JP2006322738A - ダンパ - Google Patents

Abstract

【課題】 耐薬品性を有し、高圧環境下で使用できるとともに圧力脈動を除去することができるダンパを提供する。
【解決手段】 流体が流入、流出する流体室２３と、流体室２３の少なくとも一面を構成するダイヤフラム７１と、ダイヤフラム７１を介して流体室２３と液密に隣接する隔室５３と、を有し、ダイヤフラム７１が、耐薬品性を有する第１の膜７３と、耐圧性を有する第２の膜７５と、から構成されていることを特徴とする。
【選択図】 図３

Description

本発明は、ダンパに関する。

液クロマトグラフィに用いられる送液ポンプとして、ピストンやシリンダ等を備えた往復運動機構の送液ポンプが用いられることがある。この送液ポンプにおいては、ピストンの往復運動による吐出流液の圧力脈動が発生することが知られている。

上述の圧力脈動は、送液される液クロマトグラフィにとっても好ましいものではないため、圧力脈動を除去するダンパを送液ポンプと液クロマトグラフィとの間に配置することが一般的に行なわれている。
また、ポンプより後流側で発生する圧力脈動以外にも、他の要因で発生するウォーターハンマを軽減するためにダンパを配置することが行なわれている。
上述のダンパとしては、さまざまな形式のものが提案されており、例えばダイヤフラムを用いたダンパなどが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平６−１８６２１６号公報

上述の特許文献１には、送液流路の一部をダイヤフラムの片側面で構成し、その他面側にはオイルを封入した隔室と、隔壁に連通したシリンダを有するダンパが開示されている。シリンダ内にはピストンとコイルバネとが配置され、これらピストン及びコイルバネの働きで圧力脈動を除去することができた。
このようなダイヤフラムは一般に、圧力脈動に対する追従性を確保し、圧力脈動の除去性を確保するため、所定の膜厚以下に形成されていた。
しかしながら、ダイヤフラムの膜厚を薄くすると、その膜厚に応じて強度が低下する。そのため、高圧環境下において、ダイヤフラム式のダンパを用いるとダイヤフラムが破れる恐れがあり、高圧環境下でダイヤフラム式のダンパを使用できないという問題があった。
一方、高圧環境下でダイヤフラム式のダンパを使用できるようにすると、ダイヤフラムの膜厚が厚くすることになる。すると、ダイヤフラムの圧力脈動に対する追従性が悪化し、圧力脈動の除去性能が低下するという問題があった。

特に、腐食性を有する流体や、高純度が求められる流体の圧力脈動を除去するダンパにおいては、耐薬品性を有する材料から形成されたダイヤフラムを使用する必要がある。しかしながら、一般に、耐薬品性を有する材料は高い強度を備えていないため、高圧環境下で使用するためにはダイヤフラムの膜厚を厚くする必要があった。

上述のダイヤフラム式のダンパの他にも、ベローズを用いたダンパなども提案されている。しかし、ベローズ式のダンパは、高圧環境下で用いると、ベローズの側面（いわゆる蛇腹部分）が高圧により破れる恐れがあり、高圧環境下でベローズ式のダンパを使用できないという問題があった。

本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、耐薬品性を有し、高圧環境下で使用できるとともに圧力脈動を除去することができるダンパを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。
本発明のダンパは、流体が流入、流出する流体室と、該流体室の少なくとも一面を構成するダイヤフラムと、該ダイヤフラムを介して前記流体室と液密に隣接する隔室と、を有し、前記ダイヤフラムが、耐薬品性を有する第１の膜と、耐圧性を有する第２の膜と、から構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、ダイヤフラムが耐薬品性を有する第１の膜と、耐圧性を有する第２の膜とから構成されているため、高圧流体の圧力脈動を除去することができる。
つまり、耐薬品性を有する第１の膜をダイヤフラムの接液面に用いることで、ダイヤフラムに耐薬品性を与えることができる。耐圧性を有する第２の膜をダイヤフラムに用いることで、ダイヤフラムの耐圧性を向上できるとともに、第１の膜の伸びによる膜薄化を抑制できる。
ダイヤフラムを第１の膜と第２の膜とから構成することで、耐薬品性を有する膜のみでダイヤフラムを構成する場合と比較して、ダイヤフラムの膜厚を薄くできる。ダイヤフラムの膜厚を薄くできることにより、ダンパの圧力脈動除去性能の向上が図れる。

上記発明においては、前記ダイヤフラムには、複数の前記第１の膜が備えられていることが望ましい。
本発明によれば、ダイヤフラムが複数の第１の膜を備えることにより、１枚の第１の膜を備えた場合と比較して、第１の膜の１枚あたりの膜厚を薄くでき、ダイヤフラムの圧力脈動の追従性を向上できる。
また、第１の膜を複数枚とすることで、第１の膜が１枚の場合と比較して、ガス透過をより確実に防ぐことができる。さらに、１枚の第１の膜が破れても、残りの第１の膜が破れていないため、ダイヤフラムの耐薬品性を維持できる。

上記発明においては、前記流体室における前記ダイヤフラムの変形方向長さが、前記ダイヤフラムの変形距離よりも長いことが望ましい。
本発明によれば、流体室のダイヤフラム変形方向長さが、ダイヤフラムの変形距離よりも長いため、ダイヤフラムが変形した場合においても流体室に所定容積が残る。流体室に所定容量が残るため、所定容量が残らない場合と比較して、流体の圧力脈動除去性を向上できる。

上記発明においては、前記流体室における前記ダイヤフラムと対向する対向面に、前記流体が流入、流出する孔が設けられ、前記対向面における前記孔の設けられた近傍領域に前記ダイヤフラムの変形を規制する規制部が設けられていることが望ましい。

本発明によれば、流体が流入、流出する孔が形成されている近傍領域に規制部が設けられているため、ダイヤフラムは規制部により変形が規制され、孔がダイヤフラムにより塞がれることを防止できる。そのため、流体室への流体の流入、流出が阻害されることを防止でき、流体の圧力脈動除去性が低下することを防止できる。

上記発明においては、前記流体室に前記流体を流入させる流入路が設けられ、該流入路には、折れ曲がり部が形成されていることが望ましい。
本発明によれば、流体室に流体を流入させる流入路に折れ曲がり部が形成されているため、ダイヤフラムにかかる流入流体の動圧を小さくでき、ダイヤフラムの膜厚を薄くできる。
つまり、流入路内を流れる流体は、折れ曲がり部において流入路の内壁と衝突し、流体の動圧は一度静圧に変換される。その後、流体は流体室に流入するため、折れ曲がり部を経ないで流体室に流入した場合と比較して、流入流体の有する動圧を小さくできる。

上記発明においては、前記ダイヤフラムを間に介して結合させることにより、その内部に前記流体室を構成する第１の筐体と、その内部に前記隔室を構成する第２の筐体を有し、前記第１の筐体および前記第２の筐体の結合面には、それぞれ前記流体室および前記隔室の相対位置を定める位置合わせ凸部および位置合わせ凹部と、前記結合面から前記流体の流出を防止するエッジ凸部およびエッジ凹部と、が記流体室および前記隔室を囲うように設けられていることが望ましい。

本発明によれば、位置合わせ凸部と位置合わせ凹部とを嵌め合わせることにより流体室および隔室の相対位置を定めることができるとともに、エッジ凸部およびエッジ凹部の相対位置を定めることができる。そのため、エッジ凸部およびエッジ凹部を確実に嵌め合わせることができ、結合面から流体が流出することを確実に防止できる。

上記発明においては、前記第１の筐体が耐薬品性を有する樹脂から形成されるとともに、前記第２の筐体が金属から形成され、
前記前記第２の筐体の結合面における外周部には、前記第１の筐体に向けて突出する外周凸部が設けられ、前記第１の筐体における前記外周凸部と対向する領域には、前記凸部と嵌め合わされる外周凹部が設けられていることが望ましい。

本発明によれば、金属からなる第２の筐体の結合面における外周部に設けられた外周凸部が、樹脂からなる第１の筐体に設けられた外周凹部と嵌め合わされているため、第２の筐体の外周凸部が、高圧流体による第１の筐体の変形を防止できる。

上記発明においては、前記第１の膜が樹脂からなることが望ましい。
上記発明においては、前記第２の膜が弾性材料からなることが望ましい。

本発明によれば、樹脂からなる第１の膜を用いることにより、ダイヤフラムに耐薬品性を与えることができる。
弾性材料からなる第２の膜を用いることにより、ダイヤフラムに耐圧性を与えるとともに、圧力脈動に対する追従性を損なうことがない。

本発明のダンパによれば、耐薬品性を有する第１の膜をダイヤフラムの接液面に用いることで、ダンパに耐薬品性を与えることができるという効果を奏する。
耐圧性を有する第２の膜をダイヤフラムに用いることで、ダイヤフラムの耐圧性を向上させることができ、高圧環境下でダンパを使用できるという効果を奏する。
ダイヤフラムを第１の膜と第２の膜とから構成することで、耐薬品性を有する膜のみでダイヤフラムを構成する場合と比較して、ダイヤフラムの膜厚を薄くでき、ダンパの圧力脈動除去性能の向上が図れるという効果を奏する。

この発明の一実施形態に係るダンパについて、図１から図３を参照して説明する。
図１は、本発明に係るダンパの一実施形態を説明する概略図である。
ダンパ１は、図１に示すように、流体を昇圧するポンプ３とカラム５との間に配置されている。ポンプ３により昇圧された流体を導くチューブ９が、ナット１９（図２参照）によりダンパ１に接続されている。ダンパ１とカラム５との間には、ダンパ１により圧力脈動が除去された流体をカラム５に導くチューブ７が、ナット１９（図２参照）によりダンパ１に接続されている。
なお、流体は液体であってもよいし、気体であってもよく、特に限定するものではない。

図２は、図１のダンパの構成を説明する概略図である。
ダンパ１は、図２に示すように、樹脂から形成された樹脂ボディ（第１の筐体）１１と、金属から形成された金属ボディ（第２の筐体）１３と、ベース１５と、から概略構成されている。
ダンパ１は、ベース１５、樹脂ボディ１１、金属ボディ１３の順に積み重ねられ、ボルト１７により一体化されている。
樹脂ボディ１１を形成する樹脂としては、ＰＥＥＫ（登録商標）樹脂が強度、耐薬品性などの観点から好ましいが、強度、耐薬品性を備えた樹脂であればよく、特に限定するものではない。金属ボディ１３を形成する金属としてはステンレス鋼（例えば、ＳＵＳ３０４）を例示でき、特に限定するものではない。

図３は、図２のダンパの要部を説明する部分拡大図である。
樹脂ボディ１１には、図２および図３に示すように、２つの継ぎ手１９が側面（図２中の左右の面）に略水平（図２中の左右方向）に取り付けられ、継ぎ手１９には接続チューブ７，９が取り付けられている。継ぎ手１９は樹脂ボディ１１と同様にＰＥＥＫ樹脂から形成され、樹脂ボディ１１に対してねじ込むことにより取り付けられている。接続チューブ７，９は、外径が約１．６ｍｍ（１／１６インチ）、内径が約０．５ｍｍの流路である。

樹脂ボディ１１における金属ボディ１３と結合する樹脂結合面２１には、中心から外方に向かって、腐食性を有する薬品を含む流体が供給される流体室２３と、樹脂ボディ１１と金属ボディ１３との相対位置を定める位置合わせ凹部２５と、流体の漏洩を防止するエッジ凸部２７と、樹脂ボディ１１の変形を防止する外周凹部２９と、が形成されている。

流体室２３は、樹脂結合面２１に形成された有底円筒状の穴とダイヤフラム７１とから構成されている。流体室２３におけるダイヤフラム７１と対向する対向面３１には、その中央部が一段深くなる段差部（規制部）３３が形成されている。対向面３１の一段深くなった領域には、流体が流体室２３に流入する流入口（孔）３５および流出する流出口（孔）３７が形成されている。

樹脂ボディ１１の内部には、上述の接続チューブ７と流出口３７、および、接続チューブ９と流入口３５との間で流体を流通させる内部流路（流入路）３９が形成されている。内部流路３９には、接続チューブ７，９と略同方向に配置された部分と、流体室２３方向に向かう部分とを接続する折れ曲がり部４１が形成されている。

位置合わせ凹部２５は、流体室２３と隣接するとともに流体室２３を囲うように形成されている。位置合わせ凹部２５の平面部には、断面が略三角の突起であるエッジ凸部２７が流体室２３を囲うように形成されている。
外周凹部２９は、樹脂結合面２１の外周部に、後述する外周凸部５９と嵌め合わされるように形成されている。

金属ボディ１３における樹脂ボディ１１と結合する金属結合面５１には、中心が外方に向かって、エア室（隔室）５３と、樹脂ボディ１１と金属ボディ１３との相対位置を定める位置合わせ凸部５５と、流体の漏洩を防止するエッジ凹部５７と、樹脂ボディ１１の変形を防止する外周凸部５９と、が形成されている。

エア室５３は、金属結合面５１に形成された有底円筒状の穴とダイヤフラム７１とから構成され、その内部には所定圧力の空気が密閉されている。エア室５３におけるダイヤフラム７１と対向する面には連通孔６１が形成され、連通孔６１を介して、めくら栓６３により蓋をされた連通室６５と繋がっている。

なお、エア室５３は、その内に密封された空気の圧力を調整可能に構成されている。エア室５３内に密封された空気の圧力は、流体の圧力脈動の除去の際にダイヤフラム１７に求められる弾性力に基づいて定められる。ダイヤフラム１７の弾性力は、上記空気の圧力と、流体の圧力との差圧に基づいて変化するからである。

例えば、エア室５３の密閉圧力よりも流体圧力が低い、または、密閉圧力と流体圧力とがつり合った状態であれば、めくら栓６３により蓋をされた連通室６５のみで圧力脈動除去ができる。一方、エア室５３の密閉圧力よりも流体圧力が高い状態では、連通室６５にマニュアルレギュレータや電空レギュレータが接続される。これらレギュレータを接続することにより、エア室５３の密閉圧力を通常（めくら栓６３で蓋をした状態）よりも高い状態とすることができ、高圧流体の圧力脈動の除去が可能となる。また、流体圧力によって、エア室５３の密閉圧力を変更することができる。
ダンパ１に供給される流体圧力が複数何種類かある場合には、電空レギュレータを使用することにより、流体圧力が変更されても容易に対応することができる。さらには、ダンパ１の下流側に圧力センサを配置して流出した流体の圧力を検知し、その検知した流体圧力に基づいて電空レギュレータを制御することもできる。

位置合わせ凸部５５は、上述の位置合わせ凹部２５と嵌め合わされるように形成されている。位置合わせ凸部５５の平面部には、上述のエッジ凸部２７と嵌め合わされるエッジ凹部５７が形成されている。エッジ凹部５７は、その断面が略三角の凹みとなるように形成されている。
外周凸部５９は、金属結合面５１の外周部に、後述する外周凹部２９と嵌め合わされるように形成されている。

ダイヤフラム７１は、流体室２３側からエア室５３側に向けて、２枚の樹脂膜（第１の膜）７３、１枚の弾性膜（第２の膜）７５、１枚の樹脂膜７３が積層された、直径が約２３ｍｍの膜として形成されている。ダイヤフラム７１は、上述したエッジ凸部２７とエッジ凹部５７とが形成された位置まで覆うように配置されている。
樹脂膜７３は、ＰＦＡ（パーフルオロアルコキシルアルカン）から形成された厚さが約０．０５ｍｍの膜として形成されている。弾性膜７５は、ＦＫＭ（フッ素ゴム）から形成された厚さが約１ｍｍの膜として形成されている。
エア室５３側に樹脂膜７３と１枚配置したことにより、ダイヤフラム７１をエッジ凸部２７とエッジ凹部５７との間に挟んだ際に、弾性膜７５が破れることを防止できる。

次に、上記の構成からなるダンパ１における作用について説明する。
ポンプ３により昇圧された高圧の流体は、接続チューブ９、継ぎ手１９を介して、内部流路３９に流入する。継ぎ手１９から内部流路３９に流入した流体は、折れ曲がり部４１において内部流路３９の内壁に衝突し、その動圧が一度静圧に変換される。その後、流体は内部流路３９から流入口３５を通って流体室２３に流入する。

流体室２３とエア室５３との間に配置されたダイヤフラム７１は、流体室２３内の流体圧力とエア室５３内の空気圧力との差圧により、流体室２３側またはエア室５３側へと変形する。そのため、流体室２３に流入した流体の圧力変動は、ダイヤフラム７１の変形による流体室２３の容積変化により緩和される。

流体室２３におけるダイヤフラム７１の変形方向の長さ（図３中の上下方向の長さ）は、ダイヤフラム７１の変形距離よりも長く形成されているため、ダイヤフラム７１が変形した場合においても流体室２３に所定容積が残る。
また、ダイヤフラム７１が変形した際に、段差部３３とダイヤフラム７１とが接触し、ダイヤフラム７１の変形が規制される。そのため、ダイヤフラム７１は流入口３５、流出口３７塞ぐまで変形しない。

上述のようにダイヤフラム７１の変形により、圧力変動が緩和された流体は流出口３７から内部流路３９、継ぎ手１９を介して接続チューブ７に戻り、カラム５へ流れる。

上記の構成によれば、ダイヤフラム７１が耐薬品性を有する樹脂膜７３と、耐圧性を有する弾性膜７５とから構成されているため、高圧流体の圧力脈動を除去することができる。
つまり、耐薬品性を有する樹脂膜７３で弾性膜７５を覆うことにより、ダイヤフラム７１に耐薬品性を与えることができる。耐圧性を有する弾性膜７５をダイヤフラム７１に用いることで、ダイヤフラム７１の耐圧性を向上できるとともに、樹脂膜７３の伸びを抑制できる。
ダイヤフラム７１を樹脂膜７３と弾性膜７５とから構成することで、耐薬品性を有する膜のみでダイヤフラム７１を構成する場合と比較して、ダイヤフラム７１の膜厚を薄くできる。ダイヤフラム７１の膜厚を薄くできることにより、ダンパ１の圧力脈動除去性能の向上が図れる。

ダイヤフラム７１が２枚の樹脂膜７３を流体との接液面に備えることにより、１枚の樹脂膜７３を備えた場合と比較して、樹脂膜７３の１枚あたりの膜厚を薄くでき、ダイヤフラム７１の圧力脈動の追従性を向上できる。そのため、ダンパ１の圧力脈動除去性能の向上が図れる。
また、樹脂膜７３を複数枚とすることで、樹脂膜７３が１枚の場合と比較して、ガス透過をより確実に防ぐことができる。さらに、１枚の樹脂膜７３が破れても、残りの樹脂膜７３が破れていないため、ダイヤフラム７１の耐薬品性を維持できるとともにガス透過を防止できる。

流体室２３のダイヤフラム変形方向長さが、ダイヤフラム７１の変形距離よりも長いため、ダイヤフラム７１が変形した場合においても流体室２３に所定容積を残すことができる。流体室２３に所定容量が残るため、所定容量が残らない場合と比較して、流体の圧力脈動除去性を向上できる。

対向面３１における流入口３５および流出口３７が形成されている近傍領域に段差部３３が設けられているため、ダイヤフラム７１は段差部３３により変形が規制され、流入口３５および流出口３７がダイヤフラム７１により塞がれることを防止できる。そのため、流体室２３への流体の流入、流出が阻害されることを防止でき、流体の圧力脈動除去性が悪化することを防止できる。

流体室２３に流体を流入させる内部流路３９に折れ曲がり部４１が形成されているため、ダイヤフラム７１にかかる流入流体の動圧を小さくでき、ダイヤフラム７１の膜厚を薄くできる。
つまり、内部流路３９内を流れる流体は、折れ曲がり部４１において内部流路３９の内壁と衝突し、流体の動圧は一度静圧に変換される。その後、流体は流体室２３に流入するため、折れ曲がり部４１を経ないで流体室に流入した場合と比較して、流入流体の有する動圧を小さくでき、ダイヤフラム７１に要求される強度を小さくできる。

位置合わせ凸部５５と位置合わせ凹部２５とを嵌め合わせることにより、エッジ凸部２７およびエッジ凹部５７の相対位置を定めることができるため、エッジ凸部２７およびエッジ凹部５７を確実に嵌め合わせることができる。そのため、エッジ凸部２７およびエッジ凹部５７において確実にシールでき、結合面２１，５１から流体が流出することを確実に防止できる。

金属結合面５１における外周部に設けられた外周凸部５９が、樹脂ボディ１１に設けられた外周凹部２９と嵌め合わされているため、外周凸部５９が樹脂ボディ１１の膨張を防止できる。つまり、流体室２３に満たされた高圧流体により、樹脂ボディ１１が外方に押し広げられ膨張するのを外周凸部５９により抑えることができ、ダンパ１の高圧対応が可能となる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、この発明を液クロマトグラフィにおけるダンパに適用して説明したが、この発明は液クロマトグラフィ用のダンパに限られることなく、その他各種の高圧液体に圧力脈動が発生する装置に適用できるものである。

樹脂ボディ１１を金属製の金属ボディ１３とベース１５とで挟み、ボルト１７で締め付けているため、締め付け力を向上できる。そのため、ダンパ１の高圧対応を可能とし、品質安定性を向上できる。

弾性膜７５を備えること、内部流路３９に折れ曲がり部４１を形成すること、位置合わせ凸部５５と位置合わせ凹部２５との嵌め合わせによりエッジ凸部２７およびエッジ凹部５７のシール性を向上すること、外周凸部５９と外周凹部２９とを嵌め合わせることにより、ダンパ１の高圧対応性を向上でき、例えば、５ＭＰａから８ＭＰａの高圧流体の圧力脈動の除去を行うことができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、上記の実施の形態においては、エア室５３内には所定圧力の空気が密封されているダンパに適用して説明したが、エア室５３内に空気が密封されているものに限られることなく、エア室５３内にゲルを封入したり、スプリングなどの弾性体を配置したりしたもの等、その他各種のダンパに適用することができるものである。

本発明に係るダンパの一実施形態を説明する概略図である。 図１のダンパの構成を説明する概略図である。 図２のダンパの要部を説明する部分拡大図である。

符号の説明

１ ダンパ
１１ 樹脂ボディ（第１の筐体）
１３ 金属ボディ（第２の筐体）
２１ 樹脂結合面
２３ 流体室
２５ 位置合わせ凹部
２７ エッジ凸部
２９ 外周凹部
３３ 段差部（規制部）
３５ 流入口（孔）
３７ 流出口（孔）
３９ 内部流路（流入路）
４１ 折れ曲がり部
５１ 金属結合面
５３ エア室（隔室）
５５ 位置合わせ凸部
５７ エッジ凹部
５９ 外周凸部
７３ 樹脂膜（第１の膜）
７５ 弾性膜（第２の膜）

Claims (9)

1. 流体が流入、流出する流体室と、
   該流体室の少なくとも一面を構成するダイヤフラムと、
   該ダイヤフラムを介して前記流体室と液密に隣接する隔室と、を有し、
   前記ダイヤフラムが、耐薬品性を有する第１の膜と、耐圧性を有する第２の膜と、から構成されていることを特徴とするダンパ。
2. 前記ダイヤフラムには、複数の前記第１の膜が備えられていることを特徴とする請求項１記載のダンパ。
3. 前記流体室における前記ダイヤフラムの変形方向長さが、前記ダイヤフラムの変形距離よりも長いことを特徴とする請求項１または２に記載のダンパ。
4. 前記流体室における前記ダイヤフラムと対向する対向面に、前記流体が流入、流出する孔が設けられ、
   前記対向面における前記孔の設けられた近傍領域に前記ダイヤフラムの変形を規制する規制部が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のダンパ。
5. 前記流体室に前記流体を流入させる流入路が設けられ、
   該流入路には、折れ曲がり部が形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載のダンパ。
6. 前記ダイヤフラムを間に介して結合させることにより、その内部に前記流体室を構成する第１の筐体と、その内部に前記隔室を構成する第２の筐体を有し、
   前記第１の筐体および前記第２の筐体の結合面には、それぞれ前記流体室および前記隔室の相対位置を定める位置合わせ凸部および位置合わせ凹部と、前記結合面から前記流体の流出を防止するエッジ凸部およびエッジ凹部と、が前記流体室および前記隔室を囲うように設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載のダンパ。
7. 前記第１の筐体が耐薬品性を有する樹脂から形成されるとともに、前記第２の筐体が金属から形成され、
   前記前記第２の筐体の結合面における外周部には、前記第１の筐体に向けて突出する外周凸部が設けられ、前記第１の筐体における前記外周凸部と対向する領域には、前記凸部と嵌め合わされる外周凹部が設けられていることを特徴とする請求項６記載のダンパ。
8. 前記第１の膜が、樹脂からなることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のダンパ。
9. 前記第２の膜が、弾性材料からなることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のダンパ。

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