JP2006310500A - 配線基板、圧電性セラミック素子及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板100上に配線電極101を有し、該配線電極101上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜103を有する配線基板において、前記基板100上に設けられた配線電極101の基板100と接している側とは反対側の電極表面に対して、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物の層102を形成してなることを特徴とする配線基板。
【選択図】 図1
Description
基板上に配線電極を有し、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する配線基板において、
前記基板上に設けられた配線電極の基板と接している側とは反対側の電極表面に対して、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物の層を形成してなることを特徴とする配線基板。
基板上に配線電極を有し、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する配線基板において、
該配線電極上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層が自己組織化した状態で設けられており、前記配線電極を構成する原子と前記化合物からなる層を構成する原子又は分子とが化学結合を形成し、前記化合物からなる層を構成する原子又は分子と前記保護膜を構成する原子又は分子が化学結合してなることを特徴とする配線基板。
基板上に配線電極を有し、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する配線基板において、
該配線電極上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層が自己組織化した状態で設けられており、
前記配線電極を構成する原子と前記化合物からなる層中の前記硫黄原子を含む構造を構成する原子又は分子とが化学結合を形成し、前記化合物からなる層中の前記メタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を構成する原子又は分子と前記ポリパラキシリレン又はその誘導体を構成する原子又は分子が化学結合してなることを特徴とする配線基板。
圧電性セラミック基板上に電極膜を有し、該電極上に該電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する圧電性セラミック素子において、
前記圧電性セラミック基板上に設けられた電極膜の該基板と接している側とは反対側の電極表面に対して、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物の層を形成してなることを特徴とする圧電性セラミック素子。
圧電性セラミック基板上に電極膜を有し、該電極上に該電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体の樹脂皮膜からなる保護膜を有する圧電性セラミック素子において、
前記圧電性セラミック基板上に設けられた電極膜の該基板と接している側とは反対側の電極表面に、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層が自己組織化した状態で設けられており、
前記電極膜を構成する原子と前記化合物からなる層中の前記硫黄原子を含む構造を構成する原子又は分子とが化学結合を形成し、前記化合物からなる層中の前記メタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を構成する原子又は分子と前記ポリパラキシリレン又はその誘導体を構成する原子又は分子が化学結合してなることを特徴とする圧電性セラミック素子。
前記圧電性セラミック基板上に設けられた電極膜の圧電性セラミック素子と接している側とは反対側の電極表面が、電解メッキ又は無電解メッキにより形成され、該メッキがニッケルメッキ、金メッキ、銅メッキ、パラジウムメッキ、銀メッキ又は白金メッキの何れかから選択されることを特徴とする請求項4又は5記載の圧電性セラミック素子。
請求項4〜6の何れかに記載の圧電性セラミック素子を用い、前記圧電性セラミック基板上に設けられた前記電極膜に駆動電圧を印加して該素子を駆動し、インクを加圧して微小液滴として吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。
基板上に配線電極を形成する工程と、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を形成する工程を有する配線基板の製造方法において、
該配線電極上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程を有することを特徴とする配線基板の製造方法。
前記化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程が、60℃以上150℃以下の加熱処理を行うことを特徴とする請求項8記載の配線基板の製造方法。
圧電性セラミック基板上に電極膜を形成する工程と、該電極膜上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を形成する工程を有する圧電性セラミック素子の製造方法において、
該電極膜上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程を有することを特徴とする圧電性セラミック素子の製造方法。
前記化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程が、60℃以上150℃以下の加熱処理を行うことを特徴とする請求項10記載の圧電性セラミック素子の製造方法。
本発明の配線基板の一例は、図1に示す構成を有しており、100は基板であり、101は配線電極である。配線電極は、特に限定されないが、ニッケル、金、銅、パラジウム、銀又は白金の何れかから選択される金属電極が好ましく、さらに電解メッキ又は無電解メッキにより形成され、該メッキがニッケルメッキ、金メッキ、銅メッキ、パラジウムメッキ、銀メッキ又は白金メッキの何れかから選択されることが好ましい。導電性が高く電極としての性能に優れるためである。
(1)ニッケル、金、銅などの金属表面と硫黄原子を含む化合物の化学結合。
次に、本発明の圧電性セラミック素子及びそれを用いたインクジェットヘッドについて詳細に説明する。
アルミナ基板上に2cm×2cmサイズの電極をパターン形成し、下記前処理条件にて表1に示す前処理材料を用いて本発明化合物からなる層を形成後、パリレン製膜を行って、電極保護膜を形成した。
(ア)前処理材料の1%THF(テトラヒドロフラン)溶液を作成し、電極形成部材を前記溶液中に浸漬する。その後、THFですすぎ洗浄した後、常温で乾燥させる。
(イ)前処理材料の1%THF(テトラヒドロフラン)溶液を作成し、電極形成部材を前記溶液中に浸漬する。その後、THFですすぎ洗浄した後、60℃3時間の加熱処理を行う。
(ウ)前処理材料の1%THF(テトラヒドロフラン)溶液を作成し、電極形成部材を前記溶液中に浸漬する。その後、THFですすぎ洗浄した後、100℃1時間の加熱処理を行う。
(エ)前処理材料の1%THF(テトラヒドロフラン)溶液を作成し、電極形成部材を前記溶液中に浸漬する。その後、THFですすぎ洗浄した後、150℃15分間の加熱処理を行う。
(オ)前処理材料0.5gをガラスビーカに取り、減圧チャンバ内に電極形成部材と共存させ、1/100気圧まで減圧した状態を維持して100℃1時間の加熱処理を行う。
144時間経過後リーク電流値が1μA以下の場合 ◎
96時間経過後リーク電流値が1μA以下の場合 ○
72時間経過後リーク電流値が1μA以下の場合 ×
72時間経過後リーク電流値が1μAを超える場合 ××
表1に示す。
表1中に示した前処理材料を以下に示す。
6-(4-ビニルベンジル-n-プロピル)アミノ-2,4-ジメルカプト-1,3,5-トリアジンは以下のようにして合成できる。
下記表2に示す前処理材料及び前処理条件で保護膜形成を行った64ノズルのインクジェットヘッドを図2のように作成し、下記処方のインクを使用し、インク浸漬60℃保管試験を1ヶ月行い、その後24時間の連続射出試験を行い、正常な射出状態が保たれているかで保護膜性能を評価した。またパリレン膜厚は5μmとした。
水 44.8wt%
グリセリン 30.0wt%
エチレングリコール 20.0wt%
界面活性剤 0.1wt%
pH緩衝剤 0.1wt%
染料 5.0wt%
24時間の連続射出試験中、正常射出が保たれている場合 ◎
24時間の連続射出試験中、射出不良が発生した場合 ×
表2に示す。
2:圧電性セラミック素子、圧電性セラミック素子基板
3:カバープレート
4:インクチャネル
5:側壁
6:電極
7:ノズルプレート
8:ノズル孔
100:基板
101:配線電極
102:層
103:保護膜
Claims (11)
- 基板上に配線電極を有し、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する配線基板において、
前記基板上に設けられた配線電極の基板と接している側とは反対側の電極表面に対して、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物の層を形成してなることを特徴とする配線基板。 - 基板上に配線電極を有し、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する配線基板において、
該配線電極上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層が自己組織化した状態で設けられており、前記配線電極を構成する原子と前記化合物からなる層を構成する原子又は分子とが化学結合を形成し、前記化合物からなる層を構成する原子又は分子と前記保護膜を構成する原子又は分子が化学結合してなることを特徴とする配線基板。 - 基板上に配線電極を有し、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する配線基板において、
該配線電極上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層が自己組織化した状態で設けられており、
前記配線電極を構成する原子と前記化合物からなる層中の前記硫黄原子を含む構造を構成する原子又は分子とが化学結合を形成し、前記化合物からなる層中の前記メタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を構成する原子又は分子と前記ポリパラキシリレン又はその誘導体を構成する原子又は分子が化学結合してなることを特徴とする配線基板。 - 圧電性セラミック基板上に電極膜を有し、該電極上に該電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を有する圧電性セラミック素子において、
前記圧電性セラミック基板上に設けられた電極膜の該基板と接している側とは反対側の電極表面に対して、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物の層を形成してなることを特徴とする圧電性セラミック素子。 - 圧電性セラミック基板上に電極膜を有し、該電極上に該電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体の樹脂皮膜からなる保護膜を有する圧電性セラミック素子において、
前記圧電性セラミック基板上に設けられた電極膜の該基板と接している側とは反対側の電極表面に、一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層が自己組織化した状態で設けられており、
前記電極膜を構成する原子と前記化合物からなる層中の前記硫黄原子を含む構造を構成する原子又は分子とが化学結合を形成し、前記化合物からなる層中の前記メタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を構成する原子又は分子と前記ポリパラキシリレン又はその誘導体を構成する原子又は分子が化学結合してなることを特徴とする圧電性セラミック素子。 - 前記圧電性セラミック基板上に設けられた電極膜の圧電性セラミック素子と接している側とは反対側の電極表面が、電解メッキ又は無電解メッキにより形成され、該メッキがニッケルメッキ、金メッキ、銅メッキ、パラジウムメッキ、銀メッキ又は白金メッキの何れかから選択されることを特徴とする請求項4又は5記載の圧電性セラミック素子。
- 請求項4〜6の何れかに記載の圧電性セラミック素子を用い、前記圧電性セラミック基板上に設けられた前記電極膜に駆動電圧を印加して該素子を駆動し、インクを加圧して微小液滴として吐出することを特徴とするインクジェットヘッド。
- 基板上に配線電極を形成する工程と、該配線電極上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を形成する工程を有する配線基板の製造方法において、
該配線電極上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程を有することを特徴とする配線基板の製造方法。 - 前記化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程が、60℃以上150℃以下の加熱処理を行うことを特徴とする請求項8記載の配線基板の製造方法。
- 圧電性セラミック基板上に電極膜を形成する工程と、該電極膜上に電極表面と外部との絶縁のためにポリパラキシリレン又はその誘導体からなる保護膜を形成する工程を有する圧電性セラミック素子の製造方法において、
該電極膜上に一つの末端にメタクリル酸誘導体構造又はビニル基構造を有し、且つ他の末端に硫黄原子を含む構造を有する化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程を有することを特徴とする圧電性セラミック素子の製造方法。 - 前記化合物からなる層を自己組織化した状態で設ける工程が、60℃以上150℃以下の加熱処理を行うことを特徴とする請求項10記載の圧電性セラミック素子の製造方法。
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