JP2006249541A - 蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】坩堝3で得られた蒸発材料を、蒸着用容器2内に配置されたガラス基板1に向かって放出する放出部材6に、蒸発材料を放出する放出用ノズル5を複数設けるとともに、これら各放出用ノズルの開口径およびノズル高さを同一となし、これら各放出用ノズルの開口部5aをそれぞれ開閉自在な板状シャッタ18を有するシャッタ部材7を設けるとともに、これら各板状シャッタの開閉周期を制御する制御装置8を設けたものである。
【選択図】 図1
Description
通常、蒸着材料は坩堝で加熱され、この蒸発した蒸発材料は真空容器内に導かれるとともに当該真空容器内に配置された被蒸着部材の表面に放出されて蒸着(所謂、成膜)が行われている。
この特許文献1に開示された構成によると、真空容器である成膜チャンバ内に配置された坩堝で加熱されて蒸発した蒸発材料は、表面に多数の放出口が形成された放出部に移送部を介して供給されている。
上記放出部材に蒸発材料を放出する放出用ノズルを複数設け、
且つ上記各放出用ノズルの開口部をそれぞれ開閉自在なシャッタ部材を設けるとともに、これら各シャッタ部材の開閉動作を行う駆動部を制御する制御装置を設けたものである。
内部に蒸発材料の拡散室を有するとともに表面に複数の放出用ノズルが形成された放出用容器と、この放出用容器の拡散室内に蒸発源からの蒸発材料を移送する移送管とから構成したものである。
蒸着材料の種類および加熱温度に応じてシャッタ部材の開閉周期を決定するためのデータテーブルを記憶する記憶部と、この記憶部にて決定された開閉周期を入力してシャッタ部材の駆動部を制御する制御部とから構成したものである。
また、各放出用ノズルの開口径を同一にするとともに、これら各放出用ノズルの開口端面から被蒸着部材の蒸着面までの鉛直距離を同一にしたので、放出用容器内で拡散された蒸発材料が、略、同一条件で各放出用ノズルを経由して放出されるため、蒸着材料の種類や加熱温度を変えて蒸着を行う場合でも、例えばシミュレーションの実施や試行錯誤による膜厚の均一性の実現条件、すなわちシャッタ部材の開閉周期を求めるに際しての負担を軽減することができる。
以下、本発明の実施の形態に係る蒸着装置を、図1〜図4に基づき説明する。
本実施の形態においては、有機ELディスプレイの表示部を製造する場合、すなわち有機材料をガラス基板の表面に蒸着させる場合について説明する。
また、上記放出部材6は、水平断面形状がガラス基板1と同様の矩形状にされた蒸発材料の拡散室13を有するとともにその表面に上述した複数個の放出用ノズル5が形成された放出用容器14と、この放出用容器14の下面に接続されるとともに下部内に坩堝3が収納された円筒状の移送管(移送部)15とから構成されている。
まず、坩堝3内に所定の蒸着材料を充填した後、蒸着用容器2内にガラス基板1を挿入して保持具(図示せず)により所定位置に保持させ、そして排気装置4により蒸着用容器2内を所定の真空状態にする。なお、ガラス基板1を準備室(図示せず)にて所定の真空状態で保持しておき、このガラス基板1を準備室から蒸着用容器2内に移動させて保持するようにしてもよい。
坩堝3で蒸発した蒸発材料は、移送管15を介して放出用容器14の拡散室13内に入り、ここで拡散されて各放出用ノズル5から蒸着用容器2内に放出され、そしてガラス基板1の下面である被蒸着面に蒸着されて成膜が行われる。
また、各放出用ノズル5の開口径を同一にするとともに、これら各放出用ノズル5の開口端面から被蒸着部材の蒸着面までの鉛直距離を同一にしたので、放出用容器14内で拡散された蒸発材料が、略、同一条件で各放出用ノズル5を経由して放出されるため、蒸着材料の種類や加熱温度を変えて蒸着を行う場合でも、例えばシミュレーションの実施や試行錯誤による膜厚の均一性の実現条件、すなわちシャッタ部材の開閉周期を求めるに際しての負担を軽減することができる。
例えば、3種類の場合を図5および図6に示す。なお、図6は、放出用ノズルの配置状態を示すもので、蒸着材料の種類(A,B,C)に応じて、白丸、黒丸、破線による丸で区別している。
例えば、第1坩堝33Aに充填された第1蒸着材料と第2坩堝33Bに充填された第2蒸着材料とを、それぞれの放出用ノズル36A、36Bから同時に放出させて、ガラス基板42の蒸着面に共蒸着させる。
例えば、有機EL発光素子を製造する際の発光層の蒸着時に、まず、第1蒸着材料(アルミニウム錯体などのホスト材料)と第2蒸着材料(青色ドーパント)とを共蒸着させて青色発光層を形成し、次に、第1蒸着材料と第3蒸着材料(赤色ドーパント)とを共蒸着させることにより、白色発光層を形成することができる。なお、図7に、各放出用ノズル36の開口部37(37Aa〜37Ah,37Ba〜37Bh,37Ca〜37Ch)を開閉する板状シャッタ39の開閉周期のタイムチャートを示しておく。
2 蒸着用容器
3 坩堝
4 排気装置
5 放出用ノズル
5a 開口部
6 放出部材
7 シャッタ部材
8 制御装置
13 拡散室
14 放出用容器
15 移送管
17 回転支持棒
18 板状シャッタ
19 モータ
21 制御部
22 記憶部
31 蒸着装置
32 蒸着用容器
33 坩堝
34 放出用容器
35 移送管
36 放出用ノズル
37 開口部
38 シャッタ部材
39 板状シャッタ
40 回転支持棒
51 蒸着用容器
52 坩堝
53 放出部材
54 移送管
55 放出用ノズル
56 シャッタ部材
57 板状シャッタ
58 回転支持棒
59 モータ
Claims (4)
- 蒸着材料を加熱して蒸発材料を得るための蒸発源と、この蒸発源で得られた蒸発材料を、蒸着用容器内に配置された被蒸着部材に向かって放出する放出部材とを具備する蒸着装置であって、
上記放出部材に蒸発材料を放出する放出用ノズルを複数設け、
且つ上記各放出用ノズルの開口部をそれぞれ開閉自在なシャッタ部材を設けるとともに、これら各シャッタ部材の開閉動作を行う駆動部を制御する制御装置を設けたことを特徴とする蒸着装置。 - 放出部材を、
内部に蒸発材料の拡散室を有するとともに表面に複数の放出用ノズルが形成された放出用容器と、
この放出用容器の拡散室内に蒸発源からの蒸発材料を移送する移送管と
から構成したことを特徴とする請求項1に記載の蒸着装置。 - 各放出用ノズルの開口径を同一にするとともに、これら各放出用ノズルの開口端面から被蒸着部材の蒸着面までの鉛直距離を同一にしたことを特徴とする請求項1または2に記載の蒸着装置。
- 制御装置を、
蒸着材料の種類および加熱温度に応じてシャッタ部材の開閉周期を決定するためのデータテーブルを記憶する記憶部と、
この記憶部にて決定された開閉周期を入力してシャッタ部材の駆動部を制御する制御部と
から構成したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の蒸着装置。
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