JP2006310832A - 静電チャック - Google Patents
静電チャック Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006310832A JP2006310832A JP2006097928A JP2006097928A JP2006310832A JP 2006310832 A JP2006310832 A JP 2006310832A JP 2006097928 A JP2006097928 A JP 2006097928A JP 2006097928 A JP2006097928 A JP 2006097928A JP 2006310832 A JP2006310832 A JP 2006310832A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating element
- ceramic body
- electrostatic chuck
- projection region
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】発熱体19は、アルミベース9の貫通孔33のセラミック体7側の投影領域Tを避けるように配置されている。詳しくは、発熱体19は、円形の投影領域Tよりも径方向に1mm以上広い領域(大投影領域DT)内を避けるように配置されている。また、発熱体19は、投影領域Tの上下方向では、左右方向に直線状に伸びているが、投影領域Tの左右方向では、投影領域Tの近傍にて左右対称に(投影領域T側を凸にして)略U字状に曲がって、投影領域Tと重ならないように配置されている。
【選択図】 図3
Description
(3)請求項3の発明は、貫通孔を有する金属ベースに対して、前記貫通孔を覆うようにして一体化されるセラミック体を備えるとともに、前記セラミック体の内部に、吸着用電極と発熱体とを配置した静電チャックにおいて、前記金属ベースの貫通孔を前記セラミック体側に投影した投影領域を避けて、前記発熱体を配置したことを特徴とする。
(4)請求項4の発明は、前記発熱体を線状に形成する場合に、前記投影領域の近傍にて、前記発熱体を略U字状に形成するとともに、前記略U字の凸側を前記投影領域側にしたことを特徴とする。
本発明では、発熱体は、投影領域から十分に離れて配置されているので、セラミック体の温度分布を確実に均一化することができる。
本発明は、セラミック体と金属ベースとが接合等によって一体化された静電チャックを示している。
本発明は、セラミック体の好ましい材質を例示したものである。尚、アルミナ以外には、窒化アルミニウム、イットリア等を採用できる。
また、セラミック体7の内部には、チャック面3側に、主としてタングステンからなる一対の吸着用電極(静電電極:内部電極)15、17が配置されており、アルミベース9側に、主としてタングステンからなる線状の発熱体19が配置されている。尚、発熱体19は、(配置された平面の)全面をほぼ均一に覆うように、渦巻き状に形成されている(図4参照)。
詳しくは、発熱体19は、円形の投影領域Tよりも径方向に1mm以上広い領域(大投影領域DT)内を避けるように配置されている。
(1)原料としては、主成分であるアルミナ粉末:92重量%に、MgO:1重量%、CaO:1重量%、SiO2:6重量%を混合して、ボールミルで、50〜80時間湿式粉砕した後、脱水乾燥する。
この第1〜第5アルミナグリーンシート51〜59には、冷却用ガス流路25を形成するための貫通孔61〜69をそれぞれ6箇所に開ける。また、第3〜第5アルミナグリーンシート55〜59には、内部電極15、17用の凹部29、31を形成するための貫通孔75〜79をそれぞれ2箇所に開ける。更に、第5アルミナグリーンシート59には、発熱体19用の凹部27、28を形成するための貫通孔81を2箇所に開ける。
(5)そして、第2アルミナグリーンシート53上に、前記メタライズインクを用いて、通常のスクリーン印刷法により、両内部電極15、17用の(図の斜線で示す)導電パターン71、73を印刷する。
尚、内部電極15、17及び発熱体19に関しては、ビア45、46、48により各アルミナグリーンシート53、57の裏面に引き出し、必要に応じて導電パターンと接続して、各凹部27〜31に露出するようにする。
(9)次に、カットしたシートを、還元雰囲気にて、1400〜1600℃にて焼成する。この焼成より、寸法が約20%小さくなるため、焼成後のセラミック体7の厚みは、約4mmとなる。
(11)次に、凹部27〜31に露出する導電パターンやビアにメタライズ層41、51、53を形成し、このメタライズ層41、51、53にニッケルメッキを施す。
(13)一方、上述したセラミック体7の製造工程とは別に、アルミベース9を周知の製造工程にて製造し、前記所定の寸法形状(円盤形状)に加工する。
d)次に、本実施例の効果について説明する。
図6に示す様に、本実施例の静電チャック101は、基本的に前記実施例1と同様な構成であるが、冷却用ガス流路103の形状が異なる。
更に、前記冷却用ガス流路103のうち、セラミック体105を厚み方向に貫く流路109は、セラミック体105を貫く貫通孔121と(その貫通孔121より径が大きく)アルミベース123を貫く貫通孔125とから構成されている。
尚、図7に示す様に、セラミック体131内部で冷却用ガス流路133が曲がって、冷却用ガス流路133が静電チャック135を厚み方向に(直線状に)貫いていない場合も、同様に、アルミベース137の貫通孔139の上方(セラミック体131側)への投影領域を避けるように、発熱体141が配置される。
本実施例の静電チャック150は、図8に示す様に、アルミベース151の貫通孔153に対応する投影領域T(又は大投影領域DT)を避けるように、発熱体155を配置する。
図9に示す様に、本実施例の静電チャック161は、基本的に前記実施例1と同様な構成であるが、発熱体163の形成位置が異なる。
尚、本発明は前記実施例になんら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
(2)また、アルミベースに冷媒を流すトンネルを設けたが、それとは別に(又はそれとともに)温媒を流すトンネルを設けてもよい。
3…チャック面
5…半導体ウェハ
7、105、131、157、165…セラミック体
9、123、137、151…金属ベース(アルミベース)
15、17、117、119…内部電極
19、115、141、155、156、163…発熱体
27、28、29、31…凹部
24、26、33、35、37、34、61、63、65、67、69、75、77、 79、121、125、139、153…貫通孔
Claims (7)
- 貫通孔を有する金属ベースに対して、前記貫通孔を覆うようにして一体化されるセラミック体を備えるとともに、
前記セラミック体の内部に、吸着用電極と発熱体とを配置した静電チャックにおいて、
前記金属ベースの貫通孔を前記セラミック体側に投影した投影領域と、該投影領域の面積重心を相似の中心として該投影領域を相似比で3倍に拡大するとともに該投影領域内を除いた外側領域と、を区別し、
前記投影領域における単位面積当たりの発熱量を、前記外側領域における単位面積当たりの発熱量の50%以下とするように、前記発熱体を配置したことを特徴とする静電チャック。 - 前記投影領域及び外側領域にて、前記発熱体を同じ材料、厚み、幅で形成した場合、
前記投影領域における発熱体の単位面積当たりの面積を、前記外側領域における発熱体の単位面積当たりの面積の50%以下としたことを特徴とする前記請求項1に記載の静電チャック。 - 貫通孔を有する金属ベースに対して、前記貫通孔を覆うようにして一体化されるセラミック体を備えるとともに、
前記セラミック体の内部に、吸着用電極と発熱体とを配置した静電チャックにおいて、
前記金属ベースの貫通孔を前記セラミック体側に投影した投影領域を避けて、前記発熱体を配置したことを特徴とする静電チャック。 - 前記発熱体を線状に形成する場合に、前記投影領域の近傍にて、前記発熱体を略U字状に形成するとともに、前記略U字の凸側を前記投影領域側にしたことを特徴とする前記請求項1〜3のいずれかに記載の静電チャック。
- 前記投影領域から1mm以上離して、前記発熱体を配置したことを特徴とする前記請求項1〜4のいずれかに記載の静電チャック。
- 前記セラミック体と前記金属ベースとを一体化したことを特徴とする前記請求項1〜5のいずれかに記載の静電チャック。
- 前記セラミック体は、アルミナからなることを特徴とする前記請求項1〜6のいずれかに記載の静電チャック。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006097928A JP4819549B2 (ja) | 2005-03-31 | 2006-03-31 | 静電チャック |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005104520 | 2005-03-31 | ||
JP2005104520 | 2005-03-31 | ||
JP2006097928A JP4819549B2 (ja) | 2005-03-31 | 2006-03-31 | 静電チャック |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006310832A true JP2006310832A (ja) | 2006-11-09 |
JP4819549B2 JP4819549B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=37477291
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006097928A Active JP4819549B2 (ja) | 2005-03-31 | 2006-03-31 | 静電チャック |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4819549B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016093297A1 (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | Toto株式会社 | 静電チャックおよびウェーハ処理装置 |
JP2016115933A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-23 | Toto株式会社 | 静電チャックおよびウェーハ処理装置 |
JP2016207777A (ja) * | 2015-04-20 | 2016-12-08 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ及び静電チャック |
JP2017037721A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 日本発條株式会社 | ヒータユニット |
JP2017103325A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャック |
CN106952843A (zh) * | 2015-10-16 | 2017-07-14 | 日本特殊陶业株式会社 | 加热构件、静电卡盘及陶瓷加热器 |
JP2017152537A (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 日本特殊陶業株式会社 | ヒータ及び静電チャック並びにプラズマ発生用部材 |
JP6489195B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-03-27 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック装置 |
JP2020021958A (ja) * | 2019-10-30 | 2020-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板載置台 |
JP2020126770A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
US10950417B2 (en) | 2017-06-16 | 2021-03-16 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate loading mechanism |
KR20210054459A (ko) * | 2019-11-05 | 2021-05-13 | 니뽄 도쿠슈 도교 가부시키가이샤 | 가열 장치 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001078455A1 (fr) * | 2000-04-10 | 2001-10-18 | Ibiden Co., Ltd. | Plaque ceramique |
JP2002359281A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ及びその製造方法 |
JP2004071647A (ja) * | 2002-08-01 | 2004-03-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 複合ヒータ |
-
2006
- 2006-03-31 JP JP2006097928A patent/JP4819549B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001078455A1 (fr) * | 2000-04-10 | 2001-10-18 | Ibiden Co., Ltd. | Plaque ceramique |
JP2002359281A (ja) * | 2001-06-01 | 2002-12-13 | Ngk Spark Plug Co Ltd | セラミックヒータ及びその製造方法 |
JP2004071647A (ja) * | 2002-08-01 | 2004-03-04 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 複合ヒータ |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101826695B1 (ko) | 2014-12-10 | 2018-02-07 | 토토 가부시키가이샤 | 정전 척 및 웨이퍼 처리장치 |
WO2016093297A1 (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | Toto株式会社 | 静電チャックおよびウェーハ処理装置 |
TWI582897B (zh) * | 2014-12-10 | 2017-05-11 | Toto Ltd | 靜電吸盤及晶圓處理裝置 |
JP2016115933A (ja) * | 2014-12-10 | 2016-06-23 | Toto株式会社 | 静電チャックおよびウェーハ処理装置 |
CN111883473A (zh) * | 2014-12-10 | 2020-11-03 | Toto株式会社 | 静电吸盘及晶片处理装置 |
JP2016207777A (ja) * | 2015-04-20 | 2016-12-08 | 日本特殊陶業株式会社 | セラミックヒータ及び静電チャック |
JP2017037721A (ja) * | 2015-08-07 | 2017-02-16 | 日本発條株式会社 | ヒータユニット |
CN106952843A (zh) * | 2015-10-16 | 2017-07-14 | 日本特殊陶业株式会社 | 加热构件、静电卡盘及陶瓷加热器 |
CN106952843B (zh) * | 2015-10-16 | 2020-11-17 | 日本特殊陶业株式会社 | 加热构件、静电卡盘及陶瓷加热器 |
JP2017103325A (ja) * | 2015-12-01 | 2017-06-08 | 日本特殊陶業株式会社 | 静電チャック |
JP2017152537A (ja) * | 2016-02-24 | 2017-08-31 | 日本特殊陶業株式会社 | ヒータ及び静電チャック並びにプラズマ発生用部材 |
US10950417B2 (en) | 2017-06-16 | 2021-03-16 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and substrate loading mechanism |
CN111316419B (zh) * | 2017-11-15 | 2023-07-07 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 静电卡盘装置 |
CN111316419A (zh) * | 2017-11-15 | 2020-06-19 | 住友大阪水泥股份有限公司 | 静电卡盘装置 |
WO2019098087A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック装置 |
JP2019091827A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック装置 |
JP6489195B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-03-27 | 住友大阪セメント株式会社 | 静電チャック装置 |
JP2020126770A (ja) * | 2019-02-05 | 2020-08-20 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
JP7185544B2 (ja) | 2019-02-05 | 2022-12-07 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
JP2020021958A (ja) * | 2019-10-30 | 2020-02-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置および基板載置台 |
JP2021077666A (ja) * | 2019-11-05 | 2021-05-20 | 日本特殊陶業株式会社 | 加熱装置 |
KR20210054459A (ko) * | 2019-11-05 | 2021-05-13 | 니뽄 도쿠슈 도교 가부시키가이샤 | 가열 장치 |
JP7411383B2 (ja) | 2019-11-05 | 2024-01-11 | 日本特殊陶業株式会社 | 加熱装置 |
KR102659775B1 (ko) * | 2019-11-05 | 2024-04-22 | 니혼도꾸슈도교 가부시키가이샤 | 가열 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4819549B2 (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4819549B2 (ja) | 静電チャック | |
KR100859061B1 (ko) | 정전 척 | |
US10347521B2 (en) | Heating member, electrostatic chuck, and ceramic heater | |
TWI625065B (zh) | 陶瓷加熱器及靜電夾頭 | |
JP6530333B2 (ja) | 加熱部材及び静電チャック | |
JP6001402B2 (ja) | 静電チャック | |
JP6718318B2 (ja) | 加熱部材及び静電チャック | |
WO2006001425A1 (ja) | 静電チャック | |
US11631597B2 (en) | Holding apparatus | |
JP6804878B2 (ja) | 加熱部材及び静電チャック | |
JP6325424B2 (ja) | 静電チャック | |
TW201243995A (en) | Electrostatic sucking disk | |
JP2017201669A (ja) | 加熱部材及び静電チャック | |
JP2016189425A (ja) | セラミックヒータ及びその制御方法、並びに、静電チャック及びその制御方法 | |
JP4095842B2 (ja) | 静電チャック | |
JP6758143B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP2008166509A (ja) | 静電チャック及び基板温調固定装置 | |
JP2018018587A (ja) | 保持装置 | |
JP2004006505A (ja) | 静電チャック | |
JP3970714B2 (ja) | 複合ヒータ | |
JP2018157186A (ja) | セラミックスヒータ及び静電チャック並びにセラミックスヒータの製造方法 | |
JP6636812B2 (ja) | 半導体製造装置用部品 | |
US11950329B2 (en) | Holding device | |
JP6392612B2 (ja) | 静電チャック | |
JP2008172255A (ja) | 静電チャック |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110809 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110901 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4819549 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140909 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |