CN103019033A - 感光性树脂组合物、图案形成方法、滤色器、和显示装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性·密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。本发明的感光性树脂组合物含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(1)表示的化合物、和遮光剂。式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团，但是至少一个表示有机基团。R1和R2可以是它们键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键。R3表示单键或有机基团。R4～R9各自独立地表示氢原子、有机基团等，但是没有R6和R7为羟基的情况。R10表示氢原子或有机基团。
Description
技术领域
本发明涉及感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。
背景技术
负型感光性树脂组合物具有因紫外线等电磁波的照射而固化的特性。对于该感光性树脂组合物而言，由于可以通过使照射了电磁波的部分固化而得到所需的形状的图案，因此被广泛地用于显示装置、半导体装置、电子部件、微电子机械系统(MEMS)等各种用途中。例如在显示装置中，可以作为液晶显示器、有机EL显示器等中的滤色器、黑矩阵等的材料使用。
但是，近年来，在液晶显示器、有机EL显示器的制造时，进行了提高黑矩阵的遮光性，从而进一步提高显示对比度的尝试。因此，需要在用于形成黑矩阵的感光性树脂组合物中大量地含有遮光剂。
但是，如果像这样在感光性树脂组合物中大量地含有遮光剂，则灵敏度就会降低，从而会存在图案形成中所需的曝光量增加的问题。另外，由于越是靠近基板的部分，固化越难以推进，因此会存在在显影中图案从基板上剥落、或者边缘的部分受到侵蚀而使图案的直行性降低的问题。
专利文献
专利文献1：日本特开2011-052214号公报
发明内容
因此，本发明的目的在于，提供虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性·密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。
本发明人等为了达成上述目的，反复进行了深入研究。结果发现，通过使感光性树脂组合物中含有特定的化合物，可以解决上述问题，从而完成了本发明。具体来说，本发明提供如下所示的内容。
本发明的第一方式是一种感光性树脂组合物，其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(1)表示的化合物、和遮光剂。
(式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团。但是，R1和R2中的至少一个表示有机基团。R1和R2可以是它们键合而形成环状结构，也可以含有杂原子键。R3表示单键或有机基团。R4和R5各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团。R6、R7、R8、和R9各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团。但是，没有R6和R7为羟基的情况。R6、R7、R8、和R9可以是它们的2个以上键合而形成环状结构，也可以含有杂原子键。R10表示氢原子或有机基团。)
作为与以上式(1)表示的化合物类似的结构的化合物，在专利文献1中公开了下式表示的碱产生剂。该碱产生剂因电磁波照射和加热而发生环化，生成碱(NHR21R22)。
(式中，R21和R22各自独立地表示氢原子或有机基团，可以相同或不同。R21和R22可以是它们键合而形成环状结构，也可以含有杂原子键。但是，R21和R22中的至少1个是有机基团。R23和R24各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团，可以相同或不同。但是，R23和R24的至少1个是卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团。R25、R26、R27、和R28是氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团，可以相同或不同。R25、R26、R27、和R28可以是它们的2个以上键合而形成环状结构，也可以含有杂原子键。)
但是，本发明人等进行了确认，其结果是，即使在感光性树脂组合物中含有专利文献1中记载的碱产生剂，由于光能被消耗在环化中，因此也无法获得良好的微小图案形成特性。
与此相对，上式(1)表示的化合物由于没有R6和R7为羟基的情况，因此不产生环化反应，从而可以获得良好的微小图案形成特性。
应予说明，由于上式(1)表示的化合物因电磁波照射或加热而产生碱，因此还作为碱产生剂发挥作用。另外，若将上式(1)表示的化合物配合到感光性树脂组合物中，则会起到提高与基板的密合性的效果，因此还作为密合增强剂发挥作用。
本发明的第二方式是一种图案形成方法，其使用本发明的感光性树脂组合物来形成涂膜或成形体，对该涂膜或成形体以规定图案状照射电磁波，进行显影。
本发明的第三方式是一种滤色器，其是使用本发明的感光性树脂组合物而形成的滤色器，本发明的第四方式是一种显示装置，其使用了本发明的滤色器。
根据本发明，可以提供虽然含有遮光剂却仍能够以低曝光量形成直行性·密合性优异的图案的感光性树脂组合物、使用了该感光性树脂组合物的图案形成方法、使用该感光性树脂组合物而形成的滤色器、和使用了该滤色器的显示装置。
具体实施方式
《感光性树脂组合物》
本发明的感光性树脂组合物至少含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、后述的式(1)表示的化合物、和遮光剂。以下，对感光性树脂组合物中含有的各成分进行详细说明。
<光聚合性化合物>
作为光聚合性化合物，没有特别限定，可以使用以往公知的光聚合性化合物。其中，优选具有烯性不饱和基团的树脂或单体，更优选将它们组合。通过将具有烯性不饱和基团的树脂与具有烯性不饱和基团的单体组合，而可以提高感光性树脂组合物的固化性，易于使图案形成。
[具有烯性不饱和基团的树脂]
作为具有烯性不饱和基团的树脂，例如可以使用通过使环氧化合物与不饱和羧酸的反应物再与多元酸酐反应而得到的树脂。
其中，优选具有Cardo结构的树脂，更优选下式(a-1)表示的树脂。该式(a-1)表示的树脂因其自身的光固化性高这一点而优选。
上式(a-1)中，Xa表示下式(a-2)表示的基团。
上式(a-2)中，Ra1各自独立地表示氢原子、碳数1～6的烃基、或卤素原子，Ra2各自独立地表示氢原子或甲基，Wa表示单键或下式(a-3)表示的基团。
另外，上式(a-1)中，Ya表示从二羧酸酐中去掉酸酐基(-CO-O-CO-)后的残基。作为二羧酸酐的例子，可以举出马来酸酐、琥珀酸酐、衣康酸酐、邻苯二甲酸酐、四氢化邻苯二甲酸酐、六氢化邻苯二甲酸酐、甲基内次甲基四氢化邻苯二甲酸酐、氯菌酸酐、甲基四氢化邻苯二甲酸酐、戊二酸酐等。
另外，上式(a-1)中，Za表示从四羧酸二酐中去掉2个酸酐基后的残基。作为四羧酸二酐的例子，可以举出苯均四酸二酐、二苯甲酮四羧酸二酐、联苯四羧酸二酐、联苯醚四羧酸二酐等。
另外，上式(a-1)中，m表示0～20的整数。
另外，作为具有烯性不饱和基团的树脂，也可以使用：使(甲基)丙烯酸与将多元醇类和一元酸或多元酸缩合而得的聚酯预聚物反应而得的聚酯(甲基)丙烯酸酯；在使多元醇与具有2个异氰酸根合基的化合物反应后，使(甲基)丙烯酸反应而得的聚氨酯(甲基)丙烯酸酯；使(甲基)丙烯酸与双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、双酚S型环氧树脂、苯酚酚醛型环氧树脂或甲酚酚醛型环氧树脂、甲阶酚醛型环氧树脂、三苯酚甲烷型环氧树脂、聚羧酸聚缩水甘油基酯、多元醇聚缩水甘油基酯、脂肪族或脂环式环氧树脂、胺环氧树脂、二羟基苯型环氧树脂等环氧树脂反应而得的环氧(甲基)丙烯酸酯树脂等。
应予说明，本说明书中，“(甲基)丙烯酸”是指丙烯酸和甲基丙烯酸双方。同样地，“(甲基)丙烯酸酯”是指丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯双方。
具有烯性不饱和基团的树脂的酸值以树脂固体成分计，优选为10～150mgKOH/g，更优选为70～110mgKOH/g。通过设为上述的范围，可以在获得良好的显影性的同时，获得足够的固化性。
另外，具有烯性不饱和基团的树脂的质量平均分子量优选为1000～40000，更优选为2000～30000。通过设为上述的范围，可以在获得良好的显影性的同时，获得足够的耐热性、膜强度。
具有烯性不饱和基团的树脂的含量相对于感光性树脂组合物的固体成分优选为5～80质量％，更优选为15～50质量％。通过设为上述的范围，会存在易于取得显影性的平衡的趋势。
[具有烯性不饱和基团的单体]
在具有烯性不饱和基团的单体中，有单官能单体和多官能单体。
作为单官能单体，可以举出(甲基)丙烯酰胺、羟甲基(甲基)丙烯酰胺、甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、乙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丙氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、丁氧基甲氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺、N-羟基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、柠糠酸、柠糠酸酐、巴豆酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙烷磺酸、叔丁基丙烯酰胺磺酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丁酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基-2-羟基丙酯、2-(甲基)丙烯酰氧基-2-羟基丙基邻苯二甲酸酯、单(甲基)丙烯酸甘油酯、(甲基)丙烯酸四氢糠基酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸2，2，2-三氟乙酯、(甲基)丙烯酸2，2，3，3-四氟丙酯、邻苯二甲酸衍生物的(甲基)丙烯酸半酯等。这些单官能单体可以单独地或者组合2种以上地使用。
另一方面，作为多官能单体，可以举出乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、2，2-双(4-(甲基)丙烯氧基二乙氧基苯基)丙烷、2，2-双(4-(甲基)丙烯氧基聚乙氧基苯基)丙烷、2-羟基-3-(甲基)丙烯酰氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二缩水甘油醚二(甲基)丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇三丙烯酸酯、丙三醇聚缩水甘油醚聚(甲基)丙烯酸酯、氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(即，甲苯二异氰酸酯)、三甲基六亚甲基二异氰酸酯与六亚甲基二异氰酸酯与(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的反应物、亚甲基双(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酰胺亚甲基醚、多元醇与N-羟甲基(甲基)丙烯酰胺的缩合物等多官能单体、或1，3，5-三丙烯酰基六氢-1，3，5-三嗪等。这些多官能单体可以单独地或者组合2种以上地使用。
对于感光性树脂组合物的固体成分，具有烯性不饱和基团的单体的含量相优选为1～30质量％，更优选为5～20质量％。通过设为上述的范围，会有易于取得灵敏度、显影性、清晰度的平衡的趋势。
<光聚合引发剂>
作为光聚合引发剂，没有特别限定，可以使用以往公知的光聚合引发剂。
作为光聚合引发剂，具体来说，可以举出1-羟基环己基苯基甲酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-〔4-(2-羟基乙氧基)苯基〕-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、双(4-二甲基氨基苯基)酮、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、4-苯甲酰基-4’-甲基二甲基硫醚、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸丁酯、4-二甲基氨基-2-乙基己基苯甲酸、4-二甲基氨基-2-异戊基苯甲酸、苄基-β-甲氧基乙基缩醛、苄基二甲基缩酮、1-苯基-1，2-丙二酮-2-(o-乙氧基羰基)肟、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、2，4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、噻吨、2-氯噻吨、2，4-二乙基噻吨、2-甲基噻吨、2-异丙基噻吨、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰、过氧化枯烯、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并噻唑、2-(邻氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(邻氯苯基)-4，5-二(甲氧基苯基)咪唑二聚体、2-(邻氟苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(邻甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2-(对甲氧基苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚体、2，4，5-三芳基咪唑二聚体、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4，4’-双二甲基氨基二苯甲酮(即米氏酮)、4，4’-双二乙基氨基二苯甲酮(即乙基米氏酮)、4，4’-二氯二苯甲酮、3，3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、苯偶酰、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻正丁醚、苯偶姻异丁醚、苯偶姻丁醚、苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲基氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、对叔丁基苯乙酮、对二甲基氨基苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、α，α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮、戊基-4-二甲基氨基苯甲酸酯、9-苯基吖啶、1，7-二(9-吖啶基)庚烷、1，5-二(9-吖啶基)戊烷、1，3-二(9-吖啶基)丙烷、对甲氧基三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、“IRGACURE OXE02”、“IRGACURE OXE01”、“IRGACURE 369”、“IRGACURE 651”、“IRGACURE 907”(商品名：BASF制)、“NCI-831”(商品名：ADEKA制)等。这些光聚合引发剂可以单独地或者组合2种以上地使用。
它们当中，从灵敏度的方面考虑特别优选使用肟系光聚合引发剂，特别优选使用具有咔唑骨架的肟系光聚合引发剂。
作为肟系光聚合引发剂的优选的例子，可以举出下式(b-1)表示的光聚合引发剂。
上式(b-1)中，Rb1表示可以具有取代基的、杂环基、稠环式芳香族基、或芳香族基。Rb2～Rb4各自独立地表示1价有机基团。
作为Rb1中的杂环基，可以举出包含氮原子、硫原子和氧原子中的至少1个原子的五元环以上的杂环基、优选五元环杂环基或六元环杂环基。作为杂环基的例子，可以举出吡咯基、咪唑基、吡唑基等含氮五元环基；吡啶基、吡嗪基、嘧啶基、哒嗪基等含氮六元环基；噻唑基、异噻唑基等含氮含硫基；噁唑基、异噁唑基等含氮含氧基；噻吩基、噻喃基等含硫基；呋喃基、吡喃基等含氧基等。其中，优选含有1个氮原子或硫原子的基团。在该杂环中也可以包含稠环。作为包含稠环的杂环基的例子，可以举出苯并噻吩基等。
作为Rb1中的稠环式芳香族基，可以举出萘基、蒽基、菲基等。另外，作为Rb1中的芳香族基，可以举出苯基。
杂环基、稠环式芳香族基、或芳香族基可以具有取代基。特别是在Rb1为芳香族基的情况下，优选具有取代基。作为此种取代基，可以举出-NO2、-CN、-SO2Rb5、-CORb5、-NRb6Rb7、-Rb8、-ORb8、-O-Rb9-O-Rb10等。
Rb5各自独立地表示烷基，它们可以被卤素原子取代，也可以被醚键、硫醚键、酯键中断。Rb5中的烷基优选碳数为1～5，例如可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基等。
Rb6和Rb7各自独立地表示氢原子、烷基、或烷氧基，它们可以被卤素原子取代，它们中的烷基和烷氧基的亚烷基部分可以被醚键、硫醚键、或酯键中断。另外，Rb6与Rb7可以键合而形成环结构。Rb6和Rb7中的烷基或烷氧基优选碳数为1～5，例如可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基、甲氧基、乙氧基、丙氧基等。
作为Rb6与Rb7结合而可以形成的环结构，可以举出杂环。作为该杂环，可以举出至少包含氮原子的五元环以上的杂环、优选五～七元环的杂环。在该杂环中也可以包含稠环。作为杂环的例子，可以举出哌啶环、吗啉环、硫代吗啉环等。它们当中，优选吗啉环。
Rb8表示氢原子的一部分或全部可以被卤素原子取代的烷基。Rb8中的烷基优选碳数为1～6，例如可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基、丁基、异丁基等。
Rb9和Rb10各自独立地表示烷基，它们也可以被卤素原子取代，还可以被醚键、硫醚键、酯键中断。优选的碳数、其具体例与上述Rb1的说明相同。
它们当中，作为Rb1，可以将吡咯基、吡啶基、噻吩基、噻喃基、苯并噻吩基、萘基、具有取代基的苯基作为优选的例子而举出。
上式(b-1)中，Rb2表示一价的有机基团。作为该有机基团，优选以-Rb11、-ORb11、-CORb11、-SRb11、-NRb11Rb12表示的基团。Rb11和Rb12各自独立地表示烷基、链烯基、芳基、芳烷基、或杂环基，它们也可以被卤素原子、烷基、或杂环基取代，它们中的烷基和芳烷基的亚烷基部分也可以被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键中断。另外，Rb11与Rb12可以键合而与氮原子一起形成环结构。
作为Rb11和Rb12中的烷基，优选碳数1～20的烷基，更优选碳数1～5的烷基。作为烷基的例子，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基、正己基、正庚基、正辛基、异辛基、仲辛基、叔辛基、正壬基、异壬基、正癸基、异癸基等直链状或支链状的基团。另外，该烷基也可以具有取代基。作为具有取代基的烷基的例子，可以举出甲氧基乙氧基乙基、乙氧基乙氧基乙基、丙氧基乙氧基乙基、甲氧基丙基等。
作为Rb11和Rb12中的链烯基，优选碳数1～20的链烯基，更优选碳数1～5的链烯基。作为链烯基的例子，可以举出乙烯基、烯丙基、丁烯基、乙烯基(ethenyl)、丙烯基等直链状或支链状的基团。另外，该链烯基可以具有取代基。作为具有取代基的链烯基的例子，可以举出2-(苯并噁唑-2-基)乙烯基等。
作为Rb11和Rb12中的芳基，优选碳数6～20的芳基，更优选碳数6～10的芳基。作为芳基的例子，可以举出苯基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、萘基、蒽基、菲基等。
作为Rb11和Rb12中的芳烷基，优选碳数7～20的芳烷基，更优选碳数7～12的芳烷基。作为芳烷基的例子，可以举出苄基、α-甲基苄基、α，α-二甲基苄基、苯基乙基、苯基乙烯基等。
作为Rb11和Rb12中的杂环基，可以举出包含氮原子、硫原子和氧原子中的至少1个原子的五元环以上杂环基、优选五～七元环的杂环基。在该杂环基中也可以包含稠环。作为杂环基的例子，可以举出吡咯基、吡啶基、嘧啶基、呋喃基、噻吩基等。
这些Rb11和Rb12当中，烷基和芳烷基的亚烷基部分可以被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键中断。
另外，作为Rb11与Rb12键合而可形成的环结构，可以举出杂环。作为该杂环，可以举出至少包含氮原子的五元环以上的杂环、优选五～七元环的杂环。在该杂环中也可以包含稠环。作为杂环的例子，可以举出哌啶环、吗啉环、硫代吗啉环等。
它们当中，作为Rb2，最优选为甲基、乙基、丙基、苯基。
上式(b-1)中，Rb3表示1价的有机基团。作为该有机基团，优选碳数1～6的烷基、可以具有取代基的碳数6～12的芳基、下式(b-2)表示的基团、或者可以具有取代基的杂环基。作为取代基，可以举出与上述Rb1的情况相同的基团。作为碳数6～12的芳基，可以举出苯基、萘基、蒽基、菲基等。
——Rb13——Rb14 (b-2)
上式(b-2)中，Rb13表示可以被氧原子中断的碳数1～5的亚烷基。作为此种亚烷基，可以举出亚甲基、亚乙基、亚正丙基、亚异丙基、亚正丁基、亚异丁基、亚仲丁基、亚正戊基、亚异戊基、亚仲戊基等直链状或支链状的基团。它们当中，最优选Rb13为亚异丙基。
上式(b-2)中，Rb14表示以-NRb15Rb16表示的1价的有机基团(Rb15和Rb16各自独立地表示1价的有机基团)。此种有机基团当中，如果Rb14的结构是下式(b-3)表示的结构，则可以提高光聚合引发剂的溶解性，从这一点考虑优选。
上式(b-3)中，Rb17和Rb18各自独立地表示碳数1～5的烷基。作为此种烷基，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基等。它们当中，最优选Rb17和Rb18为甲基。
作为Rb3中的杂环基，可以举出包含氮原子、硫原子、和氧原子中的至少1个原子的五元环以上的杂环基、优选五元环或六元环的杂环基。作为杂环基的例子，可以举出吡咯基、咪唑基、吡唑基等含氮五元环基；吡啶基、吡嗪基、嘧啶基、哒嗪基等含氮六元环基；噻唑基、异噻唑基等含氮含硫基；噁唑基、异噁唑基等含氮含氧基；噻吩基、噻喃基等含硫基；呋喃基、吡喃基等含氧基等。其中，优选包含1个氮原子或硫原子的杂环基。在该杂环中也可以包含稠环。作为包含稠环的杂环基的例子，可以举出苯并噻吩基等。
另外，杂环基可以具有取代基。作为取代基，可以举出与上述Rb1的情况相同的基团。
上式(b-1)中，Rb4表示1价的有机基团。其中，优选为碳数1～5的烷基。作为此种烷基，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基等。它们当中，最优选Rb4为甲基。
另外，作为肟系光聚合引发剂的优选的其他的例子，可以举出日本特开2010-15025号公报中提出的下式(c-1)表示的光聚合引发剂。
上式(c-1)中，Rc1和Rc2各自独立地表示Rc11、ORc11、CORc11、SRc11、CONRc12Rc13、或CN。
Rc11、Rc12、和Rc13各自独立地表示氢原子、碳数1～20的烷基、碳数6～30的芳基、碳数7～30的芳基烷基、或碳数2～20的杂环基。烷基、芳基、芳基烷基、和杂环基的氢原子也可以再被ORc21、CORc21、SRc21、NRc22Rc23、CONRc22Rc23、-NRc22-ORc23、-NCORc22-OCORc23、-C(＝N-ORc21)-Rc22、-C(＝N-OCORc21)-Rc22、CN、卤素原子、-CRc21＝CRc21Rc23、-CO-CRc21＝CRc22Rc23、羧基、或环氧基取代。Rc21、Rc22、和Rc23各自独立地表示氢原子、碳数1～20的烷基、碳数6～30的芳基、碳数7～30的芳基烷基、或碳数2～20的杂环基。
上述Rc11、Rc12、Rc13、Rc21、Rc22、和Rc23中的取代基的亚烷基部分的亚甲基可以被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键、或氨基甲酸酯键中断1～5次，上述取代基的烷基部分可以有支链，也可以是环状烷基，上述取代基的烷基末端可以是不饱和键，另外，Rc12与Rc13、以及Rc22与Rc23可以分别键合而形成环结构。
上式(c-1)中，Rc3和Rc4各自独立地表示Rc11、ORc11、CORc11、SRc11、CONRc12Rc13、NRc11CORc12、OCORc11、COORc11、SCORc11、OCSRc11、COSRc11、CSORc11、CN、卤素原子、或羟基。a和b各自独立地表示0～4的整数。
Rc3可以与借助-Xc2-所邻接的苯环的1个碳原子键合而形成环结构，Rc3与Rc4也可以键合而形成环结构。
上式(c-1)中，Xc1表示单键或CO。
上式(c-1)中，Xc2表示氧原子、硫原子、硒原子、CRc31Rc32、CO、NRc33、或PRc34。Rc31、Rc32、Rc33、和Rc34各自独立地表示Rc11、ORc11、CORc11、SRc11、CONRc12Rc13、或CN。Rc31、Rc33、和Rc34可以分别独立地与邻接的任一苯环一起形成环结构。
上式(c-1)中，作为Rc11、Rc12、Rc13、Rc21、Rc22、和Rc23中的烷基，可以举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、异戊基、仲戊基、叔戊基等。
上式(c-1)中，作为Rc11、Rc12、Rc13、Rc21、Rc22、和Rc23中的芳基，可以举出苯基、甲苯基、二甲苯基、乙基苯基、氯苯基、萘基、蒽基、菲基等。
上式(c-1)中，作为Rc11、Rc12、Rc13、Rc21、Rc22、和Rc23中的芳基烷基，可以举出苄基、氯苄基、α-甲基苄基、α，α-二甲基苄基、苯基乙基、苯基乙烯基等。
上式(c-1)中，作为Rc11、Rc12、Rc13、Rc21、Rc22、和Rc23中的杂环基，可以举出吡啶基、嘧啶基、呋喃基、噻吩基、四氢呋喃基、二氧戊环基、苯并噁唑-2-基、四氢吡喃基、吡咯烷基、咪唑烷基、吡唑烷基、噻唑烷基、异噻唑烷基、噁唑烷基、异噁唑烷基、哌啶基、哌嗪基、吗啉基等五～七元环。
上式(c-1)中，作为Rc12与Rc13键合而可形成的环、Rc22与Rc23键合而可形成的环、以及Rc3可以与邻接的苯环一起形成的环，可以举出环戊烷环、环己烷环、环戊烯环、苯环、哌啶环、吗啉环、内酯环、内酰胺环等五～七元环。
应予说明，在Xc2为NRc33、Rc3与邻接的苯环的1个碳原子键合而与Xc2一起形成五元环结构的情况下，光聚合引发剂会具有咔唑骨架。
上式(c-1)中，作为可以取代Rc11、Rc12、Rc13、Rc21、Rc22、和Rc23的卤素原子、以及Rc4、Rc5中的卤素原子，可以举出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。
上述取代基的亚烷基部分的亚甲基也可以被不饱和键、醚键、硫醚键、酯键、硫酯键、酰胺键、或氨基甲酸酯键中断1～5次。该情况下，所中断的结合基可以是1种或2种以上的基团，在能够连续地中断的基团的情况下，也可以连续地中断2个以上。另外，上述取代基的烷基部分可以具有支链，也可以是环状烷基，上述取代基的烷基末端可以是不饱和键。
光聚合引发剂的含量相对于感光性树脂组合物的固体成分100质量份优选为0.5～20质量份。通过设为上述的范围，可以获得足够的耐热性、耐药品性，另外可以提高涂膜形成能力，抑制固化不良。
<式(1)表示的化合物>
本发明的感光性树脂组合物含有下式(1)表示的化合物。
上式(1)中，R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团，而R1和R2中的至少一个表示有机基团。
作为R1和R2中的有机基团，可以举出烷基、链烯基、环烷基、环烯基、芳基、芳烷基等。该有机基团可以在该有机基团中包含杂原子等烃基以外的键、取代基。另外，该有机基团可以是直链状、支链状、环状中的任一种。
该有机基团通常是1价，而在形成环状结构等情况下，可以成为2价以上的有机基团。
R1和R2可以是它们键合而形成环状结构，也可以含有杂原子键。作为环状结构，可以举出杂环烷基、杂芳基等，也可以是稠环。
作为R1和R2的有机基团中的除了烃基以外的键，只要不损害本发明的效果，就没有特别限定，可以举出包括氧原子、氮原子、硅原子等杂原子的键。作为具体例，可以举出醚键、硫醚键、羰基键、硫代羰基键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、亚氨基键(-N＝C(-R)-、-C(＝NR)-：R表示氢原子或有机基团)、碳酸酯键、磺酰基键、亚磺酰基键、偶氮键等。
从耐热性的观点考虑，作为R1和R2的有机基团中的除了烃基以外的键，优选醚键、硫醚键、羰基键、硫代羰基键、酯键、酰胺键、氨基甲酸酯键、亚氨基键(-N＝C(-R)-、-C(＝NR)-：R表示氢原子或1价的有机基团)、碳酸酯键、磺酰基键、亚磺酰基键。
作为R1和R2的有机基团中的除了烃基以外的取代基，只要不损害本发明的效果，就没有特别限定，可以举出卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、氰基、异氰基、氰酸根合基、异氰酸根合基、硫代氰酸基、异硫代氰酸基、甲硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、氨基甲酰基、硫代氨基甲酰基、硝基、亚硝基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、羟基亚氨基、烷基醚基、链烯基醚基、烷基硫醚基、链烯基硫醚基、芳基醚基、芳基硫醚基、氨基(-NH2、-NHR、-NRR’：R和R’分别独立地表示烃基)等。上述取代基中所含的氢原子可以被烃基取代。另外，上述取代基中所含的烃基可以是直链状、支链状、和环状中的任一种。
作为R1和R2的有机基团中的除了烃基以外的取代基，优选为卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、氰基、异氰基、氰酸根合基、异氰酸根合基、硫代氰酸基、异硫代氰酸基、甲硅烷基、硅烷醇基、烷氧基、烷氧基羰基、氨基甲酰基、硫代氨基甲酰基、硝基、亚硝基、羧基、羧酸酯基、酰基、酰氧基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、羟基亚氨基、烷基醚基、链烯基醚基、烷基硫醚基、链烯基硫醚基、芳基醚基、芳基硫醚基。
以上当中，作为R1和R2，优选至少一个是碳数1～12的烷基或碳数1～12的芳基，或者相互键合而形成碳数2～20的杂环烷基或杂芳基。作为杂环烷基，可以举出哌啶子基、吗啉代基等，作为杂芳基，可以举出咪唑基、吡唑基等。
上式(1)中，R3表示单键或有机基团。
作为R3中的有机基团，可以举出从烷基、链烯基、环烷基、环烯基、芳基、芳烷基等中去掉1个氢原子后的基团。该有机基团可以在该有机基团中包含取代基。作为取代基，可以举出在R1和R2中例示出的取代基。另外，该有机基团可以是直链状、支链状中的任一种。
以上当中，作为R3，优选为单键、或者从碳数1～12的烷基或碳数1～12的芳基中去掉1个氢原子后的基团。
上式(1)中，R4和R5各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团。
作为R4和R5中的有机基团，可以举出在R1和R2中例示出的有机基团。该有机基团与R1和R2的情况相同，可以在该有机基团中包含杂原子等除了烃基以外的键、取代基。另外，该有机基团可以是直链状、支链状、环状中的任意一种。
以上当中，作为R4和R5优选分别独立地为氢原子、碳数1～10的烷基、碳数4～13的环烷基、碳数4～13的环烯基、碳数7～16的芳氧基烷基、碳数7～20的芳烷基、具有氰基的碳数2～11的烷基、具有羟基的碳数1～10的烷基、碳数1～10的烷氧基、碳数2～11的酰胺基、碳数1～10的烷基硫基、碳数1～10的酰基、碳数2～11的酯基(-COOR、-OCOR：R表示烃基)、碳数6～20的芳基、取代有给电子性基和/或吸电子性基的碳数6～20的芳基、取代有给电子性基和/或吸电子性基的苄基、氰基、甲硫基。更优选R4和R5双方为氢原子，或者R4为甲基、R5为氢原子。
上式(1)中，R6、R7、R8、和R9各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团。
作为R6、R7、R8、和R9中的有机基团，可以举出在R1和R2中例示出的有机基团。该有机基团与R1和R2的情况相同，可以在该有机基团中包含杂原子等除了烃基以外的键或取代基。另外，该有机基团可以是直链状、支链状、环状中的任意一种。
应予说明，上式(1)中，没有R6和R7为羟基的情况。在R6或R7为羟基的情况下，如专利文献1中记载所示，会因电磁波照射和加热而产生环化反应。由此，即使在感光性树脂组合物中含有此种化合物，光能也会被消耗在环化中，无法获得良好的微小图案形成特性。与之不同，以上式(1)表示的化合物不存在R6和R7为羟基的情况，因此不会产生环化反应，在包含于感光性树脂组合物中时可以获得良好的微小图案形成特性。
R6、R7、R8、和R9也可以是它们中的2个以上键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键。作为环状结构，可以举出杂环烷基、杂芳基等，也可以是稠环。例如，R6、R7、R8、和R9也可以是它们中的2个以上键合，共有R6、R7、R8、和R9所结合的苯环的原子而形成萘、蒽、菲、茚等稠环
以上当中，作为R6、R7、R8、和R9，优选分别独立地为氢原子、碳数1～10的烷基、碳数4～13的环烷基、碳数4～13的环烯基、碳数7～16的芳氧基烷基、碳数7～20的芳烷基、具有氰基的碳数2～11的烷基、具有羟基的碳数1～10的烷基、碳数1～10的烷氧基、碳数2～11的酰胺基、碳数1～10的烷基硫基、碳数1～10的酰基、碳数2～11的酯基、碳数6～20的芳基、取代有给电子性基和/或吸电子性基的碳数6～20的芳基、取代有给电子性基和/或吸电子性基的苄基、氰基、甲硫基、硝基。
另外，作为R6、R7、R8、和R9，从将吸收波长加以长波长化的方面考虑，也优选它们中的2个以上键合，共有R6、R7、R8、和R9所结合的苯环的原子而形成萘、蒽、菲、茚等稠环的情况。
更优选R6、R7、R8、和R9的全部都是氢原子，或者R6、R7、R8、和R9中的任意1个是硝基、剩余3个是氢原子。
上式(1)中，R10表示氢原子或有机基团。
作为R10中的有机基团，可以举出在R1和R2中例示出的有机基团。该有机基团与R1和R2的情况相同，可以在该有机基团中包含杂原子等除了烃基以外的键、取代基。另外，该有机基团可以是直链状、支链状、环状中的任意一种。
由于上式(1)表示的化合物在苯环的对位具有-OR10基，因此在有机溶剂中的溶解性良好。
以上当中，作为R10，优选为氢原子、或碳数1～12的烷基，更优选为甲基。
作为上式(1)表示的化合物当中的特别优选的具体例，可以举出下式表示的化合物。
此种上式(1)表示的化合物在有机溶剂中的溶解性良好，另外，在包含于感光性树脂组合物中时可以获得良好的微小图案形成特性。应予说明，该化合物可以如后述的实施例所示地加以合成。
相对于上述光聚合引发剂100质量份，上式(1)表示的化合物的含量优选为35～200质量份，更优选为50～150质量份，进一步优选为50～100质量份。通过设为上述的范围，可以在获得良好的显影性的同时，获得良好的微小图案形成特性。
<遮光剂>
作为遮光剂，优选使用黑色颜料。作为黑色颜料，可以举出炭黑、钛黑、铜、铁、锰、钴、铬、镍、锌、钙、银等的金属氧化物、复合氧化物、金属硫化物、金属硫酸盐、金属碳酸盐等，可以不论有机物、无机物地举出各种颜料。它们当中，优选使用具有高遮光性的炭黑。
作为炭黑，可以使用槽法炭黑、炉法炭黑、热解炭黑、灯黑等公知的炭黑，然而优选使用遮光性优异的槽法炭黑。另外，也可以使用树脂被覆炭黑。
树脂被覆炭黑由于与没有树脂被覆的炭黑相比导电性低，因此在用于黑矩阵形成用的感光性树脂组合物中的情况下，电流的泄漏少，可以制造可靠性高的低耗电的显示器。
另外，为了调整炭黑的色调，可以适当地添加有机颜料作为辅助颜料
另外，为了使着色剂均匀地分散在负型感光性树脂组合物中，还可以使用分散剂。作为此种分散剂，优选使用聚乙烯亚胺系、聚氨酯树脂系、丙烯酸树脂系的高分子分散剂。特别是在使用炭黑作为遮光剂的情况下，优选使用丙烯酸树脂系的分散剂作为分散剂。
遮光剂的含量只要根据感光性树脂组合物的用途适当地确定即可，而作为一个例子，相对于感光性树脂组合物的固体成分100质量份，优选为5～70质量份，更优选为25～60质量份。
特别是，在使用感光性树脂组合物形成黑矩阵的情况下，优选以使黑矩阵的每1μm膜厚的OD值成为4以上的方式来调整感光性树脂组合物中的遮光剂的量。如果黑矩阵中的每1μm膜厚的OD值为4以上，则在用于黑矩阵中的情况下，可以获得足够的显示对比度。
应予说明，遮光剂优选在使用分散剂制成以恰当的浓度分散了的分散液后，添加到感光性树脂组合物中。
<有机溶剂>
本发明的感光性树脂组合物优选含有用于稀释的有机溶剂。作为有机溶剂，例如可以举出乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇正丙醚、乙二醇单正丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单正丙醚、二乙二醇单正丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单正丙醚、丙二醇单正丁醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇单正丙醚、二丙二醇单正丁醚、三丙二醇单甲醚、三丙二醇单乙醚等(聚)烷撑二醇单烷基醚类；乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯等(聚)烷撑二醇单烷基醚乙酸酯类；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、四氢呋喃等其他的醚类；甲乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮类；2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯等乳酸烷基酯类；2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其他的酯类；甲苯、二甲苯等芳香族烃类；N-甲基吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲替乙酰胺等酰胺类等。这些有机溶剂可以单独地或者组合2种以上地使用。
上述有机溶剂当中，丙二醇单甲醚、乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲乙醚、环己酮、3-甲氧基丁基乙酸酯对于上述光聚合性化合物、上述光聚合引发剂、和上式(1)表示的化合物显示出优异的溶解性，并且可以使上述遮光剂的分散性良好，因此优选，特别优选使用丙二醇单甲醚乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯。
有机溶剂的含量优选为使感光性树脂组合物的固体成分浓度达到1～50质量％的量，更优选为达到5～30质量％的量。
<其他的成分>
本发明的感光性树脂组合物根据需要也可以含有各种添加剂。作为添加剂，可以举出敏化剂、固化促进剂、填充剂、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、凝聚抑制剂、热聚合抑制剂、消泡剂、表面活性剂等。
<感光性树脂组合物的制备方法>
本发明的感光性树脂组合物可以通过将上述的各成分用搅拌机混合来制备。应予说明，为了使所制备的感光性树脂组合物成为均匀的物质，可以使用薄膜过滤器等进行过滤。
《图案形成方法》
本发明的图案形成方法是如下的方法，即，使用本发明的感光性树脂组合物形成涂膜或成形体，对该涂膜或成形体以规定图案状照射电磁波，进行显影。
更具体来说，首先，利用恰当的涂布方法或成形方法，形成涂膜或成形体。例如，可以通过使用辊涂机、逆转辊涂布机、棒涂机等接触转印型涂布装置或旋转器(旋转式涂布装置)、幕涂流动涂料器等非接触型涂布装置在基板上涂布感光性树脂组合物，使其干燥，从而形成涂膜。干燥方法没有特别限定，例如可以举出(1)用加热平板以80～120℃、优选以90～100℃的温度进行60～120秒的预烘烤的方法，(2)在室温下放置数小时～数天的放置的方法，(3)放入热风加热器或红外线加热器中数十分钟～数小时而除去溶剂的方法等。
然后，对涂膜或成形体以规定图案状照射电磁波、进行曝光。电磁波既可以隔着负型的掩模照射，也可以直接照射。曝光量虽然根据感光性树脂组合物的组成而不同，然而例如优选为5～500mJ/cm2左右。
然后，通过利用显影液对曝光后的涂膜或成形体进行显影，而形成为所需形状的图案。显影方法没有特别限定，例如可以使用浸渍法、喷雾法等。作为显影液，可以举出单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺等有机系的显影液；或氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、氨、季铵盐等的水溶液。
对于显影后的图案，优选在200～250℃左右进行后烘烤。
《滤色器、显示装置》
本发明的滤色器是使用本发明的感光性树脂组合物而形成的。
例如，通过使用本发明的感光性树脂组合物形成涂膜，对该涂膜以给定图案状照射电磁波、进行显影，从而可以形成液晶显示器或有机EL显示器的滤色器中的黑矩阵。
本发明的显示装置是具备此种滤色器的装置。作为显示装置，可以举出液晶显示器或有机EL显示器等。
[实施例]
下面，示出实施例对本发明进行更具体的说明，然而本发明的范围并不限定于这些实施例。
<上式(1)表示的化合物和比较化合物>
作为上式(1)表示的化合物，准备了由下式表示的化合物1～20。将该化合物1～20的合成法表示如下。另外，为了比较，准备了由下式表示的比较化合物1～10。
[化合物1的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、二乙胺2.41ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物1(4.65g，20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物2的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、苯胺3.07ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物2(6.31g，25mmol)。丙烯酰氯基准的收率为83％。
[化合物3的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物3(3.41g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物4的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、吗啉2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物4(3.41g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物5的合成法]
将3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物5(4.08g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物6的合成法]
将3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物6(4.08g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物7的合成法]
将2-甲基-3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物7(4.29g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物8的合成法]
将2-甲基-3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物8(3.41g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物9的合成法]
将3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、二乙胺2.41ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物9(5.55g，20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物10的合成法]
将3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、二乙胺2.41ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物9(5.55g，20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物11的合成法]
将2-甲基-3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、二乙胺2.41ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物11(5.83g，20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物12的合成法]
将2-甲基-3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、二乙胺2.41ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物12(5.83g，20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物13的合成法]
将3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、哌啶2.81ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物13(5.62g，23mmol)。丙烯酰氯基准的收率为77％。
[化合物14的合成法]
将3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.25g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、哌啶2.81ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物14(5.62g，23mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物15的合成法]
将2-甲基-3-(2-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、哌啶2.81ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物15(5.83g，23mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物16的合成法]
将2-甲基-3-(3-硝基-4-甲氧基苯基)丙烯酰氯7.67g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、哌啶2.81ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物16(5.83g，23mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物17的合成法]
将3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯5.90g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、哌啶2.81ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物17(3.41g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物18的合成法]
将2-甲基-3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯6.32g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、咪唑2.25ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物18(3.62g，15mmol)。丙烯酰氯基准的收率为50％。
[化合物19的合成法]
将2-甲基-3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯6.32g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、二乙胺2.41ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物19(4.93g，20mmol)。丙烯酰氯基准的收率为67％。
[化合物20的合成法]
将2-甲基-3-(4-甲氧基苯基)丙烯酰氯6.32g(30mmol)溶解于50ml的干燥后的醚中，加入三乙胺4.59ml(当量比1.1)、苯胺3.07ml(当量比1.1)，在室温下搅拌1小时。用水50ml、饱和NaHCO3水溶液50ml、和1N盐酸清洗后，用硫酸镁干燥，在减压下浓缩。以己烷-乙酸乙酯作为展开溶剂，以硅胶作为支撑载体，利用柱色谱进行精制，得到对应的化合物20(4.29g，25mmol)。丙烯酰氯基准的收率为83％。
<感光性树脂组合物的制备>
[实施例1]
通过将以下的各成分溶解于3-甲氧基丁基乙酸酯(MA)/丙二醇单甲醚乙酸酯(PM)/环己酮(AN)＝60/20/20(质量比)的混合溶剂中，用搅拌机混合2小时后，用孔径5μm的薄膜过滤器进行过滤，而制备出固体成分浓度15质量％的感光性树脂组合物。
·具有烯性不饱和基团的树脂
树脂(A-1)(固体成分55％、溶剂：3-甲氧基丁基乙酸酯)……310质量份
·具有烯性不饱和基团的单体
二季戊四醇六丙烯酸酯(DPHA)……175质量份
·光聚合引发剂
乙酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-，1-(O-乙酰基肟)“IRGACURE OXE02”(商品名：BASF制)……100质量份
·上式(1)表示的化合物
上述化合物3……100质量份
·着色剂
碳分散液“CF Black”(商品名：御国色素制、固体成分25％、溶剂：3-甲氧基丁基乙酸酯)……450质量份
上述树脂(A-1)的合成法如下所示。
首先，向500ml四口烧瓶中，加入双酚芴型环氧树脂(环氧当量235)235g、四甲基氯化铵110mg、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚100mg、和丙烯酸72.0g，对其以25ml/分钟的速度吹入空气，同时在90～100℃下加热溶解。然后，在溶液白浊的状态下慢慢地升温，加热到120℃而使之完全溶解。此时，溶液逐渐地变得透明粘稠，保持原样地继续搅拌。其间测定酸值，继续加热搅拌直到小于1.0mgKOH/g为止。在酸值达到目标值前需要12小时。此后冷却到室温为止，得到无色透明且为固体状的、下式(a-4)表示的双酚芴型环氧丙烯酸酯。
然后，向如此得到的上述的双酚芴型环氧丙烯酸酯307.0g中加入3-甲氧基丁基乙酸酯600g而溶解后，混合二苯甲酮四羧酸二酐80.5g和四乙基溴化铵1g，慢慢地升温，在110～115℃下反应4小时。确认了酸酐基的消失后，混合1，2，3，6-四氢化邻苯二甲酸酐38.0g，在90℃下反应6小时，得到树脂(A-1)。利用IR光谱确认酸酐基的消失。
应予说明，该树脂(A-1)相当于由上式(a-1)表示的树脂。
[实施例2～6]
如下表1所示，分别使用“IRGACURE OXE01”(商品名：BASF公司制)、“NCI-831”(商品名：ADEKA制)、“IRGACURE 369”、“IRGACURE 651”、“IRGACURE 907”(商品名：都是BASF制)来代替作为光聚合引发剂的“IRGACURE OXE02”，除此以外，与实施例1相同地制备出感光性树脂组合物。所用的光聚合引发剂的详情如下所示。
·“IRGACURE OXE01”：1，2-辛烷二酮，1-[4-(苯硫基)-，2-(O-苯甲酰肟)]
·“NCI-831”：参照下式
·“IRGACURE 369”：2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮
·“IRGACURE 651”：2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮
[实施例7～12]
如下表1所示，使用了上述化合物1来代替上述化合物3，除此以外，与实施例1～6相同地制备出感光性树脂组合物。
[实施例13～24]
如下表2所示，将式(1)表示的化合物的含量设为50质量份，除此以外，与实施例1～12相同地制备出感光性树脂组合物。
[实施例25～42]
如下表3所示，分别使用了上述化合物2、4～20来代替上述化合物3，除此以外，与实施例1相同地制备出感光性树脂组合物。
[比较例1～6]
如下表4所示，未使用上述化合物3，除此以外，与实施例1相同地制备出感光性树脂组合物。
[比较例7～14]
如下表4所示，分别使用了上述比较化合物1～8来代替上述化合物3，除此以外，与实施例1相同地制备出感光性树脂组合物。
[表1]
| 光聚合引发剂 | 式(1)的化合物(含量) | |
| 实施例1 | IRGACURE OXE02 | 化合物3(100质量份) |
| 实施例2 | IRGACURE OXE01 | 化合物3(100质量份) |
| 实施例3 | NCI-831 | 化合物3(100质量份) |
| 实施例4 | IRGACURE 369 | 化合物3(100质量份) |
| 实施例5 | IRGACURE 651 | 化合物3(100质量份) |
| 实施例6 | IRGACURE 907 | 化合物3(100质量份) |
| 实施例7 | IRGACURE OXE02 | 化合物1(100质量份) |
| 实施例8 | IRGACURE OXE01 | 化合物1(100质量份) |
| 实施例9 | NCI-831 | 化合物1(100质量份) |
| 实施例10 | IRGACURE 369 | 化合物1(100质量份) |
| 实施例11 | IRGACURE 651 | 化合物1(100质量份) |
| 实施例12 | IRGACURE 907 | 化合物1(100质量份) |
[表2]
| 光聚合引发剂 | 式(1)的化合物(含量) | |
| 实施例13 | IRGACURE OXE02 | 化合物3(50质量份) |
| 实施例14 | IRGACURE OXE01 | 化合物3(50质量份) |
| 实施例15 | NCI-831 | 化合物3(50质量份) |
| 实施例16 | IRGACURE 369 | 化合物3(50质量份) |
| 实施例17 | IRGACURE 651 | 化合物3(50质量份) |
| 实施例18 | IRGACURE 907 | 化合物3(50质量份) |
| 实施例19 | IRGACURE OXE02 | 化合物1(50质量份) |
| 实施例20 | IRGACURE OXE01 | 化合物1(50质量份) |
| 实施例21 | NCI-831 | 化合物1(50质量份) |
| 实施例22 | IRGACURE 369 | 化合物1(50质量份) |
| 实施例23 | IRGACURE 651 | 化合物1(50质量份) |
| 实施例24 | IRGACURE 907 | 化合物1(50质量份) |
[表3]
| 光聚合引发剂 | 式(1)的化合物(含量) | |
| 实施例25 | IRGACURE OXE02 | 化合物2(100质量份) |
| 实施例26 | IRGACURE OXE02 | 化合物4(100质量份) |
| 实施例27 | IRGACURE OXE02 | 化合物5(100质量份) |
| 实施例28 | IRGACURE OXE02 | 化合物6(100质量份) |
| 实施例29 | IRGACURE OXE02 | 化合物7(100质量份) |
| 实施例30 | IRGACURE OXE02 | 化合物8(100质量份) |
| 实施例31 | IRGACURE OXE02 | 化合物9(100质量份) |
| 实施例32 | IRGACURE OXE02 | 化合物10(100质量份) |
| 实施例33 | IRGACURE OXE02 | 化合物11(100质量份) |
| 实施例34 | IRGACURE OXE02 | 化合物12(100质量份) |
| 实施例35 | IRGACURE OXE02 | 化合物13(100质量份) |
| 实施例36 | IRGACURE OXE02 | 化合物14(100质量份) |
| 实施例37 | IRGACURE OXE02 | 化合物15(100质量份) |
| 实施例38 | IRGACURE OXE02 | 化合物16(100质量份) |
| 实施例39 | IRGACURE OXE02 | 化合物17(100质量份) |
| 实施例40 | IRGACURE OXE02 | 化合物18(100质量份) |
| 实施例41 | IRGACURE OXE02 | 化合物19(100质量份) |
| 实施例42 | IRGACURE OXE02 | 化合物20(100质量份) |
[表4]
| 光聚合引发剂 | 比较化合物(含量) | |
| 比较例1 | IRGACURE OXE02 | - |
| 比较例2 | IRGACURE OXE01 | - |
| 比较例3 | NCI-831 | - |
| 比较例4 | IRGACURE 369 | - |
| 比较例5 | IRGACURE 651 | - |
| 比较例6 | IRGACURE 907 | - |
| 比较例7 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物1(100质量份) |
| 比较例8 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物2(100质量份) |
| 比较例9 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物3(100质量份) |
| 比较例10 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物4(100质量份) |
| 比较例11 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物5(100质量份) |
| 比较例12 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物6(100质量份) |
| 比较例13 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物7(100质量份) |
| 比较例14 | IRGACURE OXE02 | 比较化合物8(100质量份) |
[评价]
使用旋涂机将实施例1～42、比较例1～14的感光性树脂组合物涂布在玻璃基板(100mm×100mm)上，在90℃下进行120秒预烘烤，形成膜厚1.0μm的涂膜。然后，使用镜面投影对准曝光器(产品名：TME-150RTO、株式会社TOPCON制)，将曝光间隙设为50μm，隔着形成有20μm的线状图案的负像掩模，向涂膜照射紫外线。曝光量设为20、40、60、120mJ/cm2这4个等级。将曝光后的涂膜在26℃的0.04质量％KOH水溶液中显影40秒后，通过在230℃下进行30分钟后烘烤，从而形成线状图案。
同样地，隔着形成有2、5、10、20μm的线状图案的负像掩模，以50μm的曝光间隙，向涂膜照射紫外线。曝光量设为10mJ/cm2。将曝光后的涂膜在26℃的0.04质量％KOH水溶液中显影40秒后，通过在230℃下进行30分钟后烘烤，从而形成线状图案。
对所形成的线状图案，使用OD测定装置D-200II(GretagMacbeth公司制)，测定出每1μm膜厚的OD值。
另外，利用光学显微镜观察线状图案，评价图案直行性。对于图案直行性，将在线的边缘没有抖动的情况评价为“良好”，将有抖动的情况评价为“不良”。
另外，利用光学显微镜观察线状图案，评价图案密合性。对于图案密合性，将未从基板中剥落地形成线状图案的情况评价为“良好”；将虽然形成了线状图案，然而产生了图案缺损的情况评价为“不良”；将从基板中剥落而没有形成线状图案的情况评价为“无”。
进而，对显影后的未曝光部的残渣的有无进行了评价。
将结果示于下表5～8中。
[表5]
[表6]
[表7]
[表8]
从该表中可以清楚地看到，在使用了除光聚合引发剂以外还含有上式(1)表示的化合物的实施例1～24的感光性树脂组合物的情况下，与使用了不含有上式(1)表示的化合物的比较例1～6的感光性树脂组合物的情况相比，图案直行性、图案密合性大幅度提高。特别是从实施例25～42中可以清楚地看到，在作为光聚合引发剂而使用了“IRGACUREOXE02”的情况下，即使是20mJ/cm2这样的低曝光量，也可以形成直行性优异的线状图案，即使是10mJ/cm2这样的低曝光量，5μm的线状图案也与基板密合。进而，在使用了实施例1～42的感光性树脂组合物的情况下，也不存在显影残渣。
与此相对，在使用含有比较化合物1～8来代替由上式(1)表示的化合物的、比较例7～14的感光性树脂组合物的情况下，图案直行性、图案密合性均比实施例1、7、13、19、25～42差，无法获得良好的微小图案形成特性。
Claims (6)
1.一种感光性树脂组合物，其含有光聚合性化合物、光聚合引发剂、下式(1)表示的化合物、和遮光剂，
式中，R1和R2各自独立地表示氢原子或有机基团；但是，R1和R2中的至少一个表示有机基团；R1和R2可以是它们键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键；R3表示单键或有机基团；R4和R5各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、或有机基团；R6、R7、R8、和R9各自独立地表示氢原子、卤素原子、羟基、巯基、硫醚基、甲硅烷基、硅烷醇基、硝基、亚硝基、亚磺基、磺基、磺酸酯基、膦基、氧膦基、膦酰基、膦酸酯基、氨基、铵基、或有机基团；但是，没有R6和R7为羟基的情况；R6、R7、R8、和R9可以是它们中的2个以上键合而形成环状结构，也可以包含杂原子键；R10表示氢原子或有机基团。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，
相对于所述光聚合引发剂100质量份，所述式(1)表示的化合物的含量为35～200质量份。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，
所述光聚合性化合物含有具有Cardo结构的树脂。
4.一种图案形成方法，其中，
使用权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物来形成涂膜或成形体，对所述涂膜或成形体以规定图案状照射电磁波，进行显影。
5.一种滤色器，其是使用权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物而形成的。
6.一种显示装置，其使用了权利要求5所述的滤色器。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011-207589 | 2011-09-22 | ||
| JP2011207589 | 2011-09-22 | ||
| JP2012174872A JP6037708B2 (ja) | 2011-09-22 | 2012-08-07 | 感光性樹脂組成物、パターン形成方法、カラーフィルタ、及び表示装置 |
| JP2012-174872 | 2012-08-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103019033A true CN103019033A (zh) | 2013-04-03 |
Family
ID=47967791
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2012103586398A Pending CN103019033A (zh) | 2011-09-22 | 2012-09-24 | 感光性树脂组合物、图案形成方法、滤色器、和显示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103019033A (zh) |
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2012
- 2012-09-24 CN CN2012103586398A patent/CN103019033A/zh active Pending
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