JP2006277843A - 垂直磁気記録パターンドメディア及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11の上にソフトフェライトSUL膜12が形成される。ソフトフェライトSUL膜12は、アルマイトポア内にカーボン膜を形成するときにSUL膜表面荒れが生じることを抑えることができる材料で構成される。ソフトフェライトSUL膜12の上に、カーボン膜20が被覆されたアルマイトポア内に強磁性材料、例えばCo30が充填されてCoナノピラー(pillar)36から成る垂直磁気記録層を有するアルマイト層13が形成される。
【選択図】図1
Description
図2(a)は、上述した基板11の上にソフトフェライトSUL膜12を成膜する工程を示している。SUL(Soft Under Layer)層は、ソフトフェライト(Ni-Znフェライト又はMn-Znフェライト)をPLD(Pulsed Laser Deposition)法又はスパッタ法により成膜する。なおソフトとは、軟磁性であることを意味している。成膜方法として、スパッタ法を用いることもできるが、ここではPLD法を用いた。さらにターゲットには0.5NiO-0.5Zn-Fe2O3セラミックターゲットを用い、基板温度を500℃、真空中に酸素ガスを1×10−5Torr流入して、YAGレーザを用いて成膜を行った。成膜では、SUL膜厚さを50nmとした。このとき、SUL膜の表面粗さRaは1nm未満で、表面粗さ最大高さRzは10nm未満になっていることをSEM(走査型電子顕微鏡)像により確認できた。なお表面粗さRa等の定義については、JIS B 0601−2001(ISO4287−1997準拠)を参考にされたい。
図2(b)及び図3(b)は、上記ソフトフェライトSUL膜12上にアルミニウム(Al)をスパッタ法で200nm成膜したあと、陽極酸化法で記録密度所要なピッチでアルマイトポアの形成を行う工程を示している。アルミニウム(Al)は陽極酸化でアルマイト(Al2O3)15に変わり、さらにパターン化されたアルマイトポア14が形成される。パターン化は、自己組織化を利用するか、または、インプリント(ポア位置を型押しで設定)を利用することができる。
アルマイトポアピッチ(nm)=陽極酸化時の直流電圧(V)×2.5 (式1)
で求めることができるので、磁気記録密度を勘案して所要のピッチになるよう陽極酸化時の直流電圧を設定する。また、陽極酸化後に、薄いリン酸等を用いてポア径の拡大を行う。ここでは薄いリン酸でポア直径を50nmに拡大させた。図4は本発明の実施形態に係る陽極酸化電圧40Vで作成したアルマイトポアのSEM像を示す。式1で求めたとおり、約100nmピッチになっていることを確かめることができた。
垂直磁気記録パターンドメディアにおいて、基板と、垂直ナノホールに磁気記録材料が充填された磁気記録層の間に、ソフトフェライト膜を有することを特徴とする垂直磁気記録パターンドメディア。
前記ソフトフェライト膜用に、Ni-Znフェライト又はMn-Znフェライトのいずれかを使用することを特徴とする付記1に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
前記ソフトフェライト膜は、表面粗さRaが1nm未満で、表面粗さ最大高さRzが10nm未満にされることを特徴とする付記1に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
前記磁気記録層は、陽極酸化法で生成したアルマイトナノホールを備えることを特徴とする付記1に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
前記ナノホール内径周り及び底部がカーボンによってコートされることを特徴とする付記4に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
前記磁気記録層の上に保護膜を生成し、さらに前記保護膜の上に潤滑膜を塗布したことを特徴とする付記1に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
付記1ないし6記載の垂直磁気記録パターンドメディアにおいて、垂直磁気記録ヘッドを浮上させて記録するよう構成した垂直磁気記録装置。
付記6記載の垂直磁気記録パターンドメディアにおいて、垂直磁気記録ヘッドをコンタクトさせて記録するよう構成した垂直磁気記録装置。
基板上にソフトフェライト膜を生成する工程と、アルミニウム層を生成する工程と、生成したアルミニウム層を陽極酸化法によりアルマイトナノホールを含むアルマイト層を生成する工程と、前記アルマイト層表面並びに前記アルマイトナノホール内壁及び底部にカーボンをコーティングする工程と、前記アルマイト表面部分のカーボンを除去する工程と、前記カーボンが被覆された前記アルマイトナノホールに磁気記録層用磁性材を充填する工程と、前記アルマイト層表面から溢れた磁気記録層用磁性材及び前記アルマイトナノホール表面層を平坦化する工程と、平坦化した表面に保護膜を生成する工程と、前記保護膜に潤滑剤を塗布する工程、を含んで成る垂直磁気記録パターンドメディアの製造方法。
(付記10)
PLD(Pulsed Laser Deposition)法により基板上にソフトフェライト膜を成膜することを特徴とする付記9に記載の垂直磁気記録パターンドメディアの製造方法。
(付記11)
陽極酸化法を用い且つ自己組織化を利用してアルマイトナノホールを形成する場合、陽極酸化時の直流電圧(V)に所定の係数を乗じることで記録密度所要なピッチ(nm)を得るようにしたことを特徴とする付記9に記載の垂直磁気記録パターンドメディアの製造方法。
12 ソフトフェライトSUL膜
13 アルマイト層
14 アルマイトポア
15 アルマイト
20 カーボン
30 記録層用磁性材料(Co)
32 溢れた記録層用磁性材料(Co)
36 Coナノピラー
40 保護層
50 潤滑剤
Claims (5)
- 垂直磁気記録パターンドメディアにおいて、基板と、垂直ナノホールに磁気記録材料が充填された磁気記録層の間に、ソフトフェライト膜を有することを特徴とする垂直磁気記録パターンドメディア。
- 前記ソフトフェライト膜用に、Ni-Znフェライト又はMn-Znフェライトのいずれかを使用することを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
- 前記ソフトフェライト膜は、表面粗さRaが1nm未満で、表面粗さ最大高さRzが10nm未満にされることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録パターンドメディア。
- 請求項1ないし3記載の垂直磁気記録パターンドメディアにおいて、垂直磁気記録ヘッドを浮上させて記録するよう構成した垂直磁気記録装置。
- 基板上にソフトフェライト膜を生成する工程と、アルミニウム層を生成する工程と、生成したアルミニウム層を陽極酸化法によりアルマイトナノホールを含むアルマイト層を生成する工程と、前記アルマイト層表面並びに前記アルマイトナノホール内壁及び底部にカーボンをコーティングする工程と、前記アルマイト表面部分のカーボンを除去する工程と、前記カーボンが被覆された前記アルマイトナノホールに磁気記録層用磁性材を充填する工程と、前記アルマイト層表面から溢れた磁気記録層用磁性材及び前記アルマイトナノホール表面層を平坦化する工程と、平坦化した表面に保護膜を生成する工程と、前記保護膜に潤滑剤を塗布する工程、を含んで成る垂直磁気記録パターンドメディアの製造方法。
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JP2005096180A JP2006277843A (ja) | 2005-03-29 | 2005-03-29 | 垂直磁気記録パターンドメディア及びその製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008097783A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録装置 |
US7867406B2 (en) | 2007-12-26 | 2011-01-11 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Patterned magnetic media having an exchange bridge structure connecting islands |
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