JP2006261290A - Package for containing light emitting element and its manufacturing process - Google Patents
Package for containing light emitting element and its manufacturing process Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006261290A JP2006261290A JP2005074776A JP2005074776A JP2006261290A JP 2006261290 A JP2006261290 A JP 2006261290A JP 2005074776 A JP2005074776 A JP 2005074776A JP 2005074776 A JP2005074776 A JP 2005074776A JP 2006261290 A JP2006261290 A JP 2006261290A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- emitting element
- light emitting
- ceramic green
- ceramic
- green sheet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/1517—Multilayer substrate
- H01L2924/15172—Fan-out arrangement of the internal vias
- H01L2924/15174—Fan-out arrangement of the internal vias in different layers of the multilayer substrate
Abstract
Description
本発明は、発行ダイオード(Light Emission Diode:以下、LEDという。)等の発光素子を収納するためのセラミック基体とセラミック枠体からなる発光素子収納用パッケージの製造方法に関し、より詳細には、LED等の発光素子の発光効率を向上できる発光素子収納用パッケージの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting element storage package including a ceramic base and a ceramic frame for storing a light emitting element such as a light emitting diode (LED), and more particularly, an LED. The present invention relates to a method for manufacturing a light emitting element storage package capable of improving the light emission efficiency of a light emitting element.
従来からLED等の発光素子を収容するための発光素子収納用パッケージを作製するには、プラスチックや、セラミック等が用いられて製造されている。また、近年の発光素子には、光出力を大きくすることが求められているが、これに対応するために発光素子に流す電流を増加させることで行おうとすると、光出力の増加に併せて発光素子自体の温度も上昇することとなる。このような発光素子を収納するためのパッケージがプラスチックの場合には、発光素子からの高温に対する耐熱性が十分でなくなり、問題が発生している。そこで、最近では、耐熱性の高いアルミナ(Al2O3)等からなるセラミックを用いてパッケージを作製したものが多く用いられるようになっている。また、発光素子収納用パッケージには、発光素子から発せられる光の発光効率を向上させることができるようにすることが求められているので、発光素子を載置して囲繞する部分の壁面を発光素子から発せられる光を効果的に反射させることができるようにすることが求められている。これに対応するためには、セラミック製の発光素子収納用パッケージの発光素子を載置して囲繞する部分の壁面を外側に開口径を大きくするようなすり鉢状に作製するようにしている。 Conventionally, a light-emitting element storage package for storing a light-emitting element such as an LED has been manufactured using plastic, ceramic, or the like. In recent years, light emitting devices have been required to increase the light output. In order to cope with this, if an attempt is made to increase the current flowing through the light emitting device, the light output increases with the increase in the light output. The temperature of the element itself will also rise. In the case where the package for housing such a light emitting element is plastic, the heat resistance from the light emitting element to the high temperature becomes insufficient, causing a problem. Therefore, recently, a package made using a ceramic made of alumina (Al 2 O 3 ) or the like having high heat resistance is often used. Further, since the light emitting element storage package is required to improve the light emission efficiency of the light emitted from the light emitting element, the light emission is performed on the wall surface of the portion where the light emitting element is placed and surrounded. There is a need to be able to effectively reflect light emitted from an element. In order to cope with this, the wall surface of the portion of the ceramic light-emitting element storage package on which the light-emitting element is placed and surrounded is formed in a mortar shape with an opening diameter increased outward.
図4(A)〜(D)を参照しながら、従来の発光素子収納用パッケージ50(図4(D)参照)の製造方法について説明する。図4(A)に示すように、セラミック基体51(図4(D)参照)用の、例えば2枚の第1のセラミックグリーンシート52、52aには、必要に応じてビア導体53(図4(D)参照)を形成するためのビア用貫通孔54を穿設して形成し、それぞれの第1のセラミックグリーンシート52、52aにタングステン(W)や、モリブデン(Mo)等の高融点金属からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷して導体配線パターン55(図4(D)参照)用の導体印刷パターン56を形成している。図4(B)に示すように、セラミック枠体57(図4(D)参照)用の、例えば、1枚の第2のセラミックグリーンシート58には、ピンと、このピンの径より大きい孔径を設けたダイスからなる打抜き金型で打抜いて、すり鉢状貫通孔59(図4(D)参照)用の挿通孔60を形成している。この打抜き金型は、ピンの外径と、ダイスの孔径との間のクリアランスによって、ダイス上に載置された第2のセラミックグリーンシート58を上からピンで押圧して打抜いた時に、ピンと接する側に小さい孔径、ダイスと接する側に大きい孔径となる挿通孔60を形成することができる。なお、挿通孔60の壁面には、必要に応じて、導体ペーストを用いてスクリーン印刷して導体金属膜を設け、焼成後にこの導体金属膜上にAgめっき被膜等を形成して発光素子からの発光を更に効果的に反射できる反射層に形成することもできる。
With reference to FIGS. 4A to 4D, a method for manufacturing a conventional light emitting element storage package 50 (see FIG. 4D) will be described. As shown in FIG. 4A, for example, two first ceramic
次に、図4(C)に示すように、第1のセラミックグリーンシート52、52aと、第2のセラミックグリーンシート58は、重ね合わされて温度と圧力をかけて積層され、積層体61を形成している。次いで、図2(D)に示すように、この積層体61は、還元雰囲気中の1650℃程度の温度で第1のセラミックグリーンシート52、52a、第2のセラミックグリーンシート58と、導体印刷パターン56を同時焼成して焼成体を形成している。この焼成体は、同時焼成によって積層体61から約30%程度収縮して、ビア導体53を含む導体配線パターン55を設けるセラミック基体51、すり鉢状貫通孔59を設けるセラミック枠体57の接合体からなる発光素子収納用パッケージ50としている。なお、発光素子収納用パッケージ50には、必要に応じて、外部に露出する金属部分にNiめっき被膜及びAuめっき被膜や、Agめっき被膜等の貴金属めっき被膜が施される。
Next, as shown in FIG. 4C, the first ceramic
従来のセラミック製の発光素子収納用パッケージ及びその製造方法には、上面に発光素子を搭載するための搭載部を有する略平板状のセラミック基体の上面に、発光素子を収納するための貫通穴を有するセラミック枠体を積層してなり、貫通穴内壁がセラミック基体上面に対して55〜70度の角度で外側に広がっていると共に、その表面に中心線平均粗さRaが1〜3μmで且つ発光素子が発光する光に対する反射率が80%以上の金属層が被着されているものや、その製造方法が提案されている(例えば、特許文献1参照)。また、従来のセラミック製の発光素子収納用パッケージ及びその製造方法には、導体配線が形成されたセラミックグリーンシートに発光素子を載置すべきキャビティ部を形成するに際し、セラミックグリーンシートをキャビティ部が開口方向に広くなるようにプレス成形し、脱脂、焼成した後、キャビティ部壁面の導体層に貴金属めっきを施したものや、その製造方法が提案されている(例えば、特許文献2参照)。 In a conventional ceramic light emitting element storage package and a manufacturing method thereof, a through hole for storing a light emitting element is formed on the upper surface of a substantially flat ceramic base having a mounting portion for mounting the light emitting element on the upper surface. The inner wall of the through hole spreads outward at an angle of 55 to 70 degrees with respect to the upper surface of the ceramic substrate, and the center line has an average roughness Ra of 1 to 3 μm and emits light. A device in which a metal layer having a reflectance of 80% or more with respect to light emitted from the element is applied, and a manufacturing method thereof have been proposed (for example, see Patent Document 1). In addition, according to the conventional ceramic light emitting element storage package and its manufacturing method, when the cavity portion in which the light emitting element is to be placed is formed on the ceramic green sheet on which the conductor wiring is formed, the ceramic green sheet has the cavity portion. There has been proposed a method in which press molding is performed so as to widen in the opening direction, degreasing, and firing, and then a noble metal plating is applied to the conductor layer on the wall surface of the cavity, and a manufacturing method thereof (see, for example, Patent Document 2).
しかしながら、前述したような従来の発光素子収納用パッケージの製造方法には、次のような問題がある。
(1)発光素子搭載部であるキャビティ部のすり鉢状貫通孔用の挿通孔は、打ち抜き金型のパンチとダイスとの間のクリアランスを大きくしてセラミック枠体用のセラミックグリーンシートを打ち抜くことで形成することができるが、挿通孔の壁面は、安定した形状でなく、大きな凸凹が発生している。このような形状の挿通孔壁面を焼成後に反射板とする場合には、光の拡散が大きくなって、安定した反射光を得ることができないので、発光素子の発光効率を向上させることが難しくなっている。
(2)発光素子搭載部であるキャビティ部を形成するのに、セラミックグリーンシートをキャビティ部の開口方向に広くなるようにプレス成形して凹部を形成する場合には、セラミックグリーンシートが屈折する部分に亀裂や、破断等が発生し、絶縁体としての機能が発揮できなくなっている。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、セラミック枠体のすり鉢状貫通孔の壁面を発光素子の発光効率を向上できる壁面とすることができる発光素子収納用パッケージの製造方法を提供することを目的とする。
However, the conventional method for manufacturing a light emitting element storage package as described above has the following problems.
(1) The insertion hole for the mortar-shaped through hole in the cavity portion which is the light emitting element mounting portion is formed by punching out the ceramic green sheet for the ceramic frame by increasing the clearance between the punch and the die of the punching die. Although it can be formed, the wall surface of the insertion hole is not a stable shape, and large irregularities are generated. When the wall surface of the insertion hole having such a shape is used as a reflection plate after firing, the diffusion of light increases and stable reflected light cannot be obtained, so it is difficult to improve the light emission efficiency of the light emitting element. ing.
(2) When the concave portion is formed by press-molding the ceramic green sheet so as to be wide in the opening direction of the cavity portion to form the cavity portion which is the light emitting element mounting portion, the portion where the ceramic green sheet is refracted Cracks, fractures, etc. occur in the film, making it impossible to exhibit the function as an insulator.
The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a method for manufacturing a package for housing a light emitting element, in which a wall surface of a mortar-shaped through hole of a ceramic frame can be used as a wall surface that can improve the light emission efficiency of the light emitting element. The purpose is to provide.
前記目的に沿う本発明に係る発光素子収納用パッケージの製造方法は、発光素子を載置するための平板状のセラミック基体と、発光素子を囲繞して収納するためのすり鉢状貫通孔を有するセラミック枠体を接合して設ける発光素子収納用パッケージの製造方法において、セラミック基体用の1又は複数枚の第1のセラミックグリーンシートに導体配線パターン用の導体印刷パターンをスクリーン印刷する工程と、セラミック枠体用の1又は複数枚の第2のセラミックグリーンシートに上面側の開口径が下面側の開口径より大きくなるすり鉢状貫通孔用の挿通孔を穿設する工程と、第2のセラミックグリーンシートの挿通孔の壁面を、壁面に沿う形状を備えるゴム体を有する上型と、第2のセラミックグリーンシートを載置するための基台とを備える押圧型で壁面を押圧する工程と、第1のセラミックグリーンシートと第2のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成した後、積層体を焼成する工程を有する。 A method for manufacturing a light emitting element storage package according to the present invention in accordance with the above object is a ceramic having a flat ceramic base for mounting a light emitting element and a mortar-shaped through hole for surrounding and storing the light emitting element. In a method for manufacturing a light emitting element storage package provided by joining frames, a step of screen printing a conductor printed pattern for a conductor wiring pattern on one or more first ceramic green sheets for a ceramic substrate, and a ceramic frame A step of forming an insertion hole for a mortar-shaped through-hole in which the opening diameter on the upper surface side is larger than the opening diameter on the lower surface side in one or a plurality of second ceramic green sheets for body use, and the second ceramic green sheet An upper mold having a rubber body having a shape along the wall surface, and a base for placing the second ceramic green sheet. A step of pressing the wall with a pressing mold to obtain, after forming the first ceramic green sheet and laminate by laminating a second ceramic green sheet, a step of firing the laminate.
ここで、発光素子収納用パッケージの製造方法は、押圧型の上型がシリコンオイルを含浸させた多孔質で硬度20°〜50°のシリコンゴムからなるゴム体と、挿通孔の上面側の開口径と略同等の開口径からなる貫通孔にゴム体が嵌合されて設けられる金属板を有すると共に、ゴム体及び金属板の背面を覆うようにしてゴム体の硬度と略同等の硬度を有するゴム板を有し、ゴム板を介してゴム体及び金属板に押圧力を伝達して押圧型の基台上に載置された第2のセラミックグリーンシートの上面を金属板で押さえ付けながらゴム体を基台上に押しつけて横方向に押し広げ、第2のセラミックグリーンシートの挿通孔の壁面を押圧する。 Here, the manufacturing method of the light emitting element storage package is as follows. The upper die of the pressing mold is porous with silicon oil impregnated and made of silicon rubber having a hardness of 20 ° to 50 °, and the upper surface of the insertion hole is opened. It has a metal plate that is provided by fitting a rubber body into a through-hole having an opening diameter that is substantially the same as the aperture, and has a hardness substantially equivalent to the hardness of the rubber body so as to cover the rubber body and the back surface of the metal plate. The rubber plate has a rubber plate, transmits the pressing force to the rubber body and the metal plate through the rubber plate, and presses the upper surface of the second ceramic green sheet placed on the press-type base with the metal plate. The body is pressed on the base and spreads in the lateral direction, and the wall surface of the insertion hole of the second ceramic green sheet is pressed.
請求項1又はこれに従属する請求項2記載の発光素子収納用パッケージの製造方法は、セラミック基体用の1又は複数枚の第1のセラミックグリーンシートに導体配線パターン用の導体印刷パターンをスクリーン印刷する工程と、セラミック枠体用の1又は複数枚の第2のセラミックグリーンシートに上面側の開口径が下面側の開口径より大きくなるすり鉢状貫通孔用の挿通孔を穿設する工程と、第2のセラミックグリーンシートの挿通孔の壁面を、壁面に沿う形状を備えるゴム体を有する上型と、第2のセラミックグリーンシートを載置するための基台とを備える押圧型で壁面を押圧する工程と、第1のセラミックグリーンシートと第2のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成した後、積層体を焼成する工程を有するので、導体印刷パターンによってセラミック基体用の第1のセラミックグリーンシートに外部と電気的に導通状態が可能となる導体配線パターンが形成できると共に、押圧型によってセラミック枠体用の第2のセラミックグリーンシートの挿通孔壁面が平坦面化することができて焼成後のパッケージに発光素子を搭載してセラミック枠体のすり鉢状貫通孔壁面を発光素子からの発光効率を向上させることができる発光素子収納用パッケージの製造方法を提供することができる。
The method of manufacturing a light emitting element storage package according to
特に、請求項2記載の発光素子収納用パッケージの製造方法は、押圧型の上型がシリコンオイルを含浸させた多孔質で硬度20°〜50°のシリコンゴムからなるゴム体と、挿通孔の上面側の開口径と略同等の開口径からなる貫通孔にゴム体が嵌合されて設けられる金属板を有すると共に、ゴム体及び金属板の背面を覆うようにしてゴム体の硬度と略同等の硬度を有するゴム板を有し、ゴム板を介してゴム体及び金属板に押圧力を伝達して押圧型の基台上に載置された第2のセラミックグリーンシートの上面を金属板で押さえ付けながらゴム体を基台上に押しつけて横方向に押し広げ、第2のセラミックグリーンシートの挿通孔の壁面を押圧するので、ゴム板によって押さえつけられた金属板が第2のセラミックグリーンシートを強固に固定できると共に、ゴム板によって押さえつけられたゴム体がシリコンオイルを含浸させた硬度20°〜50°のシリコンゴムからなり、ゴム体と基台でゴム体を横方向に膨らませながら圧力を静水圧として挿通孔壁面全体に伝達することができ、第2のセラミックグリーンシートの挿通孔壁面を平坦面化することができる発光素子収納用パッケージの製造方法を提供することができる。
In particular, the manufacturing method of the light emitting element storage package according to
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施するための最良の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る発光素子収納用パッケージの製造方法で作製された発光素子収納用パッケージの説明図、図2(A)〜(D)はそれぞれ同発光素子収納用パッケージの製造方法の説明図、図3(A)〜(C)はそれぞれ同発光素子収納用パッケージの製造方法における挿通孔壁面の押圧方法の説明図である。
Subsequently, the best mode for carrying out the present invention will be described with reference to the accompanying drawings to provide an understanding of the present invention.
Here, FIGS. 1A and 1B are explanatory diagrams of a light emitting element storage package manufactured by the method for manufacturing a light emitting element storage package according to an embodiment of the present invention. FIGS. (D) is explanatory drawing of the manufacturing method of the package for the said light emitting element accommodation, respectively, FIG. 3 (A)-(C) is explanatory drawing of the pressing method of the through-hole wall surface in the manufacturing method of the said light emitting element accommodation package, respectively. .
図1(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る発光素子収納用パッケージの製造方法で作製される発光素子収納用パッケージ10は、1又は複数枚からなる平板状のセラミック基体11と、その上面に1又は複数枚からなるセラミック枠体12を接合した接合体として作製されている。平面視して、矩形状や、多角形や、円形等からなるセラミック基体11は、両主面のうちの一方に、LED等の発光素子が載置できるようになっている。また、セラミック枠体12は、発光素子載置部を開口部としてセラミック基体11の上面を露出して、開口部の大きさがセラミック基体11との接合側である下面側より上面側が大きい形状からなる発光素子を囲繞して収納するための1又は複数個の断面視してすり鉢状貫通孔13を有している。このセラミック枠体12のすり鉢状貫通孔13の壁面は、押圧型で押圧されて凸凹状態の壁面を平坦な表面としているので、発光素子からの発光を効果的に反射させることができる。また、このすり鉢状貫通孔13の表面には、発光素子からの発光を更に効果的に反射させるために、金属膜、及び/又はめっき被膜が設けられることがある。
As shown in FIGS. 1A and 1B, a light emitting
この発光素子収納用パッケージ10には、導体配線パターン14がセラミック基体11の発光素子載置部に、発光素子を載置するためのダイボンドパッド15や、発光素子とボンディングワイヤで接続するワイヤボンド方式(図1ではこの方式を図示)を用いて電気的に導通状態とするためのボンディングパッド16等として用いるために形成されている。あるいは、導体配線パターン14は、セラミック基体11の発光素子載置部に、発光素子に設ける接続用バンプで直接接続するフリップチップ方式を用いて電気的に導通状態とするためのボンディングパッド16等として形成されている。また、導体配線パターン14は、セラミック基体11の裏面側、あるいは、セラミック枠体12の外周部が切り欠かれて外部に露出するセラミック基体11の上面側で、導体配線パターン14の一つである繋ぎ導体パターン17やビア導体18を介してボンディングパッド16と接続して外部と電気的に導通状態とするための外部接続端子パッド19等として形成されている。
In this light emitting
図2(A)〜(D)を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る発光素子収納用パッケージ10の製造方法を説明する。ここで、図2(A)〜(C)は発光素子収納用パッケージ10のセラミックが焼成前のセラミックグリーンシートの状態を示し、図2(D)はセラミックが焼成後のできあがりの状態の発光素子収納用パッケージ10を示している。発光素子を搭載するための平板状のセラミック基体11と、その上面に発光素子を囲繞して収納するためのすり鉢状貫通孔13を有するセラミック枠体12の接合体として作製される発光素子収納用パッケージ10の製造方法には、Al2O3や、AlN等のセラミックからなるセラミックグリーンシートが用いられている。このセラミックグリーンシートは、例えば、セラミックがAl2O3からなる場合には、Al2O3粉末にマグネシア、シリカ、カルシア等の焼結助剤を適当量加えた粉末に、ジオクチルフタレート等の可塑剤と、アクリル樹脂等のバインダー、及び、トルエン、キシレン、アルコール類等の溶剤が加えられ、十分に混練した後、脱泡して粘度2000〜40000cpsのスラリーが作成され、ドクターブレード法等によって、例えば、厚さ0.25mmのロール状のシートに形成され、適当な大きさにカットして作製されている。
With reference to FIGS. 2A to 2D, a method of manufacturing the light emitting
図2(A)に示すように、セラミックグリーンシートは、セラミック基体11用として1又は複数枚が準備されるが、ここでは、例えば、2枚からなる第1のセラミックグリーンシート20、20aを準備している。この2枚からなる第1のセラミックグリーンシート20、20aには、必要に応じてビア導体18を形成するためのビア用貫通孔21を打抜き金型や、パンチングマシーン等を用いて穿設して形成している。そして、この2枚の内の上方側の第1のセラミックグリーンシート20には、タングステン(W)や、モリブデン(Mo)等の高融点金属からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷してダイボンドパッド15、ボンディングパッド16、及びビア導体18等の導体配線パターン14用の導体印刷パターン22を形成している。また、2枚の内の下方側の第1のセラミックグリーンシート20aには、タングステン(W)や、モリブデン(Mo)等のセラミックと同時焼成が可能な高融点金属からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷してそれぞれの第1のセラミックグリーンシート20、20aに形成するビア導体18間を接続させるための繋ぎ配線パターン17、ビア導体18、及び外部接続端子パッド19等の導体配線パターン14用の導体印刷パターン22を形成している。
As shown in FIG. 2A, one or a plurality of ceramic green sheets are prepared for the ceramic substrate 11. Here, for example, two first ceramic
図2(B)に示すように、セラミック枠体12用としてのセラミックグリーンシートは、1又は複数枚が準備されるが、ここでは、例えば、1枚からなる第2のセラミックグリーンシート23を準備している。この第2のセラミックグリーンシート23には、ピンと、このピンの径より大きい孔径を設けたダイスからなる打抜き金型で打抜いて、すり鉢状貫通孔13用の挿通孔24を穿設して形成している。ピンと、このピンの径より大きい孔径を設けたダイスからなる打抜き金型は、ピンの外径と、ダイスの孔径との間のクリアランスによって、ダイス上に載置された第2のセラミックグリーンシート23を上からピンで押圧して打抜いた時に、第2のセラミックグリーンシート23には、ピンと接する側に小さい孔径、ダイスと接する側に大きい孔径となるすり鉢状の挿通孔24を形成することができる。
As shown in FIG. 2B, one or a plurality of ceramic green sheets for the ceramic frame 12 are prepared. Here, for example, a second ceramic
次に、第2のセラミックグリーンシート23のすり鉢状の挿通孔24の壁面は、後述する、押圧型26(図3(A)〜(C)参照)で押圧している。この押圧型26は、挿通孔24の壁面に沿う形状を備えるゴム体27、このゴム体27の側面を囲繞して支えるための貫通孔29を有する金属板30、及びゴム体27と金属板30の背面に設けられるゴム板31とを有する上型28と、第2のセラミックグリーンシート23を載置するための基台32とによって構成されている。なお、すり鉢状の挿通孔24の壁面には、必要に応じて、導体ペーストを用いてスクリーン印刷して導体金属膜を設ける場合がある。この導体金属膜によって、挿通孔24の壁面には、電解めっき法によるめっき被膜を形成することができ、発光素子からの発光を更に効果的に反射できる反射層を形成することができる。
Next, the wall surface of the mortar-shaped
次に、図2(C)に示すように、第1のセラミックグリーンシート20、20aと、第2のセラミックグリーンシート23は、重ね合わされて温度と圧力をかけて積層され、積層体25を形成している。次いで、図2(D)に示すように、この積層体25は、還元雰囲気中の1650℃程度の温度で第1のセラミックグリーンシート20、20a、第2のセラミックグリーンシート23と、導体印刷パターン22を同時焼成して焼成体を形成している。この焼成体は、同時焼成によって積層体25から約30%程度収縮して、導体配線パターン14を設けるセラミック基体11と、すり鉢状貫通孔13の壁面表面が押圧されて平坦表面となった壁面を設けるセラミック枠体12の接合体からなる発光素子収納用パッケージ10としている。なお、発光素子収納用パッケージ10には、必要に応じて、外部に露出する金属部分にNiめっき被膜及びAuめっき被膜や、Agめっき被膜等の貴金属めっき被膜が施される。
Next, as shown in FIG. 2C, the first ceramic
次いで、図3(A)〜(C)を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る発光素子収納用パッケージ10の製造方法における第2のセラミックグリーンシート23に形成された挿通孔24壁面の押圧方法についての説明を詳細にする。図3(A)に示すように、押圧型26の上型28には、シリコンオイルを含浸させた多孔質であって、硬度が20°〜50°のシリコンゴムからなるゴム体27を有している。また、押圧型26の上型28には、挿通孔24の上面側の開口径と略同等の開口径からなる貫通孔29を設ける金属板30を第2のセラミックグリーンシート23の上面の当接面として有している。この金属板30の貫通孔29には、ゴム体27の側面が囲繞されるように嵌合されて有している。更に、押圧型26の上型28には、ゴム体27及び金属板30の背面を覆うようにしてゴム体27の硬度20°〜50°と略同等の硬度を有するゴム板31を有している。一方、押圧型26には、上型28と平行状態で対向するようにして上面が平面状態の金属面からなる基台32を備えている。そして、上型28と基台32の間の基台32上には、挿通孔24が形成された第2のセラミックグリーンシート23が載置される。
Next, referring to FIGS. 3A to 3C, the wall surface of the
次に、図3(B)、(C)に示すように、ゴム板31を介してゴム体27及び金属板30に押圧力が伝達される押圧型26の上型28は、押圧型26の基台32上に載置された第2のセラミックグリーンシート23の上面を金属板30で押さえ付けながらゴム体27の先端部を第2のセラミックグリーンシート23の挿通孔24の開口部から露出する基台32上に押しつけながら横方向に押し広げて、第2のセラミックグリーンシート23の挿通孔24の壁面を押圧するようにしている。挿通孔24の壁面は、この押圧によって表面が平坦面状に形成され、発光素子からの光を効率的に反射させることができる。ここで、ゴム体27の硬度は、20°を下まわると柔らかくなりすぎて挿通孔24の壁面を押圧する力が弱くなり、挿通孔24の壁面を平坦面化にすることができなくなる。また、ゴム体27の硬度は、50°を超えると硬くなりすぎて横方向への膨らみが少なくなり、挿通孔24の壁面を平坦面化にすることができなくなる。一方、ゴム板31の硬度は、ゴム体27の硬度と略同等程度でない場合には、ゴム体27の押しつけ力及び横方向への膨らみが正常に発揮できなくなり、挿通孔24の壁面を平坦面化にすることができなくなる。
Next, as shown in FIGS. 3B and 3C, the upper die 28 of the
本発明の発光素子収納用パッケージは、LED等の発光素子を搭載させて照明や、ディスプレイ等に用いることができる。 The light emitting element storage package of the present invention can be used for illumination, a display, or the like by mounting a light emitting element such as an LED.
10:発光素子収納用パッケージ、11:セラミック基体、12:セラミック枠体、13:すり鉢状貫通孔、14:導体配線パターン、15:ダイボンドパッド、16:ボンディングパッド、17:繋ぎ導体パターン、18:ビア導体、19:外部接続端子パッド、20、20a:第1のセラミックグリーンシート、21:ビア用貫通孔、22:導体印刷パターン、23:第2のセラミックグリーンシート、24:挿通孔、25:積層体、26:押圧型、27:ゴム体、28:上型、29:貫通孔、30:金属板、31:ゴム板、32:基台 10: Light-emitting element storage package, 11: Ceramic substrate, 12: Ceramic frame, 13: Mortar-shaped through hole, 14: Conductor wiring pattern, 15: Die bond pad, 16: Bonding pad, 17: Connecting conductor pattern, 18: Via conductor, 19: external connection terminal pad, 20, 20a: first ceramic green sheet, 21: through hole for via, 22: conductor printed pattern, 23: second ceramic green sheet, 24: insertion hole, 25: Laminated body, 26: pressing mold, 27: rubber body, 28: upper mold, 29: through hole, 30: metal plate, 31: rubber plate, 32: base
Claims (2)
前記セラミック基体用の1又は複数枚の第1のセラミックグリーンシートに導体配線パターン用の導体印刷パターンをスクリーン印刷する工程と、
前記セラミック枠体用の1又は複数枚の第2のセラミックグリーンシートに上面側の開口径が下面側の開口径より大きくなる前記すり鉢状貫通孔用の挿通孔を穿設する工程と、
前記第2のセラミックグリーンシートの前記挿通孔の壁面を、該壁面に沿う形状を備えるゴム体を有する上型と、前記第2のセラミックグリーンシートを載置するための基台とを備える押圧型で前記壁面を押圧する工程と、
前記第1のセラミックグリーンシートと前記第2のセラミックグリーンシートを積層して積層体を形成した後、該積層体を焼成する工程を有することを特徴とする発光素子収納用パッケージの製造方法。 In a method for manufacturing a light emitting element storage package provided by joining a flat ceramic base for mounting a light emitting element and a ceramic frame having a mortar-shaped through hole for surrounding and storing the light emitting element,
Screen printing a conductor print pattern for a conductor wiring pattern on one or more first ceramic green sheets for the ceramic substrate;
Drilling an insertion hole for the mortar-shaped through-hole in which the opening diameter on the upper surface side is larger than the opening diameter on the lower surface side in one or more second ceramic green sheets for the ceramic frame;
A pressing die comprising an upper mold having a rubber body having a shape along the wall surface of the insertion hole of the second ceramic green sheet, and a base for placing the second ceramic green sheet. Pressing the wall surface with,
A method of manufacturing a light emitting element storage package, comprising: laminating the first ceramic green sheet and the second ceramic green sheet to form a laminate, and then firing the laminate.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005074776A JP2006261290A (en) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | Package for containing light emitting element and its manufacturing process |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005074776A JP2006261290A (en) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | Package for containing light emitting element and its manufacturing process |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006261290A true JP2006261290A (en) | 2006-09-28 |
Family
ID=37100215
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005074776A Pending JP2006261290A (en) | 2005-03-16 | 2005-03-16 | Package for containing light emitting element and its manufacturing process |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006261290A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100845856B1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-07-14 | 엘지전자 주식회사 | LED package and method of manufacturing the same |
JP2008282920A (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Showa Denko Kk | Lighting device, and manufacturing method for lighting device |
WO2010040121A1 (en) * | 2008-10-03 | 2010-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Production process for surface-mounting ceramic led package, surface-mounting ceramic led package produced by said production process, and mold for producing said package |
EP2398072A1 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-21 | Nichia Corporation | Semiconductor light-emitting device |
KR101128261B1 (en) | 2011-11-29 | 2012-03-22 | 박진성 | Fully wafer level processed light emitting diode package and methods for manufacturing a light emitting diode package |
EP2475232A1 (en) | 2011-01-07 | 2012-07-11 | Fitilite (s) Pte. Ltd. Taiwan Branch | Lighting device and method for forming the same |
-
2005
- 2005-03-16 JP JP2005074776A patent/JP2006261290A/en active Pending
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100845856B1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-07-14 | 엘지전자 주식회사 | LED package and method of manufacturing the same |
US8546838B2 (en) | 2006-12-21 | 2013-10-01 | Lg Electronics Inc. | Light emitting device package and method for manufacturing the same |
US8097896B2 (en) | 2006-12-21 | 2012-01-17 | Lg Electronics Inc. | Light emitting device package and method for manufacturing the same |
JP2008282920A (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Showa Denko Kk | Lighting device, and manufacturing method for lighting device |
WO2008140049A1 (en) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Showa Denko K.K. | Illuminating device and its manufacturing method |
US7943408B2 (en) | 2008-10-03 | 2011-05-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Production process for surface-mounting ceramic LED package, surface-mounting ceramic LED package produced by said production process, and mold for producing said package |
US7923277B1 (en) | 2008-10-03 | 2011-04-12 | E.I. Du Pont De Nemours And Company | Production process for surface-mounting ceramic LED package, surface-mounting ceramic LED package produced by said production process, and mold for producing said package |
US7871842B2 (en) | 2008-10-03 | 2011-01-18 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Production process for surface-mounting ceramic LED package, surface-mounting ceramic LED package produced by said production process, and mold for producing said package |
WO2010040121A1 (en) * | 2008-10-03 | 2010-04-08 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Production process for surface-mounting ceramic led package, surface-mounting ceramic led package produced by said production process, and mold for producing said package |
EP2398072A1 (en) * | 2009-02-10 | 2011-12-21 | Nichia Corporation | Semiconductor light-emitting device |
EP2398072A4 (en) * | 2009-02-10 | 2014-10-29 | Nichia Corp | Semiconductor light-emitting device |
EP2475232A1 (en) | 2011-01-07 | 2012-07-11 | Fitilite (s) Pte. Ltd. Taiwan Branch | Lighting device and method for forming the same |
KR101128261B1 (en) | 2011-11-29 | 2012-03-22 | 박진성 | Fully wafer level processed light emitting diode package and methods for manufacturing a light emitting diode package |
WO2013081328A1 (en) * | 2011-11-29 | 2013-06-06 | Jin Sung Park | Light emitting diode package and method of manufacturing light emitting diode package |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4659421B2 (en) | Manufacturing method of light emitting element storage package | |
JP5093840B2 (en) | Multilayer wiring board for mounting light emitting device and method for manufacturing the same | |
JP2006303351A (en) | Package for storing light emitting element | |
JP4383088B2 (en) | Light emitting device storage package | |
JP4981696B2 (en) | package | |
JP2006261290A (en) | Package for containing light emitting element and its manufacturing process | |
JP4926789B2 (en) | Multilayer wiring board for mounting light emitting device and method for manufacturing the same | |
WO2015163354A1 (en) | Wiring board, electronic device, and electronic module | |
JP4387160B2 (en) | Manufacturing method of light emitting element storage package | |
JP2009038161A (en) | Light emitting element storage package | |
JP2005310935A (en) | Storing package for light-emitting element | |
JP2006303366A (en) | Package for storing light emitting element, and its manufacturing process | |
JP2006261286A (en) | Package for containing light emitting element and its manufacturing process | |
JP4331585B2 (en) | Light emitting element storage package and manufacturing method thereof | |
JP2010177252A (en) | Electronic-component mounting board, electronic apparatus, and manufacturing method for the electronic-component mounting board | |
JP2008131012A (en) | Package for storing light-emitting element | |
JP2007048969A (en) | Package for light-emitting device storage | |
JP2005347312A (en) | Package for light emitting device | |
JP4755426B2 (en) | Manufacturing method of ceramic substrate | |
JP4070195B2 (en) | Light emitting element storage package | |
JP2005159082A (en) | Package for light emitting element housing, method for manufacturing the same, and light emitting device | |
JP2006005091A (en) | Package for light emitting element | |
JP2004221520A (en) | Package for storing light-emitting element and light-emitting device | |
JP4763393B2 (en) | Manufacturing method of light emitting element storage package | |
JP2004228100A (en) | Members for light emitting device and light emitting device |