CN1854740A - 搬运装置及具有该搬运装置的液晶面板检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种搬运装置及具有该搬运装置的液晶面板检查装置。本发明的搬运装置包括：一个框架、移动体、第一驱动组件、一对悬臂、第二驱动组件、以及保持部件。移动体可滑动地连接在框架上。第一驱动组件安装在框架上，用于使移动体移动。一对悬臂互相相对且可滑动地连接在移动体上。第二驱动组件安装在移动体上，用于使悬臂移动。对利用移动体进行搬运的被搬运体予以保持的保持部件设置在各悬臂上。

Description

搬运装置及具有该搬运装置 的液晶面板检查装置

技术领域

本发明涉及一种搬运装置(传送装置)及具有该搬运装置的液晶面板检查装置，尤其是涉及用于将液晶面板搬入或搬出检查装置的搬运装置、以及具有这种搬运装置的液晶面板检查装置。

背景技术

一般公知的液晶面板检查装置，为了进行液晶面板生产线的断线检查和色调检查，而利用测试仪进行点灯检查，并利用其他的显微镜进行肉眼检查。

如图1及图2所示，前面所述的现有技术中普通的液晶面板检查装置包括：本体700，内部具有预定空间；液晶面板检查部300，配置在所述本体700的内部上侧，并利用测试仪对液晶面板进行检查；液晶面板等待检查部(未图示)，位于所述本体700的内部下侧，为了向所述液晶面板检查部300提供要检查的液晶面板而使所述液晶面板等待，或者为了将所述液晶面板检查部300检查结束的液晶面板向外部排出而使其等待；以及面板搬运装置100，设置在所述液晶面板检查部300和液晶面板等待检查部(未图示)之间，用于从所述液晶面板等待检查部(未图示)向所述液晶面板检查部300提供要检查的液晶面板，或者将所述液晶面板检查部300检查结束的液晶面板向所述液晶面板等待检查部(未图示)搬送。

所述液晶面板检查部300包括：工作台(未图示)，用于放置要检查的液晶面板；以及探针(未图示)，用于对放置在所述工作台(未图示)上的液晶面板进行点灯检查等。所述工作台(未图示)可沿x、y、z及θ轴移动，以使所述液晶面板的垫片(pad)对准所述探针(未图示)。

另一方面，所述液晶面板等待检查部(未图示)设置在所述本体700的下侧，包括：装载部(未图示)，用于将要检查的液晶面板从外部向所述液晶面板检查装置内提供；以及辅助台(未图示)，用于将所述提供的液晶面板向所述面板搬运装置100提供。

在所述液晶面板检查装置的构成要素中，关于将液晶面板从液晶面板检查部300向液晶面板等待检查部(未图示)搬运、或从液晶面板等待检查部(未图示)向液晶面板检查部300搬运的面板搬运装置100的构成及作用，参照图2至图4进行如下说明。

首先，如所述图2所示，所述面板搬运装置100具有一对，利用所述面板搬运装置100中的任一个，使检查结束的液晶面板从所述液晶面板检查部300向液晶面板等待检查部(未图示)移动，同时，利用所述面板搬运装置100中的另一个，使要检查的液晶面板从所述液晶面板等待检查部(未图示)向所述液晶面板检查部300移动。

如上所述，以一对构成的面板搬运装置100形成为同样的结构，故参照后附的图3及图4仅对一个面板搬运装置100加以图示、说明。

如图3所示，现有技术中普通的面板搬运装置100包括：两个框架110，设置在液晶面板检查部和液晶面板等待检查部之间，且相互隔开预定间隔；四角框形状的搬运模块120，通过第一驱动组件160驱动而在所述两个框架110的上侧滑动；一对夹紧托架130，以两端卡在所述搬运模块120上的状态滑动，可根据液晶面板150的尺寸而前进或后退；两对第二驱动组件140，用于使所述夹紧托架130前进或后退；以及保持部件170，与所述一对夹紧托架130相对地连接，用于夹住液晶面板150。

所述两个框架110互相平行地位于平面上，且互相隔开预定间隔而设置。并且，所述搬运模块120设置成在所述两个框架110的上侧滑动。

即，如图4所示，搬运模块120的下侧两端位于两个框架110上，所述搬运模块120在所述框架110上滑动。在所述两个框架110的上表面具有L/M导向器111，在所述搬运模块120的下表面具有可与所述L/M导向器111啮合的L/M块体121，从而使所述搬运模块120在所述两个框架110上滑动。

对利用上述构成的现有技术中普通的面板搬运装置100来搬运液晶面板150的搬运动作进行说明。

首先，利用液晶面板等待检查部的动作使要搬运的液晶面板150位于所述保持部件170之间后，驱动两对第二驱动组件140以使所述夹紧托架130上下移动，且一直移动到保持部件170可夹住所述液晶面板150的位置。

然后，驱动可使所述保持部件170前进或后退的缸体(未图示)，或者使所述夹紧托架130微细地移动，从而可由所述保持部件170夹紧所述液晶面板150。

如上所述，为了使所述保持部件170前进或后退，通过使所述夹紧托架130上下移动，或者在所述夹紧托架130上另外准备气缸(未图示)，由此可使所述保持部件170移动。

此时，在通过使所述夹紧托架130上下移动而使所述保持构件170前进或后退时，驱动所述夹紧托架130的一组第二驱动组件140必须要实现准确的同步驱动。另一方面，在利用其他的气缸(未图示)使所述保持部件170前进或后退时，则必须在所述夹紧托架130上准备其他的气缸(未图示)和气体供给装置(未图示)等。

所述第二驱动组件140包括：产生动力的电动机143；导向螺杆141，通过所述电动机143的动力驱动，从而在与设置于所述夹紧托架130的两端131下部的螺纹连接体(未图示)啮合的状态下进行旋转；以及导轨145，设置在所述搬运模块120上，且利用所述导向螺杆141的旋转而使所述夹紧托架130滑动。所述夹紧托架130为了沿着所述导轨145滑动，而在所述螺纹连接体(未图示)更外侧的两端131下部设置导轨连接体(未图示)。

通过构成上述第二驱动组件140的构件的动作，所述夹紧托架130可沿着设置在所述搬运模块120上的导轨145前进或后退。因此，所述保持部件170可移动到夹住液晶面板150的位置，或者可夹紧所述液晶面板150。

在通过上述动作使所述保持部件170夹紧所述液晶面板150后，所述搬运模块120沿着框架110的上侧面滑动地进行移动。此时，所述搬运模块120的移动由设置在框架110周边上的第一驱动组件160来进行驱动。

即，首先驱动搬运电动机161，以使所述搬运模块120移动。这样，与所述搬运电动机161连接的第一带轮162旋转，从而通过皮带163与所述第一带轮162连接的第二带轮164也进行旋转。由于所述第二带轮164的旋转，从而一端与所述第二带轮164连接的短轴165旋转，在与所述短轴165另一端连接的联轴器166的相反端进行连接的长轴167也进行旋转。结果是，通过所述一个搬运电动机161，可使分别设置在相互隔开预定间隔的两个框架110的两端附近的短轴165同时旋转。

并且，通过所述短轴165旋转，从而带动与所述短轴165连接的伞齿轮169旋转，进而带动与所述伞齿轮169连接的螺杆轴168旋转。在此，因为在所述搬运模块120的下部具有与所述螺杆轴168螺纹连接的螺纹连接体(未图示)，故所述螺纹连接体(未图示)可沿着所述螺杆轴168移动。

因此，与所述螺纹连接体(未图示)一体设置的搬运模块120设置成可沿着所述螺杆轴168移动。

根据利用上述动作搬运液晶面板的现有面板搬运装置，因为设置为：通过形成在与所述搬运模块的下侧面互相隔开预定距离的两个框架上侧面上的L/M导向器及L/M块体，使所述搬运模块沿着所述两个框架滑动，故由于构成零件间的间隙不同，在所述两个框架上侧移动的所述搬运模块的距离多少会产生一些差异。因此，不仅很难使搬运模块在所述框架上侧精确地移动，而且在所述框架及螺杆轴上施加有应力，结果是很容易产生破损。

另外，在现有技术中，需要设置包括用于使搬运模块在所述两个框架上升降的传送电动机、第一带轮、皮带、第二带轮、两个短轴、两个联轴器、长轴及两个螺杆轴在内的多种构成要素，故存在装置复杂、维修管理困难的问题。

另外，为了夹紧或搬运液晶面板，使四角框形状的搬运模块在一对框架上滑动，故会导致液晶面面板搬运装置的仪器部件大型化，由此存在制造费用增加、制造难度增加的问题。

另外，为了使两段设置的一对框架上所设置的两个搬运模块上下移动，需要两个传送电动机，为了使保持部件移动到夹住液晶面板的位置、或夹紧液晶面板，需要设置总共八个电动机，故会消耗大量的动力，需要增加驱动电动机用的线缆量，由此装置的复杂度增加，存在维修管理困难的问题。

发明内容

为了解决上述现有技术中的问题，本发明的目的在于提供一种具有简单结构的搬运装置。

另外，本发明的另一目的在于提供一种具有所述搬运装置的液晶面板检查装置。

根据本发明一方案的搬运装置，包括一个框架、移动体、第一驱动组件、一对悬臂、第二驱动组件及保持部件。移动体可滑动地连接在框架上。第一驱动组件安装在框架上，用于使移动体移动。一对悬臂互相相对且可滑动地连接在移动体上。第二驱动组件安装在移动体上，用于使悬臂移动。对利用移动体进行搬运的被搬运体予以保持的保持部件设置在各悬臂上。

根据本发明另一方案的液晶面板检查装置，包括：对液晶面板进行检查的检查部；以及向所述检查部搬入所述液晶面板或从所述检查部搬出所述液晶面板的搬运装置。其中，搬运装置包括：沿垂直方向设置在检查部上的一个框架；移动体，可滑动地连接在框架上；第一驱动组件，安装在框架上，用于使移动体升降；互相相对的一对悬臂，可滑动地连接在移动体上；第二驱动组件，安装在移动体上，用于使悬臂升降；以及保持部件，设置在各悬臂上，用于对液晶面板予以保持。

本发明可作各种变更，具有多种形态，在附图中列举了特定的实施例，并在本文中作详细说明。但是，本发明并不局限于特定的公开形态，应该理解为包括函盖在本发明的思想及技术范围内的全部变更、等同物及替代物。在说明各附图时，对类似的构成要素附予了类似的元件标号。

第一、第二等用语可用于说明多种构成要素，所述构成要素并不受所述用语限定。所述用语的作用只是为了将一个构成要素与其他构成要素区别开来。例如，在不脱离本发明的保护范围的情况下，也可将第一构成要素命名为第二构成要素，类似地也可将第二构成要素命名为第一构成要素。

在本申请中使用的用语仅用于说明特定的实施例，并不对本发明进行限定。单数的表现只要是关联上没有明确表示为不同，则包含多种表现。在本申请中，“包括”或“具有”等用语应该理解为：并不由于指定存在说明书中所记载的特征、数字、阶段、动作、构成要素、零件或这些的组合，而预先排除一个或一个以上的其他特征、数字、阶段、动作、构成要素、零件或这些的组合的存在或可附加性。

只要没有作不同的定义，则包含技术上或科学上的用语在内，在此使用的全部用语都是与本发明所属技术领域的技术人员通常理解的意思相同的意思。一般使用的字典上有定义的用语应该理解为其意思与在相关技术的联系上所具有的意思一致，本申请中只要没有明确定义，则不能解释为异常的或过度形式化的意思。

附图说明

图1是现有的液晶面板检查装置的立体图；

图2是图1的液晶面板检查装置的立体分解图；

图3是图1的搬运装置的主视图；

图4是表示图1的移动装置的俯视图；

图5是根据本发明的液晶面板检查装置的立体分解图；

图6是图5的搬运装置的立体图；

图7是表示图6的框架和移动体之间的连接结构的剖视图；

图8是表示图6的框架和移动体之间的连接结构的剖视图；

图9是表示图6的框架和移动体之间的连接结构的剖视图；

图10是表示图6的悬架和第二驱动组件之间的连接结构的立体分解图；以及

图11是表示图10的悬架和第二驱动组件之间的连接结构的剖视图。

具体实施方式

下面，参照附图对采用上述构成的本发明的搬运装置及液晶面板检查装置所涉及的作用及优选实施例进行详细说明。

图5是根据本发明的液晶面板检查装置的立体分解图，图6是图5的搬运装置的立体图。

如图5所示，适用本发明的液晶面板检查装置包括：具有预定的内部空间的本体700；设置在所述本体700上侧的液晶面板检查部300；设置在所述本体700下侧的液晶面板等待检查部(未图示)；以及在所述液晶面板检查部300和液晶面板等待检查部(未图示)之间往复移动、同时搬运液晶面板的面板搬运装置200。

所述液晶面板检查部300包括：放置要检查的液晶面板的工作台(未图示)；以及对放置在所述工作台(未图示)上的液晶面板进行点灯检查等的探针(未图示)。所述工作台(未图示)可沿x、y、z及θ轴移动，以使所述液晶面板的垫片(pad)对准所述探针(未图示)。

另一方面，所述液晶面板等待检查部(未图示)设置在所述本体700的下侧，包括：用于将要检查的液晶面板从外部向所述液晶面板检查装置内提供的装载部(未图示)；以及用于将所述提供的液晶面板向所述面板搬运装置200提供的辅助台(未图示)。

如图5所示，在所述液晶面板检查装置的构成要素中，面板搬运装置200位于互相对称的位置。但是，因为所述两个面板搬运装置200的结构和作用相互相同，故仅对一个进行说明。

如图6所示，本发明的悬臂面板搬运装置200包括：一个框架210；具有预定形状的移动体220，在所述框架210上滑动，且在液晶面板检查装置本体的液晶面板检查部和液晶面板等待检查部之间往复；第一驱动组件280，安装在所述框架210上，用于使所述移动体220移动；一对第二驱动组件230，设置在所述移动体220的上表面上；互相平行地相对的一对悬臂(cantilever)240，由所述第二驱动组件230来驱动；以及保持部件260，在所述一对悬臂240上分别连接有至少两个以上，用于夹住搬运的液晶面板270。

所述框架210可具有棱柱形状。即，框架210可具有呈四角形或三角形这样的截面。所述移动体220以卡在所述液晶面板检查部和液晶面板等待检查部上的状态进行设置，以使其通过预定的第一驱动组件280的驱动源的驱动而可在检查液晶面板270的液晶面板检查部和使要检查的液晶面板等待的液晶面板等待检查部之间往复移动。

通过第一驱动组件280的驱动源驱动，所述移动体220在所述框架210上滑动移动。即，通过第一驱动组件280的驱动源的驱动，与所述第一驱动组件280的驱动源连接的伞齿轮(未图示)旋转，在所述框架210内部延伸形成的螺杆轴(未图示)通过与所述伞齿轮啮合而旋转。这样，下部表面具有螺纹连接在所述螺杆轴(未图示)上的螺母连接体(未图示)的所述移动体220沿着所述框架210滑动。

为了使所述移动体220以稳定的状态在所述棱柱形状的框架210上滑动，所述移动体220的形状和所述框架210的形状可进行多种变更。

即，如图7所示，预先使所述框架210形成为四角柱形状，所述移动体220形成为围住具有所述四角柱形状的框架210的相邻的两个侧面即图面上的上表面和侧面，从而所述移动体220可在所述框架210上滑动。

另外，如图8所示，预先使所述框架210形成为四角柱形状，所述移动体220形成为围住具有所述四角柱形状的框架210的三个侧面即图面上的上表面、侧面和下表面，从而所述移动体220可在所述框架210上滑动。这种情况与上述图7所示出的情况相比，可以说是一种更牢固且稳定的结构。

另外，如图9所示，预先使所述框架210形成为三角柱形状，所述移动体220形成为围住具有所述三角柱形状的框架210的两个面，从而所述移动体220可在所述框架210上滑动。

如上所述，对框架210和移动体220的形状进行了各种变更，从而使所述移动体220在所述框架210上牢固且稳定地滑动。

在此，所述移动体220形成为围住所述框架210，为了易于滑动，优选方式为，在所述移动体220和框架210上形成附加结构。

因此，如图7所示，在所述移动体220形成为围住具有四角柱形状的所述框架210的上表面和侧面、并在所述框架210上滑动的结构中，不仅使形成于所述移动体220内部的第一面上的L/M导槽223和形成于所述框架210的上表面上的L/M导块213啮合，而且也使形成于所述移动体220内部的第二面上的L/M导槽221和形成于所述框架210的一个侧面上的L/M导块211啮合，从而可克服由于仅以一端支撑所述悬臂240而产生的仪器零件的不均衡。

另外，如图8所示，在所述移动体220形成为围住具有四角柱形状的所述框架210的上表面、侧面及下表面、并在所述框架210上滑动的结构中，在上述图7所示的结构的基础上，在所述框架210的下表面上还具有L/M导块215，为了在所述L/M导块215上滑动，在所述移动体220内部的第三面上还具有另一L/M导槽225，从而可克服因仅以一端支撑所述悬臂240而产生的仪器零件的不均衡。

另外，如图9所示，在所述移动体220形成为围住具有三角柱形状的所述框架210的三个面中的两个面、并在所述框架210上滑动的结构中，在所述框架210的三个面中的两个面上具有L/M导块211、213，在围住所述框架210的两个面的所述移动体220的内部预定部分上具有L/M导槽221、223，从而使所述移动体220在所述三角柱形状的框架210上牢固且稳定地滑动，可克服由于仅以一端支撑所述悬臂240而产生的仪器零件的不均衡。

另一方面，在所述移动体220的上表面上设置有一对用于驱动所述一对悬臂240的第二驱动组件230。关于设置在所述移动体220的上表面上的第二驱动组件230的构成和由所述第二驱动组件230来驱动的悬臂240的连接关系，参照图10及图11进行说明。

如图10及图11所示，第二驱动组件230设置在所述移动体220的长度方向、即搬运方向上，包括：一对导轨231，与所述移动体220的上表面平行地设置在其上；导向螺杆233，设置在所述导轨231之间；以及用于驱动所述导向螺杆233的电动机235。

并且，在通过所述第二驱动组件230驱动而移动的所述悬臂240的固定端的下部表面上，具有一对通过与所述导轨231啮合而滑动的导向连接部件243；在所述导向连接部件243之间，具有与所述导向螺杆233螺纹连接而可与其连动的螺母连接体241。

由于采用上述连接结构，则在驱动电动机235时，导向螺杆233旋转，从而下部具有与所述旋转的导向螺杆233啮合的螺母连接体241的悬臂240可沿着导轨231前进或后退。

另一方面，在所述悬臂240的上部表面上还连接有肋250。因为与移动体220连接的所述悬臂240的固定端侧必须要承受住固定端的相反侧即自由端侧的负荷，故所述肋250的宽度最好从自由端侧向固定端侧逐渐增加。即，为了承受所述悬臂240的自由端侧的负荷，并补偿在所述悬臂240的固定端侧产生的应力，所以在悬臂240的上部表面上设置所述肋250。

对利用如上构成的搬运装置来搬运液晶面板的动作进行简要说明。

首先，为了与要搬运的液晶面板270的尺寸对应，移动所述悬臂240，使其位于在搬运的液晶面板270的边缘隔开预定距离的夹紧部位，并将所述紧夹部位的位置存储在控制部(未图示)中。

如上所述，在夹紧部位的位置存储到控制部(未图示)中后，为了搬运具有该尺寸的液晶面板270，使液晶面板270位于连接在所述一对悬臂240上且互相相对设置的保持部件260之间。

这样，通过所述第二驱动组件230的驱动，所述悬臂240向液晶面板270移动，迅速地移动到上述存储的夹紧部位的位置上。

然后，为了对所述液晶面板270进行夹紧，以低速驱动所述第二驱动组件230。这样，所述悬臂240逐渐地向液晶面板270微细地移动，由此，所述液晶面板270由连接在所述悬臂240上的保持部件260夹紧。

由于所述保持部件260在预定部分具有弹簧(未图示)，故可缓和在利用所述悬臂240移动而夹紧所述液晶面板270的瞬间施加在所述液晶面板270上的冲击，防止所述液晶面板270产生损伤。

另一方面，在所述保持部件260的周边具有预定的传感器(未图示)，对所述第二驱动组件230过于驱动所述悬臂240的情况进行检测，从而防止所述液晶面板270产生损伤。

如上所述，当要搬运的液晶面板270由保持部件260夹紧后，利用第一驱动组件280的驱动源驱动所述移动体220。即，随着第一驱动组件280的驱动源进行驱动，与所述第一驱动组件280的驱动源连接的伞齿轮(未图示)旋转，在所述框架210内部延伸形成的螺杆轴(未图示)通过与所述伞齿轮啮合而旋转。这样，下部表面具有螺纹连接在所述螺杆轴(未图示)上的螺母连接体(未图示)的所述移动体220沿着所述框架210滑动。

这样，形成为在所述棱柱形状的框架210上至少围住两个以上面的所述移动体220在所述框架210上滑动，从液晶面板等待检查部向液晶面板检查部移动，或者从液晶面板检查部向液晶面板等待检查部移动。

当所述移动体220移动到所述液晶面板检查部时，由所述保持部件260夹紧的液晶面板安装到设置在液晶面板检查部上的工作台(未图示)上。并且，探针(未图示)与安装在所述工作台(未图示)上的液晶面板的垫片接触并施加电信号，从而进行液晶面板的点灯检查。相反地，当所述移动体220移动到所述液晶面板等待检查部时，由所述保持部件260夹紧的液晶面板通过设置在液晶面板等待检查部上的卸载构件(未图示)搬出到液晶面板检查装置的外部。

另一方面，在本实施例中，以液晶面板作为被搬运体为例进行了说明，但利用本发明的搬运装置进行搬运的对象体并不局限于液晶面板。例如半导体基板这样的其他对象体，也可利用本发明的搬运装置进行搬运，这一点对于本领域的技术人员来说应当知道。

产业上的可利用性：

采用具有上述构成、作用及较佳实施例的本发明的搬运装置的话，则与现有技术不同，因为移动体在一个框架上滑动，故仅需设置用于使两个移动体滑动的两个框架即可，从而液晶面板检查装置的整体结构简单化，具有装置构成费用降低的效果。

另外，因为使用悬臂来搬运面板，故构成零件的尺寸减小、重量减轻，制造费用减少，由于用于驱动所述悬臂的第二驱动组件仅需使用两个，故具有减少费用和消耗功率的效果。

另外，由于移动体围住棱柱形状的框架的面中的至少两个以上的面进行滑动，从而悬臂的固定端得到更加牢固的支撑，具有在结构上增加了稳定感的效果。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明。在上述实施例中，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

符号说明

210框架                         220移动体

230第二驱动组件                 240悬臂

250肋                           280第一驱动组件

281导向螺杆

Claims (11)

1.一种搬运装置，包括：

一个框架；

移动体，可滑动地连接在所述框架上；

第一驱动组件，安装在所述框架上，用于使所述移动体移动；

互相相对的一对悬臂，可滑动地连接在所述移动体上；

第二驱动组件，安装在所述移动体上，用于使所述悬臂移动；以及

保持部件，设置在所述各悬臂上，用于保持利用所述移动体进行搬运的被搬运体。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于：所述框架具有导块，所述移动体具有导槽，所述导块可滑动地夹在所述导槽中。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于：

所述框架具有截面呈四角形的形状，所述导块形成在所述框架的相邻的两个面上；

所述移动体具有与所述框架的两个面接触、且形成有所述导槽的两个面。

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于：

所述框架具有截面呈四角形的形状，所述导块形成在所述框架的三个面上；

所述移动体具有与所述框架的三个面接触、且形成有所述导槽的三个面。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其特征在于：

所述框架具有截面呈三角形的形状，所述导块形成在所述框架的两个面上；

所述移动体具有与所述框架的两个面接触、且形成有所述导槽的两个面。

6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于：

所述第二驱动组件包括：

电动机，安装在所述移动体上；以及

导向螺杆，连接于所述电动机，且螺纹连接在所述悬臂上。

7.根据权利要求6所述的搬运装置，其特征在于：所述第二驱动组件还包括沿着所述移动体的移动方向设置在所述移动体上的一对导轨。

8.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于：所述各悬臂具有沿着所述悬臂的长度方向形成的肋。

9.根据权利要求8所述的搬运装置，其特征在于：所述肋具有从连接在所述移动体上的所述悬臂的固定端向所述固定端的相反侧即自由端方向逐渐减小的宽度。

10.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于：所述被搬运体包括液晶面板。

11.一种液晶面板检查装置，包括：

检查部，用于对液晶面板进行检查；以及

搬运装置，向所述检查部搬入所述液晶面板或者从所述检查部搬出所述液晶面板；

其中，所述搬运装置包括：

沿着所述检查部设置的一个框架；

移动体，可滑动地连接在所述框架上；

第一驱动组件，安装在所述框架上，用于使所述移动体升降；

互相相对的一对悬臂，可滑动地连接在所述移动体上；

第二驱动组件，安装在所述移动体上，用于使所述悬臂升降；以及

保持部件，设置在所述各悬臂上，用于保持所述液晶面板。

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