JP2006307318A - αアルミナ層形成部材の製法および表面処理法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材表面にαアルミナ層が形成された部材を製造する方法であって、(1)基材の少なくとも一部の面に、α型結晶構造のアルミナ層を形成する工程、(2)得られたアルミナ層の表面にイオンボンバード処理を施す工程、を含む。この製法を採用することで、工具に適用した場合は工具寿命を延長し、摺動部材や金型に適用した場合は摩擦抵抗を効果的に低減できる。
【選択図】図1
Description
(1)基材の少なくとも一部の面に、α型結晶構造のアルミナ層を形成する工程、
(2)得られたアルミナ層の表面にイオンボンバード処理を施す工程、
を含むことを特徴とする。本発明によれば工具寿命を延ばすことができ、また摺動部材や金型などに適用した場合は摩擦抵抗を低減できる。
そして上記図4の装置を用い、それら基材の上に、予めPVD法(この例では、アークイオンプレーティング法)で厚さ2〜3μmのTiAlN硬質皮膜を形成した。すなわち遊星回転治具4にSNMN120408を取り付け(図中2)、回転部材10にSNGA120408を取り付け(図中11)、真空のチャンバー内に約4Paとなる様に窒素を導入し、チャンバー1内でTiAl合金ターゲットを装着したカソード7との間に電圧を印加してアーク放電による金属イオン蒸気を発生させ、バイアス電源8によってバイアス電圧を印加し、基材上にTi0.55Al0.45N(原子比)の硬質皮膜を形成した。
次に、チャンバー1内が真空になる様に一旦排気し、ヒータ5を用いて基材2の温度を550℃まで上昇させた。そして、チャンバー1内にArガスを1.33Paの圧力で導入し、熱電子放出フィラメント9とチャンバーの間で4Aの放電を発生させてArプラズマを生成した。このArプラズマ生成を継続しながら、30kHzの周波数でパルス化したDC電圧を−300V、−350V、−400V、−450Vでそれぞれ2分間、−500Vで10分間の合計で18分間印加してイオンボンバード処理を行なった。
次に、ヒータ5で基材2を750℃まで加熱した。装置内に、酸素ガスを流量300ml/分で、圧力が約0.75Paになるまで導入し、基材2の表面を酸化処理した。
次に、チャンバー1内をArと酸素の混合ガス雰囲気にした。アルミターゲットを装着した2台のスパッタリングカソード6に対し、2台合計で平均5kWの電力を投入してパルスDCスパッタリングを行い、前記酸化処理温度とほぼ同じ加熱条件でαアルミナ層の形成を行い、αアルミナ層形成部材を製造した。その際のバイアス電圧は、−300V・30kHzパルスDCとした。アルミナ層形成時には、成膜による入熱の影響で基板の温度が若干上昇した。なお、アルミナ層の形成にあたっては、放電電圧制御とプラズマ発光分光を利用し、放電状態をいわゆる遷移モードに保った。
比較例1では、以上の操作で終了としたが、実施例では、更にその後、同チャンバー1内にArガスを2.66Paの圧力で導入し、熱電子放出フィラメント9とチャンバー1間で10Aの放電を発生させ、Arプラズマを生成させた。
2 基材
3 回転テーブル
4 遊星回転治具
5 ヒータ
6 スパッタリングカソード
7 AIP用蒸発源
8 バイアス電源
9 熱電子放出用フィラメント
10 回転部材
11 基材
12 熱電対
Claims (7)
- (1)基材の少なくとも一部の面に、α型結晶構造のアルミナ層を形成する工程、
(2)得られたアルミナ層の表面にイオンボンバード処理を施す工程、
を含むことを特徴とするαアルミナ層形成部材の製法。 - 前記イオンボンバード処理を、プラズマ中の希ガスイオンまたは金属イオンを用いて行なう請求項1に記載のαアルミナ層形成部材の製法。
- 前記アルミナ層の形成を、物理的気相成長法によって行う請求項1または2に記載のαアルミナ層形成部材の製法。
- 前記工程(1)および(2)を、同一の装置内で行なう請求項3に記載のαアルミナ層形成部材の製法。
- (0)前記工程(1)の前工程であって、該工程(1)で形成する予定のα型結晶構造のアルミナ層の下層として、予め硬質皮膜を形成しておく工程、
を含む請求項1〜4のいずれかに記載のαアルミナ層形成部材の製法。 - 前記工程(0)で形成する硬質皮膜が、TiAlNからなるものである請求項5に記載のαアルミナ層形成部材の製法。
- 部材の表面に形成されているα型結晶構造のアルミナ層をイオンボンバード処理し、該アルミナ層表面の平滑性を高めることを特徴とするαアルミナ層形成部材の表面処理法。
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