction of the thin wire 2 may be different from the direction of the side of the length L 1 of the polarizer.

例えば、図３に示す偏光子１０ｂのように、偏光子１０ｂの長さＬ1の辺の方向（図中Ｙ方向）は、細線２の長手方向（図中Ｘ方向）と垂直な関係であってもよい。
なお、この偏光子１０ｂにおいても、光配向に際しては、図２に示す偏光子１０ａのように、平面視上、光配向膜７５を搬送する方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）において、光配向膜７５が偏光子１０ｂの偏光領域内に含まれるように、偏光子１０ｂと光配向膜７５を配置する。 For example, as in the polarizer 10 b shown in FIG. 3, the direction (Y direction in the figure) of the side of the length L 1 of the polarizer 10 b is perpendicular to the longitudinal direction (X direction in the figure) of the thin wire 2. May be
In addition, also in the polarizer 10b, light is aligned in the direction perpendicular to the direction of transporting the light alignment film 75 (Y direction in the figure) in plan view as in the polarizer 10a shown in FIG. The polarizer 10 b and the photoalignment film 75 are disposed such that the alignment film 75 is included in the polarization region of the polarizer 10 b.

（第２の実施形態）
図１に示す偏光子１０ａにおいては、透明基板１の主面の全領域に細線２が形成されている形態、すなわち、透明基板１の主面の全領域が偏光領域１１に相当する形態を例示したが、本発明においては、細線２が形成されている領域（偏光領域）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であっても良い。 Second Embodiment
In the polarizer 10a shown in FIG. 1, the thin wire 2 is formed in the whole area of the main surface of the transparent substrate 1, ie, the form in which the whole area of the main surface of the transparent substrate 1 corresponds to the polarization area 11. However, in the present invention, the region (polarization region) in which the thin line 2 is formed may be a region smaller than the entire region of the main surface of the transparent substrate 1.

例えば、図４に示す偏光子２０のように、細線２が形成されている領域（偏光領域２１）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であり、偏光領域２１の外側の領域は、透明基板１が露出している形態であっても良い。
この場合、偏光子２０が光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の偏光領域２１の長さがＬ1である。そして、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも、長い。 For example, as in the polarizer 20 shown in FIG. 4, the region in which the thin line 2 is formed (polarization region 21) is a region smaller than the entire region of the main surface of the transparent substrate 1. The region may be in a form in which the transparent substrate 1 is exposed.
In this case, in the state where the polarizer 20 is mounted in optical alignment device, the length of the polarizing region 21 in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed is L 1. And, the length of this L 1 is longer than the width (L w ) of the photo alignment film.

このような形態であれば、細線２が透明基板１の端部に存在しないため、例えば、透明基板１から所定の外形の偏光子２０を切り出す際に、細線２を切断することはなく、細線２を切断したことに起因する不具合（端部からの細線２の連鎖的な破損等）が生じることを防止できる。   With such a form, since the thin line 2 does not exist at the end of the transparent substrate 1, for example, when cutting out the polarizer 20 having a predetermined outer shape from the transparent substrate 1, the thin line 2 is not cut. It is possible to prevent the occurrence of a defect (such as a chain-like breakage of the thin wire 2 from the end) caused by cutting 2.

なお、図４に示す偏光子２０を光配向装置に搭載する際には、図５に示すように、偏光領域２１の外側の透明基板１が露出している領域を、偏光子ホルダー８０等で覆って遮光することが好ましい。直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを防止するためである。   In addition, when mounting the polarizer 20 shown in FIG. 4 in a photo-alignment apparatus, as shown in FIG. 5, the area | region where the transparent substrate 1 of the outer side of the polarization area 21 is exposed is polarizer holder 80 grade | etc. It is preferable to cover and shield light. This is to prevent the light alignment film from being irradiated with light which is not linearly polarized.

また、偏光子２０においては、偏光領域２１の外側の領域を保持することで、細線２と偏光子ホルダー８０とが接触することを回避できる。それゆえ、細線２と偏光子ホルダー８０とが接触することに起因する不具合（接触部からの細線２の連鎖的な破損や、異物の発生等）が生じることを防止できる。   Moreover, in the polarizer 20, by holding the area | region of the outer side of the polarization | polarized-light area | region 21, it can avoid that the thin wire | line 2 and the polarizer holder 80 contact. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of a defect (such as a chain breakage of the thin wire 2 from the contact portion or the generation of foreign matter) caused by the thin wire 2 and the polarizer holder 80 coming into contact with each other.

また、本実施形態においては、透明基板１の上に、偏光領域を複数有する形態であっても良い。例えば、図６に示す偏光子３０のように、２つの偏光領域３１、３２を有する形態であっても良い。ここで、偏光子３０は、光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の偏光領域３１、３２の長さが、共にＬ1になっている。そして、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも長い。 Further, in the present embodiment, a plurality of polarization regions may be provided on the transparent substrate 1. For example, as in a polarizer 30 shown in FIG. 6, it may be configured to have two polarization regions 31 and 32. Here, the polarizer 30, in a state of being mounted on the optical alignment device, the length of the polarization regions 31 and 32 in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed, are both in L 1. And, the length of this L 1 is longer than the width (L w ) of the photo alignment film.

本発明のような大面積の偏光子を用いる場合には、例えば、図５に示すように、偏光子の外周（図５に示す例においては外周の４辺）を保持するだけでは、中央部が自重によって大きく撓んでしまう変形を生じ易い。
一方、図６に示す偏光子３０のように、偏光領域を複数有する形態であれば、外周以外の細線２が形成されていない領域も、偏光子ホルダー等で保持することができ、上記のような変形を抑制できる。
例えば、図６に示す偏光子３０においては、偏光領域３１と偏光領域３２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等で保持することができる。 In the case of using a large-area polarizer as in the present invention, for example, as shown in FIG. 5, the central portion only by holding the outer periphery of the polarizer (four sides in the example shown in FIG. 5). Is prone to deformation that is greatly distorted by its own weight.
On the other hand, as in the case of the polarizer 30 shown in FIG. 6, in the form having a plurality of polarization regions, regions where the thin wire 2 other than the outer periphery is not formed can be held by the polarizer holder etc. Deformation can be suppressed.
For example, in the polarizer 30 shown in FIG. 6, the region sandwiched between the polarization region 31 and the polarization region 32 can also be held by the polarizer holder or the like.

また、偏光子３０においては、その外周のみならず、偏光領域３１と偏光領域３２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等に接触させることができるため、例えば、光配向に際し、偏光子３０に蓄積される熱を、偏光子ホルダー等を介して、より効果的に排除することもできる。   In addition, in the polarizer 30, not only the outer periphery but also the region sandwiched between the polarization region 31 and the polarization region 32 can be brought into contact with the polarizer holder etc., for example, Heat can be more effectively eliminated through a polarizer holder or the like.

なお、偏光子３０においても、偏光領域３１、３２の外側の領域は、透明基板１が露出しているため、偏光子３０を光配向装置に搭載する際には、偏光領域３１、３２の外側の透明基板１が露出している領域を、偏光子ホルダー等で覆って遮光することが好ましい。直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを防止するためである。   In addition, also in the polarizer 30, since the transparent substrate 1 is exposed in the region outside the polarization regions 31 and 32, the outer side of the polarization regions 31 and 32 is mounted when the polarizer 30 is mounted on the light alignment device. It is preferable to cover the area where the transparent substrate 1 is exposed with a polarizer holder or the like to shield light. This is to prevent the light alignment film from being irradiated with light which is not linearly polarized.

なお、図６に示す偏光子３０においては、同じ形態、同じ平面サイズの２つの偏光領域３１、３２を有する形態を例示したが、本発明においては、これに限らず、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、光配向膜の全領域が、複数の偏光領域を合わせた領域内に含まれるように偏光子と光配向膜を配置することができるものであれば良い。
例えば、図６に示す偏光子３０において、偏光領域３１、３２は、光配向膜が搬送される方向（図中Ｘ方向）の長さが異なるものであっても良い。また、３つ以上の偏光領域を有していても良い。 In addition, in the polarizer 30 shown in FIG. 6, although the form which has two polarization area | regions 31 and 32 of the same form and the same plane size was illustrated, in this invention, not only this but a photo alignment film is conveyed. It is sufficient that the polarizer and the photoalignment film can be arranged such that the entire region of the photoalignment film is included in the combined region of the plurality of polarization regions in the direction perpendicular to the direction.
For example, in the polarizer 30 shown in FIG. 6, the polarization regions 31 and 32 may have different lengths in the direction (X direction in the drawing) in which the photo alignment film is transported. Also, it may have three or more polarization regions.

（第３の実施形態）
図４、６に示す偏光子２０、３０においては、偏光領域の外側の領域は、透明基板１が露出している形態を例示したが、本発明においては、偏光領域の外側の領域には、光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていても良い。 Third Embodiment
In the polarizers 20 and 30 shown in FIGS. 4 and 6, the region outside the polarization region is illustrated in the form in which the transparent substrate 1 is exposed, but in the present invention, the region outside the polarization region is A light shielding film that shields light emitted from the light source of the light alignment device may be formed.

例えば、図７に示す偏光子４０のように、細線２が形成されている領域（偏光領域４１）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であり、偏光領域４１の外側の領域には、遮光膜３が形成されている形態であっても良い。
この場合も、上記の偏光子２０と同様に、偏光子４０が光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）の偏光領域４１の長さがＬ1である。そして、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも、長い。 For example, as in the polarizer 40 shown in FIG. 7, the region (polarization region 41) in which the thin line 2 is formed is a region smaller than the entire region of the main surface of the transparent substrate 1. The light shielding film 3 may be formed in the region.
Also in this case, as in the above-described polarizer 20, in the state where the polarizer 40 is mounted on the light alignment device, the polarization region 41 in the direction (Y direction in the figure) perpendicular to the direction in which the light alignment film is transported. The length is L 1 . And, the length of this L 1 is longer than the width (L w ) of the photo alignment film.

偏光子４０においては、上記の偏光子２０が有する効果に加えて、直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを、より確実に防止することができる。
さらに、遮光膜３に細線２が接触している形態であれば、偏光子４０に照射される光によって細線２に蓄積する熱を、遮光膜３を介して偏光子ホルダーに分散させることや、帯電防止の効果を奏することもできる。 In the polarizer 40, in addition to the effect of the polarizer 20 described above, it is possible to more reliably prevent the light alignment film from being irradiated with light which is not linearly polarized.
Furthermore, in the configuration in which the thin wire 2 is in contact with the light shielding film 3, the heat accumulated in the thin wire 2 by the light irradiated to the polarizer 40 is dispersed to the polarizer holder through the light shielding film 3. The effect of antistatic can also be exhibited.

同様に、透明基板１の上に偏光領域を複数有する形態の場合も、その複数の偏光領域の外側の領域に、光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていても良い。
例えば、図８に示す偏光子５０のように、２つの偏光領域５１、５２を有し、この偏光領域５１、５２の外側の領域には、遮光膜３が形成されている形態であっても良い。 Similarly, in the case of a form having a plurality of polarization regions on the transparent substrate 1, a light shielding film for shielding light irradiated from the light source of the light alignment device is formed in the region outside the plurality of polarization regions Also good.
For example, as in the polarizer 50 shown in FIG. 8, even in a mode having the two polarization regions 51 and 52 and in the region outside the polarization regions 51 and 52, the light shielding film 3 is formed. good.

この場合も、上記の偏光子４０と同様に、直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを、より確実に防止することができる。
また、遮光膜３に細線２が接触している形態であれば、偏光子５０に照射される光によって細線２に蓄積する熱を、遮光膜３を介して偏光子ホルダーに分散させることや、帯電防止の効果を奏することもできる。 Also in this case, similarly to the polarizer 40 described above, it is possible to more reliably prevent the light alignment film from being irradiated with light that is not linearly polarized.
Further, in a mode in which the thin line 2 is in contact with the light shielding film 3, the heat accumulated in the thin line 2 by the light irradiated to the polarizer 50 is dispersed to the polarizer holder through the light shielding film 3. The effect of antistatic can also be exhibited.

さらに、偏光子５０においては、外周のみならず、偏光領域５１と偏光領域５２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等で保持することができる。それゆえ、偏光子の自重による変形を抑制できる。
また、外周のみならず、偏光領域５１と偏光領域５２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等に接触させることができるため、例えば、光配向に際し、偏光子５０に蓄積される熱を、遮光膜３から偏光子ホルダーに移す等によって効果的に排除することもできる。 Furthermore, in the polarizer 50, not only the outer periphery but also the region sandwiched between the polarization region 51 and the polarization region 52 can be held by the polarizer holder or the like. Therefore, deformation of the polarizer due to its own weight can be suppressed.
Further, not only the outer periphery but also the region sandwiched between the polarization region 51 and the polarization region 52 can be brought into contact with the polarizer holder etc., for example, the heat accumulated in the polarizer 50 during It can also be eliminated effectively by transferring it to the polarizer holder.

遮光膜３を構成する材料には、光配向装置の光源から照射される光を遮光することができるものであれば用いることができるが、細線２を構成する材料を含んでいることが好ましい。
遮光膜３を構成する材料が細線２を構成する材料を含有する場合、細線２を形成する工程で使用する装置や材料を、遮光膜３を形成する工程にも使用することができ、製造コストの削減になるからである。
さらに、細線２を形成する工程と遮光膜３を形成する工程を同一工程にすることで、細線２と遮光膜３の相対位置精度を向上させることもできる。 Although it can be used for the material which comprises the light shielding film 3, if the light irradiated from the light source of a photo alignment apparatus can be shielded, it is preferable to contain the material which comprises the thin wire | line 2.
When the material constituting the light shielding film 3 contains the material constituting the thin line 2, the device or material used in the step of forming the thin line 2 can also be used in the step of forming the light shielding film 3, and the manufacturing cost The reason is the reduction of
Furthermore, the relative positional accuracy of the thin line 2 and the light shielding film 3 can be improved by making the process of forming the thin line 2 and the process of forming the light shielding film 3 the same process.

＜光配向装置＞
次に、本発明に係る光配向装置について説明する。
図９は、本発明に係る光配向装置の構成例について示す図である。
図９に示す光配向装置７０ａは、光源からの光を偏光子によって直線偏光し、この偏光された光（偏光光７４）を、ワーク７６の上に形成された光配向膜７５に照射することで、光配向膜７５に配向規制力を付与するものである。 <Photo alignment device>
Next, the light alignment device according to the present invention will be described.
FIG. 9 is a view showing a configuration example of the light alignment device according to the present invention.
The light alignment device 70a shown in FIG. 9 linearly polarizes the light from the light source by a polarizer, and irradiates the light alignment film 75 formed on the work 76 with the polarized light (polarized light 74). Thus, an alignment regulating force is given to the photo alignment film 75.

光配向装置７０ａは、光源として紫外光ランプ７２と、光配向膜７５の上に偏光子を保持するための偏光子搭載部７１を備えている。偏光子搭載部７１には、上記の本発明に係る偏光子が搭載される。   The light alignment device 70 a includes an ultraviolet light lamp 72 as a light source, and a polarizer mounting portion 71 for holding a polarizer on the light alignment film 75. The polarizer according to the present invention is mounted on the polarizer mounting portion 71.

また、光配向装置７０ａには、光配向膜７５を形成したワーク７６を所定の方向に搬送する搬送機構（図示略）が備えられており、ワーク７６を所定の方向に搬送することにより、光配向膜７５の全領域に偏光光７４を照射することができる。例えば、図９に示す例において、ワーク７６は図中右方向（図９に示す矢印方向）に搬送される。   In addition, the light alignment device 70a is provided with a transfer mechanism (not shown) for transferring the work 76 on which the light alignment film 75 is formed in a predetermined direction, and light is transferred by transferring the work 76 in a predetermined direction. Polarized light 74 can be irradiated on the entire area of the alignment film 75. For example, in the example shown in FIG. 9, the work 76 is transported in the right direction in the figure (the direction of the arrow shown in FIG. 9).

ここで、本発明においては、上記搬送機構により搬送される光配向膜７５が、平面視上、光配向膜７５が搬送される方向に垂直な方向において、上記偏光子の偏光領域内に含まれるように、上記偏光子が偏光子搭載部７１に搭載されていることが好ましい。上述した、本発明に係る偏光子の効果を奏するためである。   Here, in the present invention, the photo alignment film 75 transported by the transport mechanism is included in the polarization region of the polarizer in a direction perpendicular to the direction in which the photo alignment film 75 is transported in plan view. Thus, it is preferable that the polarizer is mounted on the polarizer mounting portion 71. It is for producing the effect of the light polarizer concerning the present invention mentioned above.

なお、図９に示す例においては、ワーク７６を矩形状の平板として示しているが、本発明において、ワーク７６の形態は、偏光光７４を照射することができるものであれば特に限定されず、例えば、ワーク７６はフィルム状の形態であっても良く、また、巻取り可能なように帯状（ウェブ状）の形態であっても良い。   In the example shown in FIG. 9, the work 76 is shown as a rectangular flat plate, but in the present invention, the form of the work 76 is not particularly limited as long as the polarized light 74 can be irradiated. For example, the workpiece 76 may be in the form of a film, or may be in the form of a strip (web) so that it can be taken up.

また、紫外光ランプ７２からの光を効率良く偏光子に照射するために、光配向装置７０ａは、紫外光ランプ７２の背面側や側面側に紫外光を反射する反射鏡７３を有していることが好ましい。   Further, in order to efficiently irradiate the polarizer with the light from the ultraviolet light lamp 72, the light alignment device 70a has a reflecting mirror 73 for reflecting ultraviolet light on the back side and the side of the ultraviolet light lamp 72. Is preferred.

また、大面積の光配向膜７５に対して効率良く配向規制力を付与するためには、図９に示すように、紫外光ランプ７２に棒状のランプを用いて、光配向膜７５の搬送方向（図９における矢印方向）に対して垂直な方向に長い照射領域となる偏光光７４が照射されるように、光配向装置７０ａを構成することが好ましい。   Also, in order to efficiently apply the alignment regulating force to the large area photo alignment film 75, as shown in FIG. 9, a rod-like lamp is used as the ultraviolet light lamp 72, and the transport direction of the photo alignment film 75 is obtained. It is preferable to configure the light alignment device 70 a so that the polarized light 74 that is a long irradiation area is irradiated in a direction perpendicular to (the direction of the arrow in FIG. 9).

また、本発明に係る光配向装置は、複数個の紫外光ランプを備える構成であっても良い。
例えば、図１０に示す光配向装置７０ｂは、２個の紫外光ランプ７２を備えており、２個の紫外光ランプ７２と光配向膜７５の間に、偏光子搭載部７１が備えられている。また、各紫外光ランプ７２には、それぞれ反射鏡７３が備えられている。 In addition, the light alignment device according to the present invention may be configured to include a plurality of ultraviolet light lamps.
For example, the light alignment device 70b shown in FIG. 10 includes two ultraviolet light lamps 72, and a polarizer mounting portion 71 is provided between the two ultraviolet light lamps 72 and the light alignment film 75. . In addition, each ultraviolet lamp 72 is provided with a reflecting mirror 73.

このように、紫外光ランプ７２を複数個備えることにより、紫外光ランプ７２を１個備える場合よりも、ワーク７６の上に形成された光配向膜７５に照射する偏光光７４の照射量を増加させることができる。それゆえ、紫外光ランプ７２を１個備える場合よりも、ワーク７６の搬送速度を大きくすることができ、その結果、生産性を向上させることができる。   As described above, by providing a plurality of ultraviolet light lamps 72, the irradiation amount of polarized light 74 to be applied to the light alignment film 75 formed on the work 76 can be increased more than when one ultraviolet light lamp 72 is provided. It can be done. Therefore, the conveyance speed of the work 76 can be made higher than in the case where one ultraviolet light lamp 72 is provided, and as a result, productivity can be improved.

なお、図９、１０に示す例においては、光源として棒状の紫外光ランプ７２を例示したが、本発明においては、これに限らず、例えば、紫外光を照射するＬＥＤを平面上に配列した面状発光体を用いても良い。面状発光体の照射面積と本発明に係る偏光子の面積とを合わせることで、より効率的に光配向を施すことができる。   In the example shown in FIGS. 9 and 10, the rod-like ultraviolet light lamp 72 is exemplified as the light source, but the present invention is not limited to this, and for example, a plane where LEDs emitting ultraviolet light are arrayed on a plane A light emitter may be used. By combining the irradiation area of the planar light emitter with the area of the polarizer according to the present invention, it is possible to more efficiently perform photoalignment.

＜光配向方法＞
次に、本発明に係る光配向方法について説明する。
本発明に係る光配向方法は、上記の本発明に係る偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、平面視上、光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、光配向膜が上記偏光子の偏光領域内に含まれるように、偏光子と光配向膜を配置するものである。
本発明に係る光配向方法は、例えば、図９に示す光配向装置７０ａに、上記の本発明に係る偏光子を搭載することによって、実施することができる。そして、上述した、本発明に係る偏光子の効果を奏することができる。 <Photo alignment method>
Next, the photoalignment method according to the present invention will be described.
The photoalignment method according to the present invention is a photoalignment method which applies polarized light linearly polarized by the above-mentioned polarizer according to the present invention to impart an alignment regulating force to the photoalignment film, and is a light in plan view. The polarizer and the photoalignment film are disposed such that the photoalignment film is included in the polarization region of the polarizer in the direction perpendicular to the direction in which the alignment film is transported.
The light alignment method according to the present invention can be implemented, for example, by mounting the above-described polarizer according to the present invention on the light alignment device 70a shown in FIG. And the effect of the polarizer concerning the present invention mentioned above can be produced.

以上、本発明に係る偏光子、光配向装置、および光配向方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。   As mentioned above, although each embodiment was described about the polarizer which concerns on this invention, the optical orientation apparatus, and the optical orientation method, this invention is not limited to the said embodiment. The above embodiment is an exemplification and has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention, and exhibits the same function and effect as the present invention in any case. It is included in the technical scope of

１、１０１ 透明基板
２、１０２ 細線
３ 遮光膜
１０ａ、１０ｂ、２０、３０、５０、１００ 偏光子
１１、２１、３１、３２、４１、５１、５２ 偏光領域
７０ａ、７０ｂ 光配向装置
７１ 偏光子搭載部
７２ 紫外光ランプ
７３ 反射鏡
７４ 偏光光
７５、２００ 光配向膜
７６ ワーク
８０、３００、３０１ 偏光子ホルダー
４０１、４０２、４０３ 境界部
５００ 無駄な部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1, 101 Transparent substrate 2 102 Thin line 3 Light shielding film 10a, 10b, 20, 30, 50, 100 Polarizer 11, 21, 31, 32, 41, 51, 52 Polarization area | region 70a, 70b Photo alignment device 71 Polarizer mounting Part 72 UV lamp 73 Reflector 74 Polarized light 75, 200 Light alignment film 76 Workpiece 80, 300, 301 Polarizer holder 401, 402, 403 Boundary part 500 Waste part

Claims (5)

光配向装置に搭載され、前記光配向装置において搬送される光配向膜に、前記光配向装置の光源から照射される光を直線偏光した偏光光を照射する偏光子であって、
透明基板の上に、複数本の細線が並列に配置された偏光領域を複数有し、
前記光配向装置に搭載された状態において、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記偏光領域の長さが、
前記光配向装置において前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記光配向膜の長さよりも、長いことを特徴とする偏光子。 A polarizer which is mounted on a photo alignment device and irradiates polarized light obtained by linearly polarizing light irradiated from a light source of the photo alignment device onto the photo alignment film transported by the photo alignment device.
A plurality of polarization regions in which a plurality of thin wires are arranged in parallel on a transparent substrate,
In the state of being mounted on the light alignment device, the length of the polarization area in the direction perpendicular to the direction in which the light alignment film is transported is
A polarizer characterized in that it is longer than the length of the photo alignment film in the direction perpendicular to the direction in which the photo alignment film is transported in the photo alignment device. 前記透明基板の上の前記偏光領域の外側の領域に、
前記光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の偏光子。 An area outside the polarization area on the transparent substrate,
Polarizer according to claim 1, wherein a light shielding film for blocking light emitted from the light source of the optical alignment device is formed. 光源からの光を偏光子によって直線偏光して光配向膜に照射する光配向装置であって、
前記偏光子を搭載する偏光子搭載部と、
前記光配向膜を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記偏光子搭載部に、請求項１または請求項２に記載の偏光子を備え、
前記偏光子によって直線偏光された偏光光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする光配向装置。 A light alignment device that linearly polarizes light from a light source by a polarizer and irradiates the light alignment film with the light,
A polarizer mounting portion on which the polarizer is mounted;
A transport mechanism for transporting the photoalignment film;
Equipped with
The polarizer mounting portion is provided with the polarizer according to claim 1 or 2 ,
An optical alignment device comprising: irradiating the optical alignment film with polarized light linearly polarized by the polarizer. 前記搬送機構により搬送される前記光配向膜が、
平面視上、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、
前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、
前記偏光子が前記偏光子搭載部に搭載されていることを特徴とする請求項３に記載の光配向装置。 The photo alignment film transported by the transport mechanism is
In a plan view, in a direction perpendicular to the direction in which the light alignment film is transported,
To be contained within the polarization region of the polarizer,
The light alignment device according to claim 3 , wherein the polarizer is mounted on the polarizer mounting portion. 請求項１または請求項２に記載の偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、
平面視上、前記光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、
前記光配向膜が前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、
前記偏光子と前記光配向膜を配置することを特徴とする光配向方法。
It is a photoalignment method of applying alignment control power to a photoalignment film by irradiating polarized light linearly polarized by the polarizer according to claim 1 or 2 ,
In a plan view, in a direction perpendicular to the transport direction of the photo alignment film,
As the photo-alignment film is included in the polarization region of the polarizer,
A photoalignment method comprising disposing the polarizer and the photoalignment film.
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