JP2016180882A - Polarizer, photo-aligning device and photo-aligning method - Google Patents

Polarizer, photo-aligning device and photo-aligning method Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a polarizer, a photo-aligning device and a photo-aligning method, by which a wide photo-alignment film can be subjected to photo-alignment with high productivity and uniform orientation, while eliminating a problem of inducing a linear defective portion.SOLUTION: The polarizer is to be mounted in a photo-aligning device and used to linearly polarize light radiated from a light source of the photo-aligning device and to irradiate a photo-alignment film conveyed in the photo-aligning device with the polarized light. The polarizer has a polarization region where a plurality of thin lines 2 are arranged parallel to one another on a transparent substrate 1. While the polarizer is mounted on the photo-aligning device, the length of the polarization region in a direction perpendicular to the conveyance direction of the photo-alignment film is larger than the length of the photo-alignment film in a direction perpendicular to the conveyance direction of the photo-alignment film in the photo-aligning device.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、直線偏光した偏光光を光配向膜に照射する偏光子、光配向装置、および光配向方法に関するものである。   The present invention relates to a polarizer that irradiates a photo-alignment film with linearly polarized polarized light, a photo-alignment apparatus, and a photo-alignment method.

液晶表示装置は、一般に駆動素子が形成された対向基板とカラーフィルタとを対向配置して周囲を封止し、その間隙に液晶材料を充填した構造を有する。そして、液晶材料は屈折率異方性を有しており、液晶材料に印加された電圧の方向に沿うように整列される状態と、電圧が印加されない状態との違いから、オンオフを切り替えて画素を表示することができる。ここで液晶材料を挟持する基板には、液晶材料を配向させるために配向膜が設けられている。
配向膜としては、例えば、ポリイミドに代表される高分子材料が用いたものが知られており、この高分子材料を布等により摩擦するラビング処理が施されることによって配向規制力を有するものとなる。
しかしながら、このようなラビング処理により配向規制力が付与された配向膜では、布等が異物として残存するといった問題があった。 A liquid crystal display device generally has a structure in which a counter substrate on which driving elements are formed and a color filter are arranged to face each other and the periphery is sealed, and a gap is filled with a liquid crystal material. The liquid crystal material has refractive index anisotropy, and the pixel is switched on and off from the difference between the state where the liquid crystal material is aligned along the direction of the voltage applied to the liquid crystal material and the state where no voltage is applied. Can be displayed. Here, the substrate sandwiching the liquid crystal material is provided with an alignment film for aligning the liquid crystal material.
As the alignment film, for example, a film using a polymer material typified by polyimide is known, and the alignment film has an alignment regulating force by rubbing the polymer material with a cloth or the like. Become.
However, the alignment film to which the alignment regulating force is applied by such rubbing treatment has a problem that the cloth or the like remains as a foreign substance.

これに対して直線偏光を照射することにより配向規制力を発現する配向膜、すなわち光配向膜では、上述のような布等によるラビング処理を施すことなく配向規制力を付与できるため、布等が異物として残存する不具合がないことから近年注目されている。
このような光配向膜への配向規制力付与のための直線偏光の照射方法としては、偏光子を介して露光する方法が一般的に用いられる。偏光子としては、平行に配置された複数の細線を有するものが用いられ、細線を構成する材料としては、アルミニウムや酸化チタンが用いられている（例えば、特許文献１）。 On the other hand, in the alignment film that expresses the alignment regulating force by irradiating linearly polarized light, that is, the photo-alignment film, the alignment regulating force can be applied without performing the rubbing treatment with the cloth as described above. In recent years, it has attracted attention because there is no defect that remains as a foreign object.
As an irradiation method of linearly polarized light for imparting alignment regulating force to such a photo-alignment film, a method of exposing through a polarizer is generally used. As the polarizer, one having a plurality of thin wires arranged in parallel is used, and as a material constituting the thin wires, aluminum or titanium oxide is used (for example, Patent Document 1).

そして、平行に配置された複数の細線を形成する方法としては、従来、二光束干渉露光法が用いられてきた（例えば、特許文献２、３）。
この二光束干渉露光法は、位相および光路長を合わせた２本のレーザー光を重ね合わせた際に発生する周期的光強度分布（干渉パターン）を、基板上のレジストに転写する技術である。
例えば、ガラス基板の上にアルミニウム等の金属層を形成し、その上に形成したレジスト層に二光束干渉露光を施し、現像して得られた周期的なレジストパターンをエッチングマスクに用いて金属層をエッチングし、その後、レジストパターンを除去することで、ガラス基板の上に、アルミニウム等の金属からなる複数の平行配置された細線を形成することができる。
その後、偏光子としての所望の形態にガラス基板を切断することで、アルミニウム等の金属からなる細線を有する偏光子を得ることができる。 As a method of forming a plurality of thin lines arranged in parallel, a two-beam interference exposure method has been conventionally used (for example, Patent Documents 2 and 3).
This two-beam interference exposure method is a technique for transferring a periodic light intensity distribution (interference pattern) generated when two laser beams having the same phase and optical path length are overlapped to a resist on a substrate.
For example, a metal layer such as aluminum is formed on a glass substrate, the resist layer formed thereon is subjected to two-beam interference exposure, and developed using a periodic resist pattern as an etching mask. Is etched, and then the resist pattern is removed, whereby a plurality of fine wires arranged in parallel made of metal such as aluminum can be formed on the glass substrate.
Thereafter, the glass substrate is cut into a desired form as a polarizer, whereby a polarizer having a thin wire made of a metal such as aluminum can be obtained.

また、近年では、半導体用フォトマスクの製造技術を用いて、電子線描画により細線を形成することも行われている。   In recent years, thin lines have also been formed by electron beam drawing using a semiconductor photomask manufacturing technique.

特許第４９６８１６５号公報Japanese Patent No. 4968165 特開２０１３−１４５８６３号公報JP 2013-145863 A 特開２００７−１７８７６３号公報JP 2007-177873 A

品質向上のために、光配向に用いられる光は、より波長の短い紫外光が用いられるようになり、偏光子に形成される細線も細くなる傾向にある。
これに合わせて、偏光子としては、紫外光を透過する透明基板を用いることになり、例えば、基板として、ガラスウェハ（一般に２００ｍｍ〜３００ｍｍ径）、若しくは、半導体用フォトマスク用ガラス基板（一般に６インチ角）を用いている。
そして、透明基板の上に細線形成後、直方体状の形態に切り出して、１個の偏光子を製造している。 In order to improve quality, ultraviolet light having a shorter wavelength is used as light used for photo-alignment, and fine lines formed in the polarizer tend to be thin.
Accordingly, a transparent substrate that transmits ultraviolet light is used as the polarizer. For example, a glass wafer (generally 200 mm to 300 mm diameter) or a glass substrate for a photomask for semiconductor (generally 6 mm) is used as the substrate. Inch square).
And after forming a thin wire | line on a transparent substrate, it cuts out in a rectangular parallelepiped form, and manufactures one polarizer.

図１１に、従来の偏光子について示す。ここで、図１１（ａ）は、従来の偏光子の概略平面図を示し、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＧ−Ｇ線における概略断面図を示す。
図１１（ｂ）に示すように、従来の偏光子１００は、透明基板１０１の上に複数本の細線１０２が並列に配置された構成を有しており、図１１（ａ）に示すように、矩形状の平面形態を有しており、例えば、Ｌ3、Ｌ4の長さは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度である。
なお、従来の偏光子１００の外形精度は、切り出しの機械精度によるため、細線１０２と同レベルの平行性や直進性を有してはいない。例えば、細線１０２のピッチが０．１μｍ程度であるのに対し、通常、切り出しの機械精度は公差１０μｍ以上である。 FIG. 11 shows a conventional polarizer. Here, FIG. 11A shows a schematic plan view of a conventional polarizer, and FIG. 11B shows a schematic cross-sectional view taken along the line GG of FIG. 11A.
As shown in FIG. 11B, the conventional polarizer 100 has a configuration in which a plurality of thin wires 102 are arranged in parallel on a transparent substrate 101. As shown in FIG. , And has a rectangular planar form, for example, the lengths of L 3 and L 4 are about 100 mm to 150 mm.
In addition, since the external accuracy of the conventional polarizer 100 depends on the mechanical accuracy of cutting, it does not have the same level of parallelism and straightness as the thin wire 102. For example, while the pitch of the thin wires 102 is about 0.1 μm, the mechanical accuracy of cutting is usually a tolerance of 10 μm or more.

一方、生産性向上のために、光配向膜は大面積化される傾向にある。そこで、従来は、光配向装置の偏光子搭載部に、複数枚の偏光子を並列配置して、光配向を行っていた。   On the other hand, the photo-alignment film tends to have a large area in order to improve productivity. Therefore, conventionally, a plurality of polarizers are arranged in parallel on the polarizer mounting portion of the photo-alignment device to perform photo-alignment.

図１２〜１４は、従来の偏光子と光配向膜の配置関係について示す図である。
偏光子よりも大きい幅（ＬW）を有する光配向膜２００の全領域に偏光光を照射する方法としては、例えば、図１２に示すように、光配向膜２００の上に、光配向膜２００の幅方向（図中Ｙ方向）に沿って、複数の偏光子１００を一列配置し、光配向膜２００を幅方向に垂直な方向（図中Ｘ方向）に搬送しながら、複数の偏光子１００から一斉に偏光光を照射する方法を、挙げることができる。 12-14 is a figure shown about the arrangement | positioning relationship of the conventional polarizer and a photo-alignment film | membrane.
As a method for irradiating the entire region of the photo-alignment film 200 having a width (L W ) larger than that of the polarizer with polarized light, for example, as shown in FIG. 12, the photo-alignment film 200 is formed on the photo-alignment film 200. A plurality of polarizers 100 are arranged in a row along the width direction (Y direction in the figure), and the plurality of polarizers 100 are conveyed while transporting the photo-alignment film 200 in a direction perpendicular to the width direction (X direction in the figure). The method of irradiating polarized light all at once can be mentioned.

しかしながら、光配向膜２００の上に偏光子１００を配置するためには、偏光子１００を保持するための偏光子ホルダー３００が必要であり、この偏光子ホルダー３００が、図１２に示すように、偏光子の４辺を保持する枠状の平面形態を有している場合、各偏光子１００間の境界部４０１では、偏光子ホルダー３００の存在によって偏光光が照射されず、これに起因して、光配向膜２００の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題がある。   However, in order to dispose the polarizer 100 on the photo-alignment film 200, a polarizer holder 300 for holding the polarizer 100 is necessary. As shown in FIG. In the case of having a frame-like planar shape that holds the four sides of the polarizer, the boundary portion 401 between the polarizers 100 is not irradiated with polarized light due to the presence of the polarizer holder 300, resulting in this There is a problem that a defective portion in a line shape occurs along the transport direction of the photo-alignment film 200 (X direction in the drawing).

上記のような、問題を解消する方法として、例えば、図１３に示すように、偏光子１００の４辺ではなく、対向する２辺を保持する偏光子ホルダー３０１を用いることにより、各偏光子１００間の境界部４０２には、偏光子ホルダー３０１が存在しないようにする方法を、挙げることができる。   As a method for solving the above problem, for example, as shown in FIG. 13, each polarizer 100 is obtained by using a polarizer holder 301 that holds two opposite sides instead of four sides of the polarizer 100. A method of preventing the polarizer holder 301 from being present at the boundary portion 402 can be mentioned.

しかしながら、上述のように、偏光子１００の外形精度は、細線１０２と同レベルの平行性や直進性を有していないため、境界部４０２には隙間が生じ易い。そして、この隙間から直線偏光されていない光が照射されてしまうことにより、やはり、この境界部４０２に関係して、光配向膜２００の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題が残る。   However, as described above, since the outer shape accuracy of the polarizer 100 does not have the same level of parallelism and straightness as the thin wire 102, a gap is likely to occur in the boundary portion 402. Then, when light that is not linearly polarized is irradiated from the gap, the linear shape is also formed along the transport direction (X direction in the drawing) of the photo-alignment film 200 in relation to the boundary portion 402. The problem remains that a defective part occurs.

それゆえ、例えば、図１４に示すように、図中Ｙ方向に複数の偏光子１００を配置した一列の偏光子列を、図中Ｘ方向に複数列配置し、かつ、各偏光子列の図中Ｙ方向の位置を変えて、偏光子列内の境界部４０２が、隣接する偏光子列との間で、図中Ｘ方向に揃わないようにすることにより、ライン状の不良個所が生じてしまう問題を解消することが考えられる。   Therefore, for example, as shown in FIG. 14, one row of polarizer rows in which a plurality of polarizers 100 are arranged in the Y direction in the drawing is arranged in the X direction in the drawing, and a diagram of each polarizer row is shown. By changing the position in the middle Y direction so that the boundary portion 402 in the polarizer row is not aligned with the adjacent polarizer row in the X direction in the figure, a line-like defective portion is generated. It is conceivable to solve the problem.

しかしながら、この場合は、高価な偏光子を数多く必要とし、生産コストが増大化してしまうという問題がある。その一方で、各偏光子列の端部の偏光子は、光配向膜２００への光配向に寄与しない無駄な部分５００を有することになる。   However, in this case, there is a problem that many expensive polarizers are required and the production cost increases. On the other hand, the polarizer at the end of each polarizer row has a useless portion 500 that does not contribute to the photo-alignment to the photo-alignment film 200.

また、複数の偏光子を用いる場合は、光配向膜に付与する配向規制力のばらつきを抑えるために、複数の偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせる必要がある。
しかしながら、上記のように、偏光子１００の平面サイズは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ角程度（すなわち、細線の長手方向の長さは１００ｍｍ〜１５０ｍｍ程度）であるのに対し、細線２のピッチは０．１μｍレベルであり、各偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせることには困難性が伴う。さらに、多数の偏光子を用いることになれば、これに伴って上記の向きを合わせる作業に膨大な時間がかかってしまい、生産性を低下させてしまうことになる。 When a plurality of polarizers are used, it is necessary to uniformly align the directions of the plurality of polarizers (more specifically, the direction of the fine lines) in order to suppress variations in alignment regulating force applied to the photo-alignment film.
However, as described above, the plane size of the polarizer 100 is about 100 mm to 150 mm square (that is, the length in the longitudinal direction of the thin line is about 100 mm to 150 mm), whereas the pitch of the thin line 2 is at a level of 0.1 μm. Therefore, it is difficult to uniformly align the directions of the polarizers (more specifically, the directions of the thin lines). Furthermore, if a large number of polarizers are used, it takes a long time to align the above-mentioned directions, resulting in a decrease in productivity.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、幅広の光配向膜に、ライン状の不良個所が生じる問題を解消しつつ、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことが可能な偏光子、光配向装置、および光配向方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to perform a photo-alignment with a uniform orientation with high productivity while solving the problem that a line-shaped defective portion is generated in a wide photo-alignment film. An object is to provide a polarizer, a photo-alignment apparatus, and a photo-alignment method.

本発明の請求項１に係る発明は、光配向装置に搭載され、前記光配向装置において搬送される光配向膜に、前記光配向装置の光源から照射される光を直線偏光した偏光光を照射する偏光子であって、透明基板の上に、複数本の細線が並列に配置された偏光領域を有し、前記光配向装置に搭載された状態において、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記偏光領域の長さが、前記光配向装置において前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記光配向膜の長さよりも、長いことを特徴とする偏光子である。   The invention according to claim 1 of the present invention irradiates the optical alignment film mounted on the optical alignment apparatus and transported in the optical alignment apparatus with polarized light obtained by linearly polarizing the light irradiated from the light source of the optical alignment apparatus. A polarizer having a polarization region in which a plurality of thin wires are arranged in parallel on a transparent substrate, and mounted in the photo-alignment device in a direction in which the photo-alignment film is conveyed A polarizer characterized in that a length of the polarizing region in a vertical direction is longer than a length of the photo-alignment film in a direction perpendicular to a direction in which the photo-alignment film is conveyed in the photo-alignment apparatus. It is.

また、本発明の請求項２に係る発明は、前記透明基板の上に、前記偏光領域を複数有することを特徴とする請求項１に記載の偏光子である。   The invention according to claim 2 of the present invention is the polarizer according to claim 1, wherein a plurality of the polarizing regions are provided on the transparent substrate.

また、本発明の請求項３に係る発明は、前記透明基板の上の前記偏光領域の外側の領域に、前記光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の偏光子である。   In the invention according to claim 3 of the present invention, a light-shielding film that shields light emitted from the light source of the photo-alignment device is formed in a region outside the polarizing region on the transparent substrate. The polarizer according to claim 1 or 2, wherein

また、本発明の請求項４に係る発明は、光源からの光を偏光子によって直線偏光して光配向膜に照射する光配向装置であって、前記偏光子を搭載する偏光子搭載部と、前記光配向膜を搬送する搬送機構と、を備え、前記偏光子搭載部に、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子を備え、前記偏光子によって直線偏光された偏光光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする光配向装置である。   The invention according to claim 4 of the present invention is a photo-alignment device that linearly polarizes light from a light source with a polarizer and irradiates the photo-alignment film, and a polarizer mounting unit that mounts the polarizer; Polarized light linearly polarized by the polarizer, comprising the polarizer according to any one of claims 1 to 3 in the polarizer mounting portion. The photo-alignment apparatus irradiates the photo-alignment film with light.

また、本発明の請求項５に係る発明は、前記搬送機構により搬送される前記光配向膜が、平面視上、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、前記偏光子が前記偏光子搭載部に搭載されていることを特徴とする請求項４に記載の光配向装置である。   The invention according to claim 5 of the present invention is such that the photo-alignment film transported by the transport mechanism is perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is transported in a plan view. The optical alignment apparatus according to claim 4, wherein the polarizer is mounted on the polarizer mounting portion so as to be included in a polarization region.

また、本発明の請求項６に係る発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、平面視上、前記光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、前記光配向膜が前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、前記偏光子と前記光配向膜を配置することを特徴とする光配向方法である。   In addition, the invention according to claim 6 of the present invention irradiates the polarized light linearly polarized by the polarizer according to any one of claims 1 to 3 to impart alignment regulating force to the photo-alignment film. And a method of aligning the polarizer and the polarizer so that the photo-alignment film is included in the polarization region of the polarizer in a direction perpendicular to a direction of transporting the photo-alignment film in plan view. A photo-alignment method characterized by disposing a photo-alignment film.

本発明によれば、幅広の光配向膜に、ライン状の不良個所が生じる問題を解消しつつ、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photo-alignment with which direction was uniform can be given with sufficient productivity, eliminating the problem which a line-shaped defective part produces in a wide photo-alignment film.

本発明に係る偏光子の第１の実施形態の一例について示す図The figure shown about an example of 1st Embodiment of the polarizer which concerns on this invention 偏光子１０ａと光配向膜の配置関係について示す図The figure shown about the arrangement | positioning relationship between the polarizer 10a and a photo-alignment film 本発明に係る偏光子の第１の実施形態の他の例について示す図The figure shown about the other example of 1st Embodiment of the polarizer which concerns on this invention. 本発明に係る偏光子の第２の実施形態の一例について示す図The figure shown about an example of 2nd Embodiment of the polarizer which concerns on this invention 偏光子２０と光配向膜の配置関係について示す図The figure shown about the arrangement | positioning relationship of the polarizer 20 and a photo-alignment film | membrane 本発明に係る偏光子の第２の実施形態の他の例について示す図The figure shown about the other example of 2nd Embodiment of the polarizer which concerns on this invention. 本発明に係る偏光子の第３の実施形態の一例について示す図The figure shown about an example of 3rd Embodiment of the polarizer which concerns on this invention 本発明に係る偏光子の第３の実施形態の他の例について示す図The figure shown about the other example of 3rd Embodiment of the polarizer which concerns on this invention. 本発明に係る光配向装置の構成例について示す図The figure shown about the structural example of the photo-alignment apparatus which concerns on this invention 本発明に係る光配向装置の他の構成例について示す図The figure shown about the other structural example of the optical orientation apparatus which concerns on this invention 従来の偏光子について示す図Diagram showing a conventional polarizer 従来の偏光子と光配向膜の配置関係の一例について示す図The figure shown about an example of the arrangement | positioning relationship between the conventional polarizer and a photo-alignment film | membrane 従来の偏光子と光配向膜の配置関係の他の例について示す図The figure shown about the other example of the arrangement | positioning relationship of the conventional polarizer and a photo-alignment film | membrane 従来の偏光子と光配向膜の配置関係の他の例について示す図The figure shown about the other example of the arrangement | positioning relationship of the conventional polarizer and a photo-alignment film | membrane

＜偏光子＞
まず、本発明に係る偏光子について説明する。 <Polarizer>
First, the polarizer according to the present invention will be described.

（第１の実施形態）
図１は、本発明に係る偏光子の第１の実施形態の一例について示す図であり、（ａ）は、概略平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線における概略断面図である。また、図２は、光配向装置に搭載された状態における偏光子１０ａと光配向膜の配置関係について示す図である。 (First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing an example of a first embodiment of a polarizer according to the present invention, (a) is a schematic plan view, and (b) is a schematic diagram taken along line AA in (a). It is sectional drawing. Moreover, FIG. 2 is a figure which shows the arrangement | positioning relationship of the polarizer 10a and the photo-alignment film in the state mounted in the photo-alignment apparatus.

図１に示すように、偏光子１０ａは、紫外線を透過する透明基板１の上に、複数本の細線２が並列に配置された偏光領域１１を有している。なお、この偏光子１０ａにおいては、透明基板１の主面（図１（ｂ）に示すＺ方向側の面）の全領域が偏光領域１１に相当する。
そして、偏光子１０ａは、長さＬ1の辺を有する矩形の平面形態を有しており、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも長い。
なお、本明細書において、光配向膜の幅とは、光配向膜を搬送する方向に垂直な方向における光配向膜の長さを言う。 As shown in FIG. 1, the polarizer 10a has a polarizing region 11 in which a plurality of thin wires 2 are arranged in parallel on a transparent substrate 1 that transmits ultraviolet rays. In the polarizer 10a, the entire region of the main surface of the transparent substrate 1 (the surface on the Z direction side shown in FIG. 1B) corresponds to the polarization region 11.
The polarizer 10a has a rectangular planar form having a side length L 1, the length of this L 1 is longer than the width of the photo-alignment layer (L W).
In the present specification, the width of the photo-alignment film refers to the length of the photo-alignment film in a direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed.

上記のＬ1の長さとしては、透明基板１として、液晶パネル用カラーフィルタの製造に用いられる大型フォトマスク用ガラス基板を用いることで、例えば、０．５ｍ〜２．０ｍの範囲とすることができる。 The length of the above L 1, as the transparent substrate 1, by using a glass substrate for large-size photomask used for manufacturing a color liquid crystal panel filter, for example, in the range of 0.5m~2.0m Can do.

細線２の形成方法としては、液晶パネル用カラーフィルタの製造に用いられる大型フォトマスクの製造技術を適用することができる。より具体的には、大型フォトマスク用の電子線描画装置を用いて、大型フォトマスクのマスクパターンを形成する方法と同様にして、上記の大型フォトマスク用ガラス基板の上に細線２を形成することができる。   As a method for forming the thin wire 2, a manufacturing technique of a large photomask used for manufacturing a color filter for a liquid crystal panel can be applied. More specifically, the thin wire 2 is formed on the glass substrate for large photomask in the same manner as the method for forming the mask pattern of the large photomask using an electron beam drawing apparatus for large photomask. be able to.

また、細線２の形成方法としては、ナノインプリントのパターン転写技術を適用することもできる。例えば、細線２とは凹凸の向きが反転した転写パターンを有するテンプレート（版、型、モールドとも呼ぶ）を用い、ナノインプリント技術で行われているパターン転写方法と同様にして、細線２を形成することができる。   Further, as a method of forming the thin wire 2, a nanoimprint pattern transfer technique can be applied. For example, the fine line 2 is formed using a template (also called a plate, a mold, or a mold) having a transfer pattern in which the direction of the unevenness is reversed, and the fine line 2 is formed in the same manner as the pattern transfer method performed by the nanoimprint technology. Can do.

ここで、一般に、ナノインプリントに用いられるテンプレート、特に半導体用途の転写パターンを有するテンプレートの転写面積は上記の大型フォトマスク用ガラス基板の面積よりも小さい。しかしながら、細線２は偏光領域１１の全域において、一般に、同一幅、同一ピッチ、すなわち同一パターンの設計になっているため、上記の小さい転写面積のテンプレートを、上記の大型フォトマスク用ガラス基板の主面に対して相対的に平行移動させて、転写パターンを多面付けすることで、大型フォトマスク用ガラス基板の全面（主面の全領域）に細線２を形成することができる。   Here, generally, the transfer area of a template used for nanoimprinting, particularly a template having a transfer pattern for semiconductor applications, is smaller than the area of the glass substrate for a large photomask. However, since the thin wire 2 is generally designed to have the same width and the same pitch, that is, the same pattern throughout the polarizing region 11, the template having the small transfer area is used as the main substrate of the glass substrate for the large photomask. The thin wire 2 can be formed on the entire surface of the glass substrate for a large photomask (entire region of the main surface) by moving the surface relatively parallel to the surface and applying the transfer pattern in multiple faces.

偏光子１０ａは上記のような構成を有するため、より詳しくは、偏光子１０ａの偏光領域１１の長さ（Ｌ1）は光配向膜７５の幅（ＬW）よりも長いため、例えば、図２に示すように、平面視上、光配向膜７５を搬送する方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）において、光配向膜７５の全領域が偏光子１０ａの偏光領域１１内に含まれるように、偏光子１０ａと光配向膜７５を配置することができる。
すなわち、光配向膜７５への光配向に用いる偏光子は１枚で済み、図２に示すように、平面視上、光配向膜７５の上には、図１２に示したような境界部４０１は存在しない。 Since the polarizer 10a has the above-described configuration, more specifically, the length (L 1 ) of the polarization region 11 of the polarizer 10a is longer than the width (L W ) of the photo-alignment film 75. 2, the entire region of the photo-alignment film 75 is included in the polarization region 11 of the polarizer 10a in a direction (Y direction in the drawing) perpendicular to the direction in which the photo-alignment film 75 is conveyed in plan view. Further, the polarizer 10a and the photo-alignment film 75 can be disposed.
That is, only one polarizer is required for photo-alignment on the photo-alignment film 75. As shown in FIG. 2, the boundary portion 401 as shown in FIG. Does not exist.

それゆえ、本発明においては、従来のような、光配向膜の搬送方向（図中Ｘ方向）に沿って、ライン状の不良個所が生じてしまうという問題を解消することができる。   Therefore, in the present invention, it is possible to solve the conventional problem that a line-shaped defective portion is generated along the transport direction (X direction in the drawing) of the photo-alignment film.

また、光配向に用いる偏光子は１枚で済むため、複数の偏光子の向き（より詳しくは、細線の向き）を一律に合わせるという作業も生じない。それゆえ、幅広の光配向膜に、生産性良く、向きが揃った光配向を施すことができる。   In addition, since only one polarizer is used for the photo-alignment, there is no need to uniformly align the directions of a plurality of polarizers (more specifically, the direction of fine lines). Therefore, it is possible to perform photo-alignment with a uniform orientation on a wide photo-alignment film with good productivity.

また、Ｌ1の長さを、ＬWの長さに近づけることで、図１４に示すような、光配向に寄与しない無駄な部分５００が生じることを、極力抑制することもできる。 Further, by making the length of L 1 close to the length of L W , it is possible to suppress as much as possible the generation of a useless portion 500 that does not contribute to the photo-alignment as shown in FIG.

ここで、図１に示す偏光子１０ａにおいては、長さＬ1の辺の方向（図中Ｙ方向）が細線２の長手方向と平行な関係のものを例示したが、本発明においては、光配向膜に施す光配向に応じて、細線２の長手方向は、偏光子の長さＬ1の辺の方向と異なるものであってもよい。 Here, in the polarizer 10a shown in FIG. 1, although the direction of the side length L 1 (Y direction in the figure) is mentioned as parallel relationship with the longitudinal direction of the thin line 2, the present invention relates to an optical Depending on the photo-alignment applied to the alignment film, the longitudinal direction of the thin wire 2 may be different from the direction of the side of the length L 1 of the polarizer.

例えば、図３に示す偏光子１０ｂのように、偏光子１０ｂの長さＬ1の辺の方向（図中Ｙ方向）は、細線２の長手方向（図中Ｘ方向）と垂直な関係であってもよい。
なお、この偏光子１０ｂにおいても、光配向に際しては、図２に示す偏光子１０ａのように、平面視上、光配向膜７５を搬送する方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）において、光配向膜７５が偏光子１０ｂの偏光領域内に含まれるように、偏光子１０ｂと光配向膜７５を配置する。 For example, as the polarizer 10b shown in FIG. 3, the length L 1 side of the direction of the polarizer 10b (Y direction in the figure) is a a in perpendicular relationship longitudinal thin line 2 (X direction in the figure) May be.
Also in this polarizer 10b, in the optical alignment, as in the polarizer 10a shown in FIG. 2, in the direction perpendicular to the direction in which the optical alignment film 75 is transported (Y direction in the drawing) The polarizer 10b and the photo-alignment film 75 are arranged so that the alignment film 75 is included in the polarization region of the polarizer 10b.

（第２の実施形態）
図１に示す偏光子１０ａにおいては、透明基板１の主面の全領域に細線２が形成されている形態、すなわち、透明基板１の主面の全領域が偏光領域１１に相当する形態を例示したが、本発明においては、細線２が形成されている領域（偏光領域）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であっても良い。 (Second Embodiment)
In the polarizer 10 a shown in FIG. 1, an example in which the thin wires 2 are formed in the entire region of the main surface of the transparent substrate 1, that is, a mode in which the entire region of the main surface of the transparent substrate 1 corresponds to the polarization region 11 is illustrated. However, in the present invention, the region where the thin line 2 is formed (polarization region) may be a region smaller than the entire region of the main surface of the transparent substrate 1.

例えば、図４に示す偏光子２０のように、細線２が形成されている領域（偏光領域２１）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であり、偏光領域２１の外側の領域は、透明基板１が露出している形態であっても良い。
この場合、偏光子２０が光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の偏光領域２１の長さがＬ1である。そして、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも、長い。 For example, like the polarizer 20 shown in FIG. 4, the region where the thin wire 2 is formed (polarization region 21) is a region smaller than the entire region of the main surface of the transparent substrate 1, and is outside the polarization region 21. The region may have a form in which the transparent substrate 1 is exposed.
In this case, in the state where the polarizer 20 is mounted on the photo-alignment apparatus, the length of the polarization region 21 in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed is L 1 . The length of L 1 is longer than the width (L W ) of the photo-alignment film.

このような形態であれば、細線２が透明基板１の端部に存在しないため、例えば、透明基板１から所定の外形の偏光子２０を切り出す際に、細線２を切断することはなく、細線２を切断したことに起因する不具合（端部からの細線２の連鎖的な破損等）が生じることを防止できる。   In such a form, since the thin wire 2 does not exist at the end of the transparent substrate 1, for example, when the polarizer 20 having a predetermined outer shape is cut out from the transparent substrate 1, the thin wire 2 is not cut. It is possible to prevent the occurrence of a defect (such as chain breakage of the thin wire 2 from the end) caused by cutting 2.

なお、図４に示す偏光子２０を光配向装置に搭載する際には、図５に示すように、偏光領域２１の外側の透明基板１が露出している領域を、偏光子ホルダー８０等で覆って遮光することが好ましい。直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを防止するためである。   When the polarizer 20 shown in FIG. 4 is mounted on the optical alignment apparatus, as shown in FIG. 5, the region where the transparent substrate 1 outside the polarizing region 21 is exposed is exposed to the polarizer holder 80 or the like. It is preferable to cover and shield from light. This is to prevent light that is not linearly polarized from being irradiated onto the photo-alignment film.

また、偏光子２０においては、偏光領域２１の外側の領域を保持することで、細線２と偏光子ホルダー８０とが接触することを回避できる。それゆえ、細線２と偏光子ホルダー８０とが接触することに起因する不具合（接触部からの細線２の連鎖的な破損や、異物の発生等）が生じることを防止できる。   Moreover, in the polarizer 20, it can avoid that the thin wire | line 2 and the polarizer holder 80 contact by hold | maintaining the area | region outside the polarizing area | region 21. FIG. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of troubles due to the contact between the thin wire 2 and the polarizer holder 80 (chain damage of the thin wire 2 from the contact portion, generation of foreign matter, etc.).

また、本実施形態においては、透明基板１の上に、偏光領域を複数有する形態であっても良い。例えば、図６に示す偏光子３０のように、２つの偏光領域３１、３２を有する形態であっても良い。ここで、偏光子３０は、光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の偏光領域３１、３２の長さが、共にＬ1になっている。そして、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも長い。 Moreover, in this embodiment, the form which has two or more polarization regions on the transparent substrate 1 may be sufficient. For example, a configuration having two polarization regions 31 and 32 as in the polarizer 30 shown in FIG. Here, the polarizer 30, in a state of being mounted on the optical alignment device, the length of the polarization regions 31 and 32 in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed, are both in L 1. The length of L 1 is longer than the width (L W ) of the photo-alignment film.

本発明のような大面積の偏光子を用いる場合には、例えば、図５に示すように、偏光子の外周（図５に示す例においては外周の４辺）を保持するだけでは、中央部が自重によって大きく撓んでしまう変形を生じ易い。
一方、図６に示す偏光子３０のように、偏光領域を複数有する形態であれば、外周以外の細線２が形成されていない領域も、偏光子ホルダー等で保持することができ、上記のような変形を抑制できる。
例えば、図６に示す偏光子３０においては、偏光領域３１と偏光領域３２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等で保持することができる。 In the case of using a large-area polarizer as in the present invention, for example, as shown in FIG. 5, it is necessary to hold only the outer periphery of the polarizer (four sides of the outer periphery in the example shown in FIG. 5). However, it is easy to produce the deformation | transformation which bends greatly with dead weight.
On the other hand, as long as the polarizer 30 shown in FIG. 6 has a plurality of polarization regions, a region where the thin wires 2 other than the outer periphery are not formed can be held by a polarizer holder or the like. Can be suppressed.
For example, in the polarizer 30 shown in FIG. 6, the region sandwiched between the polarizing region 31 and the polarizing region 32 can also be held by a polarizer holder or the like.

また、偏光子３０においては、その外周のみならず、偏光領域３１と偏光領域３２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等に接触させることができるため、例えば、光配向に際し、偏光子３０に蓄積される熱を、偏光子ホルダー等を介して、より効果的に排除することもできる。   In the polarizer 30, not only the outer periphery thereof but also the region sandwiched between the polarizing region 31 and the polarizing region 32 can be brought into contact with the polarizer holder or the like. Heat can be more effectively removed through a polarizer holder or the like.

なお、偏光子３０においても、偏光領域３１、３２の外側の領域は、透明基板１が露出しているため、偏光子３０を光配向装置に搭載する際には、偏光領域３１、３２の外側の透明基板１が露出している領域を、偏光子ホルダー等で覆って遮光することが好ましい。直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを防止するためである。   In the polarizer 30, since the transparent substrate 1 is exposed in the regions outside the polarizing regions 31 and 32, when the polarizer 30 is mounted on the optical alignment device, the regions outside the polarizing regions 31 and 32. The region where the transparent substrate 1 is exposed is preferably covered with a polarizer holder or the like to shield the light. This is to prevent light that is not linearly polarized from being irradiated onto the photo-alignment film.

なお、図６に示す偏光子３０においては、同じ形態、同じ平面サイズの２つの偏光領域３１、３２を有する形態を例示したが、本発明においては、これに限らず、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、光配向膜の全領域が、複数の偏光領域を合わせた領域内に含まれるように偏光子と光配向膜を配置することができるものであれば良い。
例えば、図６に示す偏光子３０において、偏光領域３１、３２は、光配向膜が搬送される方向（図中Ｘ方向）の長さが異なるものであっても良い。また、３つ以上の偏光領域を有していても良い。 In addition, in the polarizer 30 shown in FIG. 6, although the form which has the two polarization areas 31 and 32 of the same form and the same plane size was illustrated, in this invention, not only this but a photo-alignment film is conveyed. It is only necessary that the polarizer and the photo-alignment film can be disposed so that the entire region of the photo-alignment film is included in the combined region of the plurality of polarization regions in the direction perpendicular to the direction of the light-emitting direction.
For example, in the polarizer 30 shown in FIG. 6, the polarizing regions 31 and 32 may have different lengths in the direction in which the photo-alignment film is conveyed (X direction in the drawing). Moreover, you may have three or more polarization areas.

（第３の実施形態）
図４、６に示す偏光子２０、３０においては、偏光領域の外側の領域は、透明基板１が露出している形態を例示したが、本発明においては、偏光領域の外側の領域には、光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていても良い。 (Third embodiment)
In the polarizers 20 and 30 shown in FIGS. 4 and 6, the region outside the polarization region is exemplified as the transparent substrate 1 is exposed. However, in the present invention, the region outside the polarization region includes A light-shielding film that shields light emitted from the light source of the photo-alignment device may be formed.

例えば、図７に示す偏光子４０のように、細線２が形成されている領域（偏光領域４１）は、透明基板１の主面の全領域よりも小さい領域であり、偏光領域４１の外側の領域には、遮光膜３が形成されている形態であっても良い。
この場合も、上記の偏光子２０と同様に、偏光子４０が光配向装置に搭載された状態において、光配向膜が搬送される方向に垂直な方向（図中Ｙ方向）の偏光領域４１の長さがＬ1である。そして、このＬ1の長さが、光配向膜の幅（ＬW）よりも、長い。 For example, like the polarizer 40 shown in FIG. 7, the region where the thin wire 2 is formed (polarization region 41) is a region smaller than the entire region of the main surface of the transparent substrate 1, and is outside the polarization region 41. In the region, the light shielding film 3 may be formed.
Also in this case, similarly to the polarizer 20 described above, in the state where the polarizer 40 is mounted on the photo-alignment apparatus, the polarization region 41 in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed (Y direction in the drawing) length is L 1. The length of L 1 is longer than the width (L W ) of the photo-alignment film.

偏光子４０においては、上記の偏光子２０が有する効果に加えて、直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを、より確実に防止することができる。
さらに、遮光膜３に細線２が接触している形態であれば、偏光子４０に照射される光によって細線２に蓄積する熱を、遮光膜３を介して偏光子ホルダーに分散させることや、帯電防止の効果を奏することもできる。 In the polarizer 40, in addition to the effect of the polarizer 20, it is possible to more reliably prevent the light that is not linearly polarized from being irradiated to the photo-alignment film.
Further, if the thin wire 2 is in contact with the light shielding film 3, the heat accumulated in the thin wire 2 by the light irradiated to the polarizer 40 can be dispersed in the polarizer holder via the light shielding film 3, An antistatic effect can also be achieved.

同様に、透明基板１の上に偏光領域を複数有する形態の場合も、その複数の偏光領域の外側の領域に、光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていても良い。
例えば、図８に示す偏光子５０のように、２つの偏光領域５１、５２を有し、この偏光領域５１、５２の外側の領域には、遮光膜３が形成されている形態であっても良い。 Similarly, in the case of a configuration having a plurality of polarizing regions on the transparent substrate 1, a light-shielding film that shields light emitted from the light source of the photo-alignment device is formed in a region outside the plurality of polarizing regions. Also good.
For example, a polarizer 50 shown in FIG. 8 has two polarization regions 51 and 52, and the light shielding film 3 is formed in a region outside the polarization regions 51 and 52. good.

この場合も、上記の偏光子４０と同様に、直線偏光されていない光が光配向膜に照射されてしまうことを、より確実に防止することができる。
また、遮光膜３に細線２が接触している形態であれば、偏光子５０に照射される光によって細線２に蓄積する熱を、遮光膜３を介して偏光子ホルダーに分散させることや、帯電防止の効果を奏することもできる。 Also in this case, similarly to the polarizer 40 described above, it is possible to more reliably prevent the light that is not linearly polarized from being irradiated to the photo-alignment film.
Further, if the thin wire 2 is in contact with the light shielding film 3, the heat accumulated in the thin wire 2 by the light irradiated to the polarizer 50 can be dispersed in the polarizer holder via the light shielding film 3, An antistatic effect can also be achieved.

さらに、偏光子５０においては、外周のみならず、偏光領域５１と偏光領域５２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等で保持することができる。それゆえ、偏光子の自重による変形を抑制できる。
また、外周のみならず、偏光領域５１と偏光領域５２に挟まれる領域も偏光子ホルダー等に接触させることができるため、例えば、光配向に際し、偏光子５０に蓄積される熱を、遮光膜３から偏光子ホルダーに移す等によって効果的に排除することもできる。 Further, in the polarizer 50, not only the outer periphery but also the region sandwiched between the polarizing region 51 and the polarizing region 52 can be held by a polarizer holder or the like. Therefore, deformation due to the weight of the polarizer can be suppressed.
Further, since not only the outer periphery but also the region sandwiched between the polarizing region 51 and the polarizing region 52 can be brought into contact with the polarizer holder or the like, for example, the heat accumulated in the polarizer 50 during the photo-alignment is transferred to the light shielding film 3. It can also be effectively eliminated by transferring it to a polarizer holder.

遮光膜３を構成する材料には、光配向装置の光源から照射される光を遮光することができるものであれば用いることができるが、細線２を構成する材料を含んでいることが好ましい。
遮光膜３を構成する材料が細線２を構成する材料を含有する場合、細線２を形成する工程で使用する装置や材料を、遮光膜３を形成する工程にも使用することができ、製造コストの削減になるからである。
さらに、細線２を形成する工程と遮光膜３を形成する工程を同一工程にすることで、細線２と遮光膜３の相対位置精度を向上させることもできる。 Any material can be used as the material constituting the light-shielding film 3 as long as it can shield the light irradiated from the light source of the photo-alignment device, but it is preferable that the material constituting the thin wire 2 is included.
In the case where the material constituting the light shielding film 3 contains the material constituting the fine wire 2, the apparatus and material used in the process of forming the fine wire 2 can be used also in the step of forming the light shielding film 3, and the manufacturing cost This is because of the reduction.
Furthermore, by making the process of forming the thin line 2 and the process of forming the light shielding film 3 the same process, the relative positional accuracy between the thin line 2 and the light shielding film 3 can be improved.

＜光配向装置＞
次に、本発明に係る光配向装置について説明する。
図９は、本発明に係る光配向装置の構成例について示す図である。
図９に示す光配向装置７０ａは、光源からの光を偏光子によって直線偏光し、この偏光された光（偏光光７４）を、ワーク７６の上に形成された光配向膜７５に照射することで、光配向膜７５に配向規制力を付与するものである。 <Optical alignment device>
Next, the photo-alignment apparatus according to the present invention will be described.
FIG. 9 is a diagram showing a configuration example of the photo-alignment apparatus according to the present invention.
9 linearly polarizes light from a light source with a polarizer, and irradiates this polarized light (polarized light 74) onto a photo-alignment film 75 formed on a work 76. The optical alignment device 70a shown in FIG. Thus, an alignment regulating force is imparted to the photo-alignment film 75.

光配向装置７０ａは、光源として紫外光ランプ７２と、光配向膜７５の上に偏光子を保持するための偏光子搭載部７１を備えている。偏光子搭載部７１には、上記の本発明に係る偏光子が搭載される。   The optical alignment device 70 a includes an ultraviolet lamp 72 as a light source and a polarizer mounting portion 71 for holding the polarizer on the optical alignment film 75. The polarizer according to the present invention is mounted on the polarizer mounting portion 71.

また、光配向装置７０ａには、光配向膜７５を形成したワーク７６を所定の方向に搬送する搬送機構（図示略）が備えられており、ワーク７６を所定の方向に搬送することにより、光配向膜７５の全領域に偏光光７４を照射することができる。例えば、図９に示す例において、ワーク７６は図中右方向（図９に示す矢印方向）に搬送される。   The optical alignment device 70a is provided with a conveyance mechanism (not shown) for conveying the workpiece 76 on which the optical alignment film 75 is formed in a predetermined direction. The entire region of the alignment film 75 can be irradiated with the polarized light 74. For example, in the example shown in FIG. 9, the workpiece 76 is conveyed in the right direction in the drawing (the arrow direction shown in FIG. 9).

ここで、本発明においては、上記搬送機構により搬送される光配向膜７５が、平面視上、光配向膜７５が搬送される方向に垂直な方向において、上記偏光子の偏光領域内に含まれるように、上記偏光子が偏光子搭載部７１に搭載されていることが好ましい。上述した、本発明に係る偏光子の効果を奏するためである。   Here, in the present invention, the photo-alignment film 75 transported by the transport mechanism is included in the polarization region of the polarizer in a direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film 75 is transported in plan view. As described above, the polarizer is preferably mounted on the polarizer mounting portion 71. This is because the above-described effect of the polarizer according to the present invention is exhibited.

なお、図９に示す例においては、ワーク７６を矩形状の平板として示しているが、本発明において、ワーク７６の形態は、偏光光７４を照射することができるものであれば特に限定されず、例えば、ワーク７６はフィルム状の形態であっても良く、また、巻取り可能なように帯状（ウェブ状）の形態であっても良い。   In the example shown in FIG. 9, the work 76 is shown as a rectangular flat plate. However, in the present invention, the form of the work 76 is not particularly limited as long as it can irradiate the polarized light 74. For example, the work 76 may be in the form of a film, or may be in the form of a strip (web) so that it can be wound.

また、紫外光ランプ７２からの光を効率良く偏光子に照射するために、光配向装置７０ａは、紫外光ランプ７２の背面側や側面側に紫外光を反射する反射鏡７３を有していることが好ましい。   In addition, in order to efficiently irradiate the polarizer with light from the ultraviolet lamp 72, the photo-alignment device 70a has a reflecting mirror 73 that reflects the ultraviolet light on the back side or side surface side of the ultraviolet lamp 72. It is preferable.

また、大面積の光配向膜７５に対して効率良く配向規制力を付与するためには、図９に示すように、紫外光ランプ７２に棒状のランプを用いて、光配向膜７５の搬送方向（図９における矢印方向）に対して垂直な方向に長い照射領域となる偏光光７４が照射されるように、光配向装置７０ａを構成することが好ましい。   Further, in order to efficiently apply the alignment regulating force to the large-area photo-alignment film 75, a rod-shaped lamp is used as the ultraviolet lamp 72 as shown in FIG. It is preferable to configure the photo-alignment device 70a so that the polarized light 74 that is a long irradiation region in a direction perpendicular to (the arrow direction in FIG. 9) is irradiated.

また、本発明に係る光配向装置は、複数個の紫外光ランプを備える構成であっても良い。
例えば、図１０に示す光配向装置７０ｂは、２個の紫外光ランプ７２を備えており、２個の紫外光ランプ７２と光配向膜７５の間に、偏光子搭載部７１が備えられている。また、各紫外光ランプ７２には、それぞれ反射鏡７３が備えられている。 Moreover, the structure provided with a some ultraviolet light lamp may be sufficient as the photo-alignment apparatus based on this invention.
For example, the optical alignment device 70 b shown in FIG. 10 includes two ultraviolet light lamps 72, and a polarizer mounting portion 71 is provided between the two ultraviolet light lamps 72 and the optical alignment film 75. . Each ultraviolet lamp 72 is provided with a reflecting mirror 73.

このように、紫外光ランプ７２を複数個備えることにより、紫外光ランプ７２を１個備える場合よりも、ワーク７６の上に形成された光配向膜７５に照射する偏光光７４の照射量を増加させることができる。それゆえ、紫外光ランプ７２を１個備える場合よりも、ワーク７６の搬送速度を大きくすることができ、その結果、生産性を向上させることができる。   As described above, by providing a plurality of ultraviolet lamps 72, the irradiation amount of the polarized light 74 applied to the photo-alignment film 75 formed on the work 76 is increased as compared with the case of providing one ultraviolet lamp 72. Can be made. Therefore, the conveyance speed of the workpiece 76 can be increased as compared with the case where one ultraviolet lamp 72 is provided, and as a result, productivity can be improved.

なお、図９、１０に示す例においては、光源として棒状の紫外光ランプ７２を例示したが、本発明においては、これに限らず、例えば、紫外光を照射するＬＥＤを平面上に配列した面状発光体を用いても良い。面状発光体の照射面積と本発明に係る偏光子の面積とを合わせることで、より効率的に光配向を施すことができる。   In the example shown in FIGS. 9 and 10, the rod-shaped ultraviolet light lamp 72 is exemplified as the light source. However, in the present invention, the present invention is not limited to this, for example, a surface in which LEDs for irradiating ultraviolet light are arranged on a plane. A light emitter may be used. By aligning the irradiation area of the planar light emitter and the area of the polarizer according to the present invention, photo-alignment can be performed more efficiently.

＜光配向方法＞
次に、本発明に係る光配向方法について説明する。
本発明に係る光配向方法は、上記の本発明に係る偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、平面視上、光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、光配向膜が上記偏光子の偏光領域内に含まれるように、偏光子と光配向膜を配置するものである。
本発明に係る光配向方法は、例えば、図９に示す光配向装置７０ａに、上記の本発明に係る偏光子を搭載することによって、実施することができる。そして、上述した、本発明に係る偏光子の効果を奏することができる。 <Photo alignment method>
Next, the photo-alignment method according to the present invention will be described.
The photo-alignment method according to the present invention is a photo-alignment method that irradiates the polarized light linearly polarized by the polarizer according to the present invention and imparts an alignment regulating force to the photo-alignment film. The polarizer and the photo-alignment film are arranged so that the photo-alignment film is included in the polarization region of the polarizer in a direction perpendicular to the direction in which the alignment film is conveyed.
The photo-alignment method according to the present invention can be implemented, for example, by mounting the above-described polarizer according to the present invention on the photo-alignment apparatus 70a shown in FIG. And the effect of the polarizer which concerns on this invention mentioned above can be show | played.

以上、本発明に係る偏光子、光配向装置、および光配向方法について、それぞれの実施形態を説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一の構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなる場合であっても本発明の技術的範囲に包含される。   As mentioned above, although each embodiment was described about the polarizer which concerns on this invention, a photo-alignment apparatus, and a photo-alignment method, this invention is not limited to the said embodiment. The above-described embodiment is an exemplification, and the present invention has substantially the same configuration as the technical idea described in the claims of the present invention and exhibits the same function and effect regardless of the case. Are included in the technical scope.

１、１０１ 透明基板
２、１０２ 細線
３ 遮光膜
１０ａ、１０ｂ、２０、３０、５０、１００ 偏光子
１１、２１、３１、３２、４１、５１、５２ 偏光領域
７０ａ、７０ｂ 光配向装置
７１ 偏光子搭載部
７２ 紫外光ランプ
７３ 反射鏡
７４ 偏光光
７５、２００ 光配向膜
７６ ワーク
８０、３００、３０１ 偏光子ホルダー
４０１、４０２、４０３ 境界部
５００ 無駄な部分 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,101 Transparent substrate 2,102 Thin wire 3 Light-shielding film 10a, 10b, 20, 30, 50, 100 Polarizer 11, 21, 31, 32, 41, 51, 52 Polarizing region 70a, 70b Optical orientation device 71 Polarizer mounting Part 72 Ultraviolet lamp 73 Reflector 74 Polarized light 75, 200 Photo-alignment film 76 Work 80, 300, 301 Polarizer holder 401, 402, 403 Boundary part 500 Wasted part

Claims (6)

光配向装置に搭載され、前記光配向装置において搬送される光配向膜に、前記光配向装置の光源から照射される光を直線偏光した偏光光を照射する偏光子であって、
透明基板の上に、複数本の細線が並列に配置された偏光領域を有し、
前記光配向装置に搭載された状態において、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記偏光領域の長さが、
前記光配向装置において前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向の、前記光配向膜の長さよりも、長いことを特徴とする偏光子。 A polarizer that irradiates a polarized light that is linearly polarized with light emitted from a light source of the photo-alignment device onto a photo-alignment film that is mounted on the photo-alignment device and conveyed in the photo-alignment device,
On a transparent substrate, it has a polarization region in which a plurality of fine wires are arranged in parallel,
In the state mounted on the photo-alignment apparatus, the length of the polarizing region in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed is
The polarizer characterized by being longer than the length of the photo-alignment film in the direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed in the photo-alignment apparatus. 前記透明基板の上に、前記偏光領域を複数有することを特徴とする請求項１に記載の偏光子。   The polarizer according to claim 1, wherein a plurality of the polarizing regions are provided on the transparent substrate. 前記透明基板の上の前記偏光領域の外側の領域に、
前記光配向装置の光源から照射される光を遮光する遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の偏光子。 In a region outside the polarizing region on the transparent substrate,
The polarizer according to claim 1, wherein a light-shielding film that shields light irradiated from a light source of the photo-alignment device is formed. 光源からの光を偏光子によって直線偏光して光配向膜に照射する光配向装置であって、
前記偏光子を搭載する偏光子搭載部と、
前記光配向膜を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記偏光子搭載部に、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子を備え、
前記偏光子によって直線偏光された偏光光を、前記光配向膜に照射することを特徴とする光配向装置。 A photo-alignment device that linearly polarizes light from a light source with a polarizer and irradiates the photo-alignment film,
A polarizer mounting portion on which the polarizer is mounted;
A transport mechanism for transporting the photo-alignment film;
With
The polarizer according to claim 1, wherein the polarizer mounting portion includes the polarizer according to claim 1.
A photo-alignment apparatus that irradiates the photo-alignment film with polarized light linearly polarized by the polarizer. 前記搬送機構により搬送される前記光配向膜が、
平面視上、前記光配向膜が搬送される方向に垂直な方向において、
前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、
前記偏光子が前記偏光子搭載部に搭載されていることを特徴とする請求項４に記載の光配向装置。 The photo-alignment film transported by the transport mechanism is
In a direction perpendicular to the direction in which the photo-alignment film is conveyed in plan view,
As included in the polarization region of the polarizer,
The optical alignment apparatus according to claim 4, wherein the polarizer is mounted on the polarizer mounting portion. 請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の偏光子によって直線偏光した偏光光を照射して、光配向膜に配向規制力を付与する光配向方法であって、
平面視上、前記光配向膜を搬送する方向に垂直な方向において、
前記光配向膜が前記偏光子の前記偏光領域内に含まれるように、
前記偏光子と前記光配向膜を配置することを特徴とする光配向方法。 A photo-alignment method of irradiating polarized light linearly polarized by the polarizer according to any one of claims 1 to 3 to impart an alignment regulating force to the photo-alignment film,
In a direction perpendicular to the direction of transporting the photo-alignment film in plan view,
So that the photo-alignment film is included in the polarizing region of the polarizer,
A photo-alignment method comprising arranging the polarizer and the photo-alignment film.
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