JP2006278450A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体装置は、集積回路12が形成された半導体チップ10と、半導体チップ10上に形成された絶縁層14と、半導体チップ10上であって絶縁層14の周囲に配列された複数のパッド20と、絶縁層14上に配列された複数のランド40と、パッド20及びランド40を電気的に接続する配線部30と、を含む。複数のパッド20における互いに隣接しない少なくとも第1及び第2のパッド22,24は、配線部30により、複数のランド40におけるいずれか1つの共通ランド42に電気的に接続されている。
【選択図】 図1
Description
集積回路が形成された半導体チップと、
前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、
前記半導体チップ上であって前記絶縁層の周囲に配列された複数のパッドと、
前記絶縁層上に配列された複数のランドと、
前記パッド及び前記ランドを電気的に接続する配線部と、
を含み、
複数の前記パッドにおける互いに隣接しない少なくとも第1及び第2のパッドは、前記配線部により、複数の前記ランドにおけるいずれか1つの共通ランドに電気的に接続されている。本発明によれば、半導体チップ上の少なくとも第1及び第2のパッドが1つの共通ランドに電気的に接続されている。そのため、例えば共通ランドに流れる電流が半導体チップの内部の電流密度のばらつきを引き起こす場合、共通ランドに電気的に接続するパッドを第1及び第2のパッドに分割して配置することにより、半導体チップ10の内部の電流密度のばらつきを緩和することが可能になる。また、設計制約上、第1及び第2のパッドを半導体チップの内部配線により電気的に接続できない場合であっても、共通ランドを介してそれらを電気的に接続することができるため、設計自由度の向上を図ることができる。
(2)この半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドは、電源端子であってもよい。
(3)この半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1及び第2のパッドを複数グループ有し、
第1のグループに属する前記第1及び第2のパッドは、第1の電源端子であり、
第2のグループに属する前記第1及び第2のパッドは、前記第1の電源端子とは異なるレベルの電圧を供給する第2の電源端子であってもよい。
(4)この半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1及び第2のパッドを複数グループ有し、
前記複数グループのそれぞれのグループに属する前記第1及び第2のパッドは、それぞれ異なるレベルの電圧を供給する電源端子であってもよい。
(5)この半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記共通ランドを基準として対称な位置に配置されていてもよい。これにより、半導体チップの内部の電流密度の均一化を図り、耐ノイズ性の向上を図ることができる。
(6)この半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの対向する辺側に配置されていてもよい。これにより、半導体チップの内部の電流密度の均一化を図り、耐ノイズ性の向上を図ることができる。
(7)この半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの隣接する辺側に配置されていてもよい。
(8)この半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの同一辺側に配置されていてもよい。
(9)この半導体装置において、
前記配線部は、前記第1のパッド及び前記共通ランドを電気的に接続する第1の配線部と、前記第2のパッド及び前記共通ランドを電気的に接続する第2の配線部と、を含み、
前記第1及び第2の配線部は、互いにほぼ対称な配線形状をなしていてもよい。これにより、配線部の寄生インピーダンス等も考慮して耐ノイズ性の向上を図ることができる。
(10)本発明に係る半導体装置は、
集積回路が形成された半導体チップと、
前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、
前記半導体チップ上であって前記絶縁層の周囲に配列された複数のパッドと、
前記絶縁層上に配列された複数のランドと、
前記パッド及び前記ランドを電気的に接続する配線部と、
を含み、
複数の前記パッドにおける互いに隣接しない少なくとも第1から第4のパッドは、前記配線部により、複数の前記ランドにおけるいずれか1つの共通ランドに電気的に接続されていてもよい。本発明によれば、半導体チップ上の少なくとも第1から第4のパッドが1つの共通ランドに電気的に接続されている。そのため、例えば共通ランドに流れる電流が半導体チップの内部の電流密度のばらつきを引き起こす場合、共通ランドに電気的に接続するパッドを第1から第4のパッドに分割して配置することにより、半導体チップ10の内部の電流密度のばらつきを緩和することが可能になる。また、設計制約上、第1から第4のパッドのいずれか複数を半導体チップの内部配線により電気的に接続できない場合であっても、共通ランドを介してそれらを電気的に接続することができるため、設計自由度の向上を図ることができる。
(11)この半導体装置において、
前記第1から第4のパッドは、電源端子であってもよい。
(12)この半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1から第4のパッドを複数グループ有し、
第1のグループに属する前記第1から第4のパッドは、第1の電源端子であり、
第2のグループに属する前記第1から第4のパッドは、前記第1の電源端子とは異なるレベルの電圧を供給する第2の電源端子であってもよい。
(13)この半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1から第4のパッドを複数グループ有し、
前記複数グループのそれぞれのグループに属する前記第1から第4のパッドは、それぞれ異なるレベルの電圧を供給する電源端子であってもよい。
(14)この半導体装置において、
前記第1から第4のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの異なる辺側に配置されていてもよい。これにより、半導体チップの内部の電流密度の均一化を図り、耐ノイズ性の向上を図ることができる。
(15)この半導体装置において、
前記絶縁層は、下地絶縁層と、前記下地絶縁層上に形成された少なくとも1層の層間絶縁層と、を含み、
前記複数のランドは、最上層の前記層間絶縁層上に形成され、
前記配線部は、前記下地絶縁層上及び前記層間絶縁層上に形成されて多層配線構造をなしていてもよい。
14b…層間絶縁層 16…パッシベーション膜 20…パッド
22,26…第1のパッド 24,28…第2のパッド 30…配線部
32,36…第1の配線部 34,38…第2の配線部 40…ランド
42,44…共通ランド 50…外部端子 52,54…共通外部端子 60…絶縁層
62…第1の絶縁層 64…第2の絶縁層 120…パッド
122,123…第1のパッド 124,125…第2のパッド
126,127…第3のパッド 128,129…第4のパッド
130…配線部 132,133…第1の配線部 134,135…第2の配線部
136,137…第3の配線部 138,139…第4の配線部
140…ランド 142,144…共通ランド 150…外部端子
152,154…共通外部端子 170…スルーホール
Claims (15)
- 集積回路が形成された半導体チップと、
前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、
前記半導体チップ上であって前記絶縁層の周囲に配列された複数のパッドと、
前記絶縁層上に配列された複数のランドと、
前記パッド及び前記ランドを電気的に接続する配線部と、
を含み、
複数の前記パッドにおける互いに隣接しない少なくとも第1及び第2のパッドは、前記配線部により、複数の前記ランドにおけるいずれか1つの共通ランドに電気的に接続されている半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドは、電源端子である半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1及び第2のパッドを複数グループ有し、
第1のグループに属する前記第1及び第2のパッドは、第1の電源端子であり、
第2のグループに属する前記第1及び第2のパッドは、前記第1の電源端子とは異なるレベルの電圧を供給する第2の電源端子である半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1及び第2のパッドを複数グループ有し、
前記複数グループのそれぞれのグループに属する前記第1及び第2のパッドは、それぞれ異なるレベルの電圧を供給する電源端子である半導体装置。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記共通ランドを基準として対称な位置に配置されている半導体装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの対向する辺側に配置されている半導体装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの隣接する辺側に配置されている半導体装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1及び第2のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの同一辺側に配置されている半導体装置。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載の半導体装置において、
前記配線部は、前記第1のパッド及び前記共通ランドを電気的に接続する第1の配線部と、前記第2のパッド及び前記共通ランドを電気的に接続する第2の配線部と、を含み、
前記第1及び第2の配線部は、互いにほぼ対称な配線形状をなしている半導体装置。 - 集積回路が形成された半導体チップと、
前記半導体チップ上に形成された絶縁層と、
前記半導体チップ上であって前記絶縁層の周囲に配列された複数のパッドと、
前記絶縁層上に配列された複数のランドと、
前記パッド及び前記ランドを電気的に接続する配線部と、
を含み、
複数の前記パッドにおける互いに隣接しない少なくとも第1から第4のパッドは、前記配線部により、複数の前記ランドにおけるいずれか1つの共通ランドに電気的に接続されている半導体装置。 - 請求項10記載の半導体装置において、
前記第1から第4のパッドは、電源端子である半導体装置。 - 請求項10記載の半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1から第4のパッドを複数グループ有し、
第1のグループに属する前記第1から第4のパッドは、第1の電源端子であり、
第2のグループに属する前記第1から第4のパッドは、前記第1の電源端子とは異なるレベルの電圧を供給する第2の電源端子である半導体装置。 - 請求項10記載の半導体装置において、
複数の前記パッドは、前記第1から第4のパッドを複数グループ有し、
前記複数グループのそれぞれのグループに属する前記第1から第4のパッドは、それぞれ異なるレベルの電圧を供給する電源端子である半導体装置。 - 請求項10から請求項13のいずれかに記載の半導体装置において、
前記第1から第4のパッドのそれぞれは、前記半導体チップの異なる辺側に配置されている半導体装置。 - 請求項10から請求項14のいずれかに記載の半導体装置において、
前記絶縁層は、下地絶縁層と、前記下地絶縁層上に形成された少なくとも1層の層間絶縁層と、を含み、
前記複数のランドは、最上層の前記層間絶縁層上に形成され、
前記配線部は、前記下地絶縁層上及び前記層間絶縁層上に形成されて多層配線構造をなしている半導体装置。
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2005
- 2005-03-28 JP JP2005091755A patent/JP2006278450A/ja not_active Withdrawn
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