JP2006301623A - 移送装置及びこれを有する液晶パネル検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移送装置及びこれを有する液晶パネル検査装置が開示される。
【解決手段】本発明の移送装置は、一つのフレーム、移動体、第１駆動ユニット、一対のカンチレバー、第２駆動ユニット、及び把持部材を含む。移動体は、フレームにスライディング可能に連結される。第１駆動ユニットは、フレームに装着され、移動体を移動させる。一対のカンチレバーは、互いに向かい合うように移動体にスライディング可能に連結される。第２駆動ユニットは、移動体に装着され、カンチレバーを移動させる。移動体によって移送される被移送体を把持する把持部材は各カンチレバーに設置される。
【選択図】図６

Description

本発明は、移送装置及びこれを有する液晶パネル検査装置に係り、より詳細には、液晶パネルを検査装置に搬入するための移送装置及び検査装置から搬出するための移送装置、及びこのような移送装置を有する液晶パネル検査装置に関する。

一般に知られている液晶パネル検査装置は、液晶パネルラインの断線検査と色相検査のために、プローブユニットを利用して点灯検査を行い、その他の顕微鏡を利用して肉眼検査を行うことになる。

前記のような従来の一般的な液晶パネル検査装置は、図１及び図２に示すように、内部に所定空間を有する本体７００、前記本体７００の内部上側に配置され、液晶パネルをプローブユニットを利用して検査する液晶パネル検査部３００、前記本体７００の内部下側に位置され、前記液晶パネル検査部３００に検査する液晶パネルを供給するために、前記液晶パネルを待機させるか、前記液晶パネル検査部３００で検査が終了された液晶パネルを外部にアンローディングするために待機させる液晶パネル検査待機部（図示せず）、及び前記液晶パネル検査ユニット３００と液晶パネル検査待機部（図示せず）との間に設置され、前記液晶パネル検査待機部（図示せず）から前記液晶パネル検査部３００に検査する液晶パネルを供給するか、前記液晶パネル検査部３００で検査が終了された液晶パネルを前記液晶パネル検査待機部（図示せず）に搬送するためのパネル移送装置１００を含んで構成される。

前記液晶パネル検査部３００は、検査する液晶パネルが置かれるワークテーブル（図示せず）、及び前記ワークテーブル（図示せず）上に置かれる液晶パネルに対して点灯検査等を行うプローブ（図示せず）を含む。前記ワークテーブル（図示せず）は、前記液晶パネルのパッドが前記プローブ（図示せず）にアラインされるように、ｘ、ｙ、ｚ、及びθ軸に移動されることができる。

一方、前記液晶パネル検査待機部（図示せず）は前記本体７００の下側に設けられるが、検査する液晶パネルを外部から前記液晶パネル検査装置内に供給するためのローディング部（図示せず）、及び前記供給された液晶パネルを前記パネル移送装置１００に供給するためのサブテーブル（図示せず）を含む。

前記液晶パネル検査装置の構成要素のうち、液晶パネルを液晶パネル検査部３００から液晶パネル検査待機部（図示せず）又は液晶パネル検査待機部（図示せず）から液晶パネル検査部３００に移送するパネル移送装置１００の構成及び作用について、図２乃至図４を参照して説明すると、次の通りである。

まず、図２に示すように、前記パネル移送装置１００は一対が具備されるが、前記パネル移送装置１００のうち、いずれか一つによって前記液晶パネル検査部３００から検査が終了された液晶パネルを液晶パネル検査待機部（図示せず）に移動させ、同時に前記パネル移送装置１００のうち、他の一つによって前記液晶パネル検査待機部（図示せず）から検査する液晶パネルを前記液晶パネル検査部３００に移動させる。

前記のように一対で構成されるパネル移送装置１００は同じ構造に形成されるので、添付された図３及び図４を参照して、一つのパネル移送装置１００についてのみ図示して説明する。

図３に示すように、従来の一般的なパネル移送装置１００は、液晶パネル検査部と液晶パネル検査待機部との間に設置される、所定間隔だけ離隔されて位置された２つのフレーム１１０と、第１駆動ユニット１６０によって前記２つのフレーム１１０の上側でスライディングされる四角枠形状の移送ブロック１２０と、前記移送ブロック１２０上に両端がかかっている状態にスライディングされ、液晶パネル１５０のサイズによって前進又は後退される一対のクランプキャリア１３０と、前記クランプキャリア１３０を前進又は後退させる２対の第１駆動ユニット１４０と、前記一対のクランプキャリア１３０に向かい合うように結合され、液晶パネル１５０をグリッピングする把持部材１７０を含んで構成されている。

前記２つのフレーム１１０は互いに平行な平面上に位置するが、互いに所定間隔だけ離隔して設置される。そして、前記移送ブロック１２０が前記２つのフレーム１１０の上側でスライディングされるように設置される。

即ち、図４に示すように、２つのフレーム１１０上に移送ブロック１２０の下側両端が位置され、前記移送ブロック１２０が前記フレーム１１０上でスライディングされる。前記２つのフレーム１１０上で前記移送ブロック１２０がスライディングされるように前記２つのフレーム１１０の上面にはＬ／Ｍガイド１１１が具備され、前記移送ブロック１２０の下面には、前記Ｌ／Ｍガイド１１１にかみ合うことができるＬ／Ｍブロック１２１が具備される。

前記のように構成された従来の一般的なパネル移送装置１００による液晶パネル１５０の移送動作について説明する。

まず、移送する液晶パネル１５０が液晶パネル検査待機部の動作によって前記把持部材１７０の間に位置されると、２対の第２駆動ユニット１４０を駆動させて、前記クランプキャリア１３０を上下移動させることによって、把持部材１７０が前記液晶パネル１５０をグリップすることができる位置まで移動させる。

その後、前記把持部材１７０を前進又は後退させることができるシリンダー（図示せず）を駆動するか、前記クランプキャリア１３０を微細移動させることによって、前記把持部材１７０によって前記液晶パネル１５０をグリッピングすることができるようにする。

前記のように前記把持部材１７０を前進又は後退させるためには、前記クランプキャリア１３０を上下移動させるか、別のエアシリンダー（図示せず）を前記クランプキャリア１３０上に準備して、前記把持部材１７０を移動させることができる。

この際、前記把持部材１７０が前記クランプキャリア１３０を上下移動させて前進又は後退させる場合には、前記クランプキャリア１３０を駆動する一組の第２駆動ユニット１４０は、正確な同期駆動を達成しなければならない。一方、前記把持部材１７０を別のエアシリンダー（図示せず）によって前進又は後退させるためには、前記クランプキャリア１３０上に別のエアシリンダー（図示せず）及びエア供給装置（図示せず）等を準備しなければならない。

前記第２駆動ユニット１４０は、動力を発生するモーター１４３と、前記モーター１４３の動力によって前記クランプキャリア１３０の両端１３１の下部に具備されるねじ結合体（図示せず）にかみ合って回転するリードスクリュー１４１と、前記リードスクリュー１４１の回転によって前記クランプキャリア１３０がスライディングされるように、前記移送ブロック１２０上に準備されるガイドレール１４５を含んで構成される。前記クランプキャリア１３０は、前記ガイドレール１４５に沿ってスライディングされるように、前記ねじ結合体（図示せず）より外側の両端１３１の下部にレール結合体（図示せず）を具備している。

前記のような第２駆動ユニット１４０を有する構成の動作によって、前記クランプキャリア１３０は、前記移送ブロック１２０上に準備されたガイドレール１４５に沿って前進又は後退することができる。従って、前記把持部材１７０は、液晶パネル１５０をグリップすることができる位置まで移動されることができるか、前記液晶パネル１５０をグリップすることができる。

前記のような動作によって、前記把持部材１７０が前記液晶パネル１５０をグリップすると、前記移送ブロック１２０は、フレーム１１０の上側面に沿ってスライディングされ移動される。この際、前記移送ブロック１２０の移動は、フレーム１１０の周辺に具備された第１駆動ユニット１６０によって行われる。

即ち、まず、前記移送ブロック１２０を移動させるために、移送モーター１６１を駆動する。そうすると、前記移送モーター１６１と連結された第１プーリー１６２は回転して、前記第１プーリー１６２とベルト１６３によって連結された第２プーリー１６４も回転することになる。前記第２プーリー１６４の回転によって前記第２プーリー１６４に一端が連結された短軸１６５が回転して、前記短軸１６５の他端と連結されたカップリング１６６の反対端に連結された長軸１６７も回転することになる。結果的に、前記一つの移送モーター１６１によって互いに所定間隔だけ離隔され位置された２つのフレーム１１０の両端付近にそれぞれ設けられる短軸１６５が同時に回転される。

そして、前記短軸１６５が回転されることによって、前記短軸１６５に結合されるかさ歯車１６９が回転され、前記かさ歯車１６９に結合されるスクリューシャフト１６８が回転する。ここで、前記移送ブロック１２０は、その下部に前記スクリューシャフト１６９とねじ結合されるねじ結合体（図示せず）が具備されているので、前記ねじ結合体（図示せず）が前記スクリューシャフト１６９に沿って移動することができる。

従って、前記ねじ結合体（図示せず）と一体に具備された移送ブロック１２０が前記スクリューシャフト１６８に沿って移動可能に設置される。

以上のような動作によって液晶パネルを移送する従来のパネル移送装置によると、前記移送ブロックの下側面と互いに所定距離だけ離隔され位置された２つのフレーム上側面に形成されたＬ／Ｍガイド及びＬ／Ｍブロックによって前記移送ブロックが前記２つのフレームに沿ってスライディングされるように設定されるので、構成部品間の隙間によって前記２つのフレーム上側で移動される前記移送ブロックの距離に多少差異が発生することがある。従って、前記フレーム上側に移送ブロックの精密な移動が難しいのみならず、前記フレーム及びスクリューシャフトにストレスが加わって、結局、破損される場合がよく発生した。

又、従来技術は、前記２つのフレーム上に移送ブロックを乗降させるための移送モーター、第１プーリー、ベルト、第２プーリー、２つの短軸、２つのカップリング、長軸、及び２つのスクリューシャフトを含む多様な構成要素が必要なので、装置が複雑であり、維持補修管理が難しいという問題点が発生した。

又、液晶パネルをグリップするか、移送するために、四角枠形状の移送ブロックを１対のフレーム上にスライディングされるように設置するので、液晶パネル移送装置の器具物が大型化され、それによって製作費用が増加して、製作の困難性が増加するという問題点がある。

又、２段に設置される１対のフレーム上に設置される２つの移送ブロックを上下移動させるために、２つの移送モーターを必要とし、把持部材を液晶パネルグリップ地点まで移動させるか、液晶パネルをグリップするために、合計で８つのモーターを必要とするので、多くの動力が消耗され、モーター駆動のためのケーブル量の増加によって装置の複雑度が増加して、維持管理が難しいという問題点が発生する。

本発明は、前記のような従来技術の問題点を解決するためのもので、本発明の目的は、簡単な構造を有する移送装置を提供することにある。
又、本発明の他の目的は、前記移送装置を有する液晶パネル検査装置を提供することにある。

本発明の一実施例による移送装置は、一つのフレーム、移動体、第１駆動ユニット、一対のカンチレバー、第２駆動ユニット、及び把持部材を含む。移動体は、フレームにスライディング可能に連結される。第１駆動ユニットはフレームに装着され、移動体を移動させる。一対のカンチレバーは、互いに向かい合うように移動体にスライディング可能に連結される。第２駆動ユニットは移動体に装着され、カンチレバーを移動させる。移動体によって移送される被移送体を把持する把持部材は、各カンチレバーに設けられる。

本発明の他の実施例による液晶パネル検査装置は、液晶パネルを検査する検査部、及び検査部に／から前記液晶パネルを搬入／搬出する移送装置を含む。移送装置は、検査部に垂直方向に沿って具備された一つのフレーム、フレームにスライディング可能に連結された移動体、フレームに装着され、移動体を昇降させるための第１駆動ユニット、移動体にスライディング可能に連結され、互いに向かい合う一対のカンチレバー、移動体に装着され、カンチレバーを昇降させるための第２駆動ユニット、及び各カンチレバーに設置され液晶パネルを把持する把持部材を含む。

本発明は、多様な変更を加えることができ、多様な形態を有することができ、特定の実施例を図面に例示し、本文に詳細に説明する。しかし、これは、本発明の特定の開示形態に対して限定するものではなく、本発明の思想及び技術範囲に含まれる全ての変更、均等物乃至代替物を含むことと理解すべきである。各図面を説明しながら類似の参照符号を類似の構成要素に付与した。

第１、第２等の用語は、多様な構成要素を説明するのに用いることができるが、前記構成要素は前記用語によって限定されてはいけない。前記用語は、一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的としてのみ用いられる。例えば、本発明の権利範囲から離脱しないまま、第１構成要素は第２構成要素として命名することができ、類似に第２構成要素も第１構成要素として命名することができる。

本出願で用いた用語は、単に特定の実施例を説明するために使用されたものであって、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は、文脈上明確に異なるように意味しない限り、複数の表現を含む。本出願において、「含む」または「有する」などの用語は、明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定することで、一つ又はその以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加可能性を予め排除しないことと理解すべきである。

異なるものとして定義しない限り、技術的あるいは科学的な用語を含めてここで用いられる全ての用語は、本発明が属する技術分野において通常の知識を有する者によって一般的に理解されるものと同一の意味を有している。一般的に用いられる辞典に定義されているもののような用語は、関連技術の文脈上で有する意味と一致する意味を有することと解釈すべきであり、本出願で明白に定義されない限り、異常的であるか過度に形式的な意味で解釈されない。

以下、添付図面を参照して、前記のような構成手段で構成され、本発明である移送装置及び液晶パネル検査装置に関する作用及び好ましい実施例を詳細に説明する。

図５は本発明による液晶パネル検査装置の分解斜視図であり、図６は図５の移送装置の斜視図である。

図５に示すように、本発明に適用される液晶パネル検査装置は、所定の内部空間を有する本体７００、前記本体７００の上側に設けられる液晶パネル検査部３００、前記本体７００の下側に設けられる液晶パネル検査待機部（図示せず）、及び前記液晶パネル検査部３００と液晶パネル検査待機部（図示せず）との間を往復しながら液晶パネルを移送するパネル移送装置２００を具備している。

前記液晶パネル検査部３００は、検査する液晶パネルが置かれるワークテーブル（図示せず）と前記ワークテーブル（図示せず）上に置かれる液晶パネルに対して点灯検査等を行うプローブ（図示せず）を含む。前記ワークテーブル（図示せず）は、前記液晶パネルのパッドが前記プローブ（図示せず）にアラインされるように、ｘ、ｙ、ｚ、及びθ軸に移動されることができる。

一方、前記液晶パネル検査待機部（図示せず）は、前記本体７００の下側に設けられるが、検査する液晶パネルを外部から前記液晶パネル検査装置内に供給するためのローディング部（図示せず）と前記供給された液晶パネルを前記パネル移送装置２００に供給するためのサブテーブル（図示せず）を含む。

図５に示すように、前記液晶パネル検査装置の構成要素のうち、パネル移送装置２００は、互いに対称的に位置している。ところが、前記２つのパネル移送装置２００は、互いに構成と作用が同じなので、一つについてのみ説明する。

図６に示すように、本発明は、カンチレバーパネル移送装置２００は、一つのフレーム２１０、前記フレーム２１０上にスライディングされ、液晶パネル検査装置本体の液晶パネル検査部と液晶パネル検査待機部との間を往復する所定形状の移動体２２０、前記フレーム２１０に装着され、前記移動体２２０を移動させるための第１駆動ユニット２８０、前記移動体２２０の上面に設けられる一対の第２駆動ユニット２３０、前記第２駆動ユニット２３０によって駆動され、互いに平行に向かい合っている一対のカンチレバー２４０、及び前記一対のカンチレバー２４０にそれぞれ少なくとも２つ以上結合され、移送される液晶パネル２７０をクランピングする把持部材２６０を含んで構成されている。

前記フレーム２１０は、角柱形状を有することができる。即ち、フレーム２１０は、四角形や三角形のような断面を有することができる。前記移動体２２０が所定の駆動手段２８０の駆動源によって液晶パネル２７０を検査する液晶パネル検査部と検査する液晶パネルを待機させる液晶パネル検査待機部との間を往復するように、前記液晶パネル検査部と液晶パネル検査待機部にかかった状態に設置される。

前記移動体２２０は、第１駆動ユニット２８０の駆動源によって前記フレーム２１０上に沿ってスライディングされて移動される。即ち、第１駆動ユニット２８０の駆動源が駆動されることによって、前記第１駆動ユニット２８０の駆動源に連結されたかさ歯車（図示せず）が回転して、前記フレーム２１０の内部に長く形成されたスクリューシャフト（図示せず）が前記かさ歯車（図示せず）にかみ合って回転する。そうすると、前記スクリューシャフト（図示せず）にねじ結合されるナット結合体（図示せず）が下部面に具備される前記移動体２２０は、前記フレーム２１０に沿ってスライディングされる。

前記移動体２２０が前記角柱形状のフレーム２１０上に沿って安定した状態にスライディングされるために、前記移動体２２０の形状と前記フレーム２１０の形状は多様に変更可能である。

即ち、図７に示すように、前記フレーム２１０を四角柱形状に準備して、前記移動体２２０が前記四角柱形状を有するフレーム２１０の隣接した２つの側面、図面上では上面と側面を囲むように形成することにより、前記移動体２２０が前記フレーム２１０上にスライディングされるようにすることができる。

又、図８に示すように、前記フレーム２１０を四角柱形状に準備して、前記移動体２２０が前記四角柱形状を有するフレーム２１０の３面、図面上では上面と側面及び下面を囲むように形成することにより、前記移動体２２０が前記フレーム２１０上にスライディングされるようにすることができる。この場合が、前記図７に図示された場合より堅固に安定的な構造と言うことができる。

又、図９に示すように、前記フレーム２１０を三角柱形状に準備して、前記移動体２２０が前記三角柱形状を有するフレーム２１０の２面を囲むように形成することにより、前記移動体２２０が前記フレーム２１０上にスライディングされるようにすることができる。

前記のようにフレーム２１０と移動体２２０の形状を多様に変更して、前記フレーム２１０上に沿って前記移動体２２０が堅固に安定にスライディングされるようにする。

ここで、前記移動体２２０が前記フレーム２１０を囲むように形成され、容易にスライディングされるようにするためには、前記移動体２２０とフレーム２１０に追加的な構造が形成されることが好ましい。

従って、図７に示すように、前記移動体２２０が四角柱形状を有する前記フレーム２１０の上面と側面を囲むように形成され、前記フレーム２１０上にスライディングされる構造では、前記移動体２２０の内部の第１面に形成されるＬ／Ｍガイド溝２２３と前記フレーム２１０の上面に形成されるＬ／Ｍガイドブロック２１３がかみ合うのみならず、移動体２２０の内部の第２面に形成されるＬ／Ｍガイド溝２２１と前記フレーム２１０の一側面に形成されるＬ／Ｍガイドブロック２１１もかみ合うようにして、前記カンチレバー２４０を一端でのみ支持することによって発生する器具物の不安定性を克服する。

又、図８に示すように、前記移動体２２０が四角柱形状を有する前記フレーム２１０の上面と側面、及び下面を囲むように形成され、前記フレーム２１０上にスライディングされる構造では、前記図７に図示された構造に付加して、前記フレーム２１０の下面にＬ／Ｍガイドブロック２１５を更に具備させて、前記Ｌ／Ｍガイドブロック２１５にスライディングされるように、前記移動体２２０の内部の第３面に別のＬ／Ｍガイド溝２２５を更に具備させて、前記カンチレバー２４０を一端でのみ支持することによって発生する器具物の不安定性を克服することができる。

又、図９に示すように、前記移動体２２０が三角柱形状を有する前記フレーム２１０の３面のうちで２面を囲むように形成され、前記フレーム２１０上にスライディングされる構造では、前記フレーム２１０の３面のうちで２面にＬ／Ｍガイドブロック２１１、２１３を具備して、前記フレーム２１０の２面を囲む前記移動体２２０の内部所定部分にＬ／Ｍガイド溝２２１、２２３を具備することにより、前記移動体２２０が前記三角柱形状のフレーム２１０の上を堅固に安定してスライディングされるようにして、前記カンチレバー２４０を一端でのみ支持することにより発生する器具物の不安定性を克服することができる。

一方、前記移動体２２０の上面には、前記一対のカンチレバー２４０を駆動するための一対の第２駆動ユニット２３０が設けられる。前記移動体２２０の上面に設置される第２駆動ユニット２３０の構成と前記第２駆動ユニット２３０によって駆動されるカンチレバー２４０の結合関係について、図１０及び図１１を参照して説明する。

図１０及び図１１に示すように、第２駆動ユニット２３０は、前記移動体２２０の長手方向、即ち、移送方向に設置されるが、前記移動体２２０の上面に平行に設けられる一対のガイドレール２３１と、前記ガイドレール２３１の間に設けられるリードスクリュー２３３と、前記リードスクリュー２３３を駆動するモーター２３５を含んで構成される。

そして、前記第２駆動ユニット２３０によって移動される前記カンチレバー２４０の固定端の下部面には、前記ガイドレール２３１とかみ合ってスライディングされる一対のガイド結合部材２４３が具備され、前記ガイド結合部材２４３の間には、前記リードスクリュー２３３とねじ結合されて連動されることができるナット結合体２４１が具備されている。

前記のような結合構造によって、モーター２３５を駆動させると、リードスクリュー２３３が回転し、前記回転されるリードスクリュー２３３にかみ合っているナット結合体２４１を下部に具備しているカンチレバー２４０は、ガイドレール２３１に沿って前進又は後退することができる。

一方、前記カンチレバー２４０の上部面には、リブ２５０が更に結合されている。前記リブ２５０は、移動体２２０に連結された前記カンチレバー２４０の固定端側が固定端の反対側である自由端側の荷重に耐えなければならないので、自由端側から固定端側に行くほど、幅が増加されることが好ましい。即ち、前記カンチレバー２４０の自由端側の荷重に耐えられ、前記カンチレバー２４０の固定端側に発生する応力を補償するために、前記リブ２５０がカンチレバー２４０の上部面に設けられる。

前記のような構成でなされている移送装置を利用して、液晶パネルを移送させる動作について、簡略に説明する。

まず、移送する液晶パネル２７０のサイズに対応できるように、前記カンチレバー２４０を移動させて、移送される液晶パネル２７０のエッジで所定距離だけ離れたクランピング地点に位置させ、前記クランピング地点の位置を制御部（図示せず）に保存する。

前記のように、クランピング地点の位置が制御部（図示せず）に保存された後、該当サイズを有する液晶パネル２７０を移送するために、前記一対のカンチレバー２４０に結合されて互いに向かい合うように設置される把持部材２６０の間に液晶パネル２７０を位置させる。

そうすると、前記第２駆動ユニット２３０の駆動によって前記カンチレバー２４０は、液晶パネル２７０に向かって移動して、前記保存されたクランピング地点の位置まで迅速に移動する。

その後、前記液晶パネル２７０をクランピングするために、前記第２駆動ユニット２３０を低速で駆動する。そうすると、前記カンチレバー２４０が液晶パネル２７０に向かって徐々に微細移動することにより、前記カンチレバー２４０に結合されている把持部材２６０によって前記液晶パネル２７０がクランピングされる。

前記把持部材２６０は、所定部分にスプリング（図示せず）を具備するので、前記カンチレバー２４０の移動によって前記液晶パネル２７０をクランピングする瞬間に、前記液晶パネル２７０に加わる衝撃を緩和させ、前記液晶パネル２７０が損傷されることを防止する。

一方、前記把持部材２６０の周辺には、所定のセンサ（図示せず）が具備され、前記第２駆動ユニット２３０によって前記カンチレバー２４０が過駆動されることを感知して、液晶パネル２７０が破損されることを防止する。

前記のように、移送される液晶パネル２７０が把持部材２６０によってクランピングされると、第１駆動ユニット２８０の駆動源によって前記移動体２２０を駆動する。即ち、第１駆動ユニット２８０の駆動源が駆動されるにつれて、前記第１駆動ユニット２８０の駆動源に連結されたかさ歯車（図示せず）が回転し、前記フレーム２１０の内部に長く形成されたスクリューシャフト（図示せず）が前記かさ歯車（図示せず）にかみ合って回転することになる。そうすると、前記スクリューシャフト（図示せず）にねじ結合されるナット結合体（図示せず）が下部面に具備される前記移動体２２０は、前記フレーム２１０に沿ってスライディングされる。

そうすると、前記角柱形状のフレーム２１０に少なくとも２つ以上の面を囲むように形成される前記移動体２２０は、前記フレーム２１０上にスライディングされ、液晶パネル検査待機部から液晶パネル検査部、又は液晶パネル検査部から液晶パネル検査待機部に移動される。

前記移動体２２０が前記液晶パネル検査部に移動される場合には、前記把持部材２６０によってクランピングされた液晶パネルは、液晶パネル検査部に設けられたワークテーブル（図示せず）に装着される。そして、プローブ（図示せず）が前記ワークテーブル（図示せず）に装着された液晶パネルのパッドに接触して電気信号を印加することによって、液晶パネルの点灯検査が行われる。反面、前記移動体２２０が前記液晶パネル検査待機部に移動される場合には、前記把持部材２６０によってクランピングされた液晶パネルは、液晶パネル検査待機部に設けられたアンローディング手段（図示せず）によって液晶パネル検査装置の外部に搬出される。

一方、本実施例では、被移送体として液晶パネルを例として説明したが、本発明による移送装置を利用して、移送する対象体が液晶パネルに限定されるものではない。例えば、半導体基板のような他の対象体に本発明の移送装置を利用して移送させることができるのは、当業者によって自明である。

前記のような構成及び作用、及び好ましい実施例を有する本発明の移送装置によると、従来と異なり、移動体が一つのフレーム上でスライディングされるので、２つの移動体をスライディングさせるためには、２つのフレームのみが必要であり、液晶パネル検査装置の全体的な構造が簡単になり、装備構成費用が低減されるという効果がある。

又、カンチレバーを使用してパネルを移送するので、構成部品のサイズと重量が減少して、製作費用が減少して、前記カンチレバーを駆動するために使用される第２駆動ユニットを２つのみを使用することにより、費用と消費電力を減少させる効果がある。

又、移動体が角柱形状のフレームの面のうち、少なくとも２つ以上の面を囲んでスライディングされるようにすることにより、カンチレバーの固定端をより堅固に支持して、構造的に安定感が増加されるという効果がある。

以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。

従来の液晶パネル検査装置の斜視図である。 図１の液晶パネル検査装置の分解斜視図である。 図１の移送装置の正面図である。 図１の移動体を示す平面図である。 本発明による液晶パネル検査装置の分解斜視図である。 図５の移送装置の斜視図である。 図６のフレームと移動体との間の結合構造を示す断面図である。 図６のフレームと移動体との間の結合構造を示す断面図である。 図６のフレームと移動体との間の結合構造を示す断面図である。 図６のカンチレバーと第２駆動ユニットとの間の連結構造を示す分解斜視図である。 図１０のカンチレバーと第２駆動ユニットとの間の連結構造を示す断面図である。

符号の説明

２１０ フレーム
２２０ 移動体
２３０ 第２駆動ユニット
２４０ カンチレバー
２５０ リブ
２８０ 第１駆動ユニット
２８１ リードスクリュー

Claims (11)

1. 一つのフレームと、
   前記フレームにスライディング可能に連結された移動体と、
   前記フレームに装着され、前記移動体を移動させるための第１駆動ユニットと、
   前記移動体にスライディング可能に連結され、互いに向かい合う一対のカンチレバーと、
   前記移動体に装着され、前記カンチレバーを移動させるための第２駆動ユニットと、
   前記各カンチレバーに設けられて、前記移動体によって移送される被移送体を把持する把持部材と、を含む移送装置。
2. 前記フレームはガイドブロックを有し、前記移動体は、前記ガイドブロックがスライディング可能に挟められるガイド溝を有することを特徴とする請求項１記載の移送装置。
3. 前記フレームは四角断面形状を有し、前記ガイドブロックは前記フレームの隣接する２面に形成され、
   前記移送体は、前記フレームの２面に当接され、前記ガイド溝が形成された２面を有することを特徴とする請求項２記載の移送装置。
4. 前記フレームは四角断面形状を有し、前記ガイドブロックは前記フレームの３面に形成され、
   前記移送体は、前記フレームの３面に当接され、前記ガイド溝が形成された３面を有することを特徴とする請求項２記載の移送装置。
5. 前記フレームは三角断面形状を有し、前記ガイドブロックは前記フレームの２面に形成され、
   前記移送体は、前記フレームの２面に当接され、前記ガイド溝が形成された２面を有することを特徴とする請求項２記載の移送装置。
6. 前記第２駆動ユニットは、
   前記移動体に装着されたモーターと、
   前記モーターに連結され前記カンチレバーにねじ結合されたリードスクリューと、を含むことを特徴とする請求項１記載の移送装置。
7. 前記第２駆動ユニットは、前記移動体の移動方向に沿って前記移動体に設置された一対のガイドレールを更に含むことを特徴とする請求項６記載の移送装置。
8. 前記各カンチレバーは、前記カンチレバーの長手方向に沿って形成されたリブを有することを特徴とする請求項１記載の移送装置。
9. 前記リブは、前記移動体に連結された前記カンチレバーの固定端から前記固定端の反対側である自由端方向に行くほど、漸次減少される幅を有することを特徴とする請求項８記載の移送装置。
10. 前記被移送体は、液晶パネルを含むことを特徴とする請求項１記載の移送装置。
11. 液晶パネルを検査する検査部と、
    前記検査部に前記液晶パネルを搬入する移送装置、または前記検査部から前記液晶パネルを搬出する移送装置と、を含み、
    前記移送装置は、
    前記検査部に沿って具備された一つのフレームと、
    前記フレームにスライディング可能に連結された移動体と、
    前記フレームに装着され、前記移動体を昇降させるための第１駆動ユニットと、
    前記移動体にスライディング可能に連結され、互いに向かい合う一対のカンチレバーと、
    前記移動体に装着され、前記カンチレバーを昇降させるための第２駆動ユニットと、
    前記各カンチレバーに設置され、前記液晶パネルを把持する把持部材と、を含む液晶パネル検査装置。