JP2006319091A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上に界面層として該半導体基板に接するシリコン酸窒化膜を形成する工程と、前記シリコン酸窒化膜上にゲート絶縁膜として前記シリコン酸窒化膜に接するハフニウムシリケート膜を形成し、前記シリコン酸窒化膜と前記ハフニウムシリケート膜との接触面において互いの構成元素を相互拡散させて前記シリコン酸窒化膜の膜厚を薄膜化する工程と、前記ハフニウムシリケート膜上にゲート電極を形成する工程と、を含む。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる半導体装置の構成を示す断面図である。まず、半導体装置の構成について説明する。この半導体装置は、半導体基板上にMOS FET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)が形成されており、半導体基板であるシリコン基板1の表層に、各トランジスタ素子を分離するための素子分離用絶縁膜21と、該素子分離用絶縁膜21間の領域であってトランジスタ素子が形成される能動領域にチャネル領域を規定するように互いに距離を隔ててソース・ドレイン領域11が形成されている。
21 素子分離用絶縁膜
31 界面層
35 反応層
35a 反応層
41 ゲート絶縁膜
41a ハフニウムシリケート膜
51 ゲート電極
51a ポリシリコン膜
61 サイドウォール
Claims (3)
- 半導体基板上に界面層として該半導体基板に接するシリコン酸窒化膜を形成する工程と、
前記シリコン酸窒化膜上にゲート絶縁膜として前記シリコン酸窒化膜に接するハフニウムシリケート膜を形成し、前記シリコン酸窒化膜と前記ハフニウムシリケート膜との接触面において互いの構成元素を相互拡散させて前記シリコン酸窒化膜の膜厚を薄膜化する工程と、
前記ハフニウムシリケート膜上にゲート電極を形成する工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記ハフニウムシリケート膜の膜中ハフニウム濃度を56at%以下とすること
を特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記薄膜化後の前記シリコン酸窒化膜の膜厚を1nm以下とすること
を特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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