JP2007083377A - 固定キャリア及び薄板のグラインド方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明は上記に鑑みなされたもので、グラインド時における薄板の厚みばらつきの抑制に資することのできる安価な固定キャリア及び薄板のグラインド方法を提供する。
【解決手段】 剛性を有する支持基材2と、支持基材2の表面周縁部に張架され、バックグラインドされる半導体ウェーハWを着脱自在に密着保持する屈曲可能な可撓性の保持層10とを備える。また、支持基材2と保持層10とを半導体ウェーハWよりもそれぞれ拡径に形成し、支持基材2と保持層10との間に区画空間5を形成し、支持基材2の凹んだ表面4には、保持層10を接着支持する複数の突起7を形成するとともに、支持基材2には、区画空間5に連通する給排孔6を穿孔し、半導体ウェーハWを保持した状態でその厚みを測定しながらのバックグラインド作業に使用したり、半導体ウェーハW用の基板収納容器に収納する。
【選択図】 図5
【解決手段】 剛性を有する支持基材2と、支持基材2の表面周縁部に張架され、バックグラインドされる半導体ウェーハWを着脱自在に密着保持する屈曲可能な可撓性の保持層10とを備える。また、支持基材2と保持層10とを半導体ウェーハWよりもそれぞれ拡径に形成し、支持基材2と保持層10との間に区画空間5を形成し、支持基材2の凹んだ表面4には、保持層10を接着支持する複数の突起7を形成するとともに、支持基材2には、区画空間5に連通する給排孔6を穿孔し、半導体ウェーハWを保持した状態でその厚みを測定しながらのバックグラインド作業に使用したり、半導体ウェーハW用の基板収納容器に収納する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、半導体ウェーハ、石英ガラス、回路基板等からなる薄板を保持した状態でそのグラインド作業に使用される固定キャリア及び薄板のグラインド方法に関するものである。
近年、半導体ウェーハの口径は200mmから300mmに拡大してきているが、この300mmタイプの半導体ウェーハは、表面に回路が形成された後、積層構造のパッケージング要求や構造の微細化要求等に鑑み、裏面が薄くバックグラインドされることがある(特許文献1参照)。
半導体ウェーハWを薄くバックグラインドする場合には図9に示すように、先ず、半導体ウェーハWの表面にバックグラインド用の保護テープ(BGテープともいう)40を粘着し、真空吸着治具1上に表裏逆にした半導体ウェーハWを保護テープ40を介し隙間なく吸着し、その後、半導体ウェーハWの上面となった裏面に、回転する砥石を研削液を流しつつ接触させれば、半導体ウェーハWを薄くバックグラインドすることができる。
保護テープ40は、半導体ウェーハWよりも縮径の平面円形に形成され、厳しい厚み精度要求に鑑み、厚みに求められている寸法ばらつきが1〜3μmの範囲内、好ましくは1μm程度とされている。
保護テープ40は、半導体ウェーハWよりも縮径の平面円形に形成され、厳しい厚み精度要求に鑑み、厚みに求められている寸法ばらつきが1〜3μmの範囲内、好ましくは1μm程度とされている。
係るバックグラインド作業は、半導体ウェーハWに対する厚み精度要求に鑑み、半導体ウェーハWの厚みTを測定・管理しながら行なわれる。具体的には図9に示す半導体ウェーハWの裏面の平面精度値Aと真空吸着治具1の表面の平面精度値Bを接触式変位計によりそれぞれ測定し、T=A−(B−C(保護テープ40の厚み))の計算式により半導体ウェーハWの厚みTを算出し、この算出値に応じて半導体ウェーハWがバックグラインドされる。
ところで近年、保護テープ40の代わりとして、補強キャリアとして機能する簡易な構成の固定キャリアを半導体ウェーハWに粘着し、この粘着状態の半導体ウェーハWを薄くバックグラインドする技術が提案されている。
この種の固定キャリアは、図示しないが、保護テープ40と同様の大きさで肉厚に形成される支持基材と、この支持基材の周縁部に接着層を介して接着され、バックグラインドされる半導体ウェーハWを保持する屈曲可能な保持層とを備え、これら支持基材と保持層との間に区画空間が形成されており、支持基材に、保持層を支持する複数の突起が配設されるとともに、この支持基材には、区画空間に連通する給排孔が穿孔されている。
この種の固定キャリアは、図示しないが、保護テープ40と同様の大きさで肉厚に形成される支持基材と、この支持基材の周縁部に接着層を介して接着され、バックグラインドされる半導体ウェーハWを保持する屈曲可能な保持層とを備え、これら支持基材と保持層との間に区画空間が形成されており、支持基材に、保持層を支持する複数の突起が配設されるとともに、この支持基材には、区画空間に連通する給排孔が穿孔されている。
このような固定キャリアを使用して半導体ウェーハWを薄くバックグラインドする場合には、先ず、固定キャリアの保持層上に表裏逆にした半導体ウェーハWを密着させ、真空吸着治具1上に固定キャリアを保護テープ40同様に吸着し、その後、半導体ウェーハWの上面となった裏面に、回転する砥石を研削液を流しつつ接触させれば、半導体ウェーハWを薄くバックグラインドすることができる。
特開昭59‐227195号公報
近年提案されている固定キャリアは、以上のように構成され、構成の簡素化やコスト削減等に大いに資することができるものの、単一材料の保護テープ40とは異なり、1mm弱程度の厚みの支持基材、50〜100μm程度の厚みの保持層、及び10μm程度の厚みの接着層という複数の部品が構成要素となる関係上、保護テープ40に要求されるような厳しい厚み精度を満たすことができない。したがって、支持基材、保持層、及び接着層の厚み公差、寸法ばらつき、あるいは製品間ばらつきが大きい場合には、バックグラインド時の測定に誤差が生じ、結果として半導体ウェーハWの厚みばらつきを招くおそれも考えられる。
係る問題は、支持基材を研磨したり、支持基材や保持層の厚みを個々に測定すれば解消することができるが、そうすると、作業の著しい煩雑化・複雑化を招き、コストを削減することができず、固定キャリアを安価に提供することができないという大きな問題が新たに生じることとなる。
本発明は上記に鑑みなされたもので、グラインド時における薄板の厚みばらつきの抑制に資することのできる安価な固定キャリア及び薄板のグラインド方法を提供することを目的としている。
本発明においては上記課題を解決するため、支持基材と、この支持基材の周縁部に貼り着けられ、薄板を着脱自在に保持する屈曲可能な保持層とを備え、薄板を保持した状態でその厚みを測定しながらのグラインド作業に使用されるものであって、
支持基材と保持層とを薄板よりもそれぞれ幅広に形成し、これら支持基材と保持層との間に区画空間を形成し、支持基材には、保持層を支持する複数の突起を形成するとともに、支持基材には、区画空間に連通する給排孔を設けたことを特徴としている。
支持基材と保持層とを薄板よりもそれぞれ幅広に形成し、これら支持基材と保持層との間に区画空間を形成し、支持基材には、保持層を支持する複数の突起を形成するとともに、支持基材には、区画空間に連通する給排孔を設けたことを特徴としている。
なお、薄板を直径300mm以上の半導体ウェーハとし、支持基材と保持層とをそれぞれ平面略円形に形成してその大きさを半導体ウェーハの直径よりも0.5〜4mmの範囲で大きくすることが好ましい。
また、区画空間内の気体を給排孔から外部に排気して保持層を略凹凸に屈曲させ、この屈曲した保持層の凸部先端面をグラインドして平面精度を向上させることが好ましい。
また、区画空間内の気体を給排孔から外部に排気して保持層を略凹凸に屈曲させ、この屈曲した保持層の凸部先端面をグラインドして平面精度を向上させることが好ましい。
さらに、本発明においては上記課題を解決するため、請求項1又は2記載の固定キャリアの保持層に薄板を保持させ、この薄板をグラインドするもののグラインド方法であって、
薄板をグラインドする際、固定キャリアの保持層に保持された薄板の平面精度と薄板の周縁部から露出した保持層の平面精度とをそれぞれ測定し、薄板の平面精度から保持層の平面精度を減算して薄板の厚みを算出し、この算出値に応じて薄板をグラインドすることを特徴としている。
薄板をグラインドする際、固定キャリアの保持層に保持された薄板の平面精度と薄板の周縁部から露出した保持層の平面精度とをそれぞれ測定し、薄板の平面精度から保持層の平面精度を減算して薄板の厚みを算出し、この算出値に応じて薄板をグラインドすることを特徴としている。
ここで、特許請求の範囲における支持基材と保持層とは、平面略円形に形成するのが主ではあるが、略楕円形、略矩形、略多角形等に形成しても良い。薄板には、少なくとも半導体ウェーハ、液晶用ガラス、石英ガラス、フォトマスク、回路基板等が含まれる。薄板が半導体ウェーハの場合には、大口径の300mmタイプや450mmタイプ等が含まれる。半導体ウェーハには、オリフラやノッチ等が形成されていても良いし、そうでなくても良い。
突起は、円柱形、円錐台形、角柱形、角錐台形等の形状に形成することができる。また、給排孔は、単数複数を特に問うものではない。気体は、空気でも良いし、窒素ガス等でも良い。さらに、固定キャリアは、薄板のグラインド作業に使用されるものであれば、半導体ウェーハ用の基板収納容器やカセットに収納されるものでも良いし、他の作業に使用されるものでも良い。
本発明によれば、グラインド時における薄板の厚みばらつきの抑制に資することができるという効果がある。
また、薄板を直径300mm以上の半導体ウェーハとし、支持基材と保持層とをそれぞれ平面略円形に形成してその大きさを半導体ウェーハの直径よりも0.5〜4mmの範囲で大きくすれば、半導体ウェーハ用の既存の基板収納容器に固定キャリアを支障なく収納することができる。
また、薄板を直径300mm以上の半導体ウェーハとし、支持基材と保持層とをそれぞれ平面略円形に形成してその大きさを半導体ウェーハの直径よりも0.5〜4mmの範囲で大きくすれば、半導体ウェーハ用の既存の基板収納容器に固定キャリアを支障なく収納することができる。
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態における固定キャリアは、図1ないし図7に示すように、ポーラス構造の真空吸着治具1上にセットされる剛性の支持基材2と、この支持基材2の表面周縁部に張架され、バックグラインドされる半導体ウェーハWを着脱自在に密着保持する屈曲可能な保持層10とを備え、半導体ウェーハWを保持した状態でその厚みを測定しながらのバックグラインド作業に使用されたり、半導体ウェーハW用の基板収納容器20に収納される。
固定キャリアは、その全体の厚さが0.3〜2.5mmの範囲、好ましくは0.5〜1.2mmの範囲内となるよう構成され、セラミック製の真空吸着治具1上に吸着される(図5参照)。固定キャリアの全体の厚さが0.3〜2.5mmの範囲なのは、係る範囲内であれば、半導体ウェーハWに関する補強性を十分に確保することができるし、基板収納容器20に収納したり取り出す際、図示しない専用ロボットのフォークの挿入間隔を十分に維持することができるからである。また、固定キャリアの軽量化を図ることもできるからである。
支持基材2と保持層10とは、図1に示すように、それぞれ半導体ウェーハWよりも拡径の平面円形に形成される。また、支持基材2は、図1、図2、図7に示すように、所定の材料を使用して薄板に形成され、基板収納容器20に確実に収納することができるよう半導体ウェーハWよりも4mm拡径で保持層10よりも僅かに拡径の円板とされており、エンドレスの周縁部3に包囲された平面円形の領域が浅く平坦に凹み形成される。
支持基材2の材料としては、特に限定されるものではないが、例えば支持基材2に半導体ウェーハWが搭載された場合の撓み量を5mm以下に抑制可能なポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、アクリル樹脂、塩化ビニル樹脂、アルミニウム合金、マグネシウム合金、ガラス、ステンレス等があげられる。
支持基材2の凹まった領域の表面4と保持層10との間には、空気の流通する区画空間5が形成され、この区画空間5に連通する丸い給排孔6が厚さ方向に穿孔されており、凹まった低位の表面4には、保持層10の裏面を接着支持する複数の突起7が上方に向けて突出形成される。支持基材2の給排孔6には、図2に示すバキューム装置8がチューブ等を介し着脱自在に接続され、このバキューム装置8が動作して区画空間5が減圧されることにより保持層10が変形する。
複数の突起7は、支持基材2の凹まった表面4に成形法、サンドブラスト法、エッチング法等により隙間をおいて配列形成される。各突起7は、支持基材2の表面周縁部と略同じ高さの円錐台形に形成され、0.05mm以上の高さで揃えられるが、これは、0.05mm未満の高さの場合には、十分な高さの区画空間5を形成することができず、保持層10の変形に支障を来たすからである。
保持層10は、可撓性、柔軟性、耐熱性、粘着性に優れるウレタン系、フッ素系、シリコーン系の薄いエラストマーを使用して半導体ウェーハWの直径よりも0.5〜4mm拡径の薄膜に成形され、支持基材2の表面周縁部に接着剤や接着層を介して接着されるとともに、複数の突起7の平坦な先端面に接着剤や接着層を介して接着される。この保持層10は、図3や図4に示すように、支持基材2や突起7への接着後、区画空間5内の空気が給排孔6から外部に排気されることにより凹凸に変形し、この変形した凸部先端面(凸部表面)11がグラインダ12や研削盤等により平坦にグラインドされることにより平面精度の向上が図られる。
このような保持層10は、バキューム装置8の吸引動作で区画空間5が負圧化されることにより、複数の突起7の配列パターンに応じて凹凸に変形し、密着保持した半導体ウェーハWとの間に空気流入用の隙間を生じさせ、保持した半導体ウェーハWを取り外し可能とする。
半導体ウェーハWは、基本的には300mmタイプ(12インチ)の丸いシリコンウェーハからなり、鏡面である表面に回路が形成され、周縁部端面Weが厚さ方向に断面半円形に湾曲形成(図5参照)されており、専用ロボットにより保持層10上に密着してその裏面が薄くバックグラインドされる。この半導体ウェーハWの周縁部には、結晶方位の判別や位置合わせ用のオリフラやノッチが適宜形成される。
基板収納容器20は、図6や図7に示すように、正面の開口した容器本体21と、この容器本体21の正面を開閉する蓋体25とを備えたフロントオープンボックスタイプに構成され、半導体ウェーハWを搭載した25枚又は26枚の固定キャリアを上下方向に並べて整列収納する。
容器本体21は、ポリカーボネート等の材料を使用してフロントオープンボックスに成形され、底面の前部両側と後部中央には、図示しない加工装置搭載用の位置決め具がそれぞれ配設されており、天井の中央部には、自動搬送機に把持されるロボティックフランジ22が着脱自在に装着される。また、容器本体21の背面壁内面には、固定キャリアや半導体ウェーハWの後部周縁を保持する複数のリヤリテーナ23が上下方向に並べて装着され、左右両側壁の内面には、固定キャリアの両側部を水平に保持する複数のティース24が上下方向に並設される。
蓋体25は、容器本体21の開口した正面にエンドレスのシールガスケットを介して嵌合する略矩形の筐体26と、この筐体26の開口した正面を被覆する略矩形のカバー27とを備えて構成される。筐体26とカバー27との間には、容器本体21に嵌合した蓋体25を施錠、解錠する施錠機構が内蔵され、筐体26の背面には、半導体ウェーハWの前部周縁を弾発的に保持する複数のフロントリテーナ28が上下方向に並べて装着される。
施錠機構は、加工装置により蓋体25の外部から回転操作される左右一対の回転プレートと、各回転プレートの回転に伴い蓋体25の内部上下方向に進退動する複数の進退動プレートと、各進退動プレートの先端部に取り付けられ、筐体26の周壁の貫通孔から出没して容器本体21の正面内周部の係止穴に干渉する複数の係止爪とから構成される。
上記構成において、固定キャリアを使用して半導体ウェーハWを薄くバックグラインドする場合には、先ず、固定キャリアの保持層10上に表裏逆にした半導体ウェーハWを隙間なく密着保持させ、真空吸着治具1上に固定キャリアを隙間なく吸着し、その後、半導体ウェーハWの上面となった裏面に、回転する砥石を研削液を介して接触させれば、半導体ウェーハWを薄くバックグラインドすることができる。
この際のバックグラインド作業は、従来例同様、半導体ウェーハWの厚みTを測定・管理しながら慎重に行なわれる。具体的には図5に示す半導体ウェーハWの裏面における平面精度値A、半導体ウェーハWの周縁部から露出した保持層10の周縁部表面における平面精度値Dを接触式変位計によりそれぞれ測定し、T=A−Dの計算式により半導体ウェーハWの厚みTを算出し、この算出値に応じて半導体ウェーハWが適切にバックグラインドされる。
上記構成によれば、支持基材2と保持層10とを半導体ウェーハWよりも拡径に形成するとともに、半導体ウェーハWの平面精度値A、半導体ウェーハWの周縁部から露出した保持層10の平面精度値Dを接触式変位計によりそれぞれ測定するので、従来の保護テープ40のような減算なしに、T=A−Dの計算式により半導体ウェーハWの厚みTを簡単に算出することができる。したがって、積層する肉厚の支持基材2と保持層10という複数の部品が構成要素であるにもかかわらず、バックグラインド時に固定キャリアに要求される特性を保持層10の平坦度のみとすることができる。
このようにバックグラインド時に固定キャリアに要求される特性を保持層10の平坦度のみとすることができるので、バックグラインド時の測定に誤差が生じ、半導体ウェーハWの厚みばらつきを招くおそれをきわめて有効に抑制することができ、しかも、接触式変位計の仕様を特別に変更する必要もない。
また、支持基材2や突起7に接着した保持層10を凹凸に変形させてその凸部先端面11を平坦にグラインドし、平面精度をレンジで3.0μm以内とすることができるので、バックグラインド時に固定キャリアに要求される特性を十分に満たすことができ、これを通じて半導体ウェーハWの厚みばらつきをきわめて有効に排除することができる。さらに、支持基材2を研磨したり、支持基材2や保持層10の厚みを個々に測定する必要が全くないので、作業の著しい簡素化やコスト削減を図ることができ、固定キャリアを安価に提供することができる。
次に、図8は本発明の第2の実施形態を示すもので、この場合には、区画空間5を、半導体ウェーハWの周縁部に保持層10を介し対向する気体充填空間51とそれ以外の気体給排空間52に分割するとともに、複数の突起7を、半導体ウェーハWの周縁部に保持層10を介し対向する区画支持突起70とそれ以外の支持突起71に分割し、支持基材2に、気体充填空間51に空気を流入させる流入孔30を穿孔するようにしている。
上記構成において、半導体ウェーハWを薄くバックグラインドする場合には、先ず、保持層10の平坦な表面に、表裏逆にした半導体ウェーハWの表面を専用ロボットにより圧下して隙間なく密着保持させ、ファン等からなる送風機Fを作動させて空気を流入孔30から気体充填空間51に圧送し、半導体ウェーハWの粘着保持に支障を来たさない範囲で保持層10の周縁部を膨張させて半導体ウェーハWの周縁部端面Weに隙間なく密着させれば、半導体ウェーハWの裏面を砥石と研削液とにより薄く円滑にバックグラインドすることができる。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、保持層10の周縁部が膨張して半導体ウェーハWの丸まった周縁部端面Weに隙間なく密着するので、研削液の浸入し易い隙間を的確に塞ぐことができ、半導体ウェーハWの表面に研削液が周縁部端面Weを経由して浸入・付着することがない。したがって、研削液中の研磨粉により、半導体ウェーハ表面の回路が汚染してしまうのを簡易な構成で有効に抑制防止することができる。
なお、上記実施形態では単に保持層10を示したが、汚染の問題が生じなければ、保持層10に、補強性フィラーや疎水性シリカ等を必要に応じて添加しても良い。また、保持層10を、半導体ウェーハWを着脱自在に粘着する自己粘着性の密着保持層と、この密着保持層の裏面に積層接着して一体化される帯電防止層とから多層構造に形成しても良い。
1 真空吸着治具
2 支持基材
3 周縁部
4 表面
5 区画空間
6 給排孔
7 突起
8 バキューム装置
10 保持層
11 凸部先端面
20 基板収納容器
21 容器本体
25 蓋体
40 保護テープ
A 半導体ウェーハの裏面における平面精度値
D 保持層の周縁部表面における平面精度値
T 半導体ウェーハの厚み
W 半導体ウェーハ(薄板)
We 周縁部端面
2 支持基材
3 周縁部
4 表面
5 区画空間
6 給排孔
7 突起
8 バキューム装置
10 保持層
11 凸部先端面
20 基板収納容器
21 容器本体
25 蓋体
40 保護テープ
A 半導体ウェーハの裏面における平面精度値
D 保持層の周縁部表面における平面精度値
T 半導体ウェーハの厚み
W 半導体ウェーハ(薄板)
We 周縁部端面
Claims (3)
- 支持基材と、この支持基材の周縁部に貼り着けられ、薄板を着脱自在に保持する屈曲可能な保持層とを備え、薄板を保持した状態でその厚みを測定しながらのグラインド作業に使用される固定キャリアであって、
支持基材と保持層とを薄板よりもそれぞれ幅広に形成し、これら支持基材と保持層との間に区画空間を形成し、支持基材には、保持層を支持する複数の突起を形成するとともに、支持基材には、区画空間に連通する給排孔を設けたことを特徴とする固定キャリア。 - 薄板を直径300mm以上の半導体ウェーハとし、支持基材と保持層とをそれぞれ平面略円形に形成してその大きさを半導体ウェーハの直径よりも0.5〜4mmの範囲で大きくした請求項1記載の固定キャリア。
- 請求項1又は2記載の固定キャリアの保持層に薄板を保持させ、この薄板をグラインドする薄板のグラインド方法であって、
薄板をグラインドする際、固定キャリアの保持層に保持された薄板の平面精度と薄板の周縁部から露出した保持層の平面精度とをそれぞれ測定し、薄板の平面精度から保持層の平面精度を減算して薄板の厚みを算出し、この算出値に応じて薄板をグラインドすることを特徴とする薄板のグラインド方法。
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---|---|---|---|---|
JP2008290178A (ja) * | 2007-05-24 | 2008-12-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | グラインド用治具 |
CN103258764A (zh) * | 2012-02-21 | 2013-08-21 | 欣兴电子股份有限公司 | 用于晶片薄化的载具及其制法 |
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