JP2006298758A - オゾンおよびその他の反応性ガスの発生セルおよびシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高電圧アセンブリと、低電圧アセンブリと、反応性ガスをその中に封じ込める放電領域を画定するために、前記電極の間に配設した少なくとも1つのバリア誘電体部材とを備え、前記放電領域が0.127mm(0.005)インチ未満の間隙を有する発生セル。
【選択図】 図1
Description
また、オゾンは半導体の製造工程でも有用であり、例えば炭化水素の除去、一般には洗浄作業に使用されている。オゾンを使用しない場合、これらの作業には、取り扱いが危険であり、オゾンに比べて廃棄が困難な酸を使用することが多い。
ちなみに、オゾンは分解して酸素となるため、前記のような問題を生じない。
半導体産業においてオゾンが使用されるため、オゾン発生装置の需要が高まっている。例えば半導体製造用途には、非常に純度の高いオゾンが必要であるが、現在のオゾン発生器は、エラストマー製シールおよびオゾンを汚染する可能性のある電極材料を使用している。
本発明の他の目的は、軽量かつコストが低く、小型、コンパクトな、オゾンおよびその他の反応性ガスの改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、冷却器がなくても高濃度のオゾンを生成する改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、信頼性の高い改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、エラストマー製シールを使わずに、ほぼ永久的にシールされた改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、ヘリウム漏洩検出器で、簡単かつ安全に試験することができる改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、質の高い、純粋なオゾンを発生する改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、完全モジュール型であって、製造、保管、保守が低コストの改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、発生セルにガスをバランスよく一定して供給する改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、冷媒が特殊な冷媒ではなく、通常の水で差し支えない改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、常温の水道水を冷媒として使用し、高濃度(重量で15%以上)のオゾンを高率で発生することができる改良型発生器を提供することである。
本発明の他の目的は、冷媒が、高電圧電極の高電圧にさらされることがない改良型発生器を提供することである。
本発明は、位相のずれた(out of phase)電圧を電極間に印加して電位差を発生させて実施することができ、あるいは、電極のうち1つを低電圧電極として指定し、冷却構造体を介して接地することができる。
また、本発明は、分岐管による酸素、オゾン、および冷媒の供給および除去を目的とした一元的発生システムとして接合されるセルのモジュール性を認識したものである。
本発明は、高電圧電極を備える高電圧アセンブリと、低電圧電極を備える低電圧アセンブリとを含む反応性ガス発生セルを特徴としている。
電極問には、反応性ガスを発生する放電領域を画定するバリア誘電体があり、また、放電領域を含むアセンブリ間に永久シールを施したチャンバを形成するために、アセンブリを連結する溶接シール部が設けてある。
さらに本発明は、複数のモジュール発生セルを含む発生システムを特徴としており、各セルは、高電圧電極を有する高電圧アセンブリを含み、低電圧アセンブリは低電圧電極を備え、電極聞にあるバリア誘電体手段は反応性ガスを発生する放電領域を画定している。また、各セルは、放電領域を含むアセンブリ間に永久シールされたチャンバを形成するために、アセンブリを連結する溶接シール部を含んでいる。
さらに、本発明は、第1の電極を含む第1のアセンブリと、第2の電極を含む第2のアセンブリとを備える反応性ガス発生システムを特徴としている。電極間には、反応性ガスを発生する放電領域を画定するバリア誘電体手段があり、また、電極間に電圧差を印加する装置がある。溶接シール部がアセンブリを連結し、放電領域を含むアセンブリ間に永久シールされたチャンバを形成している。
放電領域の間隙を設けるためのスペーサ手段があり、この間隙は0.127mm(0.005インチ)未満となっている。電圧差を与える装置は、第1および第2の電極と位相のずれた電圧を印加する電源を含む。
高電圧アセンブリ12は、チャンネル・プレート16、および通常はチャンネル・プレート16にニッケル付けしたカバー・プレート18を含む。カバー・プレート18は、溶接面20となるフレア付外周リムを備えた凸状甲殻状のプレートを有している。カバー・プレート18とチャンネル・プレート16の間のニッケル付けにより、チャンネル・プレート16の蛇行状水チャンネル22が閉鎖される。高電圧アセンブリ12は、通常、厚さ2.29mm(0.090インチ)の高電圧分離誘電体要素26に取り付けた、直径約88.9mm(3.5インチ)で厚さ0.00508mm(0.0002インチ)の銀被覆を施した高電圧電極24を含む。分離誘電体26は、カバー・プレート18上に、厚さ約0.0762mm(0.003インチ) 、直径約101.6mm(4インチ)の層23を成す伝熱性接着剤で取り付けてある。この接着剤は、Ablestick 561Kなどのエポキシ樹脂である。
図において、チャンネル22内の、例えば矢印112で示す蛇行した水の流れが、冷媒流入マニフォールド要素57から導路58およびポート114を経由してチャンネル22内に流れ込むのがわかる。水またはその他の冷媒は、チャンネル22からポート116、導路62、および冷媒流出マニフォールド要素60に移動する。ガスまたは酸素マニフォールド流入要素54は、導路52を介して酸素を絞り弁56がある流路50に供給する。酸素が、絞り弁を経由し、チャンネル・プレート16の周囲を巡る間に、オゾンは、第4図および5図に示すように、チャンネル・プレート70の中心にある流路86を通って除去される。
間隙がより狭く、オゾン発生量がより多いオゾン発生セルをより低コストで製造するには、ガス・チャンネル、埋め込み電極、分離およびバリア誘電体を備えた一体型焼成誘電体を作製し、伝熱性エポキシ樹脂がもっとも損傷を受けやすい放電領域近くで伝熱性エポキシ樹脂を使用しないですませるようにすることが考えられる。このようなオゾン発生セルを第10図に示す。第10図において、バリア誘電体250、接地電極252および高電圧電極254は、すべて同一の焼成誘電体に埋め込まれており、この誘電体は、第11図に示すように、複数の周辺部一体パッド256、258、260、262、...(264および266は図示せず)を備え、このパッドを一体として、放電領域270における間隙を狭め、冷却およびオゾン発生の効率向上を図っている。
当業者なら、以下の請求の範囲内において、他の実施形態を思いつくであろう。
Claims (1)
- 高電圧電極と、第1のカバー・プレートと、前記高電圧電極と前記第1のカバー・プレートとの間に配設した第1の電気絶縁部材、を含む高電圧アセンブリと、低電圧電極と、第2のカバー・プレートと、前記低電圧電極と前記第2のカバー・プレートとの間に配設した第2の電気絶縁部材、を含む低電圧アセンブリと、反応性ガスをその中に封じ込める放電領域を画定するために、前記電極の間に配設した少なくとも1つのバリア誘電体部材とを備え、前記放電領域が0.127mm未満の間隙を有する発生セル。
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