JPS6146130U - 微動変位機構 - Google Patents

微動変位機構

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Publication number
JPS6146130U
JPS6146130U JP13092484U JP13092484U JPS6146130U JP S6146130 U JPS6146130 U JP S6146130U JP 13092484 U JP13092484 U JP 13092484U JP 13092484 U JP13092484 U JP 13092484U JP S6146130 U JPS6146130 U JP S6146130U
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JP
Japan
Prior art keywords
displacement mechanism
orifice
fine displacement
flow path
open end
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Pending
Application number
JP13092484U
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English (en)
Inventor
定夫 杉山
Original Assignee
オムロン株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図面はこの考案の一実施例を示し、第１図は微動変位機
構の断面図、第２図は従来例の微動変位機構を示す側面
図である。 １・・・入力部材、２・・・出力部材、３・・・ガイド
部材、４・・・微小エアギャップ、５・・・第１流路、
６・・・第１オリフイス、７・・・第２流路、８・・・
第２オリフイス、９・・・第３流路、１０・・・第３オ
リフイス。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 入力部材と出力部材とをガイド部材の内部に対向させて
    配置すると共に、これら各部材相互間に微小エアギャッ
    プを形成して静圧軸受構造とし、前記入力部材には開口
    端に第１オリフイスをもった第１流路を形成し、 前記ガイド部材には開口端に第２オリフイスをもった第
    ２流路を形成し、 さらに開口端に第３オリフイスを有して前記出力部材を
    変位させる第３流路を備えてなる微動変位機構。
JP13092484U 1984-08-28 1984-08-28 微動変位機構 Pending JPS6146130U (ja)

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JP13092484U JPS6146130U (ja) 1984-08-28 1984-08-28 微動変位機構

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JP13092484U JPS6146130U (ja) 1984-08-28 1984-08-28 微動変位機構

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JPS6146130U true JPS6146130U (ja) 1986-03-27

Family

ID=30689517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13092484U Pending JPS6146130U (ja) 1984-08-28 1984-08-28 微動変位機構

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6146130U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006309654A (ja) * 2005-05-02 2006-11-09 Psc Kk 気体制御回転移動装置及び気体制御アクチュエータ

Cited By (1)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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