JP2006309654A5

JP2006309654A5 -

Info

Publication number: JP2006309654A5
Application number: JP2005134123A
Authority: JP
Filing date: 2005-05-02
Publication date: 2008-06-19
Anticipated expiration: 2025-05-02

Claims

多角形軸を有し、軸方向に垂直な平面内で移動可能なテーブルと、
テーブルの多角形軸の各辺に対応してそれぞれ設けられるアクチュエータであって、案内部に案内され駆動気体圧で駆動される可動部を有し、多角形軸の対応する辺を気体受面として、可動部の先端面と気体受面との間に供給される伝達気体圧を介して多角形軸に駆動力を与える複数の気体制御アクチュエータと、
各気体制御アクチュエータを制御し、多角形軸の各辺に与えられる駆動力の協働によって、テーブルの平面内移動又は軸周りの任意角度の回転の少なくともいずれか１の制御を含むテーブル制御部と、
を備え、さらに、
各気体制御アクチュエータに対応してそれぞれ、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧を供給する伝達気体供給路と、
伝達気体圧を、可動部に対する駆動気体圧より大きい気体圧で、かつ、可動部先端面の面積に伝達気体圧を乗じて得られる負荷力から、可動部の先端面と気体受面との間の隙間に応じて外部に流れる気体による駆動力損失を差し引いた実効負荷力が可動部に対する駆動力と同じまたはそれより小さくなる気体圧に制御する伝達気体圧制御手段と、
を有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
多角形軸を有し、軸方向に垂直な平面内で移動可能なテーブルと、
テーブルの多角形軸の各辺に対応してそれぞれ設けられるアクチュエータであって、案内部に案内され駆動気体圧で駆動される可動部を有し、多角形軸の対応する辺を気体受面として、可動部の先端面と気体受面との間に供給される伝達気体の層を介して多角形軸に駆動力を与える複数の気体制御アクチュエータと、
各気体制御アクチュエータを制御し、多角形軸の各辺に与えられる駆動力の協働によって、テーブルの平面内移動又は軸周りの任意角度の回転の少なくともいずれか１の制御を含むテーブル制御部と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧として駆動気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を備え、
各可動部の先端面は、可動部の駆動気体圧を受ける駆動気体圧面の面積より広く、かつ、その先端面の広い面積に伝達気体圧を乗じて得られる負荷力から、可動部の先端面と気体受面との間の隙間に応じて外部に流れる気体による駆動力損失を差し引いた実効負荷力が可動部に対する駆動力と同じまたはそれより小さくなる面積を有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
多角形軸を有し、軸方向に垂直な平面内で移動可能なテーブルと、
テーブルの多角形軸の各辺に対応してそれぞれ設けられるアクチュエータであって、
案内部に案内されるスリーブ状の可動部を有し、多角形軸の対応する辺を気体受面として、スリーブ状の可動部の中心穴を通って気体受面に供給される駆動気体圧によって気体受面に駆動力を与え、スリーブ状の可動部の中心穴からスリーブ状の可動部の先端面と気体受面との間の隙間を通って外部に流れる気体によって気体受面を支持する複数の気体制御アクチュエータと、
各気体制御アクチュエータを制御し、多角形軸の各辺に与えられる駆動力の協働によって、テーブルの平面内移動又は軸周りの任意角度の回転の少なくともいずれか１の制御を含むテーブル制御部と、
を備え、さらに、
各気体制御アクチュエータに対応してそれぞれ、
スリーブ状の可動部に対し、気体受面の駆動に連動して移動させるスリーブ移動気体圧を供給する供給手段を有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
多角形軸を有し、軸方向に垂直な平面内で移動可能なテーブルと、
テーブルの多角形軸の各辺に対応してそれぞれ設けられるアクチュエータであって、ダイヤフラムの先端に接続され、ダイヤフラムの内管部に供給される駆動気体圧で駆動される可動部を有し、多角形軸の対応する辺を気体受面として、可動部の先端面と気体受面との間に供給される伝達気体の層を介して多角形軸に駆動力を与える複数の気体制御アクチュエータと、
各気体制御アクチュエータを制御し、多角形軸の各辺に与えられる駆動力の協働によって、テーブルの平面内移動又は軸周りの任意角度の回転の少なくともいずれか１の制御を含むテーブル制御部と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧として駆動気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を備えることを特徴とする気体制御回転移動装置。
多角形軸を有し、軸方向に垂直な平面内で移動可能なテーブルと、
テーブルの多角形軸の各辺に対応してそれぞれ設けられるアクチュエータであって、案内部に案内されて電磁モータで駆動される可動部を有し、多角形軸の対応する辺を気体受面として、可動部の先端面と気体受面との間に供給される伝達気体の層を介して多角形軸に駆動力を与える複数の気体制御アクチュエータと、
各気体制御アクチュエータを制御し、多角形軸の各辺に与えられる駆動力の協働によって、テーブルの平面内移動又は軸周りの任意角度の回転の少なくともいずれか１の制御を含むテーブル制御部と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧として駆動気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を備えることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項１、２、４、５のいずれか１に記載の気体制御回転移動装置において、
伝達気体供給路に設けられる絞りを有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項１、２、４、５、６のいずれか１に記載の気体制御回転移動装置において、
伝達気体供給路は、
伝達気体圧の供給源から多角形軸の内部を通り対応する気体受面に他方側の開口を有する軸側伝達気体供給路、又は伝達気体圧供給源から可動部の内部を通り可動部の先端面に他方側の開口を有する可動部側伝達気体供給路であることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項１から５のいずれか１に記載の気体制御回転移動装置において、
可動部は、可動方向に沿って配置される複数の可動体を有し、
気体受面に向かい合う先端可動体は、その底面が曲面で、これに対応する任意の曲率を有する曲面座で支持される曲面可動体であることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項８に記載の気体制御回転移動装置において、先端可動体の底面曲面の曲率は、これを支持する曲面座の曲率と異なることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項８に記載の気体制御回転移動装置において、
先端可動体は、その底面曲面と曲面座との間の曲面隙間に供給される曲面支持気体圧で支持されることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項１０に記載の気体制御回転移動装置において、曲面隙間には、駆動気体圧又は伝達気体圧が供給されることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項８に記載の気体制御回転移動装置において、曲面座を有する可動体は、その内部にバッファ気体室を有し、バッファ気体室は、外部に連通する気体供給口と、曲面隙間に連通する曲面支持気体供給路とを有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項８に記載の気体制御回転移動装置において、曲面座を有する可動体は、その内部にバッファ気体室を有し、バッファ気体室は、駆動気体圧又は伝達気体圧が導かれる気体導入路と、可動部と案内部との可動軸受隙間に軸受気体圧を供給する軸受気体供給路とを有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項１、２、４、５のいずれか１に記載の気体制御回転移動装置において、可動部は、可動方向に沿って配置される複数の可動体を有し、気体受面に向かい合う先端可動体は、その先端面が任意の曲率を有する曲面であることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項３に記載の気体制御回転移動装置において、スリーブ状の可動部は、可動方向に沿って配置され、略同一の中心穴を有する複数の可動体を有し、気体受面に向かい合う先端可動体は、その底面が曲面で、これに対応する任意の曲率を有する曲面座で支持される曲面可動体であることを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項３に記載の気体制御回転移動装置において、供給手段は、スリーブ状可動部に駆動気体圧を供給することを特徴とする気体制御回転移動装置。
請求項１から５のいずれか１に記載する気体制御回転移動装置において、
テーブル制御部は、位置又は角度指令、速度又は角速度指令、加速度又は角加速度指令の少なくとも１つの指令に、その上限を制限するリミッタを有することを特徴とする気体制御回転移動装置。
案内部に案内され駆動気体圧で駆動され、その先端面と移動対象物の気体受面との間に供給される伝達気体圧を介して移動対象物に駆動力を与える可動部と、
伝達気体圧を、可動部に対する駆動気体圧より大きい気体圧で、かつ、可動部先端面の面積に伝達気体圧を乗じて得られる負荷力から、可動部の先端面と気体受面との間の隙間に応じて外部に流れる気体による駆動力損失を差し引いた実効負荷力が可動部に対する駆動力と同じまたはそれより小さくなる気体圧に制御する伝達気体圧制御手段と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を有することを特徴とする気体制御アクチュエータ。
案内部に案内され駆動気体圧で駆動され、その先端面と移動対象物の気体受面との間に供給される伝達気体圧を介して移動対象物に駆動力を与える可動部と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧として駆動気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を備え、
可動部の先端面は、可動部の駆動気体圧を受ける駆動気体圧面の面積より広く、かつ、その先端面の広い面積に伝達気体圧を乗じて得られる負荷力から、可動部の先端面と気体受面との間の隙間に応じて外部に流れる気体による駆動力損失を差し引いた実効負荷力が可動部に対する駆動力と同じまたはそれより小さくなる面積を有することを特徴とする気体制御アクチュエータ。
案内部に案内されるスリーブ状の可動部であって、スリーブ状の可動部の中心穴を通って移動対象物の気体受面に供給される駆動気体圧によって移動対象物に駆動力を与え、スリーブ状の可動部の中心穴からスリーブ状の可動部の先端面と気体受面との間の隙間を通って外部に流れる気体によって移動対象物を支持するスリーブ状の可動部と、
スリーブ状の可動部に対し、気体受面の駆動に連動して移動させるスリーブ移動気体圧を供給する供給手段と、
を有することを特徴とする気体制御アクチュエータ。
ダイヤフラムの先端に接続され、ダイヤフラムの内管部に供給される駆動気体圧で駆動される可動部であって、その先端面と移動対象物の気体受面との間に供給される伝達気体圧を介して移動対象物に駆動力を与える可動部と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧として駆動気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を備えることを特徴とする気体制御アクチュエータ。
案内部に案内されて電磁モータで駆動され、その先端面と移動対象物の気体受面との間に供給される伝達気体圧を介して移動対象物に駆動力を与える可動部と、
可動部の先端面と気体受面との間の隙間に伝達気体圧として駆動気体圧を供給する伝達気体供給路と、
を備えることを特徴とする気体制御アクチュエータ。
請求項１８から２２のいずれか１に記載の気体制御アクチュエータにおいて、
可動部は、可動方向に沿って配置される複数の可動体を有し、
気体受面に向かい合う先端可動体は、その底面が曲面で、これに対応する任意の曲率を有する曲面座で支持される曲面可動体であることを特徴とする気体制御アクチュエータ。