KR101704525B1 - 정밀도 향상을 위한 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇 - Google Patents

정밀도 향상을 위한 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇 Download PDF

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Abstract

본 발명은 정밀도 향상을 위한 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 압축공기를 이용하여 백래쉬를 억제하고 진동을 저감시키는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇에 관한 것이다.
본 발명에 의하면, 중앙의 회전축에 진동 저감 장치를 설치하고 여기에 압축공기를 이용하여 핸드부에 힘을 가하는 방법으로, 감속기, 링크암 감속기 등에서 발생하는 백래쉬에 의한 진동을 저감시킴으로써, 고가의 정밀한 감속기를 사용하지 않고도 고속운전을 요하는 링크암 로봇의 정밀도를 향상시키게 된다.

Description

정밀도 향상을 위한 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇{LINK-ARM ROBOT COMPRISING VIBRATION-REDUCTION APPARATUS FOR IMPROVING ACCURACY}
본 발명은 정밀도 향상을 위한 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 압축공기를 이용하여 백래쉬를 억제하고 진동을 저감시키는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇에 관한 것이다.
3개의 링크암을 구비한 델타 로봇은, 종래 모터의 회전을 직선운동으로 바꿈으로써 작동하는 다관절 로봇에 비하여 그 움직임의 속도 면에서 매우 큰 장점을 가지게 되었다. 그러나 이러한 3개의 링크암을 구비한 델타 로봇은, 이송 작업 중 감속기에서 발생하는 백래쉬 등에 의한 진동으로 인하여 그 움직임, 작업의 정밀도가 떨어지게 되는 문제점이 있었다.
또한 이러한 3개의 링크암 외에, 가운데에서 회전이 가능함에 의해 더 자유로운 움직임을 가능하게 하는 제4축을 더 구비한 델타 로봇이 개시된 바 있으나, 이 경우에도 전술한 바와 같은 백래쉬 등에 의한 진동을 크게 향상시키지는 못하였다.
전술한 바와 같은 진동 억제 및 정밀도 향상을 위해서는 고가의 정밀한 감속기를 사용하는 방법이 있으나, 이는 로봇 원가 상승의 요인이 될 뿐만 아니라, 정밀도를 유지하면서도 고속운전을 요하는 분야에는 적용하기 어려운 문제점이 있었다.
KR 10-1413152 B1
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 중앙의 회전축에 진동 저감 장치를 설치하고 여기에 압축공기를 이용하여 핸드부에 힘을 가하는 방법으로, 감속기, 링크암 감속기 등에서 발생하는 백래쉬에 의한 진동을 저감시킴으로써, 고가의 정밀한 감속기를 사용하지 않고도 고속운전을 요하는 링크암 로봇의 정밀도를 향상시키도록 하는데 그 목적이 있다.
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이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇은, 베이스 플레이트; 일 단부가 상기 베이스 플레이트에 각각 선회운동이 가능하도록 연결된 적어도 3개 이상의 링크암; 상기 각 링크암의 타 단부에 연결되어 있는 핸드부; 각 링크암의 베이스 플레이트 쪽 단부에 연결되어 각 링크암을 구동시키는 구동부; 및 상기 링크암들의 중앙에 배치되고, 일 단부가 상기 베이스 플레이트에 연결되고, 타 단부가 상기 핸드부에 연결되어, 상기 링크암들의 움직임에 따라 회전 운동 및 직선 운동이 가능하며, 압축공기 주입에 의하여 상기 링크암의 백래쉬에 따른 진동을 저감시키는 장치를 구비하는 회전축을 포함하고, 상기 구동부는, 모터 및 감속기를 구비하며, 상기 회전축은, 내부에 원기둥 형상의 공간을 구비하는 하우징; 하부가 유니버셜 조인트를 통하여 상기 핸드부에 연결되고, 상기 링크암들의 움직임에 따라 상기 하우징 내에서 직선운동을 수행하며, 그 상부의 피스톤 샤프트 헤드와 상기 하우징은 밀폐된 공간(이하, '압축공기 공간'이라 한다)을 형성하는 피스톤 샤프트; 링크암의 백래쉬에 의한 진동을 억제하기 위하여 상기 압축공기 공간에 압축공기를 가하는 압축공기 공급장치; 및 상기 압축공기가 상기 압축공기 공간으로 투입되기 위한 압축공기 노즐을 포함하되, 상기 압축공기 공급장치는, 상기 피스톤 샤프트 헤드 위쪽의 압축공기 공간에 상기 노즐을 통하여 압축공기를 가하고, 가해진 압축공기에 의해 상기 피스톤 샤프트가 상기 회전축 하부의 핸드부에 압력을 가하여, 이로부터 핸드부에 함께 연결된 복수의 각 링크암에 하부로 당기는 힘이 작용하도록 하여 링크암의 백래쉬에 의한 진동을 억제한다.
상기 핸드부에는 대상 물체를 파지할 수 있는 그립 장치가 구비될 수 있다.
상기 각 링크암은, 관절과 같이 굽힘 운동이 가능하도록 그 연결점에서 연결되어 있는 2개의 링크를 구비할 수 있다.
상기 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇은, 상기 피스톤 샤프트 헤드 하부에 연결된 피스톤 샤프트 로드와, 상기 피스톤 샤프트 로드를 내부에 수용하는 하우징과의 사이 공간(이하 '제2 압축공기 공간'이라 한다)을 구비하고, 상기 압축공기가 상기 제2 압축공기 공간으로 투입되기 위한 제2 압축공기 노즐을 더 구비할 수 있다.
상기 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇은, 상기 링크암의 백래쉬에 의한 진동을 억제할 수 있도록, 상기 링크암의 움직임을 체크하여 상기 링크암이 이송 작업 중 정지하는 시점 직전에 압축공기가 가해지거나 또는 내부의 압축공기가 효과적으로 배출될 수 있도록 압축공기 공급장치를 제어하는 압축공기 공급 제어부를 더 포함할 수 있다.
상기 압축공기 공급장치는, 주입되는 압축공기에 대하여 일정한 압력을 유지해주는 역할을 수행하는 레귤레이터; 하향 압축공기의 주입 또는 상향 압축공기의 배출을 조절하는 제1 솔레노이드 밸브; 및 상향 압축공기의 주입 또는 하향 압축공기의 배출을 조절하는 제2 솔레노이드 밸브를 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 중앙의 회전축에 진동 저감 장치를 설치하고 여기에 압축공기를 이용하여 핸드부에 힘을 가하는 방법으로, 감속기, 링크암 감속기 등에서 발생하는 백래쉬에 의한 진동을 저감시킴으로써, 고가의 정밀한 감속기를 사용하지 않고도 고속운전을 요하는 링크암 로봇의 정밀도를 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇의 사시도.
도 2는 본 발명에 따른 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇의 움직임을 설 명하기 위한 도면.
도 3은 종래 링크암 로봇의 제4축을 도시한 도면.
도 4는 본 발명에 따른 링크암 로봇의 진동 저감 장치의 구성을 도시한 도면.
도 5는 본 발명에 따른 링크암 로봇의 진동 저감 장치에서 진동을 저감시키는 메카니즘을 설명하기 위한 도면.
도 6은 압축공기 공급장치에서 하향 압축공기를 제공하여 회전축 내부 피스톤 샤프트가 아래로 이동하는 경우를 도시한 도면.
도 7은 압축공기 공급장치에서 상향 압축공기를 제공하여 회전축 내부 피스톤 샤프트가 위로 이동하는 경우를 도시한 도면.
도 8은 압축공기 공급장치에서 하향 압축공기를 제공하나, 회전축 내부 피스톤 샤프트가 정지해 있는 경우를 도시한 도면.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 본 발명에 따른 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇(100)의 사시도이다.
도면을 참조하면, 링크암 로봇(100)은 베이스 플레이트(101)를 구비하고, 베이스 플레이트(101)에 3개의 링크암(110,120,130)의 일 단부가 연결된다. 링크암은 반드시 3개로만 구성되어야 하는 것은 아니며, 3개 이상을 구비할 수 있다. 각 링크암은 베이스 플레이트(101)에 각각 선회운동이 가능하도록 연결되어 있으며, 각각 링크1 및 링크2를 구비하여 그 연결점에서 관절과 같이 굽힘 운동이 가능하다. 예를 들어 제1 링크암(110)은 링크1(111) 및 링크2(112)로 구성되어 있다.
각 링크암(110,120,130)은 각각 해당 링크암을 구동시킬 수 있는 구동부(113,123)를 구비한다. 제3 링크암(130)의 구동부는 베이스 플레이트(101)에 가리워진 형태로서, 본 도면에는 도시되지 아니하였다. 구동부는 모터 및 감속기를 구비할 수 있다.
각 링크암(110,120,130)의 타 단부는 핸드부(102)에 연결되어 있다. 도시되어 있지는 않으나, 핸드부(102)에는 대상 물체를 잡아서 이동시킬 수 있는 그립 장치가 구비되어 있을 수 있다.
또한 링크암 로봇(100)은 전술한 링크암(110,120,130) 외에, 일 단부가 베이스 플레이트(101)에, 타 단부가 핸드부(102)에 연결된 회전축(140)을 더 구비하며, 회전축(140)은 회전운동이 가능하도록 연결되어 있다. 또한 회전축(140)에는, 본 발명의 특징인 진동 저감을 위한 장치를 구비하는데, 이에 대하여는 도 4 및 도 5를 참조하여 상세히 후술한다.
도 2는 본 발명에 따른 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇(100)의 움직임을 설명하기 위한 도면이다.
로봇 제어부(미도시)의 제어에 따라, 모터 구동에 의해 각 링크암이 움직이며 대상 물체의 이송 등의 작업을 수행한다. 도면을 참조하면, 제1 링크암(110) 및 제2 링크암(120)이 각각 점선의 위치(110.1, 120.1)로 이동한 경우, 제1 링크암(110) 및 제2 링크암(120)이 그 단부에서 공통적으로 연결되어 있는 핸드부(102) 역시 점선의 위치(102.1)로 함께 이동하게 된다. 이때 중앙에 연결된 회전축(140) 역시 그 일 단부가 연결되어 있는 핸드부의 이동에 따라 움직이게 된다(140.1). 본 도면에서는 이동한 회전축(140.1)의 위쪽 단부를 편의상 절단하여 도시하였으나, 실제로는 텔레스코픽(telescopic) 구조에 의해 길이가 연장되면서 위 단부는 유니버셜 조인트(141)에 연결되어 있게 된다. 이와 같은 동작에 의해 핸드부(102) 하단에 파지된 대상 물체(미도시)를 이동(102.1 위치로)시키게 된다.
도 3은 종래 링크암 로봇의 제4축(10)을 도시한 도면이다.
도시되지는 아니하였으나, 제4축(10)의 위 단부는 베이스 플레이트에, 아래 단부는 핸드부에 각 링크암 들과 함께 연결되어 있다. 직선운동과 회전운동을 전달하는 볼스플라인(13)이 구비되어 있으며, 각 링크암들의 움직임에 따라, 샤프트(14)가 유니버셜 조인트(11)에 연결된 하우징(12) 안에서 상하로 움직이는 텔레스코픽(telescopic) 구조로 구성되어 있다. 이때 각 링크암들이 이송 작업 중에 특정 지점에서 정지하는 경우, 링크암 구동부의 감속기의 백래쉬(backlash)에 의한 진동이 발생하게 되며, 이는 로봇 움직임의 정밀도를 떨어뜨리는 원인이 되어 왔다. 이를 해결하기 위한 구조로서, 이하 도 4를 참조하여 본 발명에 따른 링크암 로봇의 진동 저감 장치를 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 링크암 로봇의 진동 저감 장치의 구성을 도시한 도면이며, 도 5는 링크암 로봇의 진동 저감 장치에서 진동을 저감시키는 메카니즘을 설명하기 위한 도면이다. 이하 도 4 및 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 링크암 로봇의 진동 저감 장치의 구조 및 작동을 설명한다. 도 5에는 편의상 2개의 링크암(110,120)을 도시하였으나, 제3 링크암(130) 역시 포함된 것이며, 이를 바탕으로 이하 기술한다. 우측하단 도면(160)은 회전축(140)에서 'AA' 선을 자르고 본 단면의 평면도이다.
진동 저감 장치는, 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한 바와 같이 링크암 로봇의 회전축(140)에 설치되어 있다. 유니버셜 조인트(141)에 연결된 하우징(142) 내부에 피스톤 샤프트(143)가 설치된다. 가이드 샤프트(145)는 직선운동을 수행하고, 볼부쉬(146)가 배치되어 회전동력을 핸드부(102)에 전달하게 된다.
피스톤 샤프트(143.1, 143.2)는 하부 단이 유니버셜 조인트(149)를 통하여 핸드부(102)에 연결되고(도 2 및 도 5 참조), 함께 핸드부(102)에 연결된 링크암(110,120,130)의 움직임에 따라, 도 2를 참조하여 전술한 바와 같이 회전축(140) 역시 함께 움직이게 되는데, 이때 회전축(140)의 길이가 연장되거나 수축될 경우 피스톤 샤프트(143)가 하우징(142) 내에서 상하 운동을 함에 의해 그러한 연장 및 수축이 이루어지게 되는 것이다.
이러한 피스톤 샤프트는 피스톤 샤프트 헤드(143.1) 및 피스톤 샤프트 로드(143.2)로 구성되는데, 링크암(110,120,130)이 이송 작업 중 정지할 경우, 링크암 구동부의 감속기에서의 백래쉬에 의해 진동이 발생하게 된다. 이 경우 본 발명에 따른 진동 저감 장치에서는, 회전축(140)에 압축공기를 가함으로써 이러한 진동을 최대한 억제하게 된다. 즉, 링크암(110,120,130)이 이송 작업 중 정지하는 시점에, 피스톤 샤프트 헤드(143.1) 위쪽의 하우징 내 공간(144, 이하 '압축공기 공간'이라 한다)에, 노즐(147)을 통하여 압축공기를 가하면, 순간적으로 피스톤 샤프트(143)에 압축공기에 의한 힘이 가해지게 되고(150의 아래방향 화살표), 이에 따라 핸드부(102)에 순간적 압력이 가해지게 된다(도 5 참조). 따라서 핸드부(102)에 함께 연결된 링크암(110,120,130)에도 하부로 당기는 힘이 작용하게 되어(도 5 참조, 화살표 1,2) 링크암(110,120,130)의 진동을 순간적으로 억제하게 되는 것이다. 즉, 정지에 따르는 링크암(110,120,130)의 흔들리는 시점을 미리 파악하여 압축공기를 하우징(142) 내부에 가함으로써, 피스톤 샤프트(143)가 핸드부(102)에 발생시키는 압력을 이용하여 링크암(110,120,130)을 당겨주어 흔들림을 최대한 방지하는 것이다.
전술한 메카니즘을 수행하기 위하여, 본 발명에 따른 링크암 로봇(100)은, 링크암(110,120,130)의 백래쉬에 의한 진동을 억제하기 위하여 압축공기 공간에 압축공기를 가하는 압축공기 공급장치(200)를 구비할 수 있는데 이에 대하여 이하 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명한다.
도 6은 압축공기 공급장치(200)에서 하향 압축공기를 제공하여 회전축(140) 내부 피스톤 샤프트(143.1, 143.2)가 아래로 이동하는 경우를 도시한 도면이고, 도 7은 압축공기 공급장치(200)에서 상향 압축공기를 제공하여 회전축(140) 내부 피스톤 샤프트(143.1, 143.2)가 위로 이동하는 경우를 도시한 도면이며, 도 8은 압축공기 공급장치(200)에서 하향 압축공기를 제공하나, 회전축(140) 내부 피스톤 샤프트(143.1, 143.2)가 정지해 있는 경우를 도시한 도면이다.
본 발명에 따른 링크암 로봇(100)은, 상기 링크암(110,120,130)의 백래쉬에 의한 진동을 억제할 수 있도록, 상기 링크암(110,120,130)의 움직임을 체크하여 상기 링크암이 이송 작업 중 정지하는 시점 직전에 압축공기가 가해지거나 또는 내부의 압축공기가 효과적으로 배출될 수 있도록 압축공기 공급장치를 제어하는 압축공기 공급 제어부를 더 포함할 수 있다. 즉 압축공기 공급 제어부는 도 6 내지 도 8에서와 같은 압축공기의 주입 및 배출 과정을 제어하는 것이다.
상기 압축공기 공급장치(200)는, 주입되는 압축공기에 대하여 일정한 압력을 유지해주는 역할을 수행하는 레귤레이터(210), 및 회전축(140) 내부 피스톤 샤프트(143.1, 143.2)가 아래로 이동하거나(도 6 참조), 위로 이동하거나(도 7 참조), 정지해 있도록(도 8 참조) 회전축(140) 내부로의 압축공기의 흐름을 조절하기 위한 제1 솔레노이드 밸브(220), 제2 솔레노이드 밸브(230)를 구비한다.
도 6에서는 제1 솔레노이드 밸브(220)에서 하향 공기 주입 방향이 열리고, 회전축 압축공기 노즐1(147)을 통하여 하향 압축공기가 주입되며, 이에 따라 피스톤 샤프트가 하향 압축공기에 의해 아래로 이동하면서, 회전축 압축공기 노즐2(148)을 통하여 회전축 하우징 내 제2 압축공기 공간(144.1)의 압축공기가 배출된다. 이때 제2 솔레노이드 밸브(230)는 하향 공기의 배출방향(231)으로 열리게 된다.
도 7에서는 제2 솔레노이드 밸브(230)에서 상향 공기 주입 방향이 열리고, 회전축 압축공기 노즐2(148)을 통하여 상향 압축공기가 주입되며, 이에 따라 피스톤 샤프트가 상향 압축공기에 의해 위로 이동하면서, 회전축 압축공기 노즐1(147)을 통하여 회전축 하우징 내 압축공기 공간(144)의 압축공기가 배출된다. 이때 제1 솔레노이드 밸브(220)는 상향 공기의 배출방향(222)으로 열리게 된다.
도 8에서는 도 6과 같이 제1 솔레노이드 밸브(220)에서 하향 공기 주입 방향이 열리고, 회전축 압축공기 노즐1(147)을 통하여 하향 압축공기가 주입되며, 이에 따라 피스톤 샤프트가 하향 압축공기에 의해 아래로 이동한다. 그러나 이때 제2 솔레노이드 밸브(230)는 하향 공기의 공기 주입 및 배출이 정지(233) 되도록 조정되어, 결국 피스톤 샤프트 역시 정지되게 된다.
1,2: 압축공기 가해진 경우 링크암(110,120)이 당겨지는 방향
10: 종래 링크암 로봇의 제4축
11: 제4축의 유니버셜 조인트
12: 제4축의 하우징
13: 제4축의 볼스플라인
14: 제4축의 샤프트
15: 제4축의 유니버셜 조인트
100: 본 발명에 따른 링크암 로봇
101: 베이스 플레이트
102: 핸드부
110,120,130: 링크암
111,121,131: 각 링크암의 링크1
112,122,132: 각 링크암의 링크2
113,123,133: 각 링크암의 구동부
140: 회전축
141: 회전축 유니버셜 조인트
142: 회전축 하우징
143.1: 회전축 피스톤 샤프트 헤드
143.2: 회전축 피스톤 샤프트 로드
144: 회전축 하우징 내 압축공기 공간
144.1: 회전축 하우징 내 제2 압축공기 공간
145: 회전축 가이드 샤프트
146: 회전축 볼부쉬
147: 회전축 압축공기 노즐1
148: 회전축 압축공기 노즐2
149: 회전축 유니버셜 조인트
150: 회전축 압축공기에 의한 백래쉬 억제 모식도
160: 회전축 단면의 평면도
170: 감속기
180: 모터
200: 압축공기 공급장치
210: 레귤레이터
220: 제1 솔레노이드 밸브
221: 하향 공기 주입
222: 상향 공기 배출
230: 제2 솔레노이드 밸브
231: 하향 공기 배출
232: 상향 공기 주입
233: 공기 주입 및 배출 정지

Claims (8)

  1. 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇으로서,
    베이스 플레이트;
    일 단부가 상기 베이스 플레이트에 각각 선회운동이 가능하도록 연결된 적어도 3개 이상의 링크암;
    상기 각 링크암의 타 단부에 연결되어 있는 핸드부;
    각 링크암의 베이스 플레이트 쪽 단부에 연결되어 각 링크암을 구동시키는 구동부; 및
    상기 링크암들의 중앙에 배치되고, 일 단부가 상기 베이스 플레이트에 연결되고, 타 단부가 상기 핸드부에 연결되어, 상기 링크암들의 움직임에 따라 회전 운동 및 직선 운동이 가능하며, 압축공기 주입에 의하여 상기 링크암의 백래쉬에 따른 진동을 저감시키는 장치를 구비하는 회전축
    을 포함하고,
    상기 구동부는,
    모터 및 감속기를 구비하며,
    상기 회전축은,
    내부에 원기둥 형상의 공간을 구비하는 하우징;
    하부가 유니버셜 조인트를 통하여 상기 핸드부에 연결되고, 상기 링크암들의 움직임에 따라 상기 하우징 내에서 직선운동을 수행하며, 그 상부의 피스톤 샤프트 헤드와 상기 하우징은 밀폐된 공간(이하, '압축공기 공간'이라 한다)을 형성하는 피스톤 샤프트;
    링크암의 백래쉬에 의한 진동을 억제하기 위하여 상기 압축공기 공간에 압축공기를 가하는 압축공기 공급장치; 및
    상기 압축공기가 상기 압축공기 공간으로 투입되기 위한 압축공기 노즐
    을 포함하되,
    상기 압축공기 공급장치는, 상기 피스톤 샤프트 헤드 위쪽의 압축공기 공간에 상기 노즐을 통하여 압축공기를 가하고, 가해진 압축공기에 의해 상기 피스톤 샤프트가 상기 회전축 하부의 핸드부에 압력을 가하여, 이로부터 핸드부에 함께 연결된 복수의 각 링크암에 하부로 당기는 힘이 작용하도록 하여 링크암의 백래쉬에 의한 진동을 억제하는,
    진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 핸드부에는
    대상 물체를 파지할 수 있는 그립 장치가 구비되어 있는 것
    을 특징으로 하는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 각 링크암은,
    관절과 같이 굽힘 운동이 가능하도록 그 연결점에서 연결되어 있는 2개의 링크를 구비하는 것
    을 특징으로 하는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 피스톤 샤프트 헤드 하부에 연결된 피스톤 샤프트 로드와, 상기 피스톤 샤프트 로드를 내부에 수용하는 하우징과의 사이 공간(이하 '제2 압축공기 공간'이라 한다)을 구비하고,
    상기 압축공기가 상기 제2 압축공기 공간으로 투입되기 위한 제2 압축공기 노즐을 더 구비하는 것
    을 특징으로 하는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 링크암의 백래쉬에 의한 진동을 억제할 수 있도록, 상기 링크암의 움직임을 체크하여 상기 링크암이 이송 작업 중 정지하는 시점 직전에 압축공기가 가해지거나 또는 내부의 압축공기가 효과적으로 배출될 수 있도록 압축공기 공급장치를 제어하는 압축공기 공급 제어부
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 압축공기 공급장치는,
    주입되는 압축공기에 대하여 일정한 압력을 유지해주는 역할을 수행하는 레귤레이터;
    하향 압축공기의 주입 또는 상향 압축공기의 배출을 조절하는 제1 솔레노이드 밸브; 및
    상향 압축공기의 주입 또는 하향 압축공기의 배출을 조절하는 제2 솔레노이드 밸브
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 저감 장치를 구비한 링크암 로봇.
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