JP2006269898A - 配線不良検出素子及び配線不良検出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 インライン中及び最終工程後の両方においてオープン/ショートの電気的評価を行うことのできる配線不良検出素子を提供する。
【解決手段】 配線不良検出素子10は、基板と、前記基板上に形成され、電気的にフローティング状態である複数の第1の導体層121−124と、前記複数の第1の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第2の導体層13と、前記第2の導体層の一端部に接続された金属パッド14とから構成される。
【選択図】 図1
【解決手段】 配線不良検出素子10は、基板と、前記基板上に形成され、電気的にフローティング状態である複数の第1の導体層121−124と、前記複数の第1の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第2の導体層13と、前記第2の導体層の一端部に接続された金属パッド14とから構成される。
【選択図】 図1
Description
本発明は半導体集積回路の電気的評価に用いる配線不良検出素子及び配線不良検出方法に関し、特に、半導体集積回路のインライン中及び最終工程後での電気的評価に用いる配線不良検出素子及び配線不良検出方法に関するものである。
LSIの次世代開発は年々前倒しされ、開発のスピードが常に求められる時代になっている。しかしながら、製造プロセスは世代が進むにつれて複雑さが増し、逆にターンアラウンドタイムTAT(Turn Around Time)は長くなっており、インライン中、即ち、製造プロセスの途中での電気的評価が強く求められている。
現在、インライン中において電気的評価ができる方法として、二次電子像(SEM)を用いた電位コントラスト法が注目されている。この方法は、試料内部の電位差によって画像のコントラストが変化するという特性を用いているため、デバイス構造内部の欠陥、高アスペクト比構造底部の欠陥の発見に非常に有用である。
実際、コンタクト導通不良のインラインモニタとしてはすでに実用化されている。しかしながら、コンタクトについては基本的に全てSi基板に接続されているため、正常に形成されているか否かの判断は、コントラストの差で一目瞭然であるが、配線部においてはSi基板に接続されているものもあれば、接続されていないものもあり、電位に差ができてしまう。このため正常に形成されていたとしても、コントラストに差ができてしまい、電位コントラスト法で評価することは困難である。
前記した電位コントラスト法及び関連した技術として、特許文献1及び2において既に当業者において知られている。
特開平11−330181
特開2003−179111
それ故、本発明の目的は、インライン中及び最終工程後の両方においてオープン/ショートの電気的評価を行うことのできる配線不良検出素子及び配線不良検出方法を提供することにある。
本発明の第1の態様によると、配線不良検出素子は、基板と、前記基板上に形成され、電気的にフローティング状態である複数の第1の導体層と、前記複数の第1の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第2の導体層と、前記第2の導体層の一端部に接続された金属パッドとから構成される。
本発明の第2の態様によると、配線不良検出素子は、基板上に形成され、電気的にフローティング状態である複数の第1の導体層と、前記複数の第1の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第2の導体層と、前記第2の導体層の一端部に接続された金属パッドとから成る第1のテストパターンと、前記第1のテストパターンを覆う絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、一端部において各々が前記複数の第1の導体層と接続された第3の導体層と、前記複数の第3の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第4の導体層と、前記第3の導体層における一方の開放端に接続された第2の金属パッドと、前記第3の導体層における他方の開放端に接続された第3の金属パッドと、前記第2の導体層の他端部に接続されると共に、前記第4の導体層の一端部に接続された第4の金属パッドとからなる第2のテストパターンとから構成される。
本発明の第3の態様によると、配線不良検出方法は、半導体基板に形成されたメモリセルに接続された配線層の両側に近接してダミー配線を形成し、前記ダミー配線を横切るように電子線を走査して前記配線層のオープン/ショートを検出している。
インライン中及び最終工程後の両方においてオープン/ショートの電気的評価を行うことのできる配線不良検出素子及び配線不良検出方法が得られる。
[実施例]
図1は、第1の実施例による配線不良検出素子10の平面図を示し、基板、例えば、半導体基板11上に絶縁膜(図示しない)を介して互いに所定の間隔でショートモニターパターンとなる複数本のフローティング状態の第1の導体層121−124が形成されると共に、これら第1の導体層121−124の各々と近接して順次取り囲むようにオープンモニターパターンとなる第2の導体層13が設けられている。前記基板上には第1の大規模金属パッド14が形成され、当該パッド14には前記第2の導体層13の一端部が接続されている。
図1は、第1の実施例による配線不良検出素子10の平面図を示し、基板、例えば、半導体基板11上に絶縁膜(図示しない)を介して互いに所定の間隔でショートモニターパターンとなる複数本のフローティング状態の第1の導体層121−124が形成されると共に、これら第1の導体層121−124の各々と近接して順次取り囲むようにオープンモニターパターンとなる第2の導体層13が設けられている。前記基板上には第1の大規模金属パッド14が形成され、当該パッド14には前記第2の導体層13の一端部が接続されている。
半導体装置における配線層の不良を検出する際には、半導体ウエハに前記配線不良検出素子10をチップの形で形成し、製造プロセス中に前記ウエハを流した後、矢印Aで示すように、第1及び第2の導体層121−124、13を横切るように電子線を走査する。
観察時には、前記第2の導体層13は前記第1の金属パッド14(又は基板)に接続されているので、電荷が前記第1の金属パッド14に放出され前記第2の導体層13は白く見える。一方、各第1の導体層121−124は孤立しているので、電荷が蓄えられ黒く見える。
図2及び図3は、このようなモニターパターンがオープン及びショートした場合の様子を示す。
即ち、図2に示すように、前記第2の導体層13が部分15でオープンすると、前記第1の金属パッド14に接続されていない導体層131は孤立した状態になり、前記導体層131には電荷が蓄えられて暗く見える。
一方、図3に示すように、第1の導体層123と第2の導体層13が部分16でショートした場合には、孤立した第1の導体層123に蓄えられた電荷は前記第1の金属パッド14に放出されて前記第1の導体層123は白く見える。
このように、オープン/ショート時の電位差によるコントラストをモニターすることができるので、インライン中のオープン/ショートの電気的評価を一連のパターンで同時に測定することができる。
図4は、図1のモニターパターンを有する基板上に2層目の絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に2層目の導体パターンと金属パッドを設け、最終工程後にテスターなどで電気的評価を行うことのできる配線不良検出素子20を示す。
即ち、前記絶縁膜(図示しない)上には、所定の間隔でモニターパターンとなる複数本の第3の導体層211−214が形成されると共に、これら第3の導体層211−214の各々と近接して順次取り囲むようにモニターパターンとなる第4の導体層22が設けられている。さらに、前記絶縁膜上には第2−4の大規模金属パッド23−25が形成されている。
前記第2のパッド23には前記第3の導体層211及び213の一端部、即ち、その端部が前記第4の導体層22により囲まれておらず開放されている部分が接続され、前記第3のパッド24には前記第3の導体層212及び214の一端部が接続されている。さらに、前記第4のパッド25には第4の導体層22の一端部が接続されている。
また、前記第3の導体層211及び213の一端部は前記2層目の絶縁膜に形成されたコンタクトプラグ(図示しない)を介して1層目の前記第1の導体層121及び123に接続され、同様に、前記第3の導体層212及び214の一端部はコンタクトプラグを介して前記第1の導体層122及び124に接続されている。また、前記第4の導体層22の一端部は、同様に、コンタクトプラグを介して前記第2の導体層13の他端部に接続されている。
最終工程後において、例えば、第4の導体層22にオープン個所があると、前記第1のパッド14と前記第4のパッド25間は不導通となり、また、前記第3の導体層211と前記第4の導体層22とがショートしている際には、前記第2のパッド23と前記第4のパッド25間は導通し、これらパッド間の導通及び不導通がテスターなどを用いて簡単に検出され、最終工程後の半導体ウエハの良否が判別される。
図5は、第2の実施例による配線不良検出方法を模式的に示す斜視図であり、図1におけるテストパターンをメモリに適用したものである。半導体基板31に形成されたビットセル(メモリセル)32から絶縁膜(図示しない)中に設けられたコンタクトプラグ33を介してビット線又はワード線34が設けられている。
前記ビット線34の配線不良を検出ため、前記ビット線34に近接してその両側にフローティング状態の導体層35及び36を配置してダミー配線を形成する。この場合も図1と同様であるので、オープン/ショート時の電位差によるコントラストをモニターすることができ、メモリ製造中におけるビット線34のオープン/ショートの電気的評価をダミー配線により測定することができる。
図6に示すように、前記ビット線34を2層目の絶縁膜(図示しない)中に形成されたバイア37を介して2層目の導体層38で接続すると共に、前記導体層35及び36からなるダミー配線もバイア37を介して2層目の導体層39で接続する。これにより、図4と同様に、導通及び不導通がテスターなどを用いて簡単に検出され、最終工程後のビット線又はワード線の良否が判別することができる。
前記第1の実施例においてはモニターパターンを半導体ウエハにチップの形で形成しているが、絶縁体上にこれらモニターパターンを形成し、半導体ウエハとは別個に製造プロセス中に流すこともできる。
10…配線不良検出素子、11…半導体基板、121−124…第1の導体層、13…第2の導体層、14…金属パッド、15…部分、131…導体層、16…部分、20…配線不良検出素子、211−214…第3の導体層、22…第4の導体層、23−25…金属パッド、31…半導体基板、32…ビットセル、33…コンタクトプラグ、34…ビット線又はワード線、35、36…導体層、37…バイア、38、39…導体層
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に形成され、電気的にフローティング状態である複数の第1の導体層と、
前記複数の第1の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第2の導体層と、
前記第2の導体層の一端部に接続された金属パッドと、
からなることを特徴とする配線不良検出素子。 - 基板上に形成され、電気的にフローティング状態である複数の第1の導体層と、前記複数の第1の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第2の導体層と、前記第2の導体層の一端部に接続された金属パッドとから成る第1のテストパターンと、
前記第1のテストパターンを覆う絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成され、一端部において各々が前記複数の第1の導体層と接続された第3の導体層と、前記複数の第3の導体層の各々と近接して順次取り囲むように設けられた第4の導体層と、前記第3の導体層における一方の開放端に接続された第2の金属パッドと、前記第3の導体層における他方の開放端に接続された第3の金属パッドと、前記第2の導体層の他端部に接続されると共に、前記第4の導体層の一端部に接続された第4の金属パッドとからなる第2のテストパターンと、
からなることを特徴とする配線不良検出素子。 - 前記基板が半導体又は絶縁体からなることを特徴とする請求項1又は2記載の配線不良検出素子。
- 半導体基板に形成されたメモリセルに接続された配線層の両側に近接してダミー配線を形成し、
前記ダミー配線を横切るように電子線を走査して前記配線層のオープン/ショートを検出する配線不良検出方法。 - 前記配線層及び前記ダミー配線をコンタクトプラグを介して2層目の導体層で接続して前記配線層の良否を検出することを特徴とする請求項4記載の配線不良検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005088175A JP2006269898A (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 配線不良検出素子及び配線不良検出方法 |
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