JP2006306638A - AlN単結晶の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Cr、Mn、Fe、Co、Cu、およびNiから選択された1種以上からなる金属MとAlとを含むM−Al合金融液に、またはこれにさらにSiを添加したM−Si−Al合金融液に、窒化物(例、Si3N4、BN、AlN、TiN)を接触させた状態で、AlNと格子整合性を有する種結晶基板(例、バルクSiC単結晶)を接触させ、前記種結晶基板上にAlNをエピタキシャル成長させる。窒化物は、合金融液を収容する内坩堝として、または合金融液中に投入した板状体として使用することができる。
【選択図】図2
Description
本発明は、Cr、Mn、Fe、Co、Cu、およびNiから選択された1種以上からなる金属MとAlとを含むM−Al合金融液に、またはこれにさらにSiを添加したM−Si−Al合金融液に、窒化物を接触させた状態で、AlNと格子整合性を有する種結晶基板を接触させ、前記種結晶基板上にAlNをエピタキシャル成長させることを特徴とする、AlN単結晶の製造方法である。
使用した結晶育成(成長)炉は高周波誘導加熱炉であり、これは、高周波コイルとの位置関係や断熱材を適宜使用することによって、融液表面近傍で50℃/cmの温度勾配が形成されるよう予め調整しておいた。高さ200mm、外径50mm、内径40mmの円筒形の黒鉛容器の中に、Si3N4焼結体で構成された、高さ40mm、外径39mm、内径30mmの内坩堝を挿入した。
単結晶育成炉として使用した高周波誘導加熱炉は、高周波コイルとの位置関係や断熱材を適宜使用することによって、融液表面近傍で均熱帯が形成されるよう予め調整しておいた。高さ200mm、外径50mm、内径40mmの円筒形黒鉛容器の底部にSi3N4焼結体から構成された径39mm、厚さ5mmの円盤を挿入した。
結晶育成炉として使用した高周波誘導加熱炉は、高周波コイルとの位置関係や断熱材を適宜使用することにより、融液表面近傍で50℃/cmの温度勾配が形成されるよう予め調整しておいた。高さ200mm、外径50mm、内径40mmの円筒形の黒鉛容器内に窒化物焼結体で構成されている径39mm、厚さ5mmの円盤を挿入した。ここで、窒化物焼結体としては、Si3N4、BN、AlN、またはTiNの焼結体を使用した。
結晶育成炉として使用した高周波誘導加熱炉は、高周波コイルとの位置関係や断熱材を適宜使用することにより、融液表面近傍で50℃/cmの温度勾配が形成されるよう予め調整しておいた。高さ200mm、外径50mm、内径40mmの円筒形の黒鉛容器内にSi3N4焼結体で構成された、高さ40mm、外径39mm、内径30mmの内坩堝を挿入した。
Claims (8)
- Cr、Mn、Fe、Co、Cu、およびNiから選択された1種以上からなる金属MとAlとを含むM−Al合金融液に、窒化物を接触させた状態で、AlNと格子整合性を有する種結晶基板を接触させ前記種結晶基板上にAlNをエピタキシャル成長させることを特徴とする、AlN単結晶の製造方法。
- 前記合金融液がさらにSiを含有するM−Si−Al合金融液であり、前記種結晶基板がSiC単結晶基板である、請求項1記載のAlN単結晶の製造方法。
- 前記合金融液中の金属Mの合計モル濃度を[M]、Alのモル濃度を[Al]とするとき、0.2≦[Al]/[M]≦1.0の関係を満たす、請求項1または2記載のAlN単結晶の製造方法。
- 前記合金融液中のSiのモル濃度を[Si]とするとき、0.13≦[Si]/[M]≦0.32の関係をさらに満たす、請求項2または3記載のAlN単結晶の製造方法。
- 前記窒化物が、Si3N4、AlN、BN、およびTiNから選択された1種以上である、請求項1〜4のいずれかに記載のAlN単結晶の製造方法。
- 前記合金融液の周囲雰囲気が窒素を含有する非酸化性雰囲気である、請求項1〜5のいずれかに記載のAlN単結晶の製造方法。
- 前記AlNのエピタキシャル成長が、合金融液に設けた温度勾配により達成される、請求項1〜6のいずれかに記載のAlN単結晶の製造方法。
- 前記AlNのエピタキシャル成長が、少なくとも種結晶基板周辺を均熱状態に保持しながら合金融液を冷却することにより達成される、請求項1〜6のいずれかに記載のAlN単結晶の製造方法。
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JP2009091225A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Ngk Insulators Ltd | 窒化物単結晶の製造方法 |
WO2012008545A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 住友金属鉱山株式会社 | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 |
JP2014101235A (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Nagoya Univ | AlN単結晶の製造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60122797A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム単結晶の製造方法 |
JP2003505331A (ja) * | 1999-07-22 | 2003-02-12 | クリー インコーポレイテッド | 溶融体からの窒化アルミニウムのバルク単結晶の成長 |
JP2004189549A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 窒化アルミニウム単結晶の製造方法 |
JP2005082439A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | AlN単結晶の製造方法 |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60122797A (ja) * | 1983-12-07 | 1985-07-01 | Toshiba Corp | 窒化アルミニウム単結晶の製造方法 |
JP2003505331A (ja) * | 1999-07-22 | 2003-02-12 | クリー インコーポレイテッド | 溶融体からの窒化アルミニウムのバルク単結晶の成長 |
JP2004189549A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 窒化アルミニウム単結晶の製造方法 |
JP2005082439A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-03-31 | Sumitomo Metal Ind Ltd | AlN単結晶の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009091225A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Ngk Insulators Ltd | 窒化物単結晶の製造方法 |
WO2012008545A1 (ja) * | 2010-07-14 | 2012-01-19 | 住友金属鉱山株式会社 | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 |
JP2012167001A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-09-06 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 窒化アルミニウム結晶の製造方法 |
US8735905B2 (en) | 2010-07-14 | 2014-05-27 | Sumitomo Metal Mining Co., Ltd. | Method for producing aluminum nitride crystals |
JP2014101235A (ja) * | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Nagoya Univ | AlN単結晶の製造方法 |
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