JP2006303127A - ボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 リードフレームを1ピッチ分移送し(S1)、マーク認識カメラでリードフレームのマークの画像を取得してマークが本来在るべき位置と実際に在る位置とを比較しマーク41のズレ量を算出する(S2)。そして、前記ズレ量81分、搬送レールと共にリードフレームをズレ方向と逆方向へ移動して(S3)、リードフレームの幅方向へのズレを補正する。
【選択図】 図4
Description
2 リードフレーム
11 フリップチップボンダ
41 マーク
51 搬送レール
61 マーク認識カメラ
71 制御部
72 ボンディングポイント認識カメラ
75 Yテーブル駆動部
81 ズレ量
BP ボンディングポイント
Claims (1)
- 搬送レール上を移送される長尺状のワークに設定されたボンディングポイントを確認してボンディングを行うボンディング装置において、
前記ワークの縁部に設けられたマーク位置を認識して前記ワークの幅方向への前記マーク位置のズレ量を算出するズレ量算出手段と、
該ズレ量算出手段で算出した前記ズレ量分前記搬送レールを前記幅方向へ移動するズレ量補正手段と、
を備えたことを特徴とするボンディング装置。
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