JP2006278927A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハの直上に供給される広幅テープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ上に押圧することで貼り付け、その後テープをウエハ外形形状に切断するウエハへのテープ貼付方法において、
   少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、
   ウエハが載置された吸着テーブルの直上に引き出した広幅テープを上昇位置にある複数のテープ支持板に貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にて切断し、
   ウエハを載置した吸着テーブルとテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にし、
   真空状況下での貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させることを特徴とするウエハへのテープ貼付方法。
2. 吸着テーブル上に位置決め供給されたウエハ及びダイシングフレームの直上に供給される広幅のダイシングテープを貼付ロールの押圧転動によりウエハ及びダイシングフレーム上に押圧することで貼り付け、その後にダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するウエハへのダイシングテープ貼付方法において、
   少なくとも吸着テーブルを挟む位置に設けられ上面が吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在となる複数のテープ支持板を用い、
   ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルの直上に引き出した広幅ダイシングテープを上昇位置にある複数のテープ支持板に貼り付けて固定した後にテープ支持板の外側の位置にて切断し、
   ウエハ及びダイシングフレームが載置された吸着テーブルとダイシングテープを貼り付けたテープ支持板を真空チャンバ内にて真空状態にし、
   真空状況下での貼付ローラを用いた貼付作業時に、各テープ支持板を貼付ローラの進行に伴い独立して下降動させることを特徴とするウエハへのテープ貼付方法。
3. 上記のウエハへのテープ貼付方法において、少なくとも１つのテープ支持板を貼付作業時にテープにかかる張力が緩和される方向に移動させながら貼付作業を行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハへのテープ貼付方法。
4. ウエハを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハの直上に広幅テープを供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハに対しテープを押圧しつつ転動する貼付ロールと、ウエハに貼り付いたテープをウエハ外形形状に切断するテープカッターとよりなるウエハへのテープ貼付装置において、
   少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数設けられ、それぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在としたテープ支持板と、
   広幅テープの端部をクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、
   テープ支持板に貼り付けた後のテープをテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、
   吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを設けたことを特徴とするウエハへのテープ貼付装置。
5. ウエハ及びダイシングフレームを上面に吸着して保持する吸着テーブルと、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対し広幅ダイシングテープを順次供給するテープ送り機構と、吸着テーブル上のウエハ及びダイシングフレームに対しダイシングテープを押圧する貼付ロールと、ダイシングフレームに貼り付いたダイシングテープをダイシングフレームに沿って切断するテープカッターとよりなるウエハへのダイシングテープ貼付装置において、
   少なくとも吸着テーブルを挟んだ位置に複数設けられ、それぞれ別個に吸着テーブルの上面とほぼ同じ高さとより高い位置の間を昇降動自在としたテープ支持板と、
   広幅ダイシングテープの端部をクランプしてテープ支持板上に引き出すチャックユニットと、
   テープ支持板に貼り付けた後の広幅ダイシングテープをテープ支持板の外側の位置にて切断する切断機構と、
   吸着テーブル、テープ支持板、及び貼付ローラを収納して真空状態で貼付作業を行える真空チャンバとを設けたことを特徴とするウエハへのテープ貼付装置。
6. 上記ウエハへのテープ貼付装置において、少なくとも１つのテープ支持板にテープの貼付時にテープにかかる張力を緩和するよう移動可能とする張力緩和装置を設けたことを特徴とする請求項４又は５に記載のウエハへのテープ貼付装置。