JP2006314869A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2006314869A5
JP2006314869A5 JP2005137558A JP2005137558A JP2006314869A5 JP 2006314869 A5 JP2006314869 A5 JP 2006314869A5 JP 2005137558 A JP2005137558 A JP 2005137558A JP 2005137558 A JP2005137558 A JP 2005137558A JP 2006314869 A5 JP2006314869 A5 JP 2006314869A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exhaust gas
abatement system
line
semiconductor process
solid absorbent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005137558A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2006314869A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2005137558A priority Critical patent/JP2006314869A/ja
Priority claimed from JP2005137558A external-priority patent/JP2006314869A/ja
Publication of JP2006314869A publication Critical patent/JP2006314869A/ja
Publication of JP2006314869A5 publication Critical patent/JP2006314869A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2005137558A 2005-05-10 2005-05-10 半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステム Pending JP2006314869A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005137558A JP2006314869A (ja) 2005-05-10 2005-05-10 半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005137558A JP2006314869A (ja) 2005-05-10 2005-05-10 半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006314869A JP2006314869A (ja) 2006-11-24
JP2006314869A5 true JP2006314869A5 (enExample) 2008-01-31

Family

ID=37536003

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005137558A Pending JP2006314869A (ja) 2005-05-10 2005-05-10 半導体プロセスチャンバからの排ガスを除害するためのシステム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006314869A (enExample)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5221842B2 (ja) * 2005-05-30 2013-06-26 大陽日酸株式会社 排ガス処理方法
JPWO2008068917A1 (ja) * 2006-12-01 2010-03-18 カンケンテクノ株式会社 半導体製造排ガスの除害装置
JP2010161150A (ja) * 2009-01-07 2010-07-22 Shimadzu Corp ガス排気ライン切り換え機構およびガス排気ライン切り換え方法
US9240308B2 (en) * 2014-03-06 2016-01-19 Applied Materials, Inc. Hall effect enhanced capacitively coupled plasma source, an abatement system, and vacuum processing system
DE102014105294A1 (de) * 2014-04-14 2015-10-15 Aixtron Se Vorrichtung und Verfahren zur Abgasreinigung an einem CVD-Reaktor
JP2017088916A (ja) * 2015-11-04 2017-05-25 株式会社神戸製鋼所 シリコン原料を用いる成膜装置
JP6224859B1 (ja) * 2016-11-04 2017-11-01 日本エア・リキード株式会社 不純物除去装置およびその不純物除去装置を備えるリサイクルガス回収精製システム
GB2564399A (en) * 2017-07-06 2019-01-16 Edwards Ltd Improvements in or relating to pumping line arrangements
CN108389788B (zh) * 2018-04-25 2023-08-25 长鑫存储技术有限公司 扩散炉管设备及处理废气的方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2774108B2 (ja) * 1988-08-24 1998-07-09 株式会社荏原製作所 排ガス除害装置
JPH11267443A (ja) * 1998-03-23 1999-10-05 Central Glass Co Ltd 乾式ガスの除害処理装置および除害方法
JP4549563B2 (ja) * 2001-03-22 2010-09-22 三菱電機株式会社 ハロゲン含有ガスの処理装置
JP3855158B2 (ja) * 2002-04-18 2006-12-06 株式会社日立製作所 プラズマ式pfc分解システムおよびpfc分解方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2007208042A5 (enExample)
JP2006314869A5 (enExample)
CA2631309A1 (en) Method and system for treating polluted gases
TW200631647A (en) Processing method of exhaust gas and processing apparatus of exhaust gas
TWI628358B (zh) 真空泵送及減量系統及沖洗一真空泵送及減量系統之一真空泵送配置之方法
CN108486804A (zh) 一种有废气净化功能的印染干燥设备
CN214319579U (zh) 一种化工有机废气净化装置
CN204365111U (zh) 一种低温等离子体除异味装置
CN208177205U (zh) 一种等离子净化废气装置
JP2007000733A5 (enExample)
JP2010537811A (ja) 電子デバイス製造装置の排出物に対し除害処理を施すための方法及び装置
CN212791008U (zh) 一种移动式活性炭再生装置
JP2000140576A (ja) フッ素系ガス含有混合物の無害化処理システム
CN205995199U (zh) 一种用于染料废气的处理装置
CN213314084U (zh) 一种处理更彻底的废气处理装置
CN107427760A (zh) 用于从气体流中分离二氧化碳的设备和方法
KR20150094535A (ko) 보조진공수단이 구비된 스크러버
JP2000197807A (ja) 排気ガス処理装置
JP5780966B2 (ja) 膜ベース型圧縮空気呼吸システム
JP3617575B2 (ja) 真空排気システム
CN108031248A (zh) 一种基于传感器的废气处理装置
CN221656249U (zh) 一种橡胶助剂生产用废气净化装置
CN221933532U (zh) 一种化工品加工用的废气处理装置
CN104437038A (zh) 一种动物无害化处理中的废气的处理工艺
CN222400912U (zh) 废气处理设备