JP2006310616A - 固定キャリアの製造方法 - Google Patents
固定キャリアの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006310616A JP2006310616A JP2005132385A JP2005132385A JP2006310616A JP 2006310616 A JP2006310616 A JP 2006310616A JP 2005132385 A JP2005132385 A JP 2005132385A JP 2005132385 A JP2005132385 A JP 2005132385A JP 2006310616 A JP2006310616 A JP 2006310616A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding layer
- protrusions
- fixed carrier
- manufacturing
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
【解決手段】 剛性を有する平面円形の基材1と、基材1の表面に積層被覆されて半導体ウェーハを着脱自在に粘着保持する変形可能な保持層とを備え、基材1に、複数の突起4を所定の間隔で突出形成して保持層の裏面に接触させるとともに、複数の突起4と保持層との間の区画空間に連通する給排孔を穿孔した固定キャリアの製造方法であって、熱可塑性樹脂シート2にスタンパ60の凹凸面61を圧接して加熱加圧する。そしてその後、加圧状態下で冷却することにより、基材1、複数の突起4、及び給排孔6を一体成形する。
【選択図】 図7
Description
こうしてバックグラインドテープの粘着された半導体ウェーハは、他の工場に輸送されてICチップ化され、専用のキャリアに搭載された状態でボンディングや封止等の加工が施される(特許文献1参照)。
く適切に輸送することがきわめて困難であるという大きな問題がある。この問題を解消す
る手段としては、上記した専用のキャリアを使用するという方法が考えられるが、このキ
ャリアはあくまで工場内の搬送に使用される専用品であり、過酷な輸送条件等を何ら考慮
したものではない。したがって、工場から工場への長時間の輸送に使用することはできな
い。
熱可塑性樹脂シートにスタンパの凹凸面を接触させて加熱加圧し、その後、加圧状態下で冷却することにより、複数の突起を成形することを特徴としている。
また、各突起を0.05mm以上の高さとすることが好ましい。
さらに、熱可塑性樹脂シートにスタンパの凹凸面を接触させて加熱加圧し、その後、加圧状態下で冷却することにより、基材、複数の突起、及び給排孔のうち、少なくとも基材と複数の突起とを一体成形することを特徴としても良い。
また、熱可塑性樹脂シートのガラス転移温度から50℃上昇するまでの温度範囲で加熱加圧し、ガラス転移温度から20℃以上低下した温度で冷却すれば、欠損が生じたり、厚さにばらつきが生じるのを抑制することができるので、良好な成形が期待できる。
2 熱可塑性樹脂シート
3 周縁部
4 突起
5 区画空間
6 給排孔
10 保持層
20 半導体ウェーハ(被搭載物品)
30 基板収納容器
31 容器本体
50 蓋体
60 スタンパ
61 凹凸面
Claims (3)
- 基材と、この基材に重ね設けられて被搭載物品を着脱自在に保持する変形可能な保持層とを備え、基材に、複数の突起を設けて保持層に接触させるとともに、複数の突起と保持層との間の区画空間に連なる給排孔を設けた固定キャリアの製造方法であって、
熱可塑性樹脂シートにスタンパの凹凸面を接触させて加熱加圧し、その後、加圧状態下で冷却することにより、複数の突起を成形することを特徴とする固定キャリアの製造方法。 - 熱可塑性樹脂シートのガラス転移温度から50℃上昇するまでの温度範囲で加熱加圧し、ガラス転移温度から20℃以上低下した温度で冷却する請求項1記載の固定キャリアの製造方法。
- 各突起を0.05mm以上の高さとする請求項1又は2記載の固定キャリアの製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005132385A JP4671751B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 固定キャリアの製造方法 |
EP06712518A EP1858058B1 (en) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | Fixation carrier, production method of fixation carrier, use method of fixation carrier, and substrate reception container |
PCT/JP2006/301352 WO2006087894A1 (ja) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | 固定キャリア、固定キャリアの製造方法、固定キャリアの使用方法、及び基板収納容器 |
TW095103525A TW200631123A (en) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | Fixation carrier, production method of fixation carrier, use method of fixation carrier, and substrate reception container |
CN2006800040623A CN101116180B (zh) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | 固定载体、固定载体的制造方法、固定载体的使用方法、以及基板收纳容器 |
AT06712518T ATE541307T1 (de) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | Befestigungsträger, herstellungsverfahren für einen befestigungsträger, verwendungsverfahren für einen befestigungsträger und substrataufnahmebehälter |
KR1020077015673A KR100929471B1 (ko) | 2005-02-03 | 2006-01-27 | 고정 캐리어, 고정 캐리어의 제조 방법, 고정 캐리어의 사용 방법, 및 기판 수납 용기 |
US11/342,704 US20060243620A1 (en) | 2005-02-03 | 2006-01-31 | Fixing carrier, fixing carrier manufacturing method, method of using fixing carriers and substrate storage container |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005132385A JP4671751B2 (ja) | 2005-04-28 | 2005-04-28 | 固定キャリアの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006310616A true JP2006310616A (ja) | 2006-11-09 |
JP4671751B2 JP4671751B2 (ja) | 2011-04-20 |
Family
ID=37477154
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005132385A Expired - Fee Related JP4671751B2 (ja) | 2005-02-03 | 2005-04-28 | 固定キャリアの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4671751B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006315695A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 固定キャリア |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02155629A (ja) * | 1988-12-07 | 1990-06-14 | Canon Inc | 光記録媒体用基板の成型用ローラー,成型装置,成型方法及び光記録媒体 |
JPH08103942A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Canon Inc | シートの成形方法 |
JP2002011727A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-15 | Toppan Printing Co Ltd | 平板状の成形用型およびその製造方法 |
JP2003001705A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Meiki Co Ltd | 光学製品のプレス成形装置およびプレス成形方法 |
JP2005072496A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板保持具 |
-
2005
- 2005-04-28 JP JP2005132385A patent/JP4671751B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02155629A (ja) * | 1988-12-07 | 1990-06-14 | Canon Inc | 光記録媒体用基板の成型用ローラー,成型装置,成型方法及び光記録媒体 |
JPH08103942A (ja) * | 1994-10-04 | 1996-04-23 | Canon Inc | シートの成形方法 |
JP2002011727A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-15 | Toppan Printing Co Ltd | 平板状の成形用型およびその製造方法 |
JP2003001705A (ja) * | 2001-06-22 | 2003-01-08 | Meiki Co Ltd | 光学製品のプレス成形装置およびプレス成形方法 |
JP2005072496A (ja) * | 2003-08-27 | 2005-03-17 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板保持具 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006315695A (ja) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 固定キャリア |
JP4688567B2 (ja) * | 2005-05-10 | 2011-05-25 | 信越ポリマー株式会社 | 固定キャリア |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4671751B2 (ja) | 2011-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1858058B1 (en) | Fixation carrier, production method of fixation carrier, use method of fixation carrier, and substrate reception container | |
JP4484760B2 (ja) | 固定キャリア及びその製造方法 | |
JP2008103494A (ja) | 固定ジグおよびチップのピックアップ方法並びにピックアップ装置 | |
KR20100058457A (ko) | 고정 지그 및 작업물의 처리 방법 | |
JP5234644B2 (ja) | 粘着保持トレー | |
JP4587828B2 (ja) | 精密基板用の固定治具 | |
JP2006306458A (ja) | 固定キャリアの製造方法 | |
JP5100579B2 (ja) | 基板用の吸着装置及び基板の取り扱い方法 | |
JP4693488B2 (ja) | 固定キャリア | |
JP4450766B2 (ja) | 補強キャリアの製造方法 | |
JP4671751B2 (ja) | 固定キャリアの製造方法 | |
JP2006032488A (ja) | 電子部品保持具及びその使用方法 | |
JP4688567B2 (ja) | 固定キャリア | |
JP4987577B2 (ja) | 物品の固定ジグ | |
JP2007096085A (ja) | 固定キャリア及びその使用方法 | |
KR101233580B1 (ko) | 기판 홀더 탈부착 장치 | |
JP2010153409A (ja) | 保持治具 | |
JP2007168025A (ja) | 保持テーブル、被保持物品の処理装置、及び半導体ウェーハの処理装置 | |
TW202139330A (zh) | 壓模工具保持裝置、壓模工具定位裝置、多元件傳送裝置以及元件陣列之製造方法 | |
JP2007067348A (ja) | 電子部品用の固定搬送治具 | |
JP2009054628A (ja) | 基板保持具 | |
JP2008226976A (ja) | 基板等の取扱装置及び基板等の取扱方法 | |
JP6462525B2 (ja) | 粘着搬送トレイ及びその製造方法 | |
JP2007083377A (ja) | 固定キャリア及び薄板のグラインド方法 | |
JP2007083376A (ja) | 固定キャリア及びその製造方法並びに薄板のグラインド方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101019 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101217 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110118 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4671751 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |