JP2006294389A - 走査透過電子顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】1段目走査コイル8と2段目走査コイル9による偏向により走査透過像の像倍率を決定し,1段目収束レンズ3,2段目収束レンズ4及び前磁場対物レンズ5を該像倍率とリンクして制御し,収束絞り7を固定したまま低倍率像観察時の電子線プローブの収束角度16が高倍率像観察時の電子線プローブの収束角度17より小さくなるように制御し,かつ電子線の加速電圧と観察する結晶の面間隔で決定される回折角度に対し,収束角度16は該回折角度より小さく,収束角度17は該回折角度より大きくなるようにする。
【選択図】図1
Description
これを解決するためには,収束絞りを操作する手順を必要とせずに所望の観察倍率を設定するだけで,低倍率像では回折コントラストが効率良く抽出できる電子光学条件が設定され,高倍率像では結晶格子縞のコントラストが効率良く抽出できる電子光学条件が設定される走査透過電子顕微鏡装置が必要である。
Claims (5)
- 電子線源より発生した電子線を所定の電圧まで加速する静電レンズと、
前記電子線を収束する収束レンズと、
前記電子線の収束角度を決定する収束絞りと、
前記電子線を走査する偏向コイルと、
対物レンズと、
収差補正器と、
前記電子線を試料に照射して該試料を透過または回折した電子線を検出して走査透過像を形成する電子線検出手段と、
前記走査透過像を表示する表示手段とを有し、
前記走査透過像の像倍率に応じて前記電子線の収束角度を変化させる手段を備えることを特徴とする走査透過電子顕微鏡装置。 - 請求項1に記載の走査透過電子顕微鏡装置において,走査透過像の観察像倍率に応じて前記電子線の収束角度を変化させる手段は、前記収束絞りを固定した状態で前記収束レンズ,前記対物レンズ及び前記収差補正器の励磁条件を制御する制御手段であることを特徴とする走査透過電子顕微鏡装置。
- 請求項2に記載の走査透過電子顕微鏡装置において,
前記制御手段には、前記収束レンズ,対物レンズ及び収差補正器の励磁条件として観察像倍率を変数としたテーブルあるいは計算式が格納され,該テーブルあるいは計算式を参照して収束レンズ,対物レンズ及び収差補正器の通電を実施することを特徴とする走査透過電子顕微鏡装置。 - 請求項2に記載の走査透過電子顕微鏡装置において,
前記制御手段には、前記収束レンズ,対物レンズ及び収差補正器の励磁条件として前記観察像倍率を変数としたテーブルあるいは計算式が複数個格納され,操作者が選択したテーブルあるいは計算式を参照して収束レンズ,対物レンズ及び収差補正器の通電を実施することを特徴とする走査透過電子顕微鏡装置。 - 請求項1に記載の走査透過電子顕微鏡装置において,収差補正器は球面収差,色収差,非点収差,コマ収差,星型収差,葉状収差,像面湾曲収差,歪曲収差を補正する機能を具備していることを特徴とする走査透過電子顕微鏡装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP4895525B2 JP4895525B2 (ja) | 2012-03-14 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP4895525B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010245046A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 粒子ビーム顕微鏡 |
WO2012014665A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査透過電子顕微鏡及びその軸調整方法 |
JP2015046594A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-03-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体膜および半導体装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03289035A (ja) * | 1990-04-03 | 1991-12-19 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における収差及び開き角補正装置 |
JP2001511303A (ja) * | 1997-12-11 | 2001-08-07 | フィリップス エレクトロン オプティクス ビー ヴィ | 粒子−光学装置における球面収差補正用の補正デバイス |
JP2001291486A (ja) * | 2000-02-02 | 2001-10-19 | Jeol Ltd | エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡 |
JP2003157785A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子線装置 |
JP2004087460A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-03-18 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子ビーム装置 |
JP2004111404A (ja) * | 2004-01-08 | 2004-04-08 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線照射装置 |
-
2005
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03289035A (ja) * | 1990-04-03 | 1991-12-19 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡における収差及び開き角補正装置 |
JP2001511303A (ja) * | 1997-12-11 | 2001-08-07 | フィリップス エレクトロン オプティクス ビー ヴィ | 粒子−光学装置における球面収差補正用の補正デバイス |
JP2001291486A (ja) * | 2000-02-02 | 2001-10-19 | Jeol Ltd | エネルギーフィルタを備えた透過型電子顕微鏡 |
JP2003157785A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-30 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子線装置 |
JP2004087460A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-03-18 | Jeol Ltd | 収差補正装置を備えた荷電粒子ビーム装置 |
JP2004111404A (ja) * | 2004-01-08 | 2004-04-08 | Hitachi Ltd | 荷電粒子線照射装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010245046A (ja) * | 2009-04-08 | 2010-10-28 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 粒子ビーム顕微鏡 |
WO2012014665A1 (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-02 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査透過電子顕微鏡及びその軸調整方法 |
JP2012028234A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査透過電子顕微鏡及びその軸調整方法 |
US8710438B2 (en) | 2010-07-27 | 2014-04-29 | Hitachi High-Technologies Corporation | Scanning transmission electron microscope and axial adjustment method thereof |
JP2015046594A (ja) * | 2013-08-02 | 2015-03-12 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 酸化物半導体膜および半導体装置 |
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