JP2006284784A - 感光性樹脂組成物及びそれを用いたカラーフィルター - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂として、一般式(I)で表されるアルカリ可溶性樹脂(I)と下記一般式(II)で表される単官能エポキシ化合物とを反応させて得られ、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂(A)を含有させる。
【化1】
(R1〜R5は、H又は置換基を示し、Aは-CO-、-SO2-、-C(CF3)2-、-Si(CH3)2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-O-、9,9-フルオレニル基又は直結合を示し、Xはカルボン酸残基を示し、Y1、Y2はH、-OC-Q-(COOH)mを示し、Zは、-CmH2n+1、-C6H5又は-CnH2n-OHを示す。)
【選択図】 なし
Description
本発明の感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)を必須成分として含有する感光性樹脂組成物であり、アルカリ現像型感光性樹脂組成物としての性質を有する。このアルカリ可溶性樹脂(A)を、(A)成分ともいう。その他、好ましい任意成分として、下記(B)〜(E)の成分がある。
(B)少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー、
(C)光重合開始剤、増感剤又は両者(開始剤類という)、
(D)少なくとも1つ以上のエポキシ基を有する化合物
(E)着色剤
鎖式炭化水素ジカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の化合物があり、更には任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
また、脂環式ジカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、ヘキサヒドロフタル酸、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ノルボルナンジカルボン酸等の化合物があり、更には任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
更に、芳香族ジカルボン酸やその酸無水物としては、例えばフタル酸、イソフタル酸
等の化合物があり、更には任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
ここで、鎖状テトラカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸等があり、更には置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。また、脂環式テトラカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸ノルボルナンテトラカルボン酸等があり、更には置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
更に、芳香族テトラカルボン酸やその酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸又はその酸無水物が挙げられ、更には置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
先ず、9,9-ビス(4-ヒドロキシフェニル)フルオレンとエピクロロヒドリンとを反応させて下記一般式(III)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物を合成し、このビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物とCH2=CR5-COOHで表される(メタ)アクリル酸とを反応させて下記一般式(V)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂を合成し、次いでプロピレングリコールモノメチル溶剤中でビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂と上記酸成分とを加熱下に反応させ、前記式(I)で表されるフルオレン型のアルカリ可溶性樹脂を得る。
ここで、反応で用いられる単官能エポキシ樹脂としては、単官能のエポキシ樹脂であれば特に制限されるものではないが、例えばエポキシプロピルフタルイミド、エポキシノルボルネン等の常温で粉体の化合物や、フェニルグリシジルエーテル、p-ブチルフェノールグリシジルエーテル等の常温で液状の化合物等の高沸点の化合物が挙げられる。単官能エポキシ樹脂の中でも、一般式(II)で表されるものが好ましく、スチレンオキサイド、グリシドール等が好ましいものとして例示される。一般式(II)において、Zは、-CmH2n+1、-C6H5又は-CnH2n-OHを示し、m及びnは、それぞれ1〜10の数を示す。
上記(A)〜(E)成分を必須成分として含む感光性樹脂組成物は、カラーフィルターインク、保護膜等のカラーフィルター用材料などに有用であり、必要により溶剤に溶解されたり、各種添加剤が配合される。
・固形分濃度:樹脂溶液を160℃にて2hr加熱して求めた。
・酸価:1/10N−KOHエタノ−ル(50%)水溶液で滴定して求めた。
・分子量:GPCにより求めた。この分子量は、未反応原料を除いた(A)成分のポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)である。
FHPA:フルオレンビスフェノール型エポキシ樹脂とアクリル酸との等当量反応物(新日鐵化学社製、ASF-400の溶液:固形分濃度50wt%、固形分換算の酸価1.28mgKOH/g、エポキシ当量21300)
BPTA:ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
CHDA:シクロヘキサンカルボン酸二無水物
SA:無水琥珀酸
TPP:トリフェニルホスフィン
PGMEA:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
STO:スチレンオキサイド
還留冷却器付き500ml四つ口フラスコ中にFHPAの50%PGMEA溶液198.53gと、CHDA18.36g、SA8.13g及びTPP0.45gを仕込み、120〜125℃に加熱下に1hr撹拌し、更に75〜80℃にて6hrの加熱撹拌を行った。その後、STOを8.6g投入し、さらに80℃で6時間攪拌し、アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-1を合成した。得られた樹脂溶液の固形分は55wt%、酸価(固形分換算)は50mgKOH/g、GPC分析によるアルカリ可溶性樹脂(A)-1の面積%は91%、Mwは5500であった。
(B) 成分:トリメチロールプロパントリアクリレート(日本触媒(株)製 商品名 TMPTA )
(C) 成分:オキシムエステル系光重合開始剤(チバスペシャリティ製、CGI-242)
(D) 成分:ビフェニル型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン社製、商品名YX-4000HK)
(E)-1 成分:カーボンブラック
(E)-2 成分:ジケトピロロピロールレッド( C.I.ピグメントレッド254)
(E)-3 成分:臭塩素化フタロシアニングリーン(C.I.ピグメントグリーン36)
(E)-4 成分:ε-フタロシアニンブルー(C.I.ピグメントブルー15:6)
溶剤−1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
溶剤−2:乳酸エチル
添加剤−1:シランカップリング剤
添加剤−2:界面活性剤
添加剤−3:分散剤および分散助剤
上記配合成分を表2に記載の割合で配合して、実施例1〜6及び比較例1〜2のBKレジスト用樹脂組成物を調製した。
前記と同様にして実施例7〜12及び比較例3〜4のレッドレジスト用樹脂組成物を調製した。
前記と同様にして実施例13〜18及び比較例5のグリーンレジスト用樹脂組成物を調製した。
前記と同様にして実施例19〜24及び比較例7〜8のブルーレジスト用樹脂組成物を調製した。
現像:自動アルカリ現像装置でパターン形成が可能なら○、不可能なら×と判断した。
現像状態:現像によるパターン時に、未露光部の溶解モードが高い溶解性を保持しているものを○、剥離片などが生じる現像である場合は×と判断した。
現像マージン: 10μmパターンマスクで露光した部分を現像したときに、パターン部が10±1μmを維持している時間を記録した。線幅の測定は、測長顕微鏡((株)ニコン製 商品名XD-20)を用いた。
テーパーマージン:現像マージンで得られた時間内において、SEM形状観察時、パターンの断面形状が順テーパーを維持している場合は○、逆テーパーや剥がれが生じた場合は×とした。
密着性:ポストベーク実施済みのパターン形成基板を、121℃、100%RH、2atm、24時間の条件下においてPCT(プレッシャー・クッカー)テストを実施後、20μmパターン部にセロハンテープを貼り付けピーリングテストを行うことでパターン密着性を評価した。
ライン形状:現像後の10μm線について、顕微鏡でパターン部の直線性やフリンジなどの有無を評価した。そこで、非常に直線性がよく、フリンジなどが発生していないものに関しては○<良好>とし、フリンジなどが発生し、直線性の悪いものを×<不良>と評価した。
Claims (7)
- アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物において、アルカリ可溶性樹脂として一般式(I)で表されるアルカリ可溶性樹脂(I)と単官能エポキシ化合物とを反応させて得られ、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂(A)を含有していることを特徴とする感光性樹脂組成物。
- 少なくとも1個以上のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマー(B)を含み、アルカリ可溶性樹脂(A)と光重合性モノマー(B)の配合割合が重量比で20/80〜80/20である請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
- アルカリ可溶性樹脂(A)と光重合性モノマー(B)の合計100重量部に対して、光重合開始剤及び増感剤から選ばれる1種以上の開始剤類(C)1〜150重量部と着色剤(E)50〜2500重量部を配合してなる請求項3記載の感光性樹脂組成物。
- アルカリ可溶性樹脂(A)と光重合性モノマー(B)の合計100重量部に対して、1つ以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(D)を1〜30重量部配合してなる請求項3又は4記載の感光性樹脂組成物。
- 請求項1〜5のいずれか記載の感光性樹脂組成物を硬化させて形成した塗膜。
- 請求項1〜5いずれか記載の感光性樹脂組成物を塗布、硬化させて得られる塗膜が形成されてなるカラーフィルター。
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