JP2006310607A - 半導体装置のpn接合面とトレンチの底部との位置関係を評価する評価方法 - Google Patents
半導体装置のpn接合面とトレンチの底部との位置関係を評価する評価方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 いわゆる間引き構造のトレンチゲート型IGBTに対して、コレクタ電極9に種々の大きさの電圧を印加した状態で、入力容量を複数測定する。IGBTが異常構造の場合、コレクタ電圧が低い範囲では、トレンチ5の両側に位置する2つの領域が導通しているため、一方の領域側と他方の領域側のゲート絶縁膜6a、6bの容量が測定される。そして、コレクタ電圧VCEを大きくした場合、空乏層21がトレンチ底部5aに到達し、2つの領域が絶縁されるため、一方の領域側のゲート絶縁膜6aの容量のみが測定されるため、容量値が大きく低下する。そこで、コレクタ電極9の印加電圧を増加させた場合に、容量値が大きく低下したか否かを調べる。
【選択図】 図7
Description
本実施形態は、本発明の評価方法を、間引き構造のトレンチゲート型IGBTに対してのセル領域が間引かれた部分(他方の領域3b)における電気検査方法に適用した例である。
次に、本実施形態の主な特徴を説明する。本実施形態では、上記したように、間引き構造のトレンチゲート型IGBTに対して、エミッタ電極8を接地電位としてコレクタ電極9に種々の大きさの電圧を印加した状態で、入力容量を複数測定する。そして、コレクタ電極9の印加電圧を徐々に増加させた場合に、容量値が大きく低下するという変化の有無を調べることにより、他方の領域3bのフローティング検査を行うようにしている。
第1実施形態では、他方の領域3bのフローティング検査、すなわち、PN接合面3cとトレンチ底部5aとの深さ方向での位置関係において、トレンチ底部5aがPN接合面3cに到達しているか否かを評価する方法を例として説明した。
(1)第1実施形態では、コレクタ電圧VCEの大きさを数V〜数百Vの範囲で変化させて、入力容量を測定する場合を例として説明したが、入力容量の測定数は任意に変更可能である。
3a…P型ベース領域3で、トレンチ5で分断された2つの領域のうちの一方の領域、
3b…P型ベース領域3で、トレンチ5で分断された2つの領域のうちの他方の領域、
3c…PN接合面、4…N+型エミッタ領域、
5…トレンチ、5a…トレンチ底部、
6…ゲート絶縁膜、
6a…一方の領域側のゲート絶縁膜、6b…他方の領域側のゲート絶縁膜、
7…ゲート電極、8…エミッタ電極、
9…コレクタ電極、10…P型ボディ領域、
21…空乏層。
Claims (3)
- 第1導電型の第1半導体層(2)と、
前記第1半導体層(2)の表面上に配置された第2導電型の第2半導体層(3)と、
前記第2半導体層(3)に、前記第2半導体層(3)の表面から前記第前記第1半導体層(2)に向かって伸びているトレンチ(5)と、
前記トレンチ(5)の内壁上に形成された絶縁膜(6)と、
前記トレンチ(5)の内部であって、前記絶縁膜(6)上に形成された第1電極(7)と、
前記第2半導体層(3)における前記トレンチ(5)を挟んで対向して配置されている2つの領域(3a、3b)のうちの一方の領域(3a)に対して電気的に接続されており、前記2つの領域(3a、3b)のうちの他方の領域(3b)に対して、電気的に接続されていない、もしくは、前記トレンチ(5)の下側で結合されている前記一方の領域(3a)を介してのみ、電気的に接続されている第2電極(8)と、
前記第1半導体層(2)と電気的に接続された第3電極(9)とを備える半導体装置に対して行う前記第1半導体層(2)および前記第2半導体層(3)のPN接合面(3c)と、前記トレンチ(5)の底部(5a)との位置関係の評価方法であって、
前記第3電極(9)へ電圧を印加した状態で、前記第1電極(7)と前記第2電極(8)との間における前記絶縁膜(6)の容量を測定し、
測定結果と、前記容量の大きさと前記第3電極(9)への印加電圧の大きさの関係とに基づいて、前記位置関係を評価することを特徴とする半導体装置のPN接合面とトレンチの底部との位置関係の評価方法。 - 第1導電型の第1半導体層(2)と、
前記第1半導体層(2)の表面上に配置された第2導電型の第2半導体層(3)と、
前記第2半導体層(3)に形成され、前記第2半導体層(3)の表面から前記第前記第1半導体層(2)に到達する深さのトレンチ(5)と、
前記トレンチ(5)の内壁上に形成された絶縁膜(6)と、
前記トレンチ(5)の内部であって、前記絶縁膜(6)上に形成された第1電極(7)と、
前記第2半導体層(3)が前記トレンチ(5)によって電気的に2つの領域(3a、3b)に分断されており、前記2つの領域(3a、3b)のうちの一方の領域(3a)と電気的に接続され、前記2つの領域(3a、3b)のうちの他方の領域(3b)と電気的に接続されていない第2電極(8)と、
前記第1半導体層(2)と電気的に接続された第3電極(9)とを備える半導体装置に対して行う前記第1半導体層(2)および前記第2半導体層(3)のPN接合面(3c)と、前記トレンチ(5)の底部(5a)との位置関係の評価方法であって、
前記第3電極(9)へ異なる大きさの電圧を印加した状態で、前記第1電極(7)と前記第2電極(8)との間における前記絶縁膜(6)の容量を、複数測定し、
測定結果同士における変化量が、前記絶縁膜(6)のうち、前記一方の領域(3a)に接する部分(6a)と前記他方の領域(3b)に接する部分(3b)の両方の容量と、前記一方の領域(3a)に接する部分(6a)のみの容量との差に相当する大きさであるか否かを判定し、
その判定結果より、前記他方の領域(3b)における前記第2電極(8)との電気的な接続状態を評価することを特徴とする半導体装置のPN接合面とトレンチの底部との位置関係の評価方法。 - 第1導電型の第1半導体層(2)と、
前記第1半導体層(2)の表面上に配置された第2導電型の第2半導体層(3)と、
前記第2半導体層(3)の内部に形成され、前記第2半導体層(3)の表面から前記第1半導体層に向かって伸びており、前記第2半導体層(3)よりも浅いトレンチ(5)と、
前記トレンチ(5)の内壁上に形成された絶縁膜(6)と、
前記トレンチ(5)の内部であって、前記絶縁膜(6)上に形成された第1電極(7)と、
前記第2半導体層(3)における前記トレンチ(5)を挟んで対向して配置されている2つの領域(3a、3b)のうちの一方の領域(3a)と電気的に接続され、かつ、前記2つの領域(3a、3b)のうちの他方の領域(3b)と前記トレンチ(5)の下側で結合されている前記一方の領域(3a)のみを介して電気的に接続されている第2電極(8)と、
前記第1半導体層(2)と電気的に接続された第3電極(9)とを備える半導体装置に対して行う前記第1半導体層(2)および前記第2半導体層(3)のPN接合面(3c)と、前記トレンチ(5)の底部(5a)との位置関係の評価方法であって、
前記第3電極(9)に電圧を印加した状態で、前記第1電極(7)と前記第2電極(8)との間における前記絶縁膜(6)の容量を測定し、
前記接合面(3c)付近で生じる空乏層(21)が前記トレンチ(5)の底部(5a)に到達することで測定容量が変化するときの前記第3電極(9)への印加電圧の大きさに基づいて、前記PN接合面(3c)から前記トレンチ(5)の底部(5a)までの前記PN接合面(3c)に垂直な方向における距離を算出することを特徴とする半導体装置のPN接合面とトレンチの底部との位置関係の評価方法。
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