WO2006123642A1

WO2006123642A1 - ダンパ

Info

Publication number: WO2006123642A1
Application number: PCT/JP2006/309716
Authority: WO
Inventors: Masahiro Hasunuma
Original assignee: Surpass Industry Co., Ltd.
Priority date: 2005-05-17
Filing date: 2006-05-16
Publication date: 2006-11-23
Also published as: EP1887353A1; EP1887353A4; JP2006322738A; US20080210324A1; KR20080010408A; KR101260739B1

Abstract

　耐薬品性を有し、高圧環境下で使用できるとともに圧力脈動を除去することができるダンパを提供する。流体が流入、流出する流体室（２３）と、流体室（２３）の少なくとも一面を構成するダイヤフラム（７１）と、ダイヤフラム（７１）を介して流体室（２３）と液密に隣接する隔室（５３）と、を有し、ダイヤフラム（７１）が、耐薬品性を有する第１の膜（７３）と、耐圧性を有する第２の膜（７５）と、から構成されていることを特徴とする。

Description

明細書

ダンパ

技術分野

[0001] 本発明は、ダンバに関する。

背景技術

[0002] 液クロマトグラフィに用いられる送液ポンプとして、ピストンゃシリンダ等を備えた往復運動機構の送液ポンプが用いられることがある。この送液ポンプにおいては、ビストンの往復運動による吐出流液の圧力脈動が発生することが知られている。

[0003] 上述の圧力脈動は、送液される液クロマトグラフィにとっても好ましいものではないため、圧力脈動を除去するダンパを送液ポンプと液クロマトグラフィとの間に配置することが一般的に行なわれている。

また、ポンプより後流側で発生する圧力脈動以外にも、他の要因で発生するウォーターハンマを軽減するためにダンパを配置することが行なわれて、る。

上述のダンバとしては、さまざまな形式のものが提案されており、例えばダイヤフラムを用いたダンバなどが提案されている (例えば、特許文献 1参照。 ) o

特許文献 1 :特開平 6— 186216号公報

発明の開示

[0004] 上述の特許文献 1には、送液流路の一部をダイヤフラムの片側面で構成し、その他面側にはオイルを封入した隔室と、隔壁に連通したシリンダを有するダンバが開示されている。シリンダ内にはピストンとコイルパネとが配置され、これらピストン及びコィルバネの働きで圧力脈動を除去することができた。

このようなダイヤフラムは一般に、圧力脈動に対する追従性を確保し、圧力脈動の除去性を確保するため、所定の膜厚以下に形成されていた。

し力しながら、ダイヤフラムの膜厚を薄くすると、その膜厚に応じて強度が低下する。そのため、高圧環境下において、ダイヤフラム式のダンパを用いるとダイヤフラムが破れる恐れがあり、高圧環境下でダイヤフラム式のダンバを使用できないという問題かあつた。一方、高圧環境下でダイヤフラム式のダンバを使用できるようにすると、ダイヤフラムの膜厚が厚くすることになる。すると、ダイヤフラムの圧力脈動に対する追従性が悪化し、圧力脈動の除去性能が低下するという問題があった。

[0005] 特に、腐食性を有する流体や、高純度が求められる流体の圧力脈動を除去するダンパにおヽては、耐薬品性を有する材料カゝら形成されたダイヤフラムを使用する必要がある。し力しながら、一般に、耐薬品性を有する材料は高い強度を備えていないため、高圧環境下で使用するためにはダイヤフラムの膜厚を厚くする必要があった。

[0006] 上述のダイヤフラム式のダンバの他にも、ベローズを用いたダンバなども提案されている。し力し、ベローズ式のダンパは、高圧環境下で用いると、ベローズの側面（いわゆる蛇腹部分）が高圧により破れる恐れがあり、高圧環境下でベローズ式のダンバを使用できな、と、う問題があった。

[0007] 本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであって、耐薬品性を有し、高圧環境下で使用できるとともに圧力脈動を除去することができるダンバを提供することを目的とする。

[0008] 上記目的を達成するために、本発明は、以下の手段を提供する。

本発明のダンパは、流体が流入、流出する流体室と、該流体室の少なくとも一面を構成するダイヤフラムと、該ダイヤフラムを介して前記流体室と液密に隣接する隔室と、を有し、前記ダイヤフラムが、耐薬品性を有する第 1の膜と、耐圧性を有する第 2 の膜と、力構成されていることを特徴とする。

[0009] 本発明によれば、ダイヤフラムが耐薬品性を有する第 1の膜と、耐圧性を有する第 2 の膜とから構成されているため、高圧流体の圧力脈動を除去することができる。

つまり、耐薬品性を有する第 1の膜をダイヤフラムの接液面に用いることで、ダイヤフラムに耐薬品性を与えることができる。耐圧性を有する第 2の膜をダイヤフラムに用いることで、ダイヤフラムの耐圧性を向上できるとともに、第 1の膜の伸びによる膜薄化を抑制できる。

ダイヤフラムを第 1の膜と第 2の膜とから構成することで、耐薬品性を有する膜のみでダイヤフラムを構成する場合と比較して、ダイヤフラムの膜厚を薄くできる。ダイヤフラムの膜厚を薄くできることにより、ダンバの圧力脈動除去性能の向上が図れる。 [0010] 上記発明においては、前記ダイヤフラムには、複数の前記第 1の膜が備えられていることが望ましい。

このようにすることにより、ダイヤフラムが複数の第 1の膜を備えることにより、 1枚の第 1の膜を備えた場合と比較して、第 1の膜の 1枚あたりの膜厚を薄くでき、ダイヤフラムの圧力脈動の追従性を向上できる。

また、第 1の膜を複数枚とすることで、第 1の膜が 1枚の場合と比較して、ガス透過をより確実に防ぐことができる。さらに、 1枚の第 1の膜が破れても、残りの第 1の膜が破れて、な!/、ため、ダイヤフラムの耐薬品性を維持できる。

[0011] 上記発明においては、前記流体室における前記ダイヤフラムの変形方向長さが、前記ダイヤフラムの変形距離よりも長、ことが望ま U、。

このようにすることにより、流体室のダイヤフラム変形方向長さ力ダイヤフラムの変形距離よりも長いため、ダイヤフラムが変形した場合においても流体室に所定容積が残る。流体室に所定容量が残るため、所定容量が残らない場合と比較して、流体の圧力脈動除去性を向上できる。

[0012] 上記発明においては、前記流体室における前記ダイヤフラムと対向する対向面に、前記流体が流入、流出する孔が設けられ、前記対向面における前記孔の設けられた近傍領域に前記ダイヤフラムの変形を規制する規制部が設けられていることが望ましい。

[0013] このようにすることにより、流体が流入、流出する孔が形成されている近傍領域に規制部が設けられているため、ダイヤフラムは規制部により変形が規制され、孔がダイャフラムにより塞がれることを防止できる。そのため、流体室への流体の流入、流出が阻害されることを防止でき、流体の圧力脈動除去性が低下することを防止できる。

[0014] 上記発明においては、前記流体室に前記流体を流入させる流入路が設けられ、該流入路には、折れ曲がり部が形成されてヽることが望ま U、。

このようにすることにより、流体室に流体を流入させる流入路に折れ曲がり部が形成されているため、ダイヤフラムにかかる流入流体の動圧を小さくでき、ダイヤフラムの膜厚を薄くできる。

つまり、流入路内を流れる流体は、折れ曲がり部において流入路の内壁と衝突し、流体の動圧は一度静圧に変換される。その後、流体は流体室に流入するため、折れ曲がり部を経な、で流体室に流入した場合と比較して、流入流体の有する動圧を小さくでさる。

[0015] 上記発明においては、前記ダイヤフラムを間に介して結合させることにより、その内部に前記流体室を構成する第 1の筐体と、その内部に前記隔室を構成する第 2の筐体を有し、前記第 1の筐体および前記第 2の筐体の結合面には、それぞれ前記流体室および前記隔室の相対位置を定める位置合わせ凸部および位置合わせ凹部と、前記結合面から前記流体の流出を防止するエッジ凸部およびエッジ凹部と、が記流体室および前記隔室を囲うように設けられて、る構成が望ま、。

[0016] このようにすることにより、位置合わせ凸部と位置合わせ凹部とを嵌め合わせることにより流体室および隔室の相対位置を定めることができるとともに、エッジ凸部およびエッジ凹部の相対位置を定めることができる。そのため、エッジ凸部およびエッジ凹部を確実に嵌め合わせることができ、結合面力も流体が流出することを確実に防止できる。

[0017] 上記構成においては、前記第 1の筐体が耐薬品性を有する榭脂から形成されるとともに、前記第 2の筐体が金属から形成され、前記前記第 2の筐体の結合面における外周部には、前記第 1の筐体に向けて突出する外周凸部が設けられ、前記第 1の筐体における前記外周凸部と対向する領域には、前記凸部と嵌め合わされる外周凹部が設けられて、ることが望まし、。

[0018] このようにすることにより、金属力なる第 2の筐体の結合面における外周部に設けられた外周凸部が、榭脂からなる第 1の筐体に設けられた外周凹部と嵌め合わされているため、第 2の筐体の外周凸部が、高圧流体による第 1の筐体の変形を防止できる。

[0019] 上記発明においては、前記第 1の膜が樹脂からなることが望ましい。

上記発明にお、ては、前記第 2の膜が弾性材料力もなることが望ま、。

[0020] このようにすることにより、榭脂からなる第 1の膜を用いることにより、ダイヤフラムに耐薬品性を与えることができる。

弾性材料力もなる第 2の膜を用いることにより、ダイヤフラムに耐圧性を与えるとともに、圧力脈動に対する追従性を損なうことがない。

[0021] 本発明のダンバによれば、耐薬品性を有する第 1の膜をダイヤフラムの接液面に用いることで、ダンバに耐薬品性を与えることができるという効果を奏する。

耐圧性を有する第 2の膜をダイヤフラムに用いることで、ダイヤフラムの耐圧性を向上させることができ、高圧環境下でダンバを使用できるという効果を奏する。

ダイヤフラムを第 1の膜と第 2の膜とから構成することで、耐薬品性を有する膜のみでダイヤフラムを構成する場合と比較して、ダイヤフラムの膜厚を薄くでき、ダンバの圧力脈動除去性能の向上が図れるという効果を奏する。

図面の簡単な説明

[0022] [図 1]本発明に係るダンバの一実施形態を説明する概略図である。

[図 2]図 1のダンバの構成を説明する概略図である。

[図 3]図 2のダンバの要部を説明する部分拡大図である。

発明を実施するための最良の形態

[0023] この発明の一実施形態に係るダンバについて、図 1から図 3を参照して説明する。

図 1は、本発明に係るダンバの一実施形態を説明する概略図である。

ダンバ 1は、図 1に示すように、流体を昇圧するポンプ 3とカラム 5との間に配置されている。ポンプ 3により昇圧された流体を導くチューブ 9が、ナット 19 (図 2参照）によりダンバ 1に接続されている。ダンバ 1とカラム 5との間には、ダンバ 1により圧力脈動が除去された流体をカラム 5に導くチューブ 7が、ナット 19 (図 2参照）によりダンバ 1に接続されている。

なお、流体は液体であってもよいし、気体であってもよぐ特に限定するものではない。

[0024] 図 2は、図 1のダンバの構成を説明する概略図である。

ダンバ 1は、図 2に示すように、榭脂から形成された榭脂ボディ (第 1の筐体） 11と、金属から形成された金属ボディ (第 2の筐体） 13と、ベース 15と、カゝら概略構成されている。

ダンバ 1は、ベース 15、榭脂ボディ 11、金属ボディ 13の順に積み重ねられ、ボルト 17により一体ィ匕されている。榭脂ボディ 11を形成する榭脂としては、 PEEK (登録商標)榭脂が強度、耐薬品性などの観点力好ましいが、強度、耐薬品性を備えた榭脂であればよぐ特に限定するものではない。金属ボディ 13を形成する金属としてはステンレス鋼（例えば、 SUS3 04)を例示でき、特に限定するものではない。

[0025] 図 3は、図 2のダンバの要部を説明する部分拡大図である。

榭脂ボディ 11には、図 2および図 3に示すように、 2つの継ぎ手 19が側面（図 2中の左右の面）に略水平（図 2中の左右方向）に取り付けられ、継ぎ手 19には接続チューブ 7, 9が取り付けられている。継ぎ手 19は榭脂ボディ 11と同様に PEEK榭脂から形成され、榭脂ボディ 11に対してねじ込むことにより取り付けられている。接続チューブ 7, 9は、外径が約 1. 6mm(lZl6インチ）、内径が約 0. 5mmの流路である。

[0026] 榭脂ボディ 11における金属ボディ 13と結合する榭脂結合面 21には、中心力も外方に向かって、腐食性を有する薬品を含む流体が供給される流体室 23と、榭脂ボディ 11と金属ボディ 13との相対位置を定める位置合わせ凹部 25と、流体の漏洩を防止するエッジ凸部 27と、榭脂ボディ 11の変形を防止する外周凹部 29と、が形成されている。

[0027] 流体室 23は、榭脂結合面 21に形成された有底円筒状の穴とダイヤフラム 71とから構成されている。流体室 23におけるダイヤフラム 71と対向する対向面 31には、その中央部が一段深くなる段差部 (規制部） 33が形成されている。対向面 31の一段深くなった領域には、流体が流体室 23に流入する流入口（孔） 35および流出する流出口（孔） 37が形成されている。

[0028] 榭脂ボディ 11の内部には、上述の接続チューブ 7と流出口 37、および、接続チューブ 9と流入口 35との間で流体を流通させる内部流路 (流入路） 39が形成されている。内部流路 39には、接続チューブ 7, 9と略同方向に配置された部分と、流体室 23 方向に向力部分とを接続する折れ曲がり部 41が形成されている。

[0029] 位置合わせ凹部 25は、流体室 23と隣接するとともに流体室 23を囲うように形成されている。位置合わせ凹部 25の平面部には、断面が略三角の突起であるエッジ凸部 27が流体室 23を囲うように形成されて!、る。

外周凹部 29は、榭脂結合面 21の外周部に、後述する外周凸部 59と嵌め合わされるように形成されている。

[0030] 金属ボディ 13における榭脂ボディ 11と結合する金属結合面 51には、中心が外方に向かって、エア室（隔室） 53と、榭脂ボディ 11と金属ボディ 13との相対位置を定める位置合わせ凸部 55と、流体の漏洩を防止するエッジ凹部 57と、榭脂ボディ 11の変形を防止する外周凸部 59と、が形成されている。

[0031] エア室 53は、金属結合面 51に形成された有底円筒状の穴とダイヤフラム 71とから構成され、その内部には所定圧力の空気が密閉されている。エア室 53におけるダイャフラム 71と対向する面には連通孔 61が形成され、連通孔 61を介して、めくら栓 63 により蓋をされた連通室 65と繋がって、る。

[0032] なお、エア室 53は、その内に密封された空気の圧力を調整可能に構成されている。エア室 53内に密封された空気の圧力は、流体の圧力脈動の除去の際にダイヤフラム 17に求められる弾性力に基づいて定められる。ダイヤフラム 17の弾性力は、上記空気の圧力と、流体の圧力との差圧に基づいて変化する力もである。

[0033] 例えば、エア室 53の密閉圧力よりも流体圧力が低い、または、密閉圧力と流体圧力とがつり合った状態であれば、めくら栓 63により蓋をされた連通室 65のみで圧力脈動除去ができる。一方、エア室 53の密閉圧力よりも流体圧力が高い状態では、連通室 65にマ-ユアルレギュレータゃ電空レギユレータが接続される。これらレギユレータを接続することにより、エア室 53の密閉圧力を通常（めくら栓 63で蓋をした状態）よりも高い状態とすることができ、高圧流体の圧力脈動の除去が可能となる。また、流体圧力によって、エア室 53の密閉圧力を変更することができる。

ダンバ 1に供給される流体圧力が複数何種類かある場合には、電空レギユレータを使用することにより、流体圧力が変更されても容易に対応することができる。さらには、ダンバ 1の下流側に圧力センサを配置して流出した流体の圧力を検知し、その検知した流体圧力に基づ!/、て電空レギユレータを制御することもできる。

[0034] 位置合わせ凸部 55は、上述の位置合わせ凹部 25と嵌め合わされるように形成されている。位置合わせ凸部 55の平面部には、上述のエッジ凸部 27と嵌め合わされるェッジ凹部 57が形成されている。エッジ凹部 57は、その断面が略三角の凹みとなるように形成されている。外周凸部 59は、金属結合面 51の外周部に、後述する外周凹部 29と嵌め合わされるように形成されている。

[0035] ダイヤフラム 71は、流体室 23側力もエア室 53側に向けて、 2枚の榭脂膜 (第 1の膜 ) 73、 1枚の弾性膜 (第 2の膜) 75、 1枚の榭脂膜 73が積層された、直径が約 23mm の膜として形成されている。ダイヤフラム 71は、上述したエッジ凸部 27とエッジ凹部 5 7とが形成された位置まで覆うように配置されてヽる。

榭脂膜 73は、 PFA (パーフルォロアルコキシルアルカン）から形成された厚さが約 0 . 05mmの膜として形成されている。弾性膜 75は、 FKM (フッ素ゴム）力も形成された厚さが約 lmmの膜として形成されている。

エア室 53側に榭脂膜 73と 1枚配置したことにより、ダイヤフラム 71をエッジ凸部 27 とエッジ凹部 57との間に挟んだ際に、弾性膜 75が破れることを防止できる。

[0036] 次に、上記の構成力もなるダンバ 1における作用について説明する。

ポンプ 3により昇圧された高圧の流体は、接続チューブ 9、継ぎ手 19を介して、内部流路 39に流入する。継ぎ手 19から内部流路 39に流入した流体は、折れ曲がり部 41 において内部流路 39の内壁に衝突し、その動圧が一度静圧に変換される。その後、流体は内部流路 39から流入口 35を通って流体室 23に流入する。

[0037] 流体室 23とエア室 53との間に配置されたダイヤフラム 71は、流体室 23内の流体圧力とエア室 53内の空気圧力との差圧により、流体室 23側またはエア室 53側へと変形する。そのため、流体室 23に流入した流体の圧力変動は、ダイヤフラム 71の変形による流体室 23の容積変化により緩和される。

[0038] 流体室 23におけるダイヤフラム 71の変形方向の長さ（図 3中の上下方向の長さ）は、ダイヤフラム 71の変形距離よりも長く形成されているため、ダイヤフラム 71が変形した場合においても流体室 23に所定容積が残る。

また、ダイヤフラム 71が変形した際に、段差部 33とダイヤフラム 71とが接触し、ダイャフラム 71の変形が規制される。そのため、ダイヤフラム 71は流入口 35、流出口 37 塞ぐまで変形しない。

[0039] 上述のようにダイヤフラム 71の変形により、圧力変動が緩和された流体は流出口 3 7から内部流路 39、継ぎ手 19を介して接続チューブ 7に戻り、カラム 5へ流れる。 [0040] 上記の構成によれば、ダイヤフラム 71が耐薬品性を有する榭脂膜 73と、耐圧性を有する弾性膜 75とから構成されているため、高圧流体の圧力脈動を除去することができる。

つまり、耐薬品性を有する榭脂膜 73で弾性膜 75を覆うことにより、ダイヤフラム 71 に耐薬品性を与えることができる。耐圧性を有する弾性膜 75をダイヤフラム 71に用いることで、ダイヤフラム 71の耐圧性を向上できるとともに、榭脂膜 73の伸びを抑制できる。

ダイヤフラム 71を榭脂膜 73と弾性膜 75とから構成することで、耐薬品性を有する膜のみでダイヤフラム 71を構成する場合と比較して、ダイヤフラム 71の膜厚を薄くできる。ダイヤフラム 71の膜厚を薄くできることにより、ダンバ 1の圧力脈動除去性能の向上が図れる。

[0041] ダイヤフラム 71が 2枚の榭脂膜 73を流体との接液面に備えることにより、 1枚の榭脂膜 73を備えた場合と比較して、榭脂膜 73の 1枚あたりの膜厚を薄くでき、ダイヤフラム 71の圧力脈動の追従性を向上できる。そのため、ダンバ 1の圧力脈動除去性能の向上が図れる。

また、榭脂膜 73を複数枚とすることで、榭脂膜 73が 1枚の場合と比較して、ガス透過をより確実に防ぐことができる。さらに、 1枚の榭脂膜 73が破れても、残りの榭脂膜 73が破れていないため、ダイヤフラム 71の耐薬品性を維持できるとともにガス透過を防止できる。

[0042] 流体室 23のダイヤフラム変形方向長さが、ダイヤフラム 71の変形距離よりも長いため、ダイヤフラム 71が変形した場合においても流体室 23に所定容積を残すことができる。流体室 23に所定容量が残るため、所定容量が残らない場合と比較して、流体の圧力脈動除去性を向上できる。

[0043] 対向面 31における流入口 35および流出口 37が形成されている近傍領域に段差部 33が設けられているため、ダイヤフラム 71は段差部 33により変形が規制され、流入口 35および流出口 37がダイヤフラム 71により塞がれることを防止できる。そのため、流体室 23への流体の流入、流出が阻害されることを防止でき、流体の圧力脈動除去性が悪ィ匕することを防止できる。 [0044] 流体室 23に流体を流入させる内部流路 39に折れ曲がり部 41が形成されて!、るため、ダイヤフラム 71にかかる流入流体の動圧を小さくでき、ダイヤフラム 71の膜厚を薄くできる。

つまり、内部流路 39内を流れる流体は、折れ曲がり部 41において内部流路 39の内壁と衝突し、流体の動圧は一度静圧に変換される。その後、流体は流体室 23に流入するため、折れ曲がり部 41を経ないで流体室に流入した場合と比較して、流入流体の有する動圧を小さくでき、ダイヤフラム 71に要求される強度を小さくできる。

[0045] 位置合わせ凸部 55と位置合わせ凹部 25とを嵌め合わせることにより、エッジ凸部 2 7およびエッジ凹部 57の相対位置を定めることができるため、エッジ凸部 27およびェッジ凹部 57を確実に嵌め合わせることができる。そのため、エッジ凸部 27およびエツジ凹部 57において確実にシールでき、結合面 21, 51から流体が流出することを確実に防止できる。

[0046] 金属結合面 51における外周部に設けられた外周凸部 59が、榭脂ボディ 11に設けられた外周凹部 29と嵌め合わされているため、外周凸部 59が榭脂ボディ 11の膨張を防止できる。つまり、流体室 23に満たされた高圧流体により、榭脂ボディ 11が外方に押し広げられ膨張するのを外周凸部 59により抑えることができ、ダンバ 1の高圧対応が可能となる。

[0047] なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しな、範囲にぉ、て種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記の実施の形態においては、この発明を液クロマトグラフィにおけるダンパに適用して説明した力この発明は液クロマトグラフィ用のダンバに限られることなぐその他各種の高圧液体に圧力脈動が発生する装置に適用できるものである。

[0048] 榭脂ボディ 11を金属製の金属ボディ 13とベース 15とで挟み、ボルト 17で締め付けているため、締め付け力を向上できる。そのため、ダンバ 1の高圧対応を可能とし、品質安定性を向上できる。

[0049] 弾性膜 75を備えること、内部流路 39に折れ曲がり部 41を形成すること、位置合わせ凸部 55と位置合わせ凹部 25との嵌め合わせによりエッジ凸部 27およびエッジ凹部 57のシール性を向上すること、外周凸部 59と外周凹部 29とを嵌め合わせることにより、ダンバ 1の高圧対応性を向上でき、例えば、 5MPaから 8MPaの高圧流体の圧力脈動の除去を行うことができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施形態に限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しな、範囲にぉ、て種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記の実施の形態においては、エア室 53内には所定圧力の空気が密封されているダンバに適用して説明した力エア室 53内に空気が密封されているものに限られることなぐエア室 53内にゲルを封入したり、スプリングなどの弾性体を配置したりしたもの等、その他各種のダンバに適用することができるものである。

Claims

請求の範囲

[1] 流体が流入、流出する流体室と、

該流体室の少なくとも一面を構成するダイヤフラムと、

該ダイヤフラムを介して前記流体室と液密に隣接する隔室と、を有し、前記ダイヤフラムが、耐薬品性を有する第 1の膜と、耐圧性を有する第 2の膜と、から構成されて、ることを特徴とするダンバ。

[2] 前記ダイヤフラムには、複数の前記第 1の膜が備えられていることを特徴とする請求項 1記載のダンバ。

[3] 前記流体室における前記ダイヤフラムの変形方向長さが、前記ダイヤフラムの変形距離よりも長いことを特徴とする請求項 1または 2に記載のダンバ。

[4] 前記流体室における前記ダイヤフラムと対向する対向面に、前記流体が流入、流出する孔が設けられ、

前記対向面における前記孔の設けられた近傍領域に前記ダイヤフラムの変形を規制する規制部が設けられて、ることを特徴とする請求項 1から 3の、ずれかに記載のダンバ。

[5] 前記流体室に前記流体を流入させる流入路が設けられ、

該流入路には、折れ曲がり部が形成されていることを特徴とする請求項 1から 4のいずれかに記載のダンバ。

[6] 前記ダイヤフラムを間に介して結合させることにより、その内部に前記流体室を構成する第 1の筐体と、その内部に前記隔室を構成する第 2の筐体を有し、

前記第 1の筐体および前記第 2の筐体の結合面には、それぞれ前記流体室および前記隔室の相対位置を定める位置合わせ凸部および位置合わせ凹部と、前記結合面から前記流体の流出を防止するエッジ凸部およびエッジ凹部と、が前記流体室および前記隔室を囲うように設けられていることを特徴とする請求項 1から 5のいずれかに記載のダンバ。

[7] 前記第 1の筐体が耐薬品性を有する榭脂から形成されるとともに、前記第 2の筐体が金属から形成され、

前記前記第 2の筐体の結合面における外周部には、前記第 1の筐体に向けて突出する外周凸部が設けられ、前記第 1の筐体における前記外周凸部と対向する領域には、前記凸部と嵌め合わされる外周凹部が設けられていることを特徴とする請求項 6 記載のダンバ。

[8] 前記第 1の膜が、榭脂からなることを特徴とする請求項 1から 7のいずれかに記載のダンバ。

[9] 前記第 2の膜が、弾性材料力なることを特徴とする請求項 1から 8のいずれかに記載のダンパ。