JP2006266430A - ターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受およびターボ分子ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 強磁性体からなる回転輪(例えば内輪)1と外輪2の間にセラミックス製の転動体(ボール)3を配置するとともに、そのセラミックス製の転動体3の列内に、磁化された部材(ボール)4を少なくとも1個介在させることにより、磁化された部材4が強磁性体からなる回転輪1に磁気的に吸着して転動体3の公転を阻止し、回転輪1の連れ回りを防止する。
【選択図】 図1
Description
図1は本発明を図4における総玉タイプの深溝玉軸受からなるタッチダウン軸受に適用した実施の形態の正面図であり、図2はその軸平行断面図である。
2 外輪
3 セラミックス製のボール
4 磁化されたSUS440C製のボール
13 回転軸
15,16,17 磁気軸受
21,22 タッチダウン軸受
Claims (8)
- 磁気軸受により支持される回転体を有するターボ分子ポンプに用いられ、回転体の停止時もしくは制御異常時にのみ当該回転体に内輪もしくは外輪のうちの一方である回転輪が接触して固定部材に固定された外輪もしくは内輪のうちの他方である固定輪に対してこの回転体を支持するタッチダウン軸受で、かつ、上記内輪および外輪のうち、少なくとも回転体に接触する回転輪が強磁性体製であり、内輪と外輪の間に複数のセラミックス製の転動体が配置されてなるタッチダウン軸受において、
上記内輪と外輪の間に、上記転動体列に混じって、少なくとも1個の磁化された部材が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受。 - 上記磁化された部材が上記転動体と同じ形状を有していることを特徴とする請求項1に記載のターボ分子ポンプ用タッチダウン軸受。
- 上記転動体および磁化された部材がそれぞれボールであり、かつ、当該タッチダウン軸受の使用状態において、上記磁化された部材の直径が転動体の直径よりも小さいことを特徴とする請求項2に記載のターボ分子用タッチダウン軸受。
- 上記磁化された部材が2個連続した状態で上記転動体列内に配置されていることを特徴とする請求項2または3に記載のターボ分子用タッチダウン軸受。
- 磁気軸受により支持される回転体と、その回転体の停止時もしくは制御異常時にのみ当該回転体に内輪もしくは外輪のうちの一方である回転輪が接触して固定部材に固定された外輪もしくは内輪のうちの他方である固定輪に対してこの回転体を支持するタッチダウン軸受を備えたターボ分子ポンプにおいて、
上記タッチダウン軸受の内輪および外輪のうち、少なくとも回転体に接触する回転輪が強磁性体製であり、かつ、内輪と外輪の間に複数のセラミックス製の転動体が配置されているとともに、その内輪と外輪の間の転動体列に混じって、少なくとも1個の磁化された部材が設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。 - 上記磁化された部材が上記転動体と同じ形状を有していることを特徴とする請求項5に記載のターボ分子ポンプ。
- 上記転動体および磁化された部材がそれぞれボールであり、かつ、当該タッチダウン軸受の使用状態において、上記磁化された部材の直径が転動体の直径よりも小さいことを特徴とする請求項6に記載のターボ分子ポンプ。
- 上記磁化された部材が2個連続した状態で上記転動体列内に配置されていることを特徴とする請求項6または7に記載のターボ分子ポンプ。
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2005
- 2005-03-25 JP JP2005087515A patent/JP4382689B2/ja active Active
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KR20230119763A (ko) | 2022-02-08 | 2023-08-16 | (주)엘오티베큠 | 터보 분자 펌프 |
KR102669883B1 (ko) * | 2022-02-08 | 2024-05-28 | (주)엘오티베큠 | 터보 분자 펌프 |
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