JP2006260780A - 超短パルスレーザー集光と高電圧印加の併用による針状サンプル表層のイオン化方法、及びこれを使用した針状サンプル表層の分析方法 - Google Patents
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Abstract
従来の針状サンプルのイオン化には、針先にパルス高電圧を印加するか、あるいはナノ秒レーザーを照射していた。このようなイオン化の方法では3次元アトムプローブ電界顕微鏡においては、針状サンプルの破壊を招くか、あるいは加熱による温度上昇のため分解能の低下を招いていた。また、半導体や絶縁体の分析は極めて困難であった。
【解決手段】
電界蒸発が生じる閾値以下の高電圧を印加した波長より充分小さな曲率半径をもつ針状サンプルに対して、その針先に超短パルスレーザー光を集光することにより、針状サンプルの表層の原子をイオン化により順次除去し、内部に残留応力を有する針状サンプルを破壊することなく元素の3次元分布の分析を可能とし、さらに分解能を高めるだけでなく半導体や絶縁体の分析を可能とするイオン化の方法。
【選択図】図1
Description
S. Nolte, C. Momma, H. Jacobs, A. Tuennermann, B. N. Chichnov, B. Wellegehausen and H. Welling: J. Opt. Soc. Am. B, 14, 2716 (1997).
図1は、この発明の原理図であり、超短パルスレーザー光の集光によりパルス的に印加される電界によるイオン化によって、針状サンプルの表層から離脱するイオンの個々の位置と質量を同時に検出するものである。図1において、超短パルスレーザー光照射前の高電圧印加状態(上)、超短パルスレーザー光のパルスの選別照射と表層原子のイオン化(中)、イオンの飛行と位置検出(下)が示されている。
図1(上)は、超短パルスレーザー光がパルスピッカーを通過しミラーで反射されレンズにより針先に対して直角方向から集光される直前の様子を示し、図1(中)は、超短パルスレーザー集光による光電界の印加と表層原子のイオン化の様子を示し、図1(下)は、繰り返されるイオン化により針先の原子は消失し、コピュータ内に原子の種類と位置のデータに変換される計測終了時の様子を示す。
もちろんこの発明は、超短パルスレーザーシステムで使用されるレーザー媒質の種類に限定されるものではない。この発明に必要なパルス長さは1ピコ秒以下である。実施例で使用した超短パルスレーザーはチタンサファイヤ結晶をレーザー媒質に使用しており、パルス長さは0.15ピコ秒である。1ピコ秒以下の超短パルスレーザー光が発生可能なレーザー媒質として、チタンサファイヤの他にもネオジウムイオンを含むガラスや結晶がある。今後は一層の高出力を目指してイッテルビウムイオンを含むガラスや結晶を用いた超短パルスレーザーシステムが開発されている。この発明にはこれらの次世代の小型超短パルスレーザーの利用が望まれる。
2 高電圧電源
3 超短パルスレーザー(発振器)
4 位置敏感型検出器
5 パルスピッカー
6 光検出器
7 タイマー
8 短焦点集光レンズ
9 波長より充分小さな曲率をもつ針状サンプル
10 表層でイオン化し電気力線に沿って位置敏感型検出器に到達するイオンの軌跡
Claims (4)
- レーザー光の波長と比べて十分小さな曲率半径をもつ針状サンプルに対して、時間的に変化しない高電圧電源からの電界の印加と超短パルスレーザー光集光による時間的にパルス状に変化する電界の印加との双方を同時に組み合わせることにより、針状サンプル本体に破壊に至る過大な荷重をかけることなく針状サンプル表層の原子を順次イオン化により排除することを特徴とする、超短パルスレーザー集光と高電圧印加の併用による針状サンプルからの原子の除去方法。
- 前記サンプルが、原子炉圧力容器内のシュラウド又は再循環系配管のステンレス鋼材料から作製した残留応力を有する針状サンプルである、請求項1に記載の方法。
- 針状サンプルに対して、時間的に変化しない高電圧電源からの電界を印加し、更に前記サンプルに対して、超短パルスレーザー光をアトムプローブ電界顕微鏡の短焦点レンズを通して集光することにより時間的にパルス状に変化する電界を印加し、針状サンプル表層の原子のイオン化を行い、イオン化された原子が、その表層における位置から電界により生じる電気力線に沿って位置敏感型検出器まで飛行した時間に基づいてイオンの質量を決定し、更にそのイオン化された原子の位置敏感型検出器上の検出位置から前記サンプル表層上の原子の存在位置を検知することを特徴とする、針状サンプル表層の分析方法。
- 超短パルスレーザー光の集光強度を短焦点レンズの使用により高め、集光点での電界強度を6〜103V/nmの範囲で調整することにより、針状サンプル表層に含まれる最もイオン化が容易なルビジウム原子から最もイオン化が困難な炭素原子に至る任意の元素の原子をイオン化し除去し分析する請求項3記載の方法。
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006260807A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 元素測定装置及び方法 |
JP2007242513A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Fujitsu Ltd | 元素検出方法及び元素検出装置 |
JP2007273401A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kanazawa Inst Of Technology | 分析装置及び分析方法 |
WO2010057721A1 (fr) * | 2008-11-21 | 2010-05-27 | Cameca | Sonde atomique tomographique comportant un generateur electro-optique d'impulsions electriques haute tension |
CN106771376A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-31 | 金华职业技术学院 | 一种制备原子力显微镜针尖的方法 |
JP2018092866A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社日立製作所 | アトムプローブ分析システムおよびアトムプローブ分析方法 |
CN110632177A (zh) * | 2019-10-24 | 2019-12-31 | 大连理工大学 | 一种平面残余应力电磁超声检测方法 |
JP2020527730A (ja) * | 2017-07-14 | 2020-09-10 | アンデルソン、マルティン | 生体分子の3d構造を分析する方法 |
CN112730593A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-04-30 | 长春理工大学光电信息学院 | 一种超短脉冲激光电离有机氯农药的方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03123859A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-27 | Hitachi Ltd | 簡易劣化判定方法及び装置 |
JPH0562639A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Hitachi Ltd | 原子配列立体解析方法及びその装置 |
JPH0864170A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Res Dev Corp Of Japan | 極微領域表面の分析方法とその装置 |
WO2002093615A1 (en) * | 2001-03-26 | 2002-11-21 | Kanazawa Institute Of Technology | Scanning atom probe and analysis method using scanning atom probe |
JP2005131704A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-05-26 | Japan Atom Energy Res Inst | ステンレス鋼表面の超短パルスレーザー光を用いた応力除去法 |
JP2008524634A (ja) * | 2004-12-21 | 2008-07-10 | イマゴ サイエンティフィック インストルメンツ コーポレーション | レーザアトムプローブ |
-
2005
- 2005-03-15 JP JP2005072440A patent/JP2006260780A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03123859A (ja) * | 1989-10-06 | 1991-05-27 | Hitachi Ltd | 簡易劣化判定方法及び装置 |
JPH0562639A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-12 | Hitachi Ltd | 原子配列立体解析方法及びその装置 |
JPH0864170A (ja) * | 1994-08-19 | 1996-03-08 | Res Dev Corp Of Japan | 極微領域表面の分析方法とその装置 |
WO2002093615A1 (en) * | 2001-03-26 | 2002-11-21 | Kanazawa Institute Of Technology | Scanning atom probe and analysis method using scanning atom probe |
JP2005131704A (ja) * | 2003-10-08 | 2005-05-26 | Japan Atom Energy Res Inst | ステンレス鋼表面の超短パルスレーザー光を用いた応力除去法 |
JP2008524634A (ja) * | 2004-12-21 | 2008-07-10 | イマゴ サイエンティフィック インストルメンツ コーポレーション | レーザアトムプローブ |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006260807A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Fujitsu Ltd | 元素測定装置及び方法 |
JP2007242513A (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Fujitsu Ltd | 元素検出方法及び元素検出装置 |
JP4528278B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2010-08-18 | 学校法人金沢工業大学 | 分析装置及び分析方法 |
JP2007273401A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Kanazawa Inst Of Technology | 分析装置及び分析方法 |
US8276210B2 (en) | 2008-11-21 | 2012-09-25 | Cameca | Tomographic atom probe comprising an electro-optical generator of high-voltage electrical pulses |
FR2938963A1 (fr) * | 2008-11-21 | 2010-05-28 | Cameca | Sonde atomique tomographique comportant un generateur electro-optique d'impulsions electriques haute tension. |
WO2010057721A1 (fr) * | 2008-11-21 | 2010-05-27 | Cameca | Sonde atomique tomographique comportant un generateur electro-optique d'impulsions electriques haute tension |
JP2018092866A (ja) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 株式会社日立製作所 | アトムプローブ分析システムおよびアトムプローブ分析方法 |
CN106771376A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-05-31 | 金华职业技术学院 | 一种制备原子力显微镜针尖的方法 |
CN106771376B (zh) * | 2017-02-24 | 2023-08-29 | 金华职业技术学院 | 一种制备原子力显微镜针尖的方法 |
JP2020527730A (ja) * | 2017-07-14 | 2020-09-10 | アンデルソン、マルティン | 生体分子の3d構造を分析する方法 |
JP7195550B2 (ja) | 2017-07-14 | 2022-12-26 | アンデルソン、マルティン | 生体分子の3d構造を分析する方法 |
CN110632177A (zh) * | 2019-10-24 | 2019-12-31 | 大连理工大学 | 一种平面残余应力电磁超声检测方法 |
CN112730593A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-04-30 | 长春理工大学光电信息学院 | 一种超短脉冲激光电离有机氯农药的方法 |
CN112730593B (zh) * | 2020-11-26 | 2024-01-19 | 长春理工大学光电信息学院 | 一种超短脉冲激光电离有机氯农药的方法 |
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